JP5919124B2 - 圧力センサ - Google Patents
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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Description
2 圧力検出素子
3 流入管
4 べース
4a 貫通孔
4b ハーメチックシール
4c 周縁部
4d 側面部
4e 上面部
5 受け部材
5a 周縁部
5b 側面部
5c 下面部
6 ダイアフラム
7 受圧空間
8 加圧空間
9 ボール
11(11A〜11C) 出力用リードピン
12(12A〜12E) 調整用リードピン
13 挟持部材
13a 内フランジ部
13b 円筒部
14、15 溶接部
21 圧力センサ
22 挟持部材
22a 傾斜部
22b 円筒部
22c 内フランジ部
31 圧力センサ
32 挟持部材
32a 傾斜部
32b 円筒部
32c 内フランジ部
32x、32y 凹み
41 圧力センサ
42 挟持部材
42a、42b 孔
42c 円筒部
42d 傾斜部
42e 天井部
Claims (7)
- 圧力検出素子と、
該圧力検出素子が内面に固定され、周縁部の内側から前記圧力検出素子が固定された面の反対側の面側に膨出する膨出部を備えるべースと、
該べースに対向して配置され、周縁部の内側から、前記ベースから離間する方向に膨出する膨出部を備える受け部材と、
前記べース及び前記受け部材の周縁部で挟持されたダイアフラムと、
該ダイアフラムを挟持した状態の前記べース及び前記受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持し、一端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部又は周縁部と係合し、他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合された挟持部材と、
前記ベースと前記ダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、
前記受け部材と前記ダイアフラムとの間の空間内の圧力が、前記ダイアフラム及び前記液体を介して前記圧力検出素子へ伝達されることを特徴とする圧力センサ。 - 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた内フランジ部より成り、
該内フランジ部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の周縁部と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されたことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた傾斜部より成り、
該傾斜部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部の肩部と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されたことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた内フランジ部より成り、
該内フランジ部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部の上面部周辺と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されたことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記内フランジ部の内周に、前記膨張部に形成されたハーメチック孔を逃げるための円弧状の凹みが形成されたことを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
- 前記挟持部材は、円筒部及び該円筒部の一端に設けられた天井部より成り、
該天井部が、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方の膨出部の上面部全面と係合し、その他端が前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と溶接接合されたことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記天井部に、前記膨張部に形成されたハーメチック孔を逃げるための孔が形成されたことを特徴とする請求項6に記載の圧力センサ。
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