JP2021156693A - 圧力センサー - Google Patents

Abstract

【課題】不要な外部応力が作用しても、ケースのセンサー支持部材からの離脱を防止し得る圧力センサーを提供する。【解決手段】圧力センサー１は、センサー素子５と、センサー素子５が搭載された金属製のセンサー支持部材４と、センサー支持部材４に取り付けられた非金属製のケース９と、センサー支持部材４とケース９との間に配置された接着剤層１５とを有する。ケース９は、ケース本体９１と、センサー支持部材４の径方向外側に位置する壁部９２とを備える。センサー支持部材４の第２主面４４は、センサー支持部材４の外周端面４９に対して傾斜する第１領域４４ａと、外周端面４９に対して傾斜しかつ外周端面４９に対する傾斜角度θ２が第１領域４４ａの傾斜角度θ２より小さい第２領域４４ｂとを備える。接着剤層１５は、少なくとも壁部９２と外周端面４９との間およびケース本体９１と第１領域４４ａとの間に配置されている。【選択図】図２

Description

本発明は、圧力センサーに関する。

従来、液体、気体等の流体の圧力を検出する圧力センサーが知られている。例えば、特許文献１には、センサー素子を搭載する金属製のセンサー支持部材に対して、樹脂製のケースが接着剤層を介して接合された構成が開示されている。ケースを樹脂製とすることにより、圧力センサーの軽量化を図ることができる。
かかる圧力センサーにおいて、ケースのセンサー支持部材との反対側には、ハーネスを有するコネクターが接続される。
このため、圧力センサーが振動等すると、ケースには、これに接続されたハーネスの荷重により、所定の箇所を支点として、当該箇所と反対側の箇所がセンサー支持部材から離間するような応力が作用する。そのため、振動等の程度によっては、ケースがセンサー支持部材から離脱するおそれがある。

特開２０１９−１１３３３３号公報

本発明の目的は、不要な外部応力が作用しても、ケースのセンサー支持部材からの離脱を防止し得る圧力センサーを提供することにある。

本願の例示的な発明は、流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、該センサー素子が搭載された第１主面と、該第１主面に対向する第２主面とを備える金属製のセンサー支持部材と、前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うとともに、前記センサー支持部材に取り付けられた非金属製のケースと、前記センサー支持部材と前記ケースとの間に配置された接着剤層とを有し、前記ケースは、ケース本体と、該ケース本体から突出し、前記センサー支持部材の径方向外側に位置する少なくとも１つの壁部とを備え、前記第２主面は、前記センサー支持部材の外周端面に対して傾斜する少なくとも１つの第１領域と、前記外周端面に対して傾斜しかつ前記外周端面に対する傾斜角度が前記第１領域の傾斜角度より小さい第２領域とを備え、前記接着剤層は、少なくとも、前記壁部と前記センサー支持部材の前記外周端面との間、および、前記ケース本体と前記センサー支持部材の前記第２主面の前記第１領域との間に配置されていることを特徴とする圧力センサーである。

本願の例示的な発明によれば、金属製のセンサー支持部材と非金属製のカバーとを互いに高い信頼性で固定することにより、不要な外部応力が作用しても、ケースのセンサー支持部材からの離脱を防止することができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサーの概略構成を示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。 図２は、センサー支持部材およびケースを示す縦断面図（図１を部分的に拡大した図）である。 図３は、センサー支持部材およびケースの底面図である。 図４は、接着層の他の構成例を示す縦断面図である。 図５は、接着層の他の構成例を示す縦断面図である。 図６は、接着層の他の構成例を示す縦断面図である。 図７は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサーの壁部の構成を示す平面図である。 図８は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサーの壁部の構成を示す平面図である。 図９は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材の構成を示す平面図である。

以下、本発明の圧力センサーを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明の圧力センサーの第１実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサーの概略構成を示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。図２は、センサー支持部材およびケースを示す縦断面図（図１を部分的に拡大した図）である。図３は、センサー支持部材およびケースの底面図である。図４〜図６は、それぞれ接着層の他の構成例を示す縦断面図である。

以下では、説明の便宜上、図１に示す軸線ａｘを適宜用いて説明を行う。ここで、軸線ａｘに平行な方向（図１中の上下方向）を「軸方向」、軸線ａｘに直交する方向を「径方向」、軸線ａｘを中心とする軸周りの方向を「周方向」と言う。また、軸方向において、後述する被取付体に近い側（取付部材２側）を「一方側」または「下側」、遠い側（取付部材２と反対側）を「他方側」または「上側」と言う。
なお、軸線ａｘは、圧力センサー１の中心軸であり、後述するセンサー支持部材４の中心を通り、かつ、センサー支持部材４の厚さ方向に延びる線分である。また、「上側」および「下側」は、圧力センサー１が実際に被取付体に取り付けられたときの位置関係および方向を示すものではない。

図１に示す圧力センサー１は、図示しない被取付体に取り付けて用いられ、被取付体からの流体の圧力を検出するセンサーである。ここで、被取付体は、特に限定されないが、例えば、自動車の自動変速機（ＡＴ）または無段変速機（ＣＶＴ）に用いられる車載用のコントロールバルブである。
また、流体（被計測流体）は、特に限定されず、気体および液体のいずれであってもよい。
さらに、流体の種類、温度、圧力等の条件も限定されないが、例えば、被取付体が上述した車載用のコントロールバルブである場合、流体はＡＴＦ（Automatic Transmission Fluid）等のオイルである。

圧力センサー１は、図１に示すように、被取付体に着脱自在に取り付けられる取付部材２と、取付部材２にダイアフラム３を介して接合された金属製のセンサー支持部材４と、センサー支持部材４に搭載されたセンサー素子５と、センサー支持部材４に取り付けられた非金属製のケース９とを有する。

取付部材２は、センサー支持部材４に対して一方側（下側）に配置されており、軸方向に沿って貫通した貫通孔２１を有する。貫通孔２１には、下側から、被取付体からの流体が導入される。すなわち、貫通孔２１は、被取付体からの流体をセンサー素子５に向かって導く流路を構成する。
また、取付部材２は、軸方向に沿って配置された雄ネジ部２２と、雄ネジ部２２の上側の端部に設けられた頭部２３とを有する。雄ネジ部２２は、被取付体に設けられた雌ネジに螺合する。頭部２３は、例えば、軸方向から見たときに六角形をなしており、スパナ等の工具で挟むことが可能となっている。

このような取付部材２を圧力センサー１が有することにより、圧力センサー１を被取付体に比較的簡単に取り付けることができる。また、圧力センサー１を被取付体から取り外してメンテナンス等を行うこともできる。
雄ネジ部２２の頭部２３側の端部には、例えばゴム製のＯリング１４が配置される。このＯリング１４により、圧力センサー１を被取付体に取り付けた状態で、圧力センサー１と被取付体との間の密封性を確保することができる。
なお、取付部材２は、被取付体に取り付けることができればよく、上述した雄ネジ部２２を有する形態に限定されない。

取付部材２は、金属材料で構成されている。かかる金属材料としては、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼が好適に用いられる。このような金属材料で取付部材２を構成することにより、取付部材２の耐熱性、流体に対する耐性等を高めることができる。取付部材２は、例えば、鋳造および切削により製造される。
取付部材２の上側の端部には、ダイアフラム３を介してセンサー支持部材４が取り付けられている。ここで、ダイアフラム３およびセンサー支持部材４は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料で構成されており、取付部材２に対して溶接により接合されている。
このように、取付部材２、ダイアフラム３およびセンサー支持部材４のいずれもが金属材料で構成されていれば、例えば、被取付体が車載用のコントロールバルブである場合等、圧力センサー１の被計測流体が高温のオイルであっても、圧力センサー１は優れた耐久性を発揮することができる。

ダイアフラム３は、板状またはシート状をなしており、取付部材２とセンサー支持部材４との間に配置されている。かかる配置により、上述した取付部材２の貫通孔２１の他方側の開口を塞いでいる。
このため、ダイアフラム３に対して下側には、取付部材２の貫通孔２１による第１室Ｓ１が形成されている。そして、ダイアフラム３は、第１室Ｓ１内の流体の圧力により撓み変形する。
一方、ダイアフラム３に対して上側には、ダイアフラム３とセンサー支持部材４との間に、第２室Ｓ２が形成されている。第２室Ｓ２には、センサー素子５が収納されるとともに、ダイアフラム３が第１室Ｓ１内の流体から受けた圧力をセンサー素子５に伝達する圧力伝達媒体が充填（収容）されている。

このように、ダイアフラム３および圧力伝達媒体を用いて流体の圧力をセンサー素子５に伝達することにより、センサー素子５が流体に対する耐性を有していなくても、当該流体によるセンサー素子５の損傷を防止しつつ、流体の圧力を検出することができる。
この圧力伝達媒体としては、液体が好適に用いられる。特に、センサー素子５への悪影響を小さくするとともに、温度変化等による圧力伝達媒体の特性変化を小さくする観点から、圧力伝達媒体には、例えば、シリコーンオイルのような液体を用いることが好ましい。シリコーンオイルは、良好な絶縁性、優れた化学的安定性および高い沸点を有するためである。
なお、センサー素子５が流体に対する耐性を有する場合、ダイアフラム３および圧力伝達媒体を省略してもよい。

また、センサー支持部材４は、軸方向を厚さ方向とする板材で構成され、例えばプレス加工により中央部が他方側（上側）に向かってドーム状となるように形成されている。センサー支持部材４は、下側の第１主面４３と、第１主面４３に対向する上側の第２主面４４と、第１主面４３と第２主面４４とを繋ぐ外周端面４９とを有する。
第１主面４３は、ダイアフラム３との間に第２室Ｓ２を形成している。かかる第１主面４３の中央部には、センサー素子５が搭載されている。
ここで、センサー素子５は、第１主面４３に対して、例えばフッ素系接着剤等の接着剤により接合されている。

センサー素子５は、受圧に応じた信号を出力する素子である。センサー素子５は、図示しないが、例えば、ピエゾ抵抗素子が配置されたダイアフラムを有するシリコン基板と、このシリコン基板に接合されたガラス基板とを有する。
これらの基板間には、密閉空間が形成されており、ダイアフラムは、密閉空間内の圧力を基準として受圧により撓み変形する。そして、ピエゾ抵抗素子が撓み変形に応じた信号を出力する。
なお、ダイアフラムの撓み変形を検出する方式は、ピエゾ抵抗素子を用いた方式に限定されず、例えば、静電容量方式等であってもよい。

また、センサー支持部材４は、第１主面４３および第２主面４４に開口する複数の貫通孔４５を有する。複数の貫通孔４５には、それぞれ、端子６が貫通しており、貫通孔４５を規定する壁面と端子６との間の隙間には、封止材７が充填されている。
端子６は、リードピンであり、例えば、鉄ニッケル合金等の金属材料で構成されている。複数の端子６のうちの少なくとも２つの端子６の下側の端部は、ボンディングワイヤーを介してセンサー素子５に接続されている。
また、封止材７は、例えば、硼珪酸ガラス等のガラス材料で構成され、上述した隙間を封止している。

センサー支持部材４の第２主面４４側（上側）には、ケース９が取り付けられている。ここで、ケース９は、第２主面４４および外周端面４９に対して、例えばエポキシ系接着剤等の接着剤層１５により接着されている。
このように、センサー支持部材４とケース９とは、接着剤層１５を介して接合されている。これにより、センサー支持部材４に対してケース９を固定することができる。また、センサー支持部材４とケース９との間の隙間を接着剤層１５により埋めることで、ケース９内の密封性を高めることができる。
なお、接着剤層１５およびこれに関連する事項については、後に詳述する。

図２に示すように、ケース９は、下側に開口する有底筒状のケース本体９１と、ケース本体９１から下側に向かって突出し、センサー支持部材４の径方向外側に位置する壁部９２とを有する。
本実施形態では、壁部９２は、図３に示すように、センサー支持部材４の周方向に沿って設けられた１つの環状体で構成されている。かかる構成によれば、壁部９２の機械的強度を十分に確保することができる。
また、ケース本体９１は、センサー支持部材４側に開口する凹部９３を備えている。
さらに、図１に示すように、ケース９は、図示しないオス型のコネクターが挿入される凹部１３１と、凹部１３１内に突出する端子１２とを有する。
端子１２は、上述した端子６に電気的に接続されている。なお、端子１２は、直接端子６に接続されていてもよく、回路基板等の電子部品を介して端子６に接続されていてもよい。

このようなケース９の構成材料には、ケース９の軽量化の観点から、非金属材料が使用され、セラミックス材料等でもよいが、樹脂材料を使用することが好ましい。
ケース９を樹脂材料で構成することにより、ケース９の軽量化を図ることができるだけでなく、ケース９の形状が複雑であっても、例えば、ケース９を射出形成により簡便かつ高精度に形成することができる。また、ケース９の接着剤層１５に対する接着性を高めることもできる。
かかる樹脂材料としては、特に限定されないが、例えば、耐熱性に優れたＰＰＳ（Polyphenylene sulfide）樹脂等が挙げられる。
また、かかる樹脂材料には、ガラス繊維、炭素繊維等の繊維、アルミナ粒子、ジルコニア粒子等の無機フィラー等が添加されていてもよい。

以上、圧力センサー１の概略を説明した。この圧力センサー１は、上述したように、流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子５と、センサー素子５が搭載されたセンサー支持部材４と、センサー支持部材４を一方側から他方側に貫通した端子６と、センサー支持部材４に取り付けられたケース９と、センサー支持部材４とケース９との間に配置された接着剤層１５とを有する。

ここで、センサー支持部材４は、一方側の第１主面４３と第１主面４３に対向する他方側の第２主面４４とを有し、金属材料で構成されている。そして、センサー素子５は、第１主面４３の中央部に搭載されている。また、端子６は、センサー支持部材４を一方側から他方側に貫通している。
一方、ケース９は、センサー支持部材４の第２主面４４を覆い、非金属材料で構成されている。そして、接着剤層１５により、金属製のセンサー支持部材４と非金属製のケース９とが互いに高い信頼性で固定されている。
以下、図２および図３に基づいて、接着剤層１５およびこれに関連する事項について詳述する。

図２に示すように、センサー支持部材４の第２主面４４は、中央部分が軸方向上側に向かってドーム状となるような形状をなしている。そして、第２主面４４は、外周端面４９に対して傾斜する２つの第１領域４４ａと、外周端面４９に対して傾斜しかつ外周端面４９に対する傾斜角度θ２が第１領域４４ａの傾斜角度θ１より小さい第２領域４４ｂとを備えている。
２つの第１領域４４ａは、第２領域４４ｂに対して外周端面４９側に位置する下側の第１領域４４ａと、第２領域４４ｂに対して外周端面４９と反対側に位置する上側の第１領域４４ａとを有している。また、下側の第１領域４４ａは、外周端面４９に連続し、上側および下側の第１領域４４ａは、それぞれ第２領域４４ｂに連続している。

なお、外周端面４９は、軸線ａｘと略平行であることが好ましい。すなわち、外周端面４９は、軸線ａｘに対して平行でも、若干傾斜していてもよい。外周端面４９を軸線ａｘと略平行とすれば、ケース９とセンサー支持部材４との組立が容易となる。
また、第１領域４４ａは、軸線ａｘに対して略直交する。すなわち、第１領域４４ａは、軸線ａｘに対して直交しても、若干傾斜していてもよい。第１領域４４ａを軸線ａｘに対して略直交させることでも、ケース９とセンサー支持部材４との組立が容易となる。

本実施形態では、接着剤層１５は、壁部９２とセンサー支持部材４の外周端面４９との間、および、ケース本体９１とセンサー支持部材４の第２主面４４の２つの第１領域４４ａおよび第２領域４４ｂの一部との間に配置されている。
したがって、接着剤層１５は、軸線ａｘと略平行な第１接着部１５１と、軸線ａｘと略直交する第２接着部１５２とを有する。かかる構成によれば、圧力センサー１が振動等して、ケース９に対して所定の箇所を支点として、当該箇所と反対側の箇所がセンサー支持部材４から離間（傾斜）させるような応力が作用しても、ケース９のセンサー支持部材４からの離脱を防止することができる。

かかる観点からは、図４に示すように、上側の第１領域４４ａとケース本体９１との間に配置される第２接着部１５２を省略してもよく、図５に示すように、下側の第１領域４４ａとケース本体９１との間に配置される第２接着部１５２を省略してもよい。このような構成であっても、ケース９のセンサー支持部材４からの十分な離脱防止効果が得られる。
また、接着剤層１５は、図６に示すように、第２領域４４ｂの全体とケース本体９１との間に配置された第３接着部１５３を有していてもよい。この場合、接着剤層１５とケース９およびセンサー支持部材１４との接触面積が増大するので、ケース９のセンサー支持部材４からの離脱防止効果をより向上させることができる。

なお、第１領域４４ａの外周端面４９に対する傾斜角度θ１は、８０〜１００°程度が好ましく、８５〜９５°程度であることがより好ましい。
また、第１領域４４ｂの外周端面４９に対する傾斜角度θ２は、１０〜４０°程度が好ましく、２０〜３０°程度であることがより好ましい。
さらに、接着剤層１５による接着強度（接合強度）を高める観点から、センサー支持部材４の第２主面４４、外周端面４９およびケース本体９１の内面は、粗面化されていることが好ましい。この粗面化の方法は、特に限定されないが、例えば、ブラスト処理、エッチング処理、切削等が挙げられる。

接着剤層１５の構成材料（接着剤）は、特に限定されないが、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤等の硬化性（熱硬化性、光硬化性、嫌気硬化性等）接着剤を用いることが好ましく、特に、熱硬化性接着剤を用いることが好ましい。すなわち、接着剤層１５は、硬化性樹脂を含むことが好ましい。これにより、接着剤層１５の耐久性、接着性等が良好になる。
なお、接着剤層１５には、ガラス繊維、炭素繊維等の繊維、アルミナ粒子、ジルコニア粒子等の無機フィラー等が添加されていてもよい。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の圧力センサーの第２実施形態について説明する。
図７は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサーの壁部の構成を示す底面面図である。なお、図７において、上記実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
以下、図７に示す第２実施形態について説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第２実施形態の圧力センサー１は、センサー支持部材４の周方向に沿って設けられた３つの壁部９２を備えている。これにより、ケース９のセンサー支持部材４からの離脱を十分に防止しつつ、ケース９の更なる軽量化が可能である。
隣り合う壁部９２同士は、互いに離間し、それらの間に隙間９２０が形成されている。また、かかる隙間９２０が接着剤溜まりとして機能することにより、接着剤が圧力センサー１の外部への流出するのを防止することもできる。

かかる第２実施形態によっても、ケース９のセンサー支持部材４からの離脱を防止することができる。
なお、壁部９２の数は、４つ以上であってもよい。
特に、センサー支持部材４の周方向に沿って３つ以上の壁部９２を設けることにより、圧力センサー１に作用する外力の方向によらず、上記効果が良好に発揮される。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の圧力センサーの第３実施形態について説明する。
図８は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサーの壁部の構成を示す縦断面図である。なお、図８において、上記実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
以下、図８に示す第３実施形態について説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態の圧力センサー１では、壁部９２は、その下端部に、センサー支持部材４の第１主面４３に接触する爪９２１を備えている。かかる構成によれば、ケース９をセンサー支持部材４に対して傾斜させるような応力が作用した際に、爪９２１がセンサー支持部材４に引っ掛るので、ケース９のセンサー支持部材４からの離脱をより確実に防止することができる。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の圧力センサーの第４実施形態について説明する。
図９は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサーのセンサー支持部材の構成を示す平面図である。なお、図９において、上記実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
以下、図９に示す第４実施形態について説明するが、上記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第４実施形態の圧力センサー１では、第２主面４４の第２領域４４ｂが、周方向に沿って形成された溝４４１を備えている。かかる溝４４１を設けることにより、センサー支持部材４と接着剤層１５との接触面積を増大させ、センサー支持部材４とケース９との接着強度を高めることができる。また、ケース９をセンサー支持部材４に対して傾斜させるような応力が作用しても、その外力に対する抗力をより高めることができる。
なお、溝４４１は、第２主面４４の第１領域４４ａに設けるようにしてもよく、第１領域４４ａおよび第２領域４４ｂの双方に設けるようにしてもよい。

以上、本発明の圧力センサーについて、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、上記第１〜第４実施形態の任意の構成を、適宜組み合わせることもできる。
また、本発明の圧力センサーの構成は、同様の機能を有する任意の構成と置換することができ、他の任意の構成を追加することもできる。
また、第２主面の第１領域４４ａおよび第２領域４４ｂの数も、上記第１〜第４実施形態の数に限定されない。

１…圧力センサー
２…取付部材
２１…貫通孔
２２…雄ネジ部
２３…頭部
３…ダイアフラム
４…センサー支持部材
４１…凹部
４２…凹部
４３…第１主面
４４…第２主面
４４ａ…第１領域
４４ｂ…第２領域
４４１…溝
４５…貫通孔
４７…凹部
４９…外周端面
５…センサー素子
６…端子
７…封止材
９…ケース
９１…ケース本体
９２…壁部
９２０…隙間
９２１…爪
９３…凹部
１２…端子
１３１…凹部
１４…Ｏリング
１５…接着剤層
１５１…第１接着部
１５２…第２接着部
１５３…第３接着部
Ｓ１…第１室
Ｓ２…第２室
ａｘ…軸線
θ１…傾斜角度
θ２…傾斜角度

Claims (10)

1. 流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、
   該センサー素子が搭載された第１主面と、該第１主面に対向する第２主面とを備える金属製のセンサー支持部材と、
   前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うとともに、前記センサー支持部材に取り付けられた非金属製のケースと、
   前記センサー支持部材と前記ケースとの間に配置された接着剤層とを有し、
   前記ケースは、ケース本体と、該ケース本体から突出し、前記センサー支持部材の径方向外側に位置する少なくとも１つの壁部とを備え、
   前記第２主面は、前記センサー支持部材の外周端面に対して傾斜する少なくとも１つの第１領域と、前記外周端面に対して傾斜しかつ前記外周端面に対する傾斜角度が前記第１領域の傾斜角度より小さい第２領域とを備え、
   前記接着剤層は、少なくとも、前記壁部と前記センサー支持部材の前記外周端面との間、および、前記ケース本体と前記センサー支持部材の前記第２主面の前記第１領域との間に配置されていることを特徴とする圧力センサー。
2. 前記壁部は、前記センサー支持部材の前記第１主面に接触する爪を備える請求項１に記載の圧力センサー。
3. 前記少なくとも１つの壁部は、前記センサー支持部材の周方向に沿って設けられた１つの環状体である請求項１または２に記載の圧力センサー。
4. 前記少なくとも１つの壁部は、前記センサー支持部材の周方向に沿って設けられた３つ以上の前記壁部を含む請求項１または２に記載の圧力センサー。
5. 隣り合う前記壁部同士は、互いに離間している請求項４に記載の圧力センサー。
6. 前記第２主面は、周方向に沿って形成された溝を備える請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧力センサー。
7. 前記センサー支持部材の前記外周端面は、当該圧力センサーの軸線に対して略平行である請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧力センサー。
8. 前記第２主面の前記第１領域は、当該圧力センサーの軸線に対して略直交する請求項１〜７のいずれか１項に記載の圧力センサー。
9. 前記少なくとも１つの第１領域は、前記第２領域に対して前記外周端面側に位置する前記第１領域を含む請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧力センサー。
10. 前記少なくとも１つの第１領域は、前記第２領域に対して前記外周端面と反対側に位置する前記第１領域を含む請求項１〜９のいずれか１項に記載の圧力センサー。

Images