KR100983814B1

KR100983814B1 - 압력반응 금속다이아프램을 구비한 압력센서

Info

Publication number: KR100983814B1
Application number: KR1020080075157A
Authority: KR
Inventors: 미치토시 오노다; 미치히로 마키타; 다케시 니노미야; 히로카즈 구보
Original assignee: 가부시키가이샤 덴소
Priority date: 2004-02-04
Filing date: 2008-07-31
Publication date: 2010-09-27
Also published as: EP1562030A3; CN1651889A; JP2005221315A; EP1562030B1; DE602004019272D1; KR20050079215A; CN1322318C; EP1562030A2; KR20080085119A; US20050166681A1; US7121144B2; JP3976015B2; EP1562030A8

Abstract

본 발명에 따르면, 압력센서(S1)는 하우징(30)에 견고하게 접합되는 원통형 커넥터케이스(10) 및 상기 커넥터케이스와 하우징 사이에 형성된 압력검출챔버(40)를 포함한다. 상기 압력검출챔버(40)는 금속다이아프램(34)에 의하여 제한되고, 그의 외주연부는 상기 커넥터케이스(10)와 하우징(30)을 접합하는 부분을 견고하게 유지시킨다. 상기 하우징의 장착면(30b)에는 상대적으로 두꺼운 링플레이트(35b)가 형성되고, 상기 금속다이아프램(34)의 외주연부는 링플레이트(35b)와 이 링플레이트(35b)에 위치되고 그에 접합된 푸싱플레이트(35a) 사이에 개재된다. 그러므로, 내부에 센서소자(20)를 수용하는 상기 압력검출챔버(40)는, 상기 하우징(30)이 금속다이아프램(34)의 재료와 다른 알루미늄 등의 재료로 이루어지더라도, 확실하게 밀봉된다.

압력센서, 하우징, 커넥터케이스, 링플레이트, 푸싱플레이트, 압력검출챔버, 금속다이아프램

Description

압력반응 금속다이아프램을 구비한 압력센서{PRESSURE SENSOR HAVING A METAL DIAPHRAGM RESPONSIVE TO PRESSURE}

본 발명은 측정될 압력에 반응하는 금속다이아프램(metal diaphragm)을 구비한 압력센서에 관한 것이다.

압력에 반응하는 금속다이아프램을 구비한 압력센서의 일예는 일본국 특개평 제7-243926호에 제안되었다. 첨부된 도5는 압력센서의 일예를 나타낸 것이다. 상기 압력센서는 압력검출챔버(J5)를 형성하도록 서로 접합된 커넥터케이스(J1)와 하우징(J2)을 구비한 다이아프램 밀봉식(diaphragm-seal type) 압력센서이다. 상기 커넥터케이스(J1)의 하단부는 하우징(J2)의 장착공간(J4)으로 삽입되고, 상기 하우징(J2)의 장착공간(J4)을 형성하는 벽의 상단부는 커넥터케이스(J1)의 쇼율더(shoulder)를 감싸 고정시킨다. 금속다이아프램(J3)의 외주연부에 접합되는 링 용접부(J9)는 커넥터케이스(J1)와 하우징(J2) 사이에 개재된다.

상기 금속다이아프램(j3)에 의하여 둘러싸인 압력검출챔버(j5)에는 센서소 자(j6)가 배치된다. 상기 압력검출챔버(j5)는 금속다이아프램(3)에 작용되는 압력을 센서소자(J6)로 전달하기 위한 압력전달유체(J8)로 충전된다. 상기 커넥터케이스(J1)와 하우징(J2)를 접합하는 부위는 오링(O-ring)(J7)으로 밀봉된다. 상기 압력센서는 하우징(J2)의 바닥부에 형성된 스크류에 의하여 그 내부에 유체를 수용하는 파이프 또는 블럭(block)에 접합된다. 상기 압력센서로 유입된 압력은 금속다이아프램(J3)에 작용되고 센서소자(J6)에 의하여 검출된다.

상기 압력센서로 유입된 유체가 상기 링 용접부(J9) 및 하우징(J2)을 접합하는 부위를 통해 누수되는 것을 방지하기 위하여, 상기 링 용접부(J9) 및 하우징(J2)은 동일 재료로 이루어지고, 접촉부위(J10)에서 서로 용접된다. 상기 링 용접부(J9)와 하우징(J2) 간에 견고한 용접 강도를 얻기 위하여, 이들은 탄소강 S15C 또는 SUS와 같은 동일 재료로 이루어진다.

한편, 상기 압력센서가 접합되는 파이프 또는 블럭은 대체로 알루미늄과 같은 재료로 이루어진다. 탄소강으로 이루어진 하우징(J2)이 알루미늄으로 이루어진 파이프에 접합될 경우, 서로 다른 두 재료 사이에서 전위차가 발생된다. 이러한 전위차는 0.5볼트(volt) 이상이 될 수 있다. 이는 알루미늄으로 이루어진 파이프에서 전지효과(battery-effect)로 인한 부식이 발생할 가능성이 높다. 이러한 부식을 피하기 위하여, 압력센서가 접합되는 파이프로서 상기 하우징(J2)을 알루미늄과 같은 동일재료로 이루어지도록 할 수 있다. 그러나, SUS등으로 이루어진 링 용접부(J9)를 알루미늄으로 이루어진 하우징(J2)에 용접하기에는 매우 어려운 문제가 있다. 이는 SUS의 용해점이 알루미늄의 용해점보다 높기 때문이다. 또한, SUS 등과 같은 재료가 상기 용접부의 높은 신뢰성과 강도를 얻기 위하여 이들 구성요소에 가장 적합하기 때문에, 상기 금속다이아프램(J3) 및 링 용접부(J9)의 재료를 다른 재료로 변경하기에는 매우 어려운 문제점이 있다.

따라서, 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명은 금속다이아프램의 재료와 다른 알루미늄과 같은 재료로 하우징이 이루어지더라도 충분한 밀봉구조를 갖는 향상된 압력센서를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 압력센서 센서하우징은 수지재로 이루어진 원통형 커넥터케이스 및 알루미늄과 같은 재료로 이루어진 원통형 하우징을 포함한다. 상기 커넥터케이스 및 하우징은 서로 견고하게 접합되어, 내부에 압력검출챔버를 형성한다. 상기 압력검출챔버는 검출될 압력이 가해지는 금속다이아프램에 의하여 제한되고, 상기 압력검출챔버에 센서소자가 배치되고, 상기 금속다이아프램으로 가해지는 압력을 센서소자로 전달하기 위한 유체가 상기 압력검출챔버에 수용된다. 상기 센서소자는 전달되는 압력량에 따른 전기신호를 출력하고, 그 전기신호는 전기제어유닛와 같은 외부 전기회로로 전달된다.

상기 하우징은 커넥터케이스의 바닥부가 장착되는 장착면을 구비한다. 상기 장착면에는 상대적으로 두꺼운 링플레이트가 위치되고 용접 등에 의하여 장착면에 접합된다. 상기 링플레이트에는 푸싱플레이트가 위치되고, 상기 금속다이아프램의 외주연부는 링플레이트와 푸싱플레이트 사이에 개재된다. 상기 세 구성요소, 즉 링플레이트, 금속다이아프램 및 푸싱플레이트는 탄소강과 동일한 재료 또는 유사한 재료로 이루어지고, 레이저용접 등에 의하여 서로 견고하게 접합된다. 그러므로, 상기 압력검출챔버를 제한하는 금속다이아프램은 커넥터케이스와 하우징 사이에 견고하게 유지된다.

상기 장착면 또는 장착면에 대향하는 링플레이트 일면에 하나 이상의 환형 돌기부가 형성될 수 있다. 상기 링플레이트는 저항용접에 의하여 환형 돌기부를 매개로 상기 장착면에 접합될 수 있다. 상기 장착면 아래에는 환형홈이 형성되어, 검출될 압력이 그 환형홈으로 유입됨으로써 푸싱플레이트측으로 장착면을 상측으로 밀어 올린다.

상기 상대적으로 두꺼운 링플레이트는 장착면에 접합되고, 상기 금속다이아프램의 외주연부는 링플레이트와 그 링플레이트에 위치된 푸싱플레이트 사이에 견고하게 유지된다. 따라서, 상기 하우징이 금속다이아프램의 재료와 다른 알루미늄과 같은 재료로 이루어지더라도, 상기 압력검출챔버는 확실하게 밀봉된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 금속다이아프램의 재료와 다른 알루미늄과 같은 재료로 하우징이 이루어지더라도 충분한 밀봉구조를 갖는 향상된 압력센서를 제공하는 효과가 있다.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨 부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.

본 발명의 제1실시예를 도1을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도1에 나타낸 압력센서(S1)는, 예를 들면 자동차에 장착된 공조장치의 냉매파이프에서의 냉매의 압력을 검출하기 위한 압력센서로서 이용된다. 센서케이스(100)는 커넥터케이스(connector case)(10)(제1케이스) 및 하우징(housing)(30)(제2케이스)을 접합함으로써 형성된다. 상기 커넥터케이스(10)와 하우징(30) 사이에는 압력검출챔버(40)가 형성되고, 상기 압력검출챔버(40)에는 센서소자(20)가 배치된다.

상기 커넥터케이스(10)는 대략 원통형으로 이루어지고, 폴리프로필렌 설파이드(PPS: polyphenylene sulfide) 또는 폴리부틸렌 테레프탈레이트(BBT:polybutylene terephthalate)와 같은 수지재로 이루어진다. 상기 원통형 커넥터케이스(10)는 요홈부(depressed portion)(11)가 형성되는 바닥단부(10a)를 구비한다. 상기 요홈부(11)에는 센서소자(20)가 배치된다. 상기 센서소자(20)는 게이지 레지스터(gauge resistor)가 형성되는 다이아프램(diaphragm)을 구비한다. 상기 다이아프램으로 가해진 압력은 센서신호로 사용되는 전기신호로 전환된다. 상기 센서소자(20)는 양극접합(anode-connection) 등에 의하여 글라스(glass)로 이루어진 기재(substrate)(21)에 접합되고, 상기 기재(21)는 요홈부(11)의 저면에 접합된다.

상기 센서소자(20)를 외부회로에 접합하기 위한 리드단자(12)들은 수지재의 케이스(10)에 일체로 몰딩(molding)된다. 상기 리드단자(12)는 니켈(nickel) 등으로 도금된 황동와이어(brass wire)로 이루어진다. 상기 각 리드단자(12)의 바닥측 단부는 요홈부(11)의 바닥면으로부터 관통되어 나오고, 그의 상단부는 커넥터케이 스(10)의 개구부(15)로 노출된다. 상기 각 리드단자(12)의 바닥측 단부는 금 또는 알루미늄으로 이루어진 본딩와이어(bonding wire)(13)에 의하여 센서소자(20)에 전기적으로 접속된다. 상기 리드단자(12)와 커넥터케이스(10) 사이의 갭은 실리콘수지(silicone resin)와 같은 밀봉재(14)에 의하여 밀봉된다. 상기 케넥터케이스(10)의 상부 개구부(15)는 리드단자(12)를 차량에 설치된 전기제어유닛과 같은 외부회로에 접합하기 위한 커넥터를 형성한다.

상기 하우징(30)은 커넥터케이스(10)의 바닥부가 삽입되는 장착공간(30a)을 구비한다. 상기 하우징(30)은, 압력센서(S1)가 접합되는 파이프 또는 블록(block)의 재료와 동일한 재료로 이루어지는 알루미늄 또는 두랄루민(Duralumin)과 같은 가벼운 경금속재(light metal)로 이루어진다. 상기 하우징(30)은 검출될 압력이 유입되는 압력유입공(31) 및 압력센서(S1)를 파이프 또는 블록에 접합시키기 위한 스크류(screw)(32)를 구비한다.

도1에 나타낸 바와 같이, 상기 하우징(30)은 장착공간(30a)의 바닥면을 형성하는 장착면(30b)을 포함한다. 상기 장착면(30b)에는 링플레이트(ring plate)(35b)가 배치되고, 이 링플레이트(35b)는 그 장착면(30b)에 환형으로 형성된 환형돌기부(30c)를 통해 용접에 의하여 상기 장착면(30b)에 접합된다. 상기 링플레이트(35b)에는 푸싱플레이트(pushing plate)(35a)가 배치되고, 금속다이아프램(metal diaphragm)(34)의 외주연부는 링플레이트(35b)와 푸싱플레이트(35a) 사이에 개재된다. 상기 푸싱플레이트(35a), 금속다이아프램(34)의 외주연부 및 링플레이트(35b)는 용접에 의하여 서로 접합된다.

상기 금속다이아프램(34)은 예를 들면 SUS-630 등으로 이루어지고, 상기 푸싱플레이트(35a)는 예를 들면 SUS-316L 등으로 이루어진다. 상기 링플레이트(35b)는 SUS-316L 또는 탄소강으로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 링플레이트(35b)는 SUS 및 알루미늄의 도금재 또는 철 및 알루미늄의 도금재로 이루어질 수 있다. 상기 링플레이트(35b)의 두께는 금속다이아프램(34)의 두께, 예를 들면 0.3mm보다 두껍다. 상기 플레이트(35b)의 두께는 1.0 내지 1.5mm 범위로 설정되는 것이 바람직하다.

상기 링플레이트(35b)는 장착면(30b)에 환형으로 형성된 환형돌기부(30c)를 통해서 저항용접으로 그 장착면(30b)에 접합된다. 따라서, 상기 링플레이트(35b)는 장착면(30b)에 견고하게 접합된다. 상기 장착공간(30a)를 형성하는 벽의 상단부(36)는 도1에 나타낸 바와 같이 커넥터케이스(10)의 쇼울더(shoulder)를 감싸 고정한다. 그러므로, 상기 커넥터케이스(10) 및 하우징(30)은 서로 견고하게 접합된다.

상기 압력검출챔버(40)는 커넥터케이스(10)의 요홈부(11)에 형성되며, 금속다이아프램(34)에 의하여 둘러싸이거나 한정된다. 플루오르 오일(fluorine oil)과 같은 압력전달유체(41)는 압력검출챔버(40)에 수용되어, 상기 수용유체(41)는 센서소자(20) 및 본딩와이어(13)를 커버한다. 상기 압력유입공(31)을 통해 유입된 압력이 금속다이아프램(34)에 작용된다. 상기 압력은 수용유체(41)를 통해 금속다이아프램(34)으로부터 센서소자(20)로 전달된다. 상기 센서소자(20)에 의하여 검출된 압력을 나타내는 전기신호는 본딩와이어(13) 및 리드단자(12)를 통해 외부회로로 전달된다. 상기 커넥터케이스(10)의 바닥부(10a)에는 환형홈(42)이 형성되고, 상기 환형홈(42)에는 압력검출챔버(40)를 기밀하게 밀봉하기 위하여 오링(O-ring)(43)이 배치된다.

상기 압력센서(S1)의 제작과정을 설명한다. 먼저, 내부에 리드단자(12)가 몰딩된 커넥터케이스(10)가 준비된다. 센서소자(20)를 지지하는 기재(21)가 실리콘수지와 같은 접착제로 요홈부(11)의 바닥면에 접합된다. 그런 다음, 밀봉재(14)가 상기 요홈부(11)의 바닥면에 닿도록 그 요홈부(11)에 제공된다. 상기 센서소자(20)의 표면은 밀봉재(14)로부터 자유로이 유지된다. 다음으로, 상기 밀봉재(14)는 경화되고, 상기 센서소자(20)는 본딩와이어(13)에 의하여 리드단자(12)에 전기적으로 접속된다. 그런 다음, 상기 요홈부(11)가 상측으로 위치되도록 커넥터케이스를 유지시키면서, 그 요홈부(11)에 압력전달유체(41)를 제공한다

한편, 상기 하우징(30)의 장착면(30b)에는 링플레이트(35b)가 배치되고, 상기 링플레이트(30b)는 환형 돌기부(30c)를 통하여 용접에 의하여 장착면(30b)에 접합된다. 그런 다음, 푸싱플레이트(35a)는 링플레이트(35b)에 배치되고, 상기 금속다이아프램(34)의 외주연부는 링플레이트(35b)와 푸싱플레이트(35a) 사이에 개재된다. 다음으로, 세 구성요소, 즉 상기 푸싱플레이트(35a), 금속다이아프램(34) 및 링플레이트(35b)는 레이저 용접 등에 의하여 서로 접합된다. 이들 세 구성요소는 동일하거나 유사한 재료로 이루어지기 때문에, 용접에 의하여 보다 용이하고 견고하게 접합된다.

이후, 상기 커넥터케이스(10)와 하우징(30) 사이에 오링을 위치시키고, 상기 커넥터케이스(10)의 상측으로부터 커넥터케이스(10)에 하우징(30)을 결합시킨다. 그런 다음, 상기 결합된 전체 몸체는 그 몸체에 포함된 공기를 흡입하도록 진공실에 위치된다. 이후, 상기 압력검출챔버(40)를 밀봉하도록 오링(43)을 가압하면서 커넥터케이스(10)에 대하여 상기 하우징(30)을 더 밀어 넣는다. 마지막으로, 상기 하우징(30)의 단부(36)는 커넥터케이스(10)의 쇼울더 측을 감싸 고정하고, 이에 따라 커넥터케이스(10) 및 하우징(30)은 서로 견고하게 접합된다.

상기 압력센서(S1)의 동작을 설명한다.

상기 압력센서(S1)는 유체를 수용한 파이프 또는 블록에 접합된다. 상기 유체는 압력유입공(31)을 통해 압력센서(S1)로 유입되고, 유체의 압력은 금속다이아프램(34)을 가압한다. 상기 금속다이아프램(34)으로 작용된 압력은 수용유체(41)를 통해 센서소자(20)로 전달된다. 상기 압력은 센서소자(20)에 의하여 검출되고, 검출된 압력에 대응하는 전기신호는 센서소자(20)로부터 출력된다. 상기 신호는 리드단자(12)를 통해 전기제어유닛와 같은 외부회로로 전달된다.

상대적으로 두꺼운 링플레이트(35b)는 환형 돌기부(30c)로의 용접에 의하여 장착면(30b)에 접합되고, 상기 링플레이트(35b)의 재료가 하우징(30)의 재료와 다르더라도, 상기 링플레이트(35b)는 하우징(30)에 견고하게 접합될 수 있다. 상기 링플레이트(35b)가 강철(steel)과 같은 제1철 재료(ferrous material)로 이루어지고, 상기 하우징(30)이 알루미늄으로 이루어진 경우, 이 링플레이트와 하우징은 견고하게 접합될 수 있다. 상기 금속다이아프램(34), 푸싱플레이트(35a) 및 링플레이트(35b)가 모두 동일하거나 유사한 재료로 이루어지기 때문에, 이들은 용접에 의하 여 용이하고 견고하게 접합될 수 있고, 우수한 밀봉성을 갖는 압력검출챔버(40)를 제공할 수 있다.

상기 하우징(30)의 장착면(30b)에 형성된 환형 돌기부(30c)는 하나로 한정되지 않고, 도2에 나타낸 바와 같이 복수개의 환형 돌기부(30c)로 이루어질 수 있다. 도3은 본 발명의 제2실시예를 나타낸 것이다. 본 제2실시예에서, 환형 돌기부(30c)는 장착면(30b)에 형성되는 대신에 링플레이트(35b)에 형성된다. 상기 링플레이트(35b)는 환형 돌기부(30c)를 통하여 용접에 의하여 장착면(30b)에 접합된다. 상기 환형 돌기부(30c)는 도3에서 삼각형으로 이루어지지만 다른 형태로 이루어질 수 있다.

도4는 본 발명의 제3실시예를 나타낸 것이다. 본 제3실시예에서, 하우징(30)의 장착면(30b) 아래에 환형홈(30d)이 추가적으로 형성된다. 다른 구성은 상기한 제1실시예의 구성과 동일하다. 측정될 압력이 상기 환형홈(30d)에 가해지고, 이 압력은 장착면(30b)을 상측으로 밀어내는 힘으로서 작용한다. 따라서, 링플레이트(35b) 및 장착면(30b)을 접합하는 힘은 상기 압력에 의하여 향상된다.

본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며, 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들면, 링플레이트(35b)는 마찰에 의하여 발생되는 열에 의하여 장착면(30b)에 접합될 수 있다. 스테킹(staking)과 같은 방법에 의하여 기구적으로 접합할 수 있다. 실리콘 오일과 같은 수용유체(41)는 압력을 전달할 수 있는 기체 또는 다른 재료로 대신될 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 압력센서를 나타낸 단면도.

도2는 본 발명의 제1실시예의 변형예로서, 하우징에 형성된 돌기부의 개략적인 구성을 나타낸 단면도.

도3은 본 발명의 제2실시예에서, 링플레이트에 형성된 돌기부의 개략적인 구성을 나타낸 단면도.

도4는 본 발명의 제3실시예로서, 링플레이트에 형성된 돌기부의 개략적인 구성을 나타낸 단면도.

도5는 종래의 압력센서를 나타낸 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10: 커넥터케이스 20: 센서소자

30: 하우징 30b: 장착면

30c: 돌기부 30d: 장착홈

34: 금속다이아프램 35a: 푸싱플레이트

35b: 링플레이트 41: 압력전달유체

Claims

상단부 및 요홈부가 형성된 바닥부를 구비한 커넥터케이스;

원형의 환형 돌기부가 형성된 장착면을 구비하며, 상기 장착면이 커넥터케이스의 바닥부에 대향하여 센서케이스의 단일 몸체를 형성하도록 상기 커넥터케이스에 접합되고, 알루미늄으로 형성되는 하우징;

저항용접에 의해 상기 하우징의 장착면에 설치되고, 상기 환형 돌기부에 접합되고 스테인레스로 형성되는 링플레이트;

상기 커넥터케이스의 바닥부와 접촉하는 푸싱플레이트;

상기 링플레이트와 푸싱플레이트 사이에 개재되는 외주연부가 상기 링플레이트와 푸싱플레이트와 서로 접합되며, 제공되는 압력에 반응하는 금속다이아프램;

상기 커넥터케이스의 요홈부에 형성되고, 상기 금속다이아프램에 의하여 제한되는 압력검출챔버; 및

상기 금속다이아프램으로 가해지는 압력을 검출하도록 상기 압력검출챔버에 배치되는 센서소자

를 포함하는 압력센서.
제1항에 있어서,

상기 링플레이트의 두께는 0.3mm 이상 1.5mm 이하의 범위로 되는

압력센서.
제1항에 있어서,

상기 링플레이트의 두께는 1.0mm 이상 1.5mm 이하의 범위로 되는

압력센서.
삭제
상단부 및 요홈부가 형성된 바닥부를 구비한 커넥터케이스;

장착면을 구비하며, 상기 장착면이 커넥터케이스의 바닥부에 대향하여 센서케이스의 단일 몸체를 형성하도록 상기 커넥터케이스에 접합되고, 알루미늄으로 형성되는 하우징;

저항용접에 의해 상기 하우징의 장착면에 설치되고, 스테인레스로 형성되는 링플레이트;

상기 커넥터케이스의 바닥부와 접촉하는 푸싱플레이트;

상기 링플레이트와 푸싱플레이트 사이에 개재되는 외주연부가 상기 링플레이트와 푸싱플레이트와 서로 접합되며, 제공되는 압력에 반응하는 금속다이아프램;

상기 커넥터케이스의 요홈부에 형성되고, 상기 금속다이아프램에 의하여 제한되는 압력검출챔버; 및

상기 금속다이아프램으로 가해지는 압력을 검출하도록 상기 압력검출챔버에 배치되는 센서소자를 포함하고,

상기 링플레이트에는 상기 하우징의 장착면에 대향하는 환형 돌기부가 형성되고, 상기 장착면은 상기 환형 돌기부에 접합되는

압력센서.
제1항에 있어서,

상기 환형 돌기부는 복수개로 형성되는

압력센서.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 하우징의 장착면 하부에 환형홈이 형성되어, 상기 장착면은 상기 금속다이아프램으로 가해지는 압력과 동일한 압력에 의하여 상기 링플레이트 측으로 밀리는

압력센서.
제1항에 있어서,

상기 압력검출챔버 내에는 압력전달유체가 수용되는

압력센서.
제5항에 있어서,

상기 환형 돌기부는 복수개로 형성되는

압력센서.