JP7087375B2 - 圧力センサー - Google Patents

Description

本発明は、圧力センサーに関するものである。

従来、液体、気体等の流体の圧力を検出する圧力センサーが知られている。例えば、特許文献１に記載の圧力センサーは、半導体圧力検出素子、ベース、ベースに対向して配置された受け部材、およびベースと受け部材との間に挟み込まれたダイアフラムを備え、これらがカバー内に収納されている。ここで、ベースとダイアフラムとの間には、オイルが封入される受圧空間が形成されている。半導体圧力検出素子は、受圧空間内に配置される状態でベースに備えられている。ベース、受け部材およびダイアフラムは、それぞれ金属製である。カバーは、ステンレス鋼等の金属製であり、受け部材の外周部とレーザー溶接により接合される。カバーの内部には、エポキシ系やウレタン系の樹脂が充填されている。

特開２０１６－４５１７２号公報

特許文献１に記載の圧力センサーでは、カバーがステンレス鋼等の金属製であるため、軽量化を図ることが難しい。そこで、カバーを樹脂等の非金属製とすることが考えられる。しかし、特許文献１に記載の圧力センサーにおいて、カバーを非金属製とした場合、カバー内に充填された樹脂による接着力のみでカバーがベースに対して固定されることとなる。このような場合、当該接着力が低下すると、カバーがカバー内の樹脂および部品等と共にベースから外れてしまい、故障する可能性がある。

本発明の目的は、金属製のセンサー支持部材と非金属製のカバーとを互いに高い信頼性で固定することができる圧力センサーを提供することにある。

本願の例示的な第１発明は、流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、
一方側の第１主面と該第１主面に対向する他方側の第２主面とを有し、前記第１主面に前記センサー素子が搭載され、金属材料で構成されたセンサー支持部材と、
前記センサー素子に電気的に接続され、前記センサー支持部材を前記一方側から前記他方側に貫通した端子と、
前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うと共に、前記センサー支持部材に取り付けられ、非金属材料で構成されたケースと、
前記センサー支持部材および前記ケースは、前記センサー支持部材と前記ケースとが互いに離反するのを阻止する阻止部を有し、
前記阻止部は、
前記ケースの前記センサー支持部材に接触する側の前記一方側の周縁に径方向外側に突出したフランジ部と、
前記センサー支持部材の前記センサー素子が搭載された本体部の外周部から径方向外側に突出し、前記フランジ部を固定した少なくとも１つの突出部と、
を有し、
前記フランジ部は、前記突出部の一部が収納される切り欠き部を有することを特徴とする圧力センサー。また、本願の例示的な第２発明は、前記阻止部は、前記ケースに設けられ、前記センサー支持部材の前記第１主面に接触する爪部を有することを特徴とする圧力センサー。

本願の例示的な発明によれば、センサー支持部材およびケースが、センサー支持部材とケースとが互いに離反するのを阻止する阻止部を有するため、金属製のセンサー支持部材と非金属製のカバーとを互いに高い信頼性で固定することができる。

図１は、本発明の参考例に係る圧力センサーの概略構成を示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。 図２は、センサー支持部材およびケースを示す縦断面図（図１を部分的に拡大した図）である。 図３は、センサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。 図４は、センサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す平面図である。 図５は、ケースに固定される前のセンサー支持部材を模式的に示す縦断面図である。 図６は、ケースに固定される前のセンサー支持部材の他の例を模式的に示す縦断面図である。 図７は、第１発明に係る圧力センサーが備えるセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す平面図（軸線ａｘに沿った方向から見た図）である。 図８は、第２発明に係る圧力センサーが備えるセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。

以下、本発明の圧力センサーを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜参考例＞
図１は、本発明の参考例に係る圧力センサーの概略構成を示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。図２は、センサー支持部材およびケースを示す縦断面図（図１を部分的に拡大した図）である。まず、図１および図２に基づき、これらの図に示す圧力センサー１の概略を説明する。

以下では、説明の便宜上、図１に示す軸線ａｘを適宜用いて説明を行う。ここで、軸線ａｘに平行な方向（図１中の上下方向）を「軸方向」、軸線ａｘに直交する方向を「径方向」、軸線ａｘを中心とする軸周りの方向を「周方向」と言う。また、軸方向において、後述する被取付体に近い側（取付部材２側）を「一方側」または「下側」、遠い側（取付部材２と反対側）を「他方側」または「上側」と言う。

なお、軸線ａｘは、圧力センサー１の中心軸であり、後述するセンサー支持部材４の中心を通り、かつ、センサー支持部材４の厚さ方向に延びる線分である。また、「上側」および「下側」は、圧力センサー１が実際に被取付体に取り付けられたときの位置関係および方向を示すものではない。

図１に示す圧力センサー１は、図示しない被取付体に取り付けられて用いられ、被取付体からの流体の圧力を検出するセンサーである。ここで、被取付体は、特に限定されないが、例えば、自動車の自動変速機（ＡＴ）または無段変速機（ＣＶＴ）に用いられる車載用のコントロールバルブである。また、流体（被計測流体）は、特に限定されず、気体および液体のいずれであってもよい。さらに、流体の種類、温度、圧力等の条件も限定されないが、例えば、被取付体が前述した車載用のコントロールバルブである場合、流体はＡＴＦ（Automatic Transmission Fluid）等のオイルである。

圧力センサー１は、図１に示すように、被取付体に着脱自在に取り付けられる取付部材２と、取付部材２にダイアフラム３を介して接合されているセンサー支持部材４と、センサー支持部材４に搭載されているセンサー素子５と、センサー支持部材４に取り付けられているケース９と、を有する。

取付部材２は、センサー支持部材４に対して一方側（下側）に配置されており、軸方向に沿って貫通した貫通孔２１を有する。貫通孔２１には、下側から、被取付体からの流体が導入される。すなわち、貫通孔２１は、被取付体からの流体をセンサー素子５に向かって導く流路を構成する。また、取付部材２は、軸方向に沿って配置された雄ネジ部２２と、雄ネジ部２２の上側の端部に設けられている頭部２３と、を有する。雄ネジ部２２は、被取付体に設けられた雌ネジに螺合する。頭部２３は、例えば、軸方向から見たときに六角形をなしており、スパナ等の工具で挟むことが可能となっている。

このような取付部材２を圧力センサー１が有することにより、圧力センサー１を被取付体に比較的簡単に取り付けることができる。また、圧力センサー１を被取付体から取り外してメンテナンス等を行うこともできる。また、雄ネジ部２２の頭部２３側の端部には、例えばゴム製のＯリング１４が配置されている。このＯリング１４により、圧力センサー１を被取付体に取り付けた状態で、圧力センサー１と被取付体との間の密封性を確保することができる。なお、取付部材２は、被取付体に取り付けることができればよく、前述した雄ネジ部２２を有する形態に限定されない。

取付部材２は、金属材料で構成されている。かかる金属材料としては、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼が好適に用いられる。このような金属材料で取付部材２を構成することにより、取付部材２の耐熱性、流体に対する耐性等を高めることができる。取付部材２は、例えば、鋳造および切削により製造される。

このような取付部材２の上側の端部には、ダイアフラム３を介してセンサー支持部材４が取り付けられている。ここで、ダイアフラム３およびセンサー支持部材４は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料で構成されており、取付部材２に対して溶接により接合されている。

このように、取付部材２、ダイアフラム３およびセンサー支持部材４のいずれもが金属材料で構成されていれば、例えば、被取付体が車載用のコントロールバルブである場合等、圧力センサー１の被計測流体が高温のオイルであっても、圧力センサー１は優れた耐久性を発揮することができる。

ダイアフラム３は、板状またはシート状をなしており、取付部材２とセンサー支持部材４との間に配置され、前述した取付部材２の貫通孔２１の他方側の開口を塞いでいる。このため、ダイアフラム３に対して下側には、前述した取付部材２の貫通孔２１による第１室Ｓ１が形成されている。そして、ダイアフラム３は、第１室Ｓ１内の流体の圧力により撓み変形する。一方、ダイアフラム３に対して上側には、ダイアフラム３とセンサー支持部材４との間に、第２室Ｓ２が形成されている。第２室Ｓ２には、センサー素子５が収納されている共に、ダイアフラム３が第１室Ｓ１内の液体から受けた圧力をセンサー素子５に伝達する圧力伝達媒体が充填（収容）されている。

このように、ダイアフラム３および圧力伝達媒体を用いて流体の圧力をセンサー素子５に伝達することにより、センサー素子５が流体に対する耐性を有していなくても、当該流体によるセンサー素子５の損傷を防止しつつ、流体の圧力を検出することができる。この圧力伝達媒体としては、液体が好適に用いられる。特に、センサー素子５への悪影響を小さくすると共に、温度変化等による圧力伝達媒体の特性変化を小さくする観点から、圧力伝達媒体には、例えば、シリコーンオイルのような液体を用いることが好ましい。シリコーンオイルは、良好な絶縁性、優れた化学的安定性および高い沸点を有するためである。なお、センサー素子５が流体に対する耐性を有する場合、ダイアフラム３および圧力伝達媒体を省略してもよい。

また、センサー支持部材４は、軸方向を厚さ方向とする板材で構成され、例えばプレス加工により中央部が他方側（上側）に向かってドーム状となるように形成されている。センサー支持部材４は、一方側の第１主面４３と、第１主面４３に対向する他方側の第２主面４４と、を有する。第１主面４３は、ダイアフラム３との間に第２室Ｓ２を形成している。このような第１主面４３の中央部には、センサー素子５が搭載されている。ここで、センサー素子５は、第１主面４３に対して例えばフッ素系接着剤等の接着剤により接合されている。

センサー素子５は、受圧に応じた信号を出力する素子である。センサー素子５は、図示しないが、例えば、ピエゾ抵抗素子が配置されているダイアフラムを有するシリコン基板と、このシリコン基板に接合されたガラス基板と、を有する。これらの基板間には、密閉された空間が形成されており、当該ダイアフラムは、当該空間内の圧力を基準として受圧により撓み変形する。そして、当該ピエゾ抵抗素子がこの撓み変形に応じた信号を出力する。なお、当該ダイアフラムの撓み変形を検出する方式は、ピエゾ抵抗素子を用いた方式に限定されず、例えば、静電容量方式等であってもよい。

また、センサー支持部材４は、第１主面４３および第２主面４４に開口する複数の貫通孔４５を有する。複数の貫通孔４５には、それぞれ、端子６が貫通しており、貫通孔４５を規定している壁面と端子６との間の隙間には、封止材７が充填されている。端子６は、リードピンであり、例えば、鉄ニッケル合金等の金属材料で構成されている。複数の端子６のうちの少なくとも２つの端子６の下側の端部は、ボンディングワイヤーを介してセンサー素子５に接続されている。また、封止材７は、例えば、硼珪酸ガラス等のガラス材料で構成され、前述した隙間を封止している。

センサー支持部材４の第２主面４４には、ケース９が取り付けられている。ここで、ケース９は、第２主面４４に対して、例えばエポキシ系接着剤等の接着剤１５により接着されている。このように、センサー支持部材４とケース９とは、接着剤１５を介して接合されている。これにより、センサー支持部材４に対してケース９を固定することができる。また、センサー支持部材４とケース９との間の隙間を接着剤１５により埋めることで、ケース９内の密封性を高めることができる。

また、センサー支持部材４およびケース９は、センサー支持部材４とケース９とが互いに離反するのを阻止する阻止部２０を有する。これにより、接着剤１５が劣化等しても、センサー支持部材４とケース９とが離反する可能性を低減することができる。なお、阻止部２０およびこれに関連する事項については、後に詳述する。

図２に示すように、ケース９は、下側に開口する有底筒状のケース本体９１を有する。ケース本体９１は、センサー支持部材４側に開口している凹部９３を備えている。また、図１に示すように、ケース９は、図示しないオス型のコネクターが挿入される凹部１３１と、凹部１３１内に突出している端子１２と、を有する。端子１２は、前述した端子６に電気的に接続されている。なお、端子１２は、直接端子６に接続されていてもよく、回路基板等の電子部品を介して端子６に接続されていてもよい。

以上、圧力センサー１の概略を説明した。この圧力センサー１は、前述したように、流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子５と、センサー素子５が搭載されたセンサー支持部材４と、センサー支持部材４を一方側から他方側に貫通した端子６と、センサー支持部材４に取り付けられたケース９と、を有する。

センサー支持部材４は、一方側の第１主面４３と該第１主面４３に対向する他方側の第２主面４４とを有し、金属材料で構成されている。そして、センサー素子５は、第１主面４３の中央部に搭載されている。また、端子６は、センサー支持部材４を一方側から他方側に貫通している。一方、ケース９は、センサー支持部材４の第２主面４４を覆い、非金属材料で構成されている。

このようなセンサー支持部材４およびケース９は、前述したように、センサー支持部材４とケース９とが互いに離反するのを阻止する阻止部２０を有する。阻止部２０を構成するセンサー支持部材４側の部分（後述する各突出部４２）が、阻止部２０を構成するケース９側の部分（後述するフランジ部９２）を厚さ方向に挟んでかしめ固定することにより、ケース９がセンサー支持部材４に対して軸方向に支持される。また、センサー支持部材４の第２主面４４の傾斜面（センサー支持部材４の外径が軸方向上側に向かうに従い小さくなっている部分の外周面）とケース本体９１の内周面の傾斜面（ケース本体９１の内径が軸方向上側に向かうに従い小さくなっている部分の内周面）との接触により、ケース本体９１（ケース９）が中心軸ａｘ方向にセンタリングされて軸合わせされた状態となる。よって、非金属製のケース９は、安定して金属製のセンサー支持部材４に固定される。以下、図２ないし図６に基づいて、阻止部２０およびこれに関連する事項について詳述する。

図３は、センサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図である。図４は、センサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す平面図である。図５は、ケースに固定される前のセンサー支持部材を模式的に示す縦断面図である。図６は、ケースに固定される前のセンサー支持部材の他の例を模式的に示す縦断面図である。

図３に示すように、ケース９は、下側に開口する有底筒状のケース本体９１と、ケース本体９１の下側の端部に設けられ、径方向に突出したフランジ部９２と、を有する。ケース本体９１は、センサー支持部材４側に開口している凹部９３を備えている。フランジ部９２は、ケース９のセンサー支持部材４側の端部に設けられており、ケース本体９１の周方向での全域にわたって設けられている。このように、ケース９は、センサー支持部材４に接触する周縁に径方向外側に突出した第１突出部としてフランジ部９２を有する。

ここで、フランジ部９２は、後述するセンサー支持部材４の突出部４２に固定される部分である。前述したように、フランジ部９２は、ケース９のセンサー支持部材４側（一方側）の端部に設けられている。これにより、フランジ部９２と突出部４２との間の距離を短くすることができるため、フランジ部９２を突出部４２に比較的簡単に固定することができる。

なお、本参考例では、フランジ部９２が「第１突出部」に相当しており、「第１突出部」の数は１つであるが、「第１突出部」の数は、複数であってもよい。この場合、複数の第１突出部をケース本体９１の周方向に並べて配置すればよい。また、「第１突出部」は、ケース本体９１の周方向での一部に設けられていてもよい。

このようなケース９の構成材料は、ケース９の軽量化の観点から、非金属材料であればよく、セラミックス材料等でもよいが、樹脂材料であることが好ましい。ケース９を樹脂材料で構成することにより、ケース９の軽量化を図ることができるだけでなく、ケース９の形状が複雑であっても、例えば、ケース９を射出形成により簡単かつ高精度に形成することができる。また、ケース９の接着剤１５による接着性を高めることもできる。かかる樹脂材料としては、特に限定されないが、例えば、耐熱性に優れたＰＰＳ（Polyphenylene sulfide）樹脂等が挙げられる。また、かかる樹脂材料には、ガラス繊維、炭素繊維等の繊維、アルミナ粒子、ジルコニア粒子等の無機フィラー等が添加されていてもよい。

一方、センサー支持部材４は、中央部分が軸方向上側に向かってドーム状となるような形状をしており、センサー素子５が搭載された本体部４１と、本体部４１の外周部から径方向外側に突出した第２突出部として複数の突出部４２と、を有する。

そして、各突出部４２は、フランジ部９２を固定しており、複数の突出部４２およびフランジ部９２は、阻止部２０を構成している。すなわち、阻止部２０は、複数の突出部４２およびフランジ部９２を有する。このように、各突出部４２がフランジ部９２を固定していることにより、ケース９およびセンサー支持部材４の外周部同士を互いに固定することができる。したがって、ケース９およびセンサー支持部材４の外周部以外の部分の形状が複雑化するのを低減することができる。そのため、ケース９内およびセンサー支持部材４の第２主面４４上に他の部品を設置するスペースを十分に確保することができ、その結果、設計が容易となる。また、フランジ部９２がケース９の周方向に沿って存在するため、センサー支持部材４とケース９との周方向での位置合わせが不要または簡単となる。

本参考例では、各突出部４２は、フランジ部９２の上面に接触し、本体部４１の上面との間でフランジ部９２を挟んでかしめ固定している。このようなかしめ固定により、比較的簡単な構成で、フランジ部９２と各突出部４２とを互いに強固に固定することができる。このような突出部４２は、かしめられる前の状態で、図５に示すように、径方向に延びていてもよいし、図６に示すように、軸方向上側に延びていてもよい。図５に示すような形態では、センサー支持部材４をプレス加工により形成しやすいという利点がある。また、図６に示すような形態では、かしめ加工しやすいという利点がある。

また、複数の突出部４２は、図４に示すように、フランジ部９２の周方向に沿って並んで配置されている。本参考例では、突出部４２の数が３つであり、３つの突出部４２が周方向に等角度間隔で並んでいる。このような配置により、ケース９とセンサー支持部材４との径方向での位置ずれを低減することができる。

なお、突出部４２の数は、３つに限定されず、２つ以下または４つ以上であってもよいが、３つ以上である場合、ケース９とセンサー支持部材４との径方向での位置ずれを低減する効果を好適に高めることができる。また、突出部４２の周方向での位置は、等角度間隔でなくともよい。また、図示では、複数の突出部４２の幅（周方向での長さ）が互いに等しいが、互いに異なっていてもよい。

各突出部４２の厚さｔ２は、本体部４１の厚さｔ１よりも薄い。厚さｔ１、ｔ２をこのような大小関係とすることにより、本体部４１の剛性を高くしつつ、各突出部４２を薄くしてかしめやすくすることができる。

ここで、各突出部４２は、本体部４１のケース９側（他方側）に偏った位置に配置されている。このように各突出部４２を配置することにより、各突出部４２に対して下側に厚さｔ１、ｔ２の差分に応じた空間を形成することができる。この空間は、センサー支持部材４の第１主面４３に取付部材２を溶接により接合する際の作業空間として利用することができる。そのため、かかる溶接を容易に行うことができる。

また、厚さｔ１に対する厚さｔ２の比（ｔ２／ｔ１）は、特に限定されないが、０．１以上０．７以下であることが好ましく、０．２以上０．５以下であることがより好ましい。このような比とすることで、本体部４１を必要以上に厚くすることなく、本体部４１の必要な剛性と各突出部４２のかしめやすさとの両立を図ることができる。また、前述したような溶接可能な空間を容易に形成することができる。

このようなセンサー支持部材４の構成材料としては、金属材料であればよく、特に限定されないが、比較的安価で加工容易性に優れるという観点から、鉄系材料が好ましく、耐腐食性に優れるという観点から、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼が好ましい。

＜第１発明＞
図７は、本発明の第１発明に係る圧力センサーが備えるセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す平面図（軸線ａｘに沿った方向から見た図）である。以下、図７に示す第１発明について説明するが、前述した参考例と同様の事項については、その説明を省略する。なお、図７において、前述した参考例と同様の構成については、同一符号を付している。

図７に示す圧力センサー１Ａは、前述した参考例のケース９に代えて、ケース９Ａを有する。このケース９Ａは、ケース本体９１と、ケース本体９１の下側の端部に設けられているフランジ部９２Ａと、を有する。そして、複数の突出部４２およびフランジ部９２Ａは、阻止部２０Ａを構成している。ここで、フランジ部９２Ａには、センサー支持部材４の複数の突出部４２に対応して矩形に切り欠いた複数の切り欠き部９４が設けられている。この切り欠き部９４は、突出部４２の周方向での側面に向かい合う面を有する。

このように、フランジ部９２Ａは、突出部４２の少なくとも一部が収納される切り欠き部９４を有する。切り欠き部９４内に突出部４２を収納することで、センサー支持部材４に対するケース９Ａの周方向での姿勢の変化を防止することができる。また、ケース９Ａとセンサー支持部材４とを固定する際に、ケース９Ａとセンサー支持部材４との周方向での位置合わせを行うこともできる。

なお、図７では、突出部４２の数と切り欠き部９４の数とが等しいが、これらの数が異なっていてもよい。また、切り欠き部９４内に収納されない突出部４２が存在したり、突出部４２を収納していない切り欠き部９４が存在したりしてもよい。また、突出部４２および切り欠き部９４の数は、２つ以下または４つ以上であってもよい。また、切り欠き部９４は、図示の形状、大きさ等に限定されない。図示では、複数の切り欠き部９４の形状、大きさ等が互いに等しいが、互いに異なっていてもよい。

以上のような第１発明によっても、前述した参考例と同様、金属製のセンサー支持部材４と非金属製のケース９Ａとを互いに高い信頼性で固定することができる。

＜第２発明＞
図８は、第２発明に係る圧力センサーが備えるセンサー支持部材とケースとの固定状態を模式的に示す縦断面図（軸線ａｘに沿って切断した図）である。以下、図８に示す第２発明について説明するが、前述した参考例と同様の事項については、その説明を省略する。なお、図８において、前述した参考例と同様の構成については、同一符号を付している。

図８に示す圧力センサー１Ｂは、前述した参考例のセンサー支持部材４およびケース９に代えて、センサー支持部材４Ｂおよびケース９Ｂを有する。このケース９Ｂは、ケース本体９１と、ケース本体９１の下側の端部に設けられているフランジ部９２と、フランジ部９２から下側に突出している複数の爪部９５と、を有する。そして、複数の爪部９５およびセンサー支持部材４Ｂの本体部４１は、阻止部２０Ｂを構成している。ここで、爪部９５の先端部は、径方向内側に突出しており、本体部４１の下側の面に接触している。センサー支持部材４Ｂの本体部４１には、下側および径方向外側に開放している凹部４７が設けられており、この凹部４７内に爪部９５の先端部が入り込んでいる。なお、爪部９５の先端部を本体部４１の下側の面に接触させることができれば、凹部４７を省略してもよい。

このように、阻止部２０Ｂは、ケース９Ｂに設けられ、センサー支持部材４Ｂの第１主面４３に接触する爪部９５を有する。このような爪部９５を有するケース９Ｂは、爪部９５を弾性変形させてセンサー支持部材４Ｂに取り付けることができる。そのため、センサー支持部材４Ｂに対するケース９Ｂの取付を簡単化することができる。

以上のような第２発明によっても、前述した参考例と同様、金属製のセンサー支持部材４Ｂと非金属製のケース９Ｂとを互いに高い信頼性で固定することができる。なお、第２発明は、前述した参考例または第１発明と組み合わせてもよい。

以上、本発明の圧力センサーを図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。

１…圧力センサー
１Ａ…圧力センサー
１Ｂ…圧力センサー
２…取付部材
３…ダイアフラム
４…センサー支持部材
４Ｂ…センサー支持部材
５…センサー素子
６…端子
７…封止材
９…ケース
９Ａ…ケース
９Ｂ…ケース
１２…端子
１４…Ｏリング
１５…接着剤
２０…阻止部
２０Ａ…阻止部
２０Ｂ…阻止部
２１…貫通孔
２２…雄ネジ部
２３…頭部
４１…本体部
４２…突出部
４３…第１主面
４４…第２主面
４５…貫通孔
４７…凹部
９１…ケース本体
９２…フランジ部
９２Ａ…フランジ部
９３…凹部
９４…切り欠き部
９５…爪部
１３１…凹部
Ｓ１…第１室
Ｓ２…第２室
ａｘ…軸線

Claims (2)

1. 流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、
   一方側の第１主面と該第１主面に対向する他方側の第２主面とを有し、前記第１主面に前記センサー素子が搭載され、金属材料で構成されたセンサー支持部材と、
   前記センサー素子に電気的に接続され、前記センサー支持部材を前記一方側から前記他方側に貫通した端子と、
   前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うと共に、前記センサー支持部材に取り付けられ、非金属材料で構成されたケースと、
   前記センサー支持部材および前記ケースは、前記センサー支持部材と前記ケースとが互いに離反するのを阻止する阻止部を有し、
   前記阻止部は、
   前記ケースの前記センサー支持部材に接触する側の前記一方側の周縁に径方向外側に突出したフランジ部と、
   前記センサー支持部材の前記センサー素子が搭載された本体部の外周部から径方向外側に突出し、前記フランジ部を固定した少なくとも１つの突出部と、
   を有し、
   前記フランジ部は、前記突出部の一部が収納される切り欠き部を有することを特徴とする圧力センサー。
2. 流体の圧力に応じた信号を出力するセンサー素子と、
   一方側の第１主面と該第１主面に対向する他方側の第２主面とを有し、前記第１主面に前記センサー素子が搭載され、金属材料で構成されたセンサー支持部材と、
   前記センサー素子に電気的に接続され、前記センサー支持部材を前記一方側から前記他方側に貫通した端子と、
   前記センサー支持部材の前記第２主面を覆うと共に、前記センサー支持部材に取り付けられ、非金属材料で構成されたケースと、
   前記センサー支持部材および前記ケースは、前記センサー支持部材と前記ケースとが互いに離反するのを阻止する阻止部を有し、
   前記阻止部は、前記ケースに設けられ、前記センサー支持部材の前記第１主面に接触する爪部を有することを特徴とする圧力センサー。
   

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