JPH03225238A - 圧力検出装置 - Google Patents
圧力検出装置Info
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- JPH03225238A JPH03225238A JP2171890A JP2171890A JPH03225238A JP H03225238 A JPH03225238 A JP H03225238A JP 2171890 A JP2171890 A JP 2171890A JP 2171890 A JP2171890 A JP 2171890A JP H03225238 A JPH03225238 A JP H03225238A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ダイヤフラムでもって被圧力検出流体の圧力
変動をアナログ的（連続的）に検出する圧力検出装置に
関するものである。
変動をアナログ的（連続的）に検出する圧力検出装置に
関するものである。
この種の圧力検出装置は、第１図、第２図を参照して説
明すると、ケーシング１内に、ダイヤフラムＤで区画さ
れた圧力検出室３を形成し、この圧力検出室３の一方３
ａに被圧力検出流体ａを導人するとともに、他方３ｂに
前記ダイヤフラムＤの撓み量を連続的に検出するセンサ
ー４を設けたものが一般的である。
明すると、ケーシング１内に、ダイヤフラムＤで区画さ
れた圧力検出室３を形成し、この圧力検出室３の一方３
ａに被圧力検出流体ａを導人するとともに、他方３ｂに
前記ダイヤフラムＤの撓み量を連続的に検出するセンサ
ー４を設けたものが一般的である。
この圧力検出装置において、検出精度を高めるためには
、ダイヤフラムＤの撓み特性が圧力変化に対して比例的
であることが重要な要素である。
、ダイヤフラムＤの撓み特性が圧力変化に対して比例的
であることが重要な要素である。
ところで、本発明者等は、実願平１−１８７１８号、実
１０Ｊ１平１−１８７１９号において、第７図に示すよ
うに、素材板中心円形１０の周りに、その周方向均等分
位の少なくとも２点からスタートした渦巻き波紋Ｐを呈
する波形断面のダイヤフラムＤを備えた圧力検出器を提
案した。この提案のダイヤフラムＤは、波紋Ｐが渦巻き
状であることから、周囲の剛性が均一化され、撓み作用
時、応力の片寄りがなく周方向に均等に撓む。すなわち
、上記撓み特性においである程度満足いけるものであっ
た。
１０Ｊ１平１−１８７１９号において、第７図に示すよ
うに、素材板中心円形１０の周りに、その周方向均等分
位の少なくとも２点からスタートした渦巻き波紋Ｐを呈
する波形断面のダイヤフラムＤを備えた圧力検出器を提
案した。この提案のダイヤフラムＤは、波紋Ｐが渦巻き
状であることから、周囲の剛性が均一化され、撓み作用
時、応力の片寄りがなく周方向に均等に撓む。すなわち
、上記撓み特性においである程度満足いけるものであっ
た。
しかしながら、ユーザからは、もつと微圧で大きい変位
を得るもの、すなわち、圧力−変位曲線の勾配が大きい
ものを要求された。
を得るもの、すなわち、圧力−変位曲線の勾配が大きい
ものを要求された。
この要求に応えるべく、本願発明者等は、圧力変位曲線
の勾配を大きくするには、ダイヤフラムＤの全体の剛性
を低下させることにあると考えた。このため、まず、−
筋の渦巻き波紋Ｐの全長が長くなればなるほど、剛性が
低下することを知見した。
の勾配を大きくするには、ダイヤフラムＤの全体の剛性
を低下させることにあると考えた。このため、まず、−
筋の渦巻き波紋Ｐの全長が長くなればなるほど、剛性が
低下することを知見した。
また、渦巻き波紋Ｐを、中心円形１０の周り均等分位の
少なくとも２点からスタートさせたのは、ダイヤフラム
Ｄの撓み時、その中心軸が傾くのを避けるためであった
。しかし、渦巻き波紋Ｐが一筋でも、その周廻数が増せ
ば、中心軸の傾きが生しない（無視できる程度しか傾か
ない）ことを知見した。
少なくとも２点からスタートさせたのは、ダイヤフラム
Ｄの撓み時、その中心軸が傾くのを避けるためであった
。しかし、渦巻き波紋Ｐが一筋でも、その周廻数が増せ
ば、中心軸の傾きが生しない（無視できる程度しか傾か
ない）ことを知見した。
本発明は、以上の点に留意し、前記渦巻き波紋のダイヤ
フラムの圧力−変位曲線の勾配を大きくすることを課題
とする。
フラムの圧力−変位曲線の勾配を大きくすることを課題
とする。
上記課題を解決するため、本発明にあっては、上記知見
に基づき、前述の圧力検出装置において、そのダイヤフ
ラムの渦巻き波紋の周廻数を３回以上としたのである。
に基づき、前述の圧力検出装置において、そのダイヤフ
ラムの渦巻き波紋の周廻数を３回以上としたのである。
渦巻き波紋は一条でもよく、また複数条の場合には、そ
の各起点は中心円形周り均等分位とする。
の各起点は中心円形周り均等分位とする。
上記素材板中心円形の周りに隣接して同心円形波紋を形
成すると共に、この同心円形波紋と同心でかつ所定間隔
をあけて外側円形波紋を形成し、この両円形波紋間に上
記渦巻き波紋を形成したものとすることもできる。
成すると共に、この同心円形波紋と同心でかつ所定間隔
をあけて外側円形波紋を形成し、この両円形波紋間に上
記渦巻き波紋を形成したものとすることもできる。
上記渦巻き波紋の周廻数を３周以上とすると、ダイヤフ
ラムの撓み時、その中心軸の傾きがなくなり、好ましく
は５周以上とする。
ラムの撓み時、その中心軸の傾きがなくなり、好ましく
は５周以上とする。
このように構成される圧力検出装置は、そのダイヤフラ
ム表面に押圧力、例えば圧縮空気圧等が加わると、その
押圧力による撓みが渦巻き波紋を介して全域に伝達され
、発生する応力に片寄りがなく、中心軸が傾くことなく
周方向に均等に撓む。
ム表面に押圧力、例えば圧縮空気圧等が加わると、その
押圧力による撓みが渦巻き波紋を介して全域に伝達され
、発生する応力に片寄りがなく、中心軸が傾くことなく
周方向に均等に撓む。
この撓み時、渦巻き波紋の全長が長くなっているため、
従来のものに比べ、剛性も低く、すなわち、撓み度合も
大きい、よって、圧力−変位曲線の勾配は大きいものと
なる。
従来のものに比べ、剛性も低く、すなわち、撓み度合も
大きい、よって、圧力−変位曲線の勾配は大きいものと
なる。
また、同心円形波紋及び外側円形波紋を設ければ、波紋
のプレス成形時、中心部に生しる盛り上り状の歪は同心
円形波紋に吸収分散され、外周囲に生しる皺状の歪は外
側円形波紋に吸収分散される。この吸収分散は、渦巻き
波紋の始終端を両回形波紋に合流させれば、より効果が
増す。
のプレス成形時、中心部に生しる盛り上り状の歪は同心
円形波紋に吸収分散され、外周囲に生しる皺状の歪は外
側円形波紋に吸収分散される。この吸収分散は、渦巻き
波紋の始終端を両回形波紋に合流させれば、より効果が
増す。
第１図、第２図に示すように、ケーシング１は、３部材
１ａ、１ｂ、１Ｃとから成り、部材１ａ、１ｂ間に圧力
検出室３が形成されている。両部材１ａ、１ｂ間にはダ
イヤフラムＤがバンキング２を介して介設されており、
このダイヤフラムＤにより圧力検出室３が２室３ａ、３
ｂに区画されている。一方の検出室３ａには、圧力導入
口５から被圧力検出流体ａが導びかれ、この圧力変化に
基づきダイヤフラムＤが撓む。両部材１ａ、１ｂの接合
面全周は、シーリング６により密封化されている。
１ａ、１ｂ、１Ｃとから成り、部材１ａ、１ｂ間に圧力
検出室３が形成されている。両部材１ａ、１ｂ間にはダ
イヤフラムＤがバンキング２を介して介設されており、
このダイヤフラムＤにより圧力検出室３が２室３ａ、３
ｂに区画されている。一方の検出室３ａには、圧力導入
口５から被圧力検出流体ａが導びかれ、この圧力変化に
基づきダイヤフラムＤが撓む。両部材１ａ、１ｂの接合
面全周は、シーリング６により密封化されている。
ケーシング１のもう１つの部材１Ｃは、ビス７により部
材１ｂに固着され、この部材１ｃ内にセンサー４が構成
されている。センサー４は、差動トランス４ａ、その鉄
心移動用レバー４ｂ、作動ラム４０等から成る。作動ラ
ム４ｃは部材１ｂを貫通して、その上端がダイヤフラム
Ｄに擾乱可能となっており、下端がレバー４ｂに当接し
ている。
材１ｂに固着され、この部材１ｃ内にセンサー４が構成
されている。センサー４は、差動トランス４ａ、その鉄
心移動用レバー４ｂ、作動ラム４０等から成る。作動ラ
ム４ｃは部材１ｂを貫通して、その上端がダイヤフラム
Ｄに擾乱可能となっており、下端がレバー４ｂに当接し
ている。
レバー４ｂは、支杆４ｄにより揺動自在に支持されてお
り、その下面に部材１ｃをねし通した作動圧力調整子８
がばね９を介して当接している。この調整子８のねし込
み量を調整することにより、レバー４ｂ及び作動ラム４
ｃの位置が決定され、このｉｌｌ 整によって、後述の
ダイヤフラムＤの撓み時、その撓み状態が直線状となっ
た状態で、ダイヤフラムＤが作動ラム４ｃを押して差動
トランス４ａの鉄心を動かすようにする。このとき、検
出値にはばね９の弾性力を考慮して補償する。
り、その下面に部材１ｃをねし通した作動圧力調整子８
がばね９を介して当接している。この調整子８のねし込
み量を調整することにより、レバー４ｂ及び作動ラム４
ｃの位置が決定され、このｉｌｌ 整によって、後述の
ダイヤフラムＤの撓み時、その撓み状態が直線状となっ
た状態で、ダイヤフラムＤが作動ラム４ｃを押して差動
トランス４ａの鉄心を動かすようにする。このとき、検
出値にはばね９の弾性力を考慮して補償する。
つぎに、ダイヤフラムＤについて説明する。
このダイヤフラムＤは、渦巻き波紋Ｐを中心円形１０の
周囲の一点から渦巻き波紋Ｐを１２周廻余り形成したも
のであり、厚さ： ０．０１５鰭のステンレス箔、３
４ｗｍφのフープを、プレス加工して仕上がり外径で２
５．４ｍ鵡φであった。
周囲の一点から渦巻き波紋Ｐを１２周廻余り形成したも
のであり、厚さ： ０．０１５鰭のステンレス箔、３
４ｗｍφのフープを、プレス加工して仕上がり外径で２
５．４ｍ鵡φであった。
このものを第３図、第４図に示し、同図において、渦巻
き波紋Ｐのビフチｄ−０，５９８ｍｍ、中心円形１０の
径Ｓ＝５．０１、波紋Ｐの最外径＝２０．２鰭、谷部及
び山部の曲率ｒ −９，３ａ■、波紋Ｐの高さｔ−０，
０８ｗｍ、外周と中心との高低差Ｔ＝１．２■曹、波紋
Ｐ部分の曲率Ｒ＝１００ｍｍとした（なお、第３図、第
４図は波が省略しである）。
き波紋Ｐのビフチｄ−０，５９８ｍｍ、中心円形１０の
径Ｓ＝５．０１、波紋Ｐの最外径＝２０．２鰭、谷部及
び山部の曲率ｒ −９，３ａ■、波紋Ｐの高さｔ−０，
０８ｗｍ、外周と中心との高低差Ｔ＝１．２■曹、波紋
Ｐ部分の曲率Ｒ＝１００ｍｍとした（なお、第３図、第
４図は波が省略しである）。
一方、比較例として、第７図に示した渦巻き波紋Ｐを中
心円形１０の３等分位から形成し、その周廻数を１回余
りとしたものも製作した。このとき、ｄ、Ｓ、ｒ、ｔ、
’ｒ、Ｒ等は全て同じとした。
心円形１０の３等分位から形成し、その周廻数を１回余
りとしたものも製作した。このとき、ｄ、Ｓ、ｒ、ｔ、
’ｒ、Ｒ等は全て同じとした。
このようにして製作した実施例および比較例のダイヤフ
ラムＤを第１図及び第２図のごとくケソング１にセット
し、検出室３ａに被圧力検出流体ａを導びいた際の圧力
−変位結果を第５図に示す。図中、実線が実施例、鎖線
が比較例を示す。
ラムＤを第１図及び第２図のごとくケソング１にセット
し、検出室３ａに被圧力検出流体ａを導びいた際の圧力
−変位結果を第５図に示す。図中、実線が実施例、鎖線
が比較例を示す。
この結果から、実施例のものが比較例に比べ、その勾配
が急（大）となっていることが理解できる。すなわち、
実施例は、比較例に比べ微圧で大きい変位を得ることが
できる。なお、両側において、中心軸の傾きは生じなか
った。
が急（大）となっていることが理解できる。すなわち、
実施例は、比較例に比べ微圧で大きい変位を得ることが
できる。なお、両側において、中心軸の傾きは生じなか
った。
上記実施例において、第６同に示すように、中心円形１
０の周りに隣接して同心円形波紋ＰＩを形成するととも
に、この同心円形波紋Ｐ、と同心でかつ所定間陥をあけ
て外側円形波紋Ｐ２を形成し、両円形波紋ｐ、 、Ｐｉ
間に渦巻き波紋Ｐ３を前記実施例と同−周廻り形成した
ものを製作したところ、同様な効果を得た。このものの
場合、内側の円形波紋Ｐ、を省略することもできる。
０の周りに隣接して同心円形波紋ＰＩを形成するととも
に、この同心円形波紋Ｐ、と同心でかつ所定間陥をあけ
て外側円形波紋Ｐ２を形成し、両円形波紋ｐ、 、Ｐｉ
間に渦巻き波紋Ｐ３を前記実施例と同−周廻り形成した
ものを製作したところ、同様な効果を得た。このものの
場合、内側の円形波紋Ｐ、を省略することもできる。
また、第７図のものにおいて、各渦巻き波紋Ｐを３周廻
り以上させたものも同様な効果を得た。
り以上させたものも同様な効果を得た。
このものにおいて、前記外側円形波紋Ｐ！を形成し、そ
の波紋ＰＲに各渦巻き波紋Ｐを合流した構成とすること
もできる。
の波紋ＰＲに各渦巻き波紋Ｐを合流した構成とすること
もできる。
なお、上記渦巻き波紋Ｐ、Ｐｇの傾斜度、すなわち、第
４図における傾斜高さｈと径方向の長さｌの比（ｈ／＃
）を１１５以下とするとよい。好ましくは１／６以下と
する。１１５以上となると、プレス成形の際、現在の技
術では、その成形圧が、外向きの斜面と内向きの斜面と
で大きく異なって製造が不可能となるからである。
４図における傾斜高さｈと径方向の長さｌの比（ｈ／＃
）を１１５以下とするとよい。好ましくは１／６以下と
する。１１５以上となると、プレス成形の際、現在の技
術では、その成形圧が、外向きの斜面と内向きの斜面と
で大きく異なって製造が不可能となるからである。
本発明は、以上のように構成したので、従来のものに比
べ微圧で大きい変位（撓み）を得ることができる。
べ微圧で大きい変位（撓み）を得ることができる。
また、ダイヤフラムＤの渦巻き波紋を一条とすれば、複
数条形成するのに比べれば、その製作も容易である。
数条形成するのに比べれば、その製作も容易である。
第１図、第２図は、本発明に係る圧力検出装置の一実施
例の切断正面図、切断側面図、第３図は第１図のダイヤ
フラムの一例の概略正面図、第４図は第３図の概略断面
図、第５図は圧カー変位測定回１．第６図はダイヤフラ
ムＤの他側の概略正面図、第７図はダイヤフラムＤの従
来例の概略正面図である。 Ｄ・・・・・・ダイヤフラム、 Ｐ−Ｐ＋ 、Ｐｔ 、Ｐｉ・・・・・・波紋、Ｒ・・・
・・・ダイヤフラム曲率、 ｒ・・・・・・谷部及び山部曲率、 １・・・・・・ケーシング、 ３．３ａ、３ｂ・・・・・・圧力検出室、４・・・・・
・センサー １０・・・・・・中心円形。
例の切断正面図、切断側面図、第３図は第１図のダイヤ
フラムの一例の概略正面図、第４図は第３図の概略断面
図、第５図は圧カー変位測定回１．第６図はダイヤフラ
ムＤの他側の概略正面図、第７図はダイヤフラムＤの従
来例の概略正面図である。 Ｄ・・・・・・ダイヤフラム、 Ｐ−Ｐ＋ 、Ｐｔ 、Ｐｉ・・・・・・波紋、Ｒ・・・
・・・ダイヤフラム曲率、 ｒ・・・・・・谷部及び山部曲率、 １・・・・・・ケーシング、 ３．３ａ、３ｂ・・・・・・圧力検出室、４・・・・・
・センサー １０・・・・・・中心円形。
Claims (5)
- （１）ケーシング１内に、ダイヤフラムＤで区画された
圧力検出室３を形成し、この圧力検出室３の一方３ａに
被圧力検出流体ａを導入するとともに、他方３ｂに前記
ダイヤフラムＤの撓み量を連続的に検出するセンサー４
を設けた圧力検出装置において、前記ダイヤフラムＤを
、素材板中心円形１０の周りに、その周り任意の点から
渦巻き波紋Ｐを呈する波形断面とし、その渦巻き波紋Ｐ
は少なくとも３周廻り形成して成ることを特徴とする圧
力検出装置。 - （２）上記渦巻き波紋Ｐを一条として成ることを特徴と
する請求項（１）記載の圧力検出装置。 - （３）上記渦巻き波紋Ｐを複数条とし、その各渦巻き波
紋Ｐの起点を上記中心円形１０の周り均等分位としたこ
とを特徴とする請求項（１）記載の圧力検出装置。 - （４）上記素材板中心円形１０の周りに隣接して同心円
形波紋Ｐ＿１を形成すると共に、この同心円形波紋Ｐ＿
１と同心でかつ所定間隔をあけて外側円形波紋Ｐ＿２を
形成し、両円形波紋Ｐ＿１、Ｐ＿２間に、上記渦巻き波
紋Ｐ＿３を形成したことを特徴とする請求項（１）乃至
（３）のいずれか１つに記載の圧力検出装置。 - （５）上記渦巻き波紋の始終端を、上記中心円形波紋Ｐ
＿１又は外側円形波紋Ｐ＿２に合流したことを特徴とす
る請求項（４）記載の圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2171890A JPH03225238A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2171890A JPH03225238A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 圧力検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03225238A true JPH03225238A (ja) | 1991-10-04 |
Family
ID=12062861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2171890A Pending JPH03225238A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | 圧力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03225238A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005308397A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
| KR20130025804A (ko) * | 2011-09-02 | 2013-03-12 | 가부시기가이샤 후지고오키 | 압력 센서 |
| CN102980713A (zh) * | 2011-09-02 | 2013-03-20 | 株式会社不二工机 | 压力传感器 |
| CN112595476A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-04-02 | 中国航发四川燃气涡轮研究院 | 一种航空发动机真空膜盒组件刚度的测量方法及装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227141A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-11-12 | シュランベルジュ、インダストリーズ、ソシエテ、アノニム | 圧力センサ用波形膜 |
-
1990
- 1990-01-30 JP JP2171890A patent/JPH03225238A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227141A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-11-12 | シュランベルジュ、インダストリーズ、ソシエテ、アノニム | 圧力センサ用波形膜 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005308397A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサ |
| KR20130025804A (ko) * | 2011-09-02 | 2013-03-12 | 가부시기가이샤 후지고오키 | 압력 센서 |
| CN102980713A (zh) * | 2011-09-02 | 2013-03-20 | 株式会社不二工机 | 压力传感器 |
| JP2013064728A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-04-11 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
| CN112595476A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-04-02 | 中国航发四川燃气涡轮研究院 | 一种航空发动机真空膜盒组件刚度的测量方法及装置 |
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