JPS60227141A - 圧力センサ用波形膜 - Google Patents
圧力センサ用波形膜Info
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- JPS60227141A JPS60227141A JP60000737A JP73785A JPS60227141A JP S60227141 A JPS60227141 A JP S60227141A JP 60000737 A JP60000737 A JP 60000737A JP 73785 A JP73785 A JP 73785A JP S60227141 A JPS60227141 A JP S60227141A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J3/00—Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
- F16J3/02—Diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
- G01L9/0044—Constructional details of non-semiconductive diaphragms
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は圧力センナ用波形膜に関するものである。
さらに詳しく述べれば、本発明は、圧力センサ、特に差
圧センサにおいて検知手段として使用される波形の膜に
関するものである。
圧センサにおいて検知手段として使用される波形の膜に
関するものである。
圧力センサ用膜は、多くの場合、非常に薄いたとえばI
ミリメートルのオーダの金属ディスク状0 をなし、その外周部がたとえばセンサの本体中に嵌入さ
れる。そして、この検知膜の両側に加えられる圧力の差
の作用で膜が変形し、この変形による膜中心部の移動量
を計測する。さらに、この移動量の測定値から差圧値を
誘導することができるようになりている。
ミリメートルのオーダの金属ディスク状0 をなし、その外周部がたとえばセンサの本体中に嵌入さ
れる。そして、この検知膜の両側に加えられる圧力の差
の作用で膜が変形し、この変形による膜中心部の移動量
を計測する。さらに、この移動量の測定値から差圧値を
誘導することができるようになりている。
これらの膜は休止時に平面のディスクからなり。
きわめてすぐれた可撓性を示す。そのほか、この種の膜
の中心部の休止時の位置(すなわち膜の両側の圧力が等
しい場合の位置)は、比較的温度の変化、静圧の変化(
膜の両面に同一圧が加えられる)または膜の外周部に対
するセンサ本体の締付は応力の変化に対して比較的不感
である。しかしながら、加えられる差圧の関数としての
膜中心部の移動を示すグラフの直線部分は、狭い移動量
しかない。
の中心部の休止時の位置(すなわち膜の両側の圧力が等
しい場合の位置)は、比較的温度の変化、静圧の変化(
膜の両面に同一圧が加えられる)または膜の外周部に対
するセンサ本体の締付は応力の変化に対して比較的不感
である。しかしながら、加えられる差圧の関数としての
膜中心部の移動を示すグラフの直線部分は、狭い移動量
しかない。
検知膜のこのような応答欠陥を修正するため、波形の膜
を使用することは公知である。たとえばフランス特許第
2,011..111号にこのような膜が記載されてい
る。すなわち、検知膜の中心から複数の同心円波形を備
え、外周部から中心点まで交互に”波頭6と6波谷6を
示すように、膜材料の薄板をたとえば絞り加工によ−て
加工する。この膜は、その平均面に対する垂直軸線回り
の回転体からなる。これらの波形の故に、この膜は、は
るかに広い中心点移動間において略直線的な移動。
を使用することは公知である。たとえばフランス特許第
2,011..111号にこのような膜が記載されてい
る。すなわち、検知膜の中心から複数の同心円波形を備
え、外周部から中心点まで交互に”波頭6と6波谷6を
示すように、膜材料の薄板をたとえば絞り加工によ−て
加工する。この膜は、その平均面に対する垂直軸線回り
の回転体からなる。これらの波形の故に、この膜は、は
るかに広い中心点移動間において略直線的な移動。
差圧応答を示す。
しかしながら、従来公知の同心形回転波形膜は。
温度の変化、静圧の変化、およびセンサ本体中の膜外周
部の締付度の変化に対して非常に敏感であるという欠点
がある。このような寄生的影響は、特に、センサのゼロ
点(膜に加えられる差圧がゼロである場合の膜中心部の
位置)およびセンサの感度に対して作用する。
部の締付度の変化に対して非常に敏感であるという欠点
がある。このような寄生的影響は、特に、センサのゼロ
点(膜に加えられる差圧がゼロである場合の膜中心部の
位置)およびセンサの感度に対して作用する。
実際に、温度または膜を嵌入するための締付応力の変化
する場合、または静圧による変形の場合。
する場合、または静圧による変形の場合。
本体の相対的変形によって(たとえばセンサ本体と膜と
の間の熱膨張差によ−て)、膜の外周部の半径が変動さ
れる。
の間の熱膨張差によ−て)、膜の外周部の半径が変動さ
れる。
このような半径の変動は、膜が平面であってもあるいは
中心軸線回シに回転波形を有していても、膜の感度の変
動を生じる。また、膜が平面であってその嵌入面の両側
に完全な対称性を有する場合以外には、前記のような半
径の変動が膜の中心位置の変動を生じる。
中心軸線回シに回転波形を有していても、膜の感度の変
動を生じる。また、膜が平面であってその嵌入面の両側
に完全な対称性を有する場合以外には、前記のような半
径の変動が膜の中心位置の変動を生じる。
平面膜の場合、半径変動作用を受けても膜の中心は不動
である。なぜかならば、半径変動作用から生じる放射方
向の応力は膜の対称面の中にあるからである。これに反
して回転波形膜の場合、嵌入面は対称面ではなく、放射
方向応力作用で膜の中心が移動する。この場合に生じる
センサのゼロ点の変動は若干の用途にと−てきわめて有
害である。
である。なぜかならば、半径変動作用から生じる放射方
向の応力は膜の対称面の中にあるからである。これに反
して回転波形膜の場合、嵌入面は対称面ではなく、放射
方向応力作用で膜の中心が移動する。この場合に生じる
センサのゼロ点の変動は若干の用途にと−てきわめて有
害である。
従来の波形膜のこのよ5な欠点を修正するため、本発明
の主目的は1回転波形膜の利点、すなわち広い中心点移
動範囲における直線的応答を示しつつ、温度の変化、静
圧の変化およびその外周部の締付応力の変化に対して敏
感なゼロ点を有しない波形膜を提供するにある。
の主目的は1回転波形膜の利点、すなわち広い中心点移
動範囲における直線的応答を示しつつ、温度の変化、静
圧の変化およびその外周部の締付応力の変化に対して敏
感なゼロ点を有しない波形膜を提供するにある。
この目的を達成するため、本発明による膜は薄い金属膜
によって構成され、嵌入面中に配置された平面外周部と
、前記嵌入面の中に配置された平行な平面中心部と、前
記外周部と中心部との間に配置された波形部とを含み、
前記波形部は21(ユは整数)の波形部分から成り・、
各波形部分は前記中心部から前記外周部まで延在し、n
波形部分は第1型であり、他のn波形部分は第1型であ
り、第1型の各波形部分は隣接の第1型の波形部分から
幾何学的変換によ−て得られ、この幾何学的変換は、前
記嵌入面に配置され前記中心部から前記外周部に達する
線分回りのiro ’の回転からなる第1変換と、前記
嵌入面に対して垂直に前記中心点を通る前記波形膜の軸
線回りに、前記嵌入膜に対して対称的に、λπ/、2旦
の角度をもって回転させる第コ変換とからなるグループ
のうちから選ばれる。
によって構成され、嵌入面中に配置された平面外周部と
、前記嵌入面の中に配置された平行な平面中心部と、前
記外周部と中心部との間に配置された波形部とを含み、
前記波形部は21(ユは整数)の波形部分から成り・、
各波形部分は前記中心部から前記外周部まで延在し、n
波形部分は第1型であり、他のn波形部分は第1型であ
り、第1型の各波形部分は隣接の第1型の波形部分から
幾何学的変換によ−て得られ、この幾何学的変換は、前
記嵌入面に配置され前記中心部から前記外周部に達する
線分回りのiro ’の回転からなる第1変換と、前記
嵌入面に対して垂直に前記中心点を通る前記波形膜の軸
線回りに、前記嵌入膜に対して対称的に、λπ/、2旦
の角度をもって回転させる第コ変換とからなるグループ
のうちから選ばれる。
このようにして、第1型のn波形部分と第2型のa波形
部分とを含む波形膜が得られる。また、これら2つの型
の波形部分の間に存在する幾何学的関係を考慮に入れれ
ば、波形膜の嵌入面は同時に、先に述べた寄生的現象に
よって生じる半径変動による放射方向応力に対抗する波
形膜の機能的対称面を成す。
部分とを含む波形膜が得られる。また、これら2つの型
の波形部分の間に存在する幾何学的関係を考慮に入れれ
ば、波形膜の嵌入面は同時に、先に述べた寄生的現象に
よって生じる半径変動による放射方向応力に対抗する波
形膜の機能的対称面を成す。
本発明の第7実施態様によれば、前記嵌入面に配置され
て前記中心部から前記外周部に達する屈曲部の両側に配
置された連結部によ−て、隣接のl波形部分が相互に分
離され、前記の第1変換が実施されるときに前記の屈曲
部が前記の線分を成す。
て前記中心部から前記外周部に達する屈曲部の両側に配
置された連結部によ−て、隣接のl波形部分が相互に分
離され、前記の第1変換が実施されるときに前記の屈曲
部が前記の線分を成す。
好ましくは孔は偶数である。故に、頂点が相互に対向し
たλつの波形部分は同一型である。すなわち、同形であ
る。このような対称性の故に、中心部全体が移動中にも
膜の対称軸線に対して垂直に留まる。
たλつの波形部分は同一型である。すなわち、同形であ
る。このような対称性の故に、中心部全体が移動中にも
膜の対称軸線に対して垂直に留まる。
また好ましくは、各波形の稜部は同心円に沿−で嵌入面
から直角に突出し、また屈曲部は前記同心円の共通中心
を通る直線の線分である。
から直角に突出し、また屈曲部は前記同心円の共通中心
を通る直線の線分である。
本発明の第2実施態様によれば、各波形部分が隣接の波
形部分から前記の第2変換によ−て得られ、各波形部分
は中心部から外周部に達する単一の波形から成り、前記
波形の稜部は、前記中心部から前記外周部に達する螺旋
形の屈曲部に沿−で前記浪人面上に突出する。
形部分から前記の第2変換によ−て得られ、各波形部分
は中心部から外周部に達する単一の波形から成り、前記
波形の稜部は、前記中心部から前記外周部に達する螺旋
形の屈曲部に沿−で前記浪人面上に突出する。
以下、本発明を図面に示す実施例について詳細に説明す
る。
る。
まず第1図ないし第μ図について述べれば、本発明によ
る波形膜の第1実雁態様が見られる。
る波形膜の第1実雁態様が見られる。
第1図はこの波形膜の平面図である。この膜は中心点0
のディスク10の全体形状を示す。このディスクはたと
えばステンレス鋼の薄層から成り、この薄層の厚さは前
記の実施態様によれば//10ミリメートルである。こ
の薄層は、その外周から中心点Oに至るまで、外周平面
部/コ、波形部/lAおよび点0を中心とする同じく平
面の円形中心部/乙とを画成するように、たとえば絞り
加工される。
のディスク10の全体形状を示す。このディスクはたと
えばステンレス鋼の薄層から成り、この薄層の厚さは前
記の実施態様によれば//10ミリメートルである。こ
の薄層は、その外周から中心点Oに至るまで、外周平面
部/コ、波形部/lAおよび点0を中心とする同じく平
面の円形中心部/乙とを画成するように、たとえば絞り
加工される。
外周部/2は、嵌入面と呼ばれる面P(第2図)の中に
配置されている。中心部/Aもまた平面であって、この
面Pの中に配置されている。
配置されている。中心部/Aもまた平面であって、この
面Pの中に配置されている。
波形部lμは2n−の波形からなる。ユは整数である。
好ましくは旦はn = 、2 kとし、Kは整数である
。第1図においては、にはlであり、l波形部が7g1
〜/1lr4で表示されている。これらの波形部/ざ1
〜lざ4は相互にグ連結部201〜コo4によって分離
されている。中心部/Aから外周部/jに達し、また嵌
入面Pの中に配置された屈曲部の両側に各連結部が配置
されている。一般に1.2ユの連結部がある。第1図の
場合、屈曲部は、ディスク10の中心点0を通る直線の
線分R1〜R11である。連結部、201は線分R1に
沿って配置され、連結部202は線分R2に治って配置
され、以下同様である。隣接の2線分は相互に20°の
角度を成し、あるいは一般的に600 2n−の角度を成す。より詳細な連結部の説明は下記に
おいて第μ図〜第7図について説明する。
。第1図においては、にはlであり、l波形部が7g1
〜/1lr4で表示されている。これらの波形部/ざ1
〜lざ4は相互にグ連結部201〜コo4によって分離
されている。中心部/Aから外周部/jに達し、また嵌
入面Pの中に配置された屈曲部の両側に各連結部が配置
されている。一般に1.2ユの連結部がある。第1図の
場合、屈曲部は、ディスク10の中心点0を通る直線の
線分R1〜R11である。連結部、201は線分R1に
沿って配置され、連結部202は線分R2に治って配置
され、以下同様である。隣接の2線分は相互に20°の
角度を成し、あるいは一般的に600 2n−の角度を成す。より詳細な連結部の説明は下記に
おいて第μ図〜第7図について説明する。
各波形部/g1〜/ざ4において、波形膜の上から見て
、第1図で実線で示された波頭Bと、同図に点線で示さ
れた波谷Cとが交代した波形が見られる。
、第1図で実線で示された波頭Bと、同図に点線で示さ
れた波谷Cとが交代した波形が見られる。
各波形部はQ波形を有する。この実施例において、Qは
7つである。波頭と波谷は面Pから、点0を中心とする
Q個の円周D1〜D7から直角に突出している。第2図
と第3図において、これらの同心円と切面との交点を示
した。故に≠個の各波形部分の第j列の波形は同一円周
D11から突出している。
7つである。波頭と波谷は面Pから、点0を中心とする
Q個の円周D1〜D7から直角に突出している。第2図
と第3図において、これらの同心円と切面との交点を示
した。故に≠個の各波形部分の第j列の波形は同一円周
D11から突出している。
第1実施態様によれば、隣接するl波形部の同一周面か
ら突出した波形はそれぞれ波頭Bと波谷Cを成す。たと
えば、波形部lざ1の第グ列の波形は波頭Bであるが、
波形部ig、、の同一列の波形は波谷Cである。これは
第2図に見られる。これに対して、第3図に見られるよ
うに、対向波形部/&lとig5に属する同一列の波形
は共に波頭Bまたは波谷Cである。また、同一円周から
突出した波形はすべて同一長さの円弧に治って突出して
いる。
ら突出した波形はそれぞれ波頭Bと波谷Cを成す。たと
えば、波形部lざ1の第グ列の波形は波頭Bであるが、
波形部ig、、の同一列の波形は波谷Cである。これは
第2図に見られる。これに対して、第3図に見られるよ
うに、対向波形部/&lとig5に属する同一列の波形
は共に波頭Bまたは波谷Cである。また、同一円周から
突出した波形はすべて同一長さの円弧に治って突出して
いる。
故に同一円周から突出した波形を見るならば、同一長さ
の波頭と波谷とが見られる。
の波頭と波谷とが見られる。
第1図ないし第μ図の実施例において、すべての波形は
同−深さ!を有する。波頭と波頭の距離はOJmに等し
い。もちろん公知のように、中心部に近い波形が外周部
処近い波形よシも浅い深さを有することができょう。し
かしこの場合にも。
同−深さ!を有する。波頭と波頭の距離はOJmに等し
い。もちろん公知のように、中心部に近い波形が外周部
処近い波形よシも浅い深さを有することができょう。し
かしこの場合にも。
同一円周から突出した波形(波頭と波谷)は同−深さを
示す。
示す。
さらに一般的に述べれば、第1実施態様によれば、波形
膜は第1形の、すべて同形の旦波形部分と、第2型の、
すべて同形の旦波形部分とを含む。
膜は第1形の、すべて同形の旦波形部分と、第2型の、
すべて同形の旦波形部分とを含む。
第1型の波形部分は、第2型の隣接波形部を、嵌入面P
に関して対称的に、中心0回りにコπ/コn回転させる
ことによって得られる。
に関して対称的に、中心0回りにコπ/コn回転させる
ことによって得られる。
第μ図は連結部の第1実施態様を示す。たとえば、連結
部201をとってみる。この連結部は、同一円周D1〜
D7から突出した波頭Bと波谷Cとの間の7移行部(、
zxlなど)の組合せから成る。第≠図に示す円筒形断
面において、波頭Bの稜部、26、波谷の稜部3、およ
びこれらの波頭と波谷の連結面30の断面が見られる。
部201をとってみる。この連結部は、同一円周D1〜
D7から突出した波頭Bと波谷Cとの間の7移行部(、
zxlなど)の組合せから成る。第≠図に示す円筒形断
面において、波頭Bの稜部、26、波谷の稜部3、およ
びこれらの波頭と波谷の連結面30の断面が見られる。
この場合、波頭と波谷との直接的連結が見られる。
前記の波形膜は30vaの外径と、110mmの円周D
7の径と、/コ關の円周D1の径とを有し、この波形膜
について実施されたテストは下記の結果を示した。
7の径と、/コ關の円周D1の径とを有し、この波形膜
について実施されたテストは下記の結果を示した。
100℃の温度変動に対して零点誤差はo、s4以下、
IOθバールの静圧の変動に対してはo、i4以下であ
る。もし正確に同一の特性を有するが従来の波形を有す
る波形膜、すなわち回転型波形膜を考えれば、前記の数
はそれぞれio倍およびj倍となる。
IOθバールの静圧の変動に対してはo、i4以下であ
る。もし正確に同一の特性を有するが従来の波形を有す
る波形膜、すなわち回転型波形膜を考えれば、前記の数
はそれぞれio倍およびj倍となる。
第5図の実施態様によれば、波頭Bの稜部コtと波谷C
の稜部Uとの連結は平面部によりて行われ、その断面を
3−で示す。これらの平面部3.2は波形膜の平均面P
の中に配置されている。この平面部32全体が、線分R
1に沿って配置された連結区域J1を成している。
の稜部Uとの連結は平面部によりて行われ、その断面を
3−で示す。これらの平面部3.2は波形膜の平均面P
の中に配置されている。この平面部32全体が、線分R
1に沿って配置された連結区域J1を成している。
第2図は連結部、2(71〜xo11の変更態様を示し
、これらの連結部は前記と同様に線分R1〜RIIに沿
−て配置されている。この実施態様によれば、2波形部
の中心点Oから最も離れた波頭、すなわち円周D7から
突出した波頭が、他の2波形部分の中心点から最も離れ
た波頭、すなわち円周D6上に突出した波頭に接続され
ている。第6図に図示の実施態様においては、2波頭S
Oと32がそれぞれ波形部/71と715に属し、他の
一波頭34tとStはそれぞれ波形部lざ2と/ざ4に
属している。これらの波頭間の連結は、それぞれ線分R
1〜R1Iを斜めに切断した0波頭部分”3g、 10
.4.2.61IKよって実施される。他の同心円から
突出した波頭についても同様である。
、これらの連結部は前記と同様に線分R1〜RIIに沿
−て配置されている。この実施態様によれば、2波形部
の中心点Oから最も離れた波頭、すなわち円周D7から
突出した波頭が、他の2波形部分の中心点から最も離れ
た波頭、すなわち円周D6上に突出した波頭に接続され
ている。第6図に図示の実施態様においては、2波頭S
Oと32がそれぞれ波形部/71と715に属し、他の
一波頭34tとStはそれぞれ波形部lざ2と/ざ4に
属している。これらの波頭間の連結は、それぞれ線分R
1〜R1Iを斜めに切断した0波頭部分”3g、 10
.4.2.61IKよって実施される。他の同心円から
突出した波頭についても同様である。
円弧D1から突出した波形部/g1とig5の波頭66
と6gのみが連結されていない。波谷も同様に相互連結
されている。
と6gのみが連結されていない。波谷も同様に相互連結
されている。
波形膜の若干の用途においては、この、波形膜を成すデ
ィスク10の1半径“に沿って配置された連結部がこの
波形膜の機能を低下させるおそれがある。第7図の変更
態様によれば、連結部701〜70r4は相互にりOo
ずれた螺旋部81〜SIlに沿−て配置されている。円
周D1〜D7はすべて、これらの螺旋81〜S11を同
一角度で切っている。先行の実施態様の場合と同様に、
連結区域の両側の2波形部分の、同一円周D1〜DIか
ら突出した波形を考察すれば、その一方の波形部分には
波頭があり、他方の波形部分には波谷がある。波頭と波
谷な示すために第1図と同様の符号を用いた第7図を見
れば明かであるO また、波形膜を作る薄板が圧延で得られる場合、直線上
に配置された2個の連結部が圧延方向に配置されること
が好ましい。第1図においては、この圧延方向を矢印F
で示した。連結部2o2とJ4は矢印Fで示された圧延
方向に配置されている。
ィスク10の1半径“に沿って配置された連結部がこの
波形膜の機能を低下させるおそれがある。第7図の変更
態様によれば、連結部701〜70r4は相互にりOo
ずれた螺旋部81〜SIlに沿−て配置されている。円
周D1〜D7はすべて、これらの螺旋81〜S11を同
一角度で切っている。先行の実施態様の場合と同様に、
連結区域の両側の2波形部分の、同一円周D1〜DIか
ら突出した波形を考察すれば、その一方の波形部分には
波頭があり、他方の波形部分には波谷がある。波頭と波
谷な示すために第1図と同様の符号を用いた第7図を見
れば明かであるO また、波形膜を作る薄板が圧延で得られる場合、直線上
に配置された2個の連結部が圧延方向に配置されること
が好ましい。第1図においては、この圧延方向を矢印F
で示した。連結部2o2とJ4は矢印Fで示された圧延
方向に配置されている。
第1図〜第7図に図示の第1実施態様においては、波形
の頂部、すなわち波谷と展頭は、波型膜の中心点と一致
した中心点の円心円上に、嵌入面Pに対して直角に突出
している。
の頂部、すなわち波谷と展頭は、波型膜の中心点と一致
した中心点の円心円上に、嵌入面Pに対して直角に突出
している。
第J’a図〜第rc図に図示の第4実施態様においては
、波形は他の形状を有する。
、波形は他の形状を有する。
第ざ3図は非円形の波形膜100を示す。この波形膜は
外周面部10コと、波形膜の中心点0を含む中心平面部
1011と、前記外周部と中心部との間に配置された波
形部ionとを含む。外周部10.2と中心部1olI
は嵌入面Pの中に配置されている。
外周面部10コと、波形膜の中心点0を含む中心平面部
1011と、前記外周部と中心部との間に配置された波
形部ionとを含む。外周部10.2と中心部1olI
は嵌入面Pの中に配置されている。
波形部10乙は、4I連結部1101〜//(h4によ
って相互に分離されたび波形部ioざ1〜1orIlに
よって構成されている。各連結部1101〜II(h4
はそれぞれ線分R′1〜R′+4の両側に配置され、こ
れらの線分の延長は波形膜の中心点0を通り、またこれ
らの線分は嵌入面Pの中に配置されている。コ隣接線分
は相互に900の角度を成す。各波形部分1Olr1〜
/(H,4は波頭Bと波谷Cとの交代によつて構成され
ている。第ra図に見られるよ5に、波形部分1Or1
と1or5は同形であって第1型と呼ばれ。
って相互に分離されたび波形部ioざ1〜1orIlに
よって構成されている。各連結部1101〜II(h4
はそれぞれ線分R′1〜R′+4の両側に配置され、こ
れらの線分の延長は波形膜の中心点0を通り、またこれ
らの線分は嵌入面Pの中に配置されている。コ隣接線分
は相互に900の角度を成す。各波形部分1Olr1〜
/(H,4は波頭Bと波谷Cとの交代によつて構成され
ている。第ra図に見られるよ5に、波形部分1Or1
と1or5は同形であって第1型と呼ばれ。
波形部1or2と/(H%は同形であ〜て第1型と呼げ
れる。この第1実施態様によれば、一方の型の波形部分
、たとえば第1型の波形部分1otlが、他の型の隣接
波形部分、たとえば第1型の波形部分tor2を、これ
らの波形部分1or1と10f2を分離する連結部/1
01を限定する線分81回りにiro。
れる。この第1実施態様によれば、一方の型の波形部分
、たとえば第1型の波形部分1otlが、他の型の隣接
波形部分、たとえば第1型の波形部分tor2を、これ
らの波形部分1or1と10f2を分離する連結部/1
01を限定する線分81回りにiro。
回転させることによって得られるように、波形が配置さ
れている。同様に、波形部1or2は、波形部10ξ3
を、線分R2を含む直線口シに110°回転させること
によって得られる、などとなる。
れている。同様に、波形部1or2は、波形部10ξ3
を、線分R2を含む直線口シに110°回転させること
によって得られる、などとなる。
さらに一般的には、波形膜はコ旦の波形部と2旦の連結
部とを持つことができる。第1型の刀波形部分と第2型
の]波形部分とがある。各波形部間の幾何学的関係から
、すべての波形部分が同一数の波形を持つことになる。
部とを持つことができる。第1型の刀波形部分と第2型
の]波形部分とがある。各波形部間の幾何学的関係から
、すべての波形部分が同一数の波形を持つことになる。
第り3図と第り5図は本発明の波形膜の第3実施態様を
示す。この波形膜/、20の全体形状は中心点0のディ
スク状である。このディスクは、平面外周部/、2.2
と、中心平面部121tと、前記外周部と中心部との中
間に配置された波形部lコロとを有する。外周部12コ
と中心部!、21は嵌入面Pの中に配置されている。
示す。この波形膜/、20の全体形状は中心点0のディ
スク状である。このディスクは、平面外周部/、2.2
と、中心平面部121tと、前記外周部と中心部との中
間に配置された波形部lコロとを有する。外周部12コ
と中心部!、21は嵌入面Pの中に配置されている。
波形部/u4は、≠連結部13o1〜13o11によっ
て相互に分離されたl波形部分i、2r1〜12g、か
ら成る。第3実施態様のこの実施例においては、各連結
区域は、嵌入面Pに配置されたμ本の螺旋部s′1〜S
−の対応の螺旋の両側に配置されている。2本の隣接螺
旋部は相互にりo6の角度を成す。
て相互に分離されたl波形部分i、2r1〜12g、か
ら成る。第3実施態様のこの実施例においては、各連結
区域は、嵌入面Pに配置されたμ本の螺旋部s′1〜S
−の対応の螺旋の両側に配置されている。2本の隣接螺
旋部は相互にりo6の角度を成す。
シカシ、連結部13o1〜13o11ハ、第ra図の実
施態様に示されるように線分に沿って配置することがで
きる。波形部i、zr 1と/、2J’3は同形であ−
て第1型に属するが、波形部/212と/2r11も同
形であって第2型に属する。各波形部1sr1〜lλr
IIは、それぞれ波頭Bと波谷Cを交互に示す波形列に
よ−て構成されている。
施態様に示されるように線分に沿って配置することがで
きる。波形部i、zr 1と/、2J’3は同形であ−
て第1型に属するが、波形部/212と/2r11も同
形であって第2型に属する。各波形部1sr1〜lλr
IIは、それぞれ波頭Bと波谷Cを交互に示す波形列に
よ−て構成されている。
この第3実施態様によれば、第1型の波形部(たとえば
波形部分12r1)を、中心点0を通り嵌入面PK対し
て垂直な軸線zz’回りに、嵌入面Pに関して対称的に
りO0回転させることによ。て、第1型の隣接部分(た
とえば波形部分t、i、r2 )に移行する。
波形部分12r1)を、中心点0を通り嵌入面PK対し
て垂直な軸線zz’回りに、嵌入面Pに関して対称的に
りO0回転させることによ。て、第1型の隣接部分(た
とえば波形部分t、i、r2 )に移行する。
さらに一般的には、第3実施態様による波形膜は2二の
波形部分と、2旦の連結部分とを有する。
波形部分と、2旦の連結部分とを有する。
各波形部分は、中心角コπ/ 2 nマイナス連結部の
中心角に対応している。故に、第1型の二液形部分と第
1型のユ波形部分とがある。第1型の波形部分を、軸線
zz′回シに、嵌入面Pに対して対称的に、コπ/λn
回転させることによって、第2型の隣接2部分のいずれ
か一方に移行する。また、各連結部が屈曲部の両側に配
置されていると言うとき、これは連結面に対する投影に
ついても、また屈曲部を含み嵌入面に対して直交する面
においても言えることである。
中心角に対応している。故に、第1型の二液形部分と第
1型のユ波形部分とがある。第1型の波形部分を、軸線
zz′回シに、嵌入面Pに対して対称的に、コπ/λn
回転させることによって、第2型の隣接2部分のいずれ
か一方に移行する。また、各連結部が屈曲部の両側に配
置されていると言うとき、これは連結面に対する投影に
ついても、また屈曲部を含み嵌入面に対して直交する面
においても言えることである。
波形膜のこの第3実#I態様によれば、すべての波形部
分1ul−1,2rIIは同数の波形を含む。
分1ul−1,2rIIは同数の波形を含む。
波形が同心円に沿って嵌合面から突出した第1実施態様
は、第ra図の第2実施態様と第り3図の第3実施態様
との間の限界ケースを成す。実際に、第1図について述
べれば、第7型の波形部分(たとえば1g1)は、他の
型の波形部分(たとえば/I2)を、線分RI回シに/
100@転させることによっても、あるいは中心点0回
すに、嵌入面Pに対して対称的に、 tyo0回転させ
ることによっても得られる。
は、第ra図の第2実施態様と第り3図の第3実施態様
との間の限界ケースを成す。実際に、第1図について述
べれば、第7型の波形部分(たとえば1g1)は、他の
型の波形部分(たとえば/I2)を、線分RI回シに/
100@転させることによっても、あるいは中心点0回
すに、嵌入面Pに対して対称的に、 tyo0回転させ
ることによっても得られる。
これまで記述した各実施態様において、各波形部分は交
互に波頭と波谷とを成す複数の波形によって構成されて
いる。波谷から波頭に移行するとき、波形膜を成す薄板
は屈曲部に沿−で嵌入面を切る。
互に波頭と波谷とを成す複数の波形によって構成されて
いる。波谷から波頭に移行するとき、波形膜を成す薄板
は屈曲部に沿−で嵌入面を切る。
また、ある1つの波形部分から次の波形部分−の移行は
、嵌入面にある屈曲部に沿って配置された連結部を介し
て実施される。これらの第2の屈曲部は、線分とするこ
とができ、または比較的線分に近い曲線とすることがで
きるが、いずれの場合においても、移行に対応する屈曲
部と相当の角度を成す。このよ5な構造は、若干の用途
においては、所期の公差と相客れない程度の膜移動/差
圧応答線形性の欠陥を生じる場合がありうる。
、嵌入面にある屈曲部に沿って配置された連結部を介し
て実施される。これらの第2の屈曲部は、線分とするこ
とができ、または比較的線分に近い曲線とすることがで
きるが、いずれの場合においても、移行に対応する屈曲
部と相当の角度を成す。このよ5な構造は、若干の用途
においては、所期の公差と相客れない程度の膜移動/差
圧応答線形性の欠陥を生じる場合がありうる。
この場合、第1O図と第1Ob図について下記に述べる
他の実施態様による波形膜を使用することができる。
他の実施態様による波形膜を使用することができる。
第10図に見られるように、この波形膜は、その嵌入面
Pを限定する平面外周部1.2と、嵌入面Pに配置され
中心点0を有する平面中心部/6と、前記中心部16と
外周部/jとの間に延在する波形部/Uとを含む。波形
部7例ま2n、の波形から成る。さらに詳しくは、第1
0図の波形膜の面を考察すれば、波形部lμは実線で示
されたユの波頭Bと、ダッシュ線で示された旦の波谷C
とを含む。第10図において、数ユは3に等しい。この
実施態様によれば。
Pを限定する平面外周部1.2と、嵌入面Pに配置され
中心点0を有する平面中心部/6と、前記中心部16と
外周部/jとの間に延在する波形部/Uとを含む。波形
部7例ま2n、の波形から成る。さらに詳しくは、第1
0図の波形膜の面を考察すれば、波形部lμは実線で示
されたユの波頭Bと、ダッシュ線で示された旦の波谷C
とを含む。第10図において、数ユは3に等しい。この
実施態様によれば。
波頭Bと波谷Cの稜部は、全体として螺旋形の屈曲部N
1〜N2n (第1O図の場合にはN1〜NG )に治
って、嵌入面Pに対して直角に突出している。また、こ
れら屈曲部の/−)NIは、隣接の屈曲部N1−1また
はN1+1を、中心点Oを通シ嵌入面Pに対して直角の
波形膜軸線回りに+λπ/2旦または一コπ/2旦回転
させることによって得られる。また、屈曲部Nlに対応
する波形が波谷であるなら、屈曲部Ni−1またはN
l+1に対応する波形01−1またはO1+1は波頭で
ある。また、これらの波形は、1つの波形01が、隣接
の波形01−1またはOi+iから、嵌入面Pに対して
対称的に5士コπ/2旦の回転によって得られるよ5に
構成されている。
1〜N2n (第1O図の場合にはN1〜NG )に治
って、嵌入面Pに対して直角に突出している。また、こ
れら屈曲部の/−)NIは、隣接の屈曲部N1−1また
はN1+1を、中心点Oを通シ嵌入面Pに対して直角の
波形膜軸線回りに+λπ/2旦または一コπ/2旦回転
させることによって得られる。また、屈曲部Nlに対応
する波形が波谷であるなら、屈曲部Ni−1またはN
l+1に対応する波形01−1またはO1+1は波頭で
ある。また、これらの波形は、1つの波形01が、隣接
の波形01−1またはOi+iから、嵌入面Pに対して
対称的に5士コπ/2旦の回転によって得られるよ5に
構成されている。
この実施態様を前記の各図の実施態様と比較すれば、波
形部芹は前記のように、2ユの波形部分から成るが、各
波形部分は、嵌入面Pに対して直角に、螺旋形に沿って
投影された単一の波形01に還元される。故にこの場合
にも、1つの波形部分は。
形部芹は前記のように、2ユの波形部分から成るが、各
波形部分は、嵌入面Pに対して直角に、螺旋形に沿って
投影された単一の波形01に還元される。故にこの場合
にも、1つの波形部分は。
隣接の波形部分を嵌入面に対して対称的に、波形膜の軸
線回りにコπ/2A回転させることによって得られる。
線回りにコπ/2A回転させることによって得られる。
また、第1図ないし第り図の実施態様の連結部は、第1
0図の実施態様の隣接の波頭と波谷との間の移行部にお
いて波形膜の薄板が嵌入面Pと交わることによって限定
される屈曲部に還元される。
0図の実施態様の隣接の波頭と波谷との間の移行部にお
いて波形膜の薄板が嵌入面Pと交わることによって限定
される屈曲部に還元される。
第1O図〜第iob図においてTlで示されたこれらの
屈曲部も螺旋の一部の形状を有する。
屈曲部も螺旋の一部の形状を有する。
6螺旋形の屈曲部”とは、その凹形が常に中心点0の方
に向けられ、この曲線上の経過点が中心部から周辺部に
向かって曲線を描くときに中心点0とこの経過点との間
隔が連続的に増大するよ5な曲線を意味する。これは、
切線方向に相互に接続された相異なる中心点と半径を有
する複数の円弧から成る曲線である。
に向けられ、この曲線上の経過点が中心部から周辺部に
向かって曲線を描くときに中心点0とこの経過点との間
隔が連続的に増大するよ5な曲線を意味する。これは、
切線方向に相互に接続された相異なる中心点と半径を有
する複数の円弧から成る曲線である。
この最後の実施態様においては、数ユは奇数である。た
とえば、この数は3または!である。このよ5な波形数
(2n)の場合、波形膜を製造するために使用される薄
板の圧延方向に関する諸問題をまぬがれることができる
。
とえば、この数は3または!である。このよ5な波形数
(2n)の場合、波形膜を製造するために使用される薄
板の圧延方向に関する諸問題をまぬがれることができる
。
第1図は本発明による波形膜の第1実施態様の平面図、
第2図は第1図の第1実施態様の折れ線n−n’に沿−
だ垂直断面図、第3図は第1図の第1実施態様のm−m
’に沿−た垂直断面図、第≠図は第1図の円弧TV−I
Vに沿った垂直断面図、第5図は第5図と類似の図であ
るが波形膜の第1実施態様の第1変形を示す図、第6図
は第1実施態様の第2変形の平面図、第7図は第1実施
態様の第3変形の平面図、第1IK図は波形膜の第1実
施態様の平面図、第rb図と第1rC図は第J’a図の
それぞれEE線とCC線に沿−た断面図、第り8図は波
形膜の第3実施態様の平面図、第り5図と第り0図は第
り8図のそれぞれDD線とEE線に沿゛b った断面図、また第10図〜第1ON図は波形膜の第3
実施態様のそれぞれ平面図、第io図のMM線とMS線
に沿った断面図である。 10、100. /20−・・波形膜、1g、 /(H
、/21 ・・・波形部分、2.0. /10 、 /
30・・・連結部、R,S・・・屈曲部、P・・・嵌入
面、D・・・同心円、0・・・中心点、N、T・・・屈
曲部(螺旋形) 出願人代理人 猪 股 清 面面の浄書(内容に変更な し) ト LL − 一 丁 小売 ン市 i’t−’ +’i’: (7’)式
)1 事イ′lの表示 昭和604− 特清願 第 7 3 7 +ri2 発
明の名称 圧力セン1ノ川波形膜 3 補正をする者 事Iflどの関係 rr訂出願人 レし 4代理人 昭 和 609 4 月 10日 (発送口 昭和60イl /lJ]30 tl )6
補正の対象 図面および法人証明内。 7 補1の内容 別組の通り図面を浄書(内容に変更/i:L)シ、法人
、11明−:を補i1づる。
第2図は第1図の第1実施態様の折れ線n−n’に沿−
だ垂直断面図、第3図は第1図の第1実施態様のm−m
’に沿−た垂直断面図、第≠図は第1図の円弧TV−I
Vに沿った垂直断面図、第5図は第5図と類似の図であ
るが波形膜の第1実施態様の第1変形を示す図、第6図
は第1実施態様の第2変形の平面図、第7図は第1実施
態様の第3変形の平面図、第1IK図は波形膜の第1実
施態様の平面図、第rb図と第1rC図は第J’a図の
それぞれEE線とCC線に沿−た断面図、第り8図は波
形膜の第3実施態様の平面図、第り5図と第り0図は第
り8図のそれぞれDD線とEE線に沿゛b った断面図、また第10図〜第1ON図は波形膜の第3
実施態様のそれぞれ平面図、第io図のMM線とMS線
に沿った断面図である。 10、100. /20−・・波形膜、1g、 /(H
、/21 ・・・波形部分、2.0. /10 、 /
30・・・連結部、R,S・・・屈曲部、P・・・嵌入
面、D・・・同心円、0・・・中心点、N、T・・・屈
曲部(螺旋形) 出願人代理人 猪 股 清 面面の浄書(内容に変更な し) ト LL − 一 丁 小売 ン市 i’t−’ +’i’: (7’)式
)1 事イ′lの表示 昭和604− 特清願 第 7 3 7 +ri2 発
明の名称 圧力セン1ノ川波形膜 3 補正をする者 事Iflどの関係 rr訂出願人 レし 4代理人 昭 和 609 4 月 10日 (発送口 昭和60イl /lJ]30 tl )6
補正の対象 図面および法人証明内。 7 補1の内容 別組の通り図面を浄書(内容に変更/i:L)シ、法人
、11明−:を補i1づる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 t 嵌入面中に配置された外周平面部と、前記嵌入面の
中罠配置され中心点を有する中心部と、前記外周部と中
心部との間に配置された波形部とを含む金属薄板からな
る波形膜において、前記波形部は、2n (nは整数)
の波形部分からなり、各波形部分は前記中心部から前記
外周部まで延在し、色波形部分は第1型であり、他の1
波形部分は第2型であり、上記第1型の各波形部分は隣
接の第2型の波形部分から幾何学的変換によって得られ
、この幾何学的変換は、前記嵌入面に配置され前記中心
部から前記外周部に達する線分回りの/10 ’の回転
からなる第1変換と、前記嵌入面に対して垂直に前記中
心点を通る前記波形膜の軸線回シに。 前記嵌入膜に対して対称的に、コπ/、2■の角度をも
って回転させる第λ変換とからなるグループのうちから
選ばれることを特徴とする波形膜。 J−2隣接波形部分は、前記嵌入面に配置されて前記中
心部から前記外周部に達する屈曲部の両側に配置された
連結部によって相互に分離され、前記の第1変換が実施
されるときに前記の屈曲部が前記の線分を成すことを特
徴とする特許請求の範囲第1項による波形膜。 3 数ユは偶数であることを特徴とする特許請求の範囲
第2項による波形膜。 弘 各波形部分はQ波形を有し、これら各Q波形の稜部
はQ同心円に沿って前記嵌入面から直角に突出すること
を特徴とする特許請求の範囲第2項による波形膜。 j 各波形部分が隣接の波形部分から前記の第2変換に
よって得られ、各波形部分は中心部から外周部に達する
単一の波形から成シ、前記波形の稜部は、前記中心部か
ら前記外周部に達する螺旋形の屈曲部に沿って前記嵌入
面上に突出することを特徴とする特許請求の範囲第1項
による波形膜。 6 数ユが奇数であることを特徴とする特許請求の範囲
第3項による波形膜。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8400166A FR2557947B1 (fr) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | Diaphragme ondule pour capteur de pression |
FR8400166 | 1984-01-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60227141A true JPS60227141A (ja) | 1985-11-12 |
Family
ID=9299886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60000737A Pending JPS60227141A (ja) | 1984-01-06 | 1985-01-07 | 圧力センサ用波形膜 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4809589A (ja) |
EP (1) | EP0149568B1 (ja) |
JP (1) | JPS60227141A (ja) |
DE (1) | DE3572215D1 (ja) |
FR (1) | FR2557947B1 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02290523A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-11-30 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH02290522A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-11-30 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03200031A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03200033A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03200032A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03200030A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03225243A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225240A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225239A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225242A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225241A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225238A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5140733A (en) * | 1988-05-25 | 1992-08-25 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co., Ltd. | Method of fixing flange to peripheral edge of a disc spring |
US5064165A (en) * | 1989-04-07 | 1991-11-12 | Ic Sensors, Inc. | Semiconductor transducer or actuator utilizing corrugated supports |
US5022271A (en) * | 1989-12-12 | 1991-06-11 | Hannon Jr Dewey | Pressure sensing device for pipes |
US5072617A (en) * | 1990-10-30 | 1991-12-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Fiber-optic liquid level sensor |
US6158712A (en) * | 1998-10-16 | 2000-12-12 | Agilent Technologies, Inc. | Multilayer integrated assembly having an integral microminiature valve |
EP1061293B1 (de) * | 1999-06-17 | 2004-08-18 | Helmut Heidrich | Strukturausrichtung von Membranen |
DE10058274A1 (de) * | 2000-11-23 | 2002-05-29 | Alfa Laval Flow Gmbh | Membran mit strukturierter Oberfläche |
US20030183888A1 (en) * | 2002-03-28 | 2003-10-02 | Eyal Bar-Sadeh | Corrugated diaphragm |
US6932107B2 (en) * | 2003-06-24 | 2005-08-23 | Flow Control Industries, Inc. | Flow control valves |
CN1894526A (zh) | 2003-10-17 | 2007-01-10 | 松德沃技术公司 | 故障保险气动致动阀 |
CH713839B1 (de) * | 2004-02-25 | 2018-11-30 | Sauter Ag | Membrane. |
EP2021892B1 (en) * | 2006-04-27 | 2013-02-20 | Sko Flo Industries, Inc. | Flow control valve |
US8104397B2 (en) * | 2008-09-30 | 2012-01-31 | M&Fc Holding, Llc | Gas metering diaphragm |
WO2011005286A1 (en) * | 2009-06-22 | 2011-01-13 | Lansinoh Laboratories, Inc. | Breast milk collection apparatus and components thereof |
WO2011019702A1 (en) | 2009-08-13 | 2011-02-17 | Analog Devices, Inc. | Mems in-plane resonators |
EP3534128A3 (en) | 2009-08-13 | 2020-01-08 | Teleflex Life Sciences Unlimited Company | Pressure indicator |
US8631700B2 (en) | 2010-11-05 | 2014-01-21 | Analog Devices, Inc. | Resonating sensor with mechanical constraints |
US8616056B2 (en) | 2010-11-05 | 2013-12-31 | Analog Devices, Inc. | BAW gyroscope with bottom electrode |
US9091544B2 (en) | 2010-11-05 | 2015-07-28 | Analog Devices, Inc. | XY-axis shell-type gyroscopes with reduced cross-talk sensitivity and/or mode matching |
WO2012075226A1 (en) | 2010-12-01 | 2012-06-07 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for anchoring electrodes in mems devices |
US9039976B2 (en) | 2011-01-31 | 2015-05-26 | Analog Devices, Inc. | MEMS sensors with closed nodal anchors for operation in an in-plane contour mode |
BR112013019613A2 (pt) | 2011-02-02 | 2017-03-21 | Berg John | via aérea artificial melhorada. |
US9709595B2 (en) | 2013-11-14 | 2017-07-18 | Analog Devices, Inc. | Method and apparatus for detecting linear and rotational movement |
US9599471B2 (en) | 2013-11-14 | 2017-03-21 | Analog Devices, Inc. | Dual use of a ring structure as gyroscope and accelerometer |
US10746548B2 (en) | 2014-11-04 | 2020-08-18 | Analog Devices, Inc. | Ring gyroscope structural features |
US9869552B2 (en) * | 2015-03-20 | 2018-01-16 | Analog Devices, Inc. | Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity |
US11656077B2 (en) | 2019-01-31 | 2023-05-23 | Analog Devices, Inc. | Pseudo-extensional mode MEMS ring gyroscope |
DE102020120448A1 (de) | 2020-08-03 | 2022-02-03 | Carl Freudenberg Kg | Membran und Trennkolben, der eine solche Membran umfasst |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US56694A (en) * | 1866-07-31 | Improvement in steam-gages | ||
FR524721A (fr) * | 1920-02-14 | 1921-09-09 | Zaverio Reviglio Della Veneria | Perfectionnements dans les manomètres à membrane |
GB749551A (en) * | 1953-11-18 | 1956-05-30 | Eric Lionel Hutchings | Improvements in or relating to expansible devices having at least one diaphragm-like member |
US2874569A (en) * | 1955-04-05 | 1959-02-24 | American Meter Co | Gas meter diaphragm |
FR1474157A (fr) * | 1966-02-09 | 1967-03-24 | Prec Mecanique Labinal | Perfectionnements apportés aux appareils à membrane déformable |
DE1936618A1 (de) * | 1968-07-19 | 1970-01-22 | Honeywell Inc | Membran |
US4434203A (en) * | 1980-10-27 | 1984-02-28 | Setra Systems, Inc. | Diaphragm |
US4375182A (en) * | 1980-10-31 | 1983-03-01 | Z John R | Ultra-sensitive diaphragm with dual stress-relief structures |
-
1984
- 1984-01-06 FR FR8400166A patent/FR2557947B1/fr not_active Expired
-
1985
- 1985-01-04 EP EP85400005A patent/EP0149568B1/fr not_active Expired
- 1985-01-04 DE DE8585400005T patent/DE3572215D1/de not_active Expired
- 1985-01-07 JP JP60000737A patent/JPS60227141A/ja active Pending
-
1987
- 1987-02-13 US US07/015,536 patent/US4809589A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02290523A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-11-30 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH02290522A (ja) * | 1989-02-20 | 1990-11-30 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03200031A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03200033A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03200032A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03200030A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-02 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力センサー |
JPH03225243A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225240A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225239A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225242A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225241A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH03225238A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 圧力検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0149568A3 (en) | 1985-08-21 |
FR2557947A1 (fr) | 1985-07-12 |
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DE3572215D1 (en) | 1989-09-14 |
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