JPS60227141A - 圧力センサ用波形膜 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は圧力センナ用波形膜に関するものである。

さらに詳しく述べれば、本発明は、圧力センサ、特に差
圧センサにおいて検知手段として使用される波形の膜に
関するものである。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

圧力センサ用膜は、多くの場合、非常に薄いたとえばＩ
ミリメートルのオーダの金属ディスク状０ をなし、その外周部がたとえばセンサの本体中に嵌入さ
れる。そして、この検知膜の両側に加えられる圧力の差
の作用で膜が変形し、この変形による膜中心部の移動量
を計測する。さらに、この移動量の測定値から差圧値を
誘導することができるようになりている。

これらの膜は休止時に平面のディスクからなり。

きわめてすぐれた可撓性を示す。そのほか、この種の膜
の中心部の休止時の位置（すなわち膜の両側の圧力が等
しい場合の位置）は、比較的温度の変化、静圧の変化（
膜の両面に同一圧が加えられる）または膜の外周部に対
するセンサ本体の締付は応力の変化に対して比較的不感
である。しかしながら、加えられる差圧の関数としての
膜中心部の移動を示すグラフの直線部分は、狭い移動量
しかない。

検知膜のこのような応答欠陥を修正するため、波形の膜
を使用することは公知である。たとえばフランス特許第
２，０１１．．１１１号にこのような膜が記載されてい
る。すなわち、検知膜の中心から複数の同心円波形を備
え、外周部から中心点まで交互に”波頭６と６波谷６を
示すように、膜材料の薄板をたとえば絞り加工によ−て
加工する。この膜は、その平均面に対する垂直軸線回り
の回転体からなる。これらの波形の故に、この膜は、は
るかに広い中心点移動間において略直線的な移動。

差圧応答を示す。

しかしながら、従来公知の同心形回転波形膜は。

温度の変化、静圧の変化、およびセンサ本体中の膜外周
部の締付度の変化に対して非常に敏感であるという欠点
がある。このような寄生的影響は、特に、センサのゼロ
点（膜に加えられる差圧がゼロである場合の膜中心部の
位置）およびセンサの感度に対して作用する。

実際に、温度または膜を嵌入するための締付応力の変化
する場合、または静圧による変形の場合。

本体の相対的変形によって（たとえばセンサ本体と膜と
の間の熱膨張差によ−て）、膜の外周部の半径が変動さ
れる。

このような半径の変動は、膜が平面であってもあるいは
中心軸線回シに回転波形を有していても、膜の感度の変
動を生じる。また、膜が平面であってその嵌入面の両側
に完全な対称性を有する場合以外には、前記のような半
径の変動が膜の中心位置の変動を生じる。

平面膜の場合、半径変動作用を受けても膜の中心は不動
である。なぜかならば、半径変動作用から生じる放射方
向の応力は膜の対称面の中にあるからである。これに反
して回転波形膜の場合、嵌入面は対称面ではなく、放射
方向応力作用で膜の中心が移動する。この場合に生じる
センサのゼロ点の変動は若干の用途にと−てきわめて有
害である。

〔発明の目的および効果〕

従来の波形膜のこのよ５な欠点を修正するため、本発明
の主目的は１回転波形膜の利点、すなわち広い中心点移
動範囲における直線的応答を示しつつ、温度の変化、静
圧の変化およびその外周部の締付応力の変化に対して敏
感なゼロ点を有しない波形膜を提供するにある。

〔発明の概要〕

この目的を達成するため、本発明による膜は薄い金属膜
によって構成され、嵌入面中に配置された平面外周部と
、前記嵌入面の中に配置された平行な平面中心部と、前
記外周部と中心部との間に配置された波形部とを含み、
前記波形部は２１（ユは整数）の波形部分から成り・、
各波形部分は前記中心部から前記外周部まで延在し、ｎ
波形部分は第１型であり、他のｎ波形部分は第１型であ
り、第１型の各波形部分は隣接の第１型の波形部分から
幾何学的変換によ−て得られ、この幾何学的変換は、前
記嵌入面に配置され前記中心部から前記外周部に達する
線分回りのｉｒｏ　’の回転からなる第１変換と、前記
嵌入面に対して垂直に前記中心点を通る前記波形膜の軸
線回りに、前記嵌入膜に対して対称的に、λπ／、２旦
の角度をもって回転させる第コ変換とからなるグループ
のうちから選ばれる。

このようにして、第１型のｎ波形部分と第２型のａ波形
部分とを含む波形膜が得られる。また、これら２つの型
の波形部分の間に存在する幾何学的関係を考慮に入れれ
ば、波形膜の嵌入面は同時に、先に述べた寄生的現象に
よって生じる半径変動による放射方向応力に対抗する波
形膜の機能的対称面を成す。

本発明の第７実施態様によれば、前記嵌入面に配置され
て前記中心部から前記外周部に達する屈曲部の両側に配
置された連結部によ−て、隣接のｌ波形部分が相互に分
離され、前記の第１変換が実施されるときに前記の屈曲
部が前記の線分を成す。

好ましくは孔は偶数である。故に、頂点が相互に対向し
たλつの波形部分は同一型である。すなわち、同形であ
る。このような対称性の故に、中心部全体が移動中にも
膜の対称軸線に対して垂直に留まる。

また好ましくは、各波形の稜部は同心円に沿−で嵌入面
から直角に突出し、また屈曲部は前記同心円の共通中心
を通る直線の線分である。

本発明の第２実施態様によれば、各波形部分が隣接の波
形部分から前記の第２変換によ−て得られ、各波形部分
は中心部から外周部に達する単一の波形から成り、前記
波形の稜部は、前記中心部から前記外周部に達する螺旋
形の屈曲部に沿−で前記浪人面上に突出する。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例について詳細に説明す
る。

まず第１図ないし第μ図について述べれば、本発明によ
る波形膜の第１実雁態様が見られる。

第１図はこの波形膜の平面図である。この膜は中心点０
のディスク１０の全体形状を示す。このディスクはたと
えばステンレス鋼の薄層から成り、この薄層の厚さは前
記の実施態様によれば／／１０ミリメートルである。こ
の薄層は、その外周から中心点Ｏに至るまで、外周平面
部／コ、波形部／ｌＡおよび点０を中心とする同じく平
面の円形中心部／乙とを画成するように、たとえば絞り
加工される。

外周部／２は、嵌入面と呼ばれる面Ｐ（第２図）の中に
配置されている。中心部／Ａもまた平面であって、この
面Ｐの中に配置されている。

波形部ｌμは２ｎ−の波形からなる。ユは整数である。

好ましくは旦はｎ　＝　、２　ｋとし、Ｋは整数である
。第１図においては、にはｌであり、ｌ波形部が７ｇ１
〜／１ｌｒ４で表示されている。これらの波形部／ざ１
〜ｌざ４は相互にグ連結部２０１〜コｏ４によって分離
されている。中心部／Ａから外周部／ｊに達し、また嵌
入面Ｐの中に配置された屈曲部の両側に各連結部が配置
されている。一般に１．２ユの連結部がある。第１図の
場合、屈曲部は、ディスク１０の中心点０を通る直線の
線分Ｒ１〜Ｒ１１である。連結部、２０１は線分Ｒ１に
沿って配置され、連結部２０２は線分Ｒ２に治って配置
され、以下同様である。隣接の２線分は相互に２０°の
角度を成し、あるいは一般的に６００ ２ｎ−の角度を成す。より詳細な連結部の説明は下記に
おいて第μ図〜第７図について説明する。

各波形部／ｇ１〜／ざ４において、波形膜の上から見て
、第１図で実線で示された波頭Ｂと、同図に点線で示さ
れた波谷Ｃとが交代した波形が見られる。

各波形部はＱ波形を有する。この実施例において、Ｑは
７つである。波頭と波谷は面Ｐから、点０を中心とする
Ｑ個の円周Ｄ１〜Ｄ７から直角に突出している。第２図
と第３図において、これらの同心円と切面との交点を示
した。故に≠個の各波形部分の第ｊ列の波形は同一円周
Ｄ１１から突出している。

第１実施態様によれば、隣接するｌ波形部の同一周面か
ら突出した波形はそれぞれ波頭Ｂと波谷Ｃを成す。たと
えば、波形部ｌざ１の第グ列の波形は波頭Ｂであるが、
波形部ｉｇ、、の同一列の波形は波谷Ｃである。これは
第２図に見られる。これに対して、第３図に見られるよ
うに、対向波形部／＆ｌとｉｇ５に属する同一列の波形
は共に波頭Ｂまたは波谷Ｃである。また、同一円周から
突出した波形はすべて同一長さの円弧に治って突出して
いる。

故に同一円周から突出した波形を見るならば、同一長さ
の波頭と波谷とが見られる。

第１図ないし第μ図の実施例において、すべての波形は
同−深さ！を有する。波頭と波頭の距離はＯＪｍに等し
い。もちろん公知のように、中心部に近い波形が外周部
処近い波形よシも浅い深さを有することができょう。し
かしこの場合にも。

同一円周から突出した波形（波頭と波谷）は同−深さを
示す。

さらに一般的に述べれば、第１実施態様によれば、波形
膜は第１形の、すべて同形の旦波形部分と、第２型の、
すべて同形の旦波形部分とを含む。

第１型の波形部分は、第２型の隣接波形部を、嵌入面Ｐ
に関して対称的に、中心０回りにコπ／コｎ回転させる
ことによって得られる。

第μ図は連結部の第１実施態様を示す。たとえば、連結
部２０１をとってみる。この連結部は、同一円周Ｄ１〜
Ｄ７から突出した波頭Ｂと波谷Ｃとの間の７移行部（、
ｚｘｌなど）の組合せから成る。第≠図に示す円筒形断
面において、波頭Ｂの稜部、２６、波谷の稜部３、およ
びこれらの波頭と波谷の連結面３０の断面が見られる。

この場合、波頭と波谷との直接的連結が見られる。

前記の波形膜は３０ｖａの外径と、１１０ｍｍの円周Ｄ
７の径と、／コ關の円周Ｄ１の径とを有し、この波形膜
について実施されたテストは下記の結果を示した。

１００℃の温度変動に対して零点誤差はｏ、ｓ４以下、
ＩＯθバールの静圧の変動に対してはｏ、ｉ４以下であ
る。もし正確に同一の特性を有するが従来の波形を有す
る波形膜、すなわち回転型波形膜を考えれば、前記の数
はそれぞれｉｏ倍およびｊ倍となる。

第５図の実施態様によれば、波頭Ｂの稜部コｔと波谷Ｃ
の稜部Ｕとの連結は平面部によりて行われ、その断面を
３−で示す。これらの平面部３．２は波形膜の平均面Ｐ
の中に配置されている。この平面部３２全体が、線分Ｒ
１に沿って配置された連結区域Ｊ１を成している。

第２図は連結部、２（７１〜ｘｏ１１の変更態様を示し
、これらの連結部は前記と同様に線分Ｒ１〜ＲＩＩに沿
−て配置されている。この実施態様によれば、２波形部
の中心点Ｏから最も離れた波頭、すなわち円周Ｄ７から
突出した波頭が、他の２波形部分の中心点から最も離れ
た波頭、すなわち円周Ｄ６上に突出した波頭に接続され
ている。第６図に図示の実施態様においては、２波頭Ｓ
Ｏと３２がそれぞれ波形部／７１と７１５に属し、他の
一波頭３４ｔとＳｔはそれぞれ波形部ｌざ２と／ざ４に
属している。これらの波頭間の連結は、それぞれ線分Ｒ
１〜Ｒ１Ｉを斜めに切断した０波頭部分”３ｇ、　１０
．４．２．６１ＩＫよって実施される。他の同心円から
突出した波頭についても同様である。

円弧Ｄ１から突出した波形部／ｇ１とｉｇ５の波頭６６
と６ｇのみが連結されていない。波谷も同様に相互連結
されている。

波形膜の若干の用途においては、この、波形膜を成すデ
ィスク１０の１半径“に沿って配置された連結部がこの
波形膜の機能を低下させるおそれがある。第７図の変更
態様によれば、連結部７０１〜７０ｒ４は相互にりＯｏ
ずれた螺旋部８１〜ＳＩｌに沿−て配置されている。円
周Ｄ１〜Ｄ７はすべて、これらの螺旋８１〜Ｓ１１を同
一角度で切っている。先行の実施態様の場合と同様に、
連結区域の両側の２波形部分の、同一円周Ｄ１〜ＤＩか
ら突出した波形を考察すれば、その一方の波形部分には
波頭があり、他方の波形部分には波谷がある。波頭と波
谷な示すために第１図と同様の符号を用いた第７図を見
れば明かであるＯ また、波形膜を作る薄板が圧延で得られる場合、直線上
に配置された２個の連結部が圧延方向に配置されること
が好ましい。第１図においては、この圧延方向を矢印Ｆ
で示した。連結部２ｏ２とＪ４は矢印Ｆで示された圧延
方向に配置されている。

第１図〜第７図に図示の第１実施態様においては、波形
の頂部、すなわち波谷と展頭は、波型膜の中心点と一致
した中心点の円心円上に、嵌入面Ｐに対して直角に突出
している。

第Ｊ’ａ図〜第ｒｃ図に図示の第４実施態様においては
、波形は他の形状を有する。

第ざ３図は非円形の波形膜１００を示す。この波形膜は
外周面部１０コと、波形膜の中心点０を含む中心平面部
１０１１と、前記外周部と中心部との間に配置された波
形部ｉｏｎとを含む。外周部１０．２と中心部１ｏｌＩ
は嵌入面Ｐの中に配置されている。

波形部１０乙は、４Ｉ連結部１１０１〜／／（ｈ４によ
って相互に分離されたび波形部ｉｏざ１〜１ｏｒＩｌに
よって構成されている。各連結部１１０１〜ＩＩ（ｈ４
はそれぞれ線分Ｒ′１〜Ｒ′＋４の両側に配置され、こ
れらの線分の延長は波形膜の中心点０を通り、またこれ
らの線分は嵌入面Ｐの中に配置されている。コ隣接線分
は相互に９００の角度を成す。各波形部分１Ｏｌｒ１〜
／（Ｈ，４は波頭Ｂと波谷Ｃとの交代によつて構成され
ている。第ｒａ図に見られるよ５に、波形部分１Ｏｒ１
と１ｏｒ５は同形であって第１型と呼ばれ。

波形部１ｏｒ２と／（Ｈ％は同形であ〜て第１型と呼げ
れる。この第１実施態様によれば、一方の型の波形部分
、たとえば第１型の波形部分１ｏｔｌが、他の型の隣接
波形部分、たとえば第１型の波形部分ｔｏｒ２を、これ
らの波形部分１ｏｒ１と１０ｆ２を分離する連結部／１
０１を限定する線分８１回りにｉｒｏ。

回転させることによって得られるように、波形が配置さ
れている。同様に、波形部１ｏｒ２は、波形部１０ξ３
を、線分Ｒ２を含む直線口シに１１０°回転させること
によって得られる、などとなる。

さらに一般的には、波形膜はコ旦の波形部と２旦の連結
部とを持つことができる。第１型の刀波形部分と第２型
の］波形部分とがある。各波形部間の幾何学的関係から
、すべての波形部分が同一数の波形を持つことになる。

第り３図と第り５図は本発明の波形膜の第３実施態様を
示す。この波形膜／、２０の全体形状は中心点０のディ
スク状である。このディスクは、平面外周部／、２．２
と、中心平面部１２１ｔと、前記外周部と中心部との中
間に配置された波形部ｌコロとを有する。外周部１２コ
と中心部！、２１は嵌入面Ｐの中に配置されている。

波形部／ｕ４は、≠連結部１３ｏ１〜１３ｏ１１によっ
て相互に分離されたｌ波形部分ｉ、２ｒ１〜１２ｇ、か
ら成る。第３実施態様のこの実施例においては、各連結
区域は、嵌入面Ｐに配置されたμ本の螺旋部ｓ′１〜Ｓ
−の対応の螺旋の両側に配置されている。２本の隣接螺
旋部は相互にりｏ６の角度を成す。

シカシ、連結部１３ｏ１〜１３ｏ１１ハ、第ｒａ図の実
施態様に示されるように線分に沿って配置することがで
きる。波形部ｉ、ｚｒ　１と／、２Ｊ’３は同形であ−
て第１型に属するが、波形部／２１２と／２ｒ１１も同
形であって第２型に属する。各波形部１ｓｒ１〜ｌλｒ
ＩＩは、それぞれ波頭Ｂと波谷Ｃを交互に示す波形列に
よ−て構成されている。

この第３実施態様によれば、第１型の波形部（たとえば
波形部分１２ｒ１）を、中心点０を通り嵌入面ＰＫ対し
て垂直な軸線ｚｚ’回りに、嵌入面Ｐに関して対称的に
りＯ０回転させることによ。て、第１型の隣接部分（た
とえば波形部分ｔ、ｉ、ｒ２　）に移行する。

さらに一般的には、第３実施態様による波形膜は２二の
波形部分と、２旦の連結部分とを有する。

各波形部分は、中心角コπ／　２　ｎマイナス連結部の
中心角に対応している。故に、第１型の二液形部分と第
１型のユ波形部分とがある。第１型の波形部分を、軸線
ｚｚ′回シに、嵌入面Ｐに対して対称的に、コπ／λｎ
回転させることによって、第２型の隣接２部分のいずれ
か一方に移行する。また、各連結部が屈曲部の両側に配
置されていると言うとき、これは連結面に対する投影に
ついても、また屈曲部を含み嵌入面に対して直交する面
においても言えることである。

波形膜のこの第３実＃Ｉ態様によれば、すべての波形部
分１ｕｌ−１，２ｒＩＩは同数の波形を含む。

波形が同心円に沿って嵌合面から突出した第１実施態様
は、第ｒａ図の第２実施態様と第り３図の第３実施態様
との間の限界ケースを成す。実際に、第１図について述
べれば、第７型の波形部分（たとえば１ｇ１）は、他の
型の波形部分（たとえば／Ｉ２）を、線分ＲＩ回シに／
１００＠転させることによっても、あるいは中心点０回
すに、嵌入面Ｐに対して対称的に、　ｔｙｏ０回転させ
ることによっても得られる。

これまで記述した各実施態様において、各波形部分は交
互に波頭と波谷とを成す複数の波形によって構成されて
いる。波谷から波頭に移行するとき、波形膜を成す薄板
は屈曲部に沿−で嵌入面を切る。

また、ある１つの波形部分から次の波形部分−の移行は
、嵌入面にある屈曲部に沿って配置された連結部を介し
て実施される。これらの第２の屈曲部は、線分とするこ
とができ、または比較的線分に近い曲線とすることがで
きるが、いずれの場合においても、移行に対応する屈曲
部と相当の角度を成す。このよ５な構造は、若干の用途
においては、所期の公差と相客れない程度の膜移動／差
圧応答線形性の欠陥を生じる場合がありうる。

この場合、第１Ｏ図と第１Ｏｂ図について下記に述べる
他の実施態様による波形膜を使用することができる。

第１０図に見られるように、この波形膜は、その嵌入面
Ｐを限定する平面外周部１．２と、嵌入面Ｐに配置され
中心点０を有する平面中心部／６と、前記中心部１６と
外周部／ｊとの間に延在する波形部／Ｕとを含む。波形
部７例ま２ｎ、の波形から成る。さらに詳しくは、第１
０図の波形膜の面を考察すれば、波形部ｌμは実線で示
されたユの波頭Ｂと、ダッシュ線で示された旦の波谷Ｃ
とを含む。第１０図において、数ユは３に等しい。この
実施態様によれば。

波頭Ｂと波谷Ｃの稜部は、全体として螺旋形の屈曲部Ｎ
１〜Ｎ２ｎ　（第１Ｏ図の場合にはＮ１〜ＮＧ　）に治
って、嵌入面Ｐに対して直角に突出している。また、こ
れら屈曲部の／−）ＮＩは、隣接の屈曲部Ｎ１−１また
はＮ１＋１を、中心点Ｏを通シ嵌入面Ｐに対して直角の
波形膜軸線回りに＋λπ／２旦または一コπ／２旦回転
させることによって得られる。また、屈曲部Ｎｌに対応
する波形が波谷であるなら、屈曲部Ｎｉ−１またはＮ　
ｌ＋１に対応する波形０１−１またはＯ１＋１は波頭で
ある。また、これらの波形は、１つの波形０１が、隣接
の波形０１−１またはＯｉ＋ｉから、嵌入面Ｐに対して
対称的に５士コπ／２旦の回転によって得られるよ５に
構成されている。

この実施態様を前記の各図の実施態様と比較すれば、波
形部芹は前記のように、２ユの波形部分から成るが、各
波形部分は、嵌入面Ｐに対して直角に、螺旋形に沿って
投影された単一の波形０１に還元される。故にこの場合
にも、１つの波形部分は。

隣接の波形部分を嵌入面に対して対称的に、波形膜の軸
線回りにコπ／２Ａ回転させることによって得られる。

また、第１図ないし第り図の実施態様の連結部は、第１
０図の実施態様の隣接の波頭と波谷との間の移行部にお
いて波形膜の薄板が嵌入面Ｐと交わることによって限定
される屈曲部に還元される。

第１Ｏ図〜第ｉｏｂ図においてＴｌで示されたこれらの
屈曲部も螺旋の一部の形状を有する。

６螺旋形の屈曲部”とは、その凹形が常に中心点０の方
に向けられ、この曲線上の経過点が中心部から周辺部に
向かって曲線を描くときに中心点０とこの経過点との間
隔が連続的に増大するよ５な曲線を意味する。これは、
切線方向に相互に接続された相異なる中心点と半径を有
する複数の円弧から成る曲線である。

この最後の実施態様においては、数ユは奇数である。た
とえば、この数は３または！である。このよ５な波形数
（２ｎ）の場合、波形膜を製造するために使用される薄
板の圧延方向に関する諸問題をまぬがれることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による波形膜の第１実施態様の平面図、
第２図は第１図の第１実施態様の折れ線ｎ−ｎ’に沿−
だ垂直断面図、第３図は第１図の第１実施態様のｍ−ｍ
’に沿−た垂直断面図、第≠図は第１図の円弧ＴＶ−Ｉ
Ｖに沿った垂直断面図、第５図は第５図と類似の図であ
るが波形膜の第１実施態様の第１変形を示す図、第６図
は第１実施態様の第２変形の平面図、第７図は第１実施
態様の第３変形の平面図、第１ＩＫ図は波形膜の第１実
施態様の平面図、第ｒｂ図と第１ｒＣ図は第Ｊ’ａ図の
それぞれＥＥ線とＣＣ線に沿−た断面図、第り８図は波
形膜の第３実施態様の平面図、第り５図と第り０図は第
り８図のそれぞれＤＤ線とＥＥ線に沿゛ｂ った断面図、また第１０図〜第１ＯＮ図は波形膜の第３
実施態様のそれぞれ平面図、第ｉｏ図のＭＭ線とＭＳ線
に沿った断面図である。 １０、１００．　／２０−・・波形膜、１ｇ、　／（Ｈ
、／２１　・・・波形部分、２．０．　／１０　、　／
３０・・・連結部、Ｒ，Ｓ・・・屈曲部、Ｐ・・・嵌入
面、Ｄ・・・同心円、０・・・中心点、Ｎ、Ｔ・・・屈
曲部（螺旋形） 出願人代理人　猪　股　清 面面の浄書（内容に変更な し） ト ＬＬ　− 一 丁　小売　ン市　ｉ’ｔ−’　＋’ｉ’：　（７’）式
）１　事イ′ｌの表示 昭和６０４−　特清願　第　７　３　７　＋ｒｉ２　発
明の名称 圧力セン１ノ川波形膜 ３　補正をする者 事Ｉｆｌどの関係　ｒｒ訂出願人 レし ４代理人 昭　和　６０９　４　月　１０日 （発送口　昭和６０イｌ　／ｌＪ］３０　ｔｌ　）６　
補正の対象 図面および法人証明内。 ７　補１の内容 別組の通り図面を浄書（内容に変更／ｉ：Ｌ）シ、法人
、１１明−：を補ｉ１づる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｔ　嵌入面中に配置された外周平面部と、前記嵌入面の
   中罠配置され中心点を有する中心部と、前記外周部と中
   心部との間に配置された波形部とを含む金属薄板からな
   る波形膜において、前記波形部は、２ｎ　（ｎは整数）
   の波形部分からなり、各波形部分は前記中心部から前記
   外周部まで延在し、色波形部分は第１型であり、他の１
   波形部分は第２型であり、上記第１型の各波形部分は隣
   接の第２型の波形部分から幾何学的変換によって得られ
   、この幾何学的変換は、前記嵌入面に配置され前記中心
   部から前記外周部に達する線分回りの／１０　’の回転
   からなる第１変換と、前記嵌入面に対して垂直に前記中
   心点を通る前記波形膜の軸線回シに。 前記嵌入膜に対して対称的に、コπ／、２■の角度をも
   って回転させる第λ変換とからなるグループのうちから
   選ばれることを特徴とする波形膜。 Ｊ−２隣接波形部分は、前記嵌入面に配置されて前記中
   心部から前記外周部に達する屈曲部の両側に配置された
   連結部によって相互に分離され、前記の第１変換が実施
   されるときに前記の屈曲部が前記の線分を成すことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項による波形膜。 ３　数ユは偶数であることを特徴とする特許請求の範囲
   第２項による波形膜。 弘　各波形部分はＱ波形を有し、これら各Ｑ波形の稜部
   はＱ同心円に沿って前記嵌入面から直角に突出すること
   を特徴とする特許請求の範囲第２項による波形膜。 ｊ　各波形部分が隣接の波形部分から前記の第２変換に
   よって得られ、各波形部分は中心部から外周部に達する
   単一の波形から成シ、前記波形の稜部は、前記中心部か
   ら前記外周部に達する螺旋形の屈曲部に沿って前記嵌入
   面上に突出することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   による波形膜。 ６　数ユが奇数であることを特徴とする特許請求の範囲
   第３項による波形膜。