JP5910331B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ボールねじの伸縮量をより正確に検出し、位置決め精度をより向上できる位置決め方法を提供する。
前記基台に対して所定の軸方向へ往復移動可能に支持された可動体と、
前記可動体に係合されて前記可動体を往復移動させるボールねじと、
前記ボールねじの第1端に係合し回転動力を伝達して前記ボールねじを回転させる駆動モータと、
前記基台の第1固定位置に固定され、前記第1固定位置から所定の軸方向距離にある第1基準位置で前記ボールねじの前記第1端の近傍を回転可能かつ軸方向移動不能に支持した第1支持手段と、
前記基台の第2固定位置に固定され、前記ボールねじの第2端を回転可能かつ軸方向移動可能に支持した第2支持手段と、
前記第2端の端面に対して前記ボールねじの軸方向に任意の距離だけ離れているとともに、前記第2固定位置から所定の軸方向距離にある第2基準位置で前記第2支持手段に固定されて、前記端面までの距離を検出可能な距離検出手段と、
前記基台と前記第1支持手段と前記第2支持手段の温度を検出可能な温度検出手段と、
前記駆動モータを制御する制御手段と、を備えた位置決め装置であって、
前記制御手段には、
基準温度時における前記第1固定位置と前記第2固定位置までの前記基台の長さである基台基準長さと、
基準温度時における前記第1固定位置と前記第1基準位置までの前記第1支持手段の長さである第1支持手段基準長さと、
基準温度時における前記第2固定位置と前記第2基準位置までの前記第2支持手段の長さである第2支持手段基準長さと、
前記基準温度測定時における前記第1基準位置から前記ボールねじの前記端面までの長さであるボールねじ基準長さと、が記憶されており、
前記制御手段は、
前記基台基準長さと前記温度検出手段で検出した前記基台の検出温度とに基づいて演算により求めた前記基台基準長さの伸縮量と、
前記第1支持手段基準長さと前記温度検出手段で検出した前記第1支持手段の検出温度とに基づいて演算により求めた前記第1支持手段基準長さの伸縮量と、
前記第2支持手段基準長さと前記温度検出手段で検出した前記第2支持手段の検出温度とに基づいて演算により求めた前記第2支持手段基準長さの伸縮量と、
前記距離検出手段にて検出した検出距離と、に基づいて、前記第1基準位置から前記端面までの長さであるボールねじ実長さを求め、
前記ボールねじ実長さと、前記ボールねじ基準長さと、に基づいて、前記駆動モータの制御量を補正することである。
図1に示すように、位置決め装置1は、基台2の上部に1対のガイド3が固定され、ガイド3によりX軸方向に往復移動可能に支持された可動体4を備えている。両端部を支持部材5と支持部材6により回転可能に支持されたボールねじ7が、可動体4と係合しており、
支持部材5に固定されたモータ8がボールねじ7と連結されている。これによって、位置決め装置1は、モータ8の回転に応じて可動体4を往復移動させる機能を有している。
また、位置決め装置1は、制御装置30を備えており、制御装置30の機能的構成として、各種データを記録する記録部301、演算を行う演算部302、モータ8の回転を制御するモータ制御部303などを具備している。
以上により、位置決め装置1は、モータ8の回転を制御することで可動体4のX軸方向の位置を制御している。
第1支持手段を構成する支持部材5はボルト13により基台2の上部に固定されており、ボルト13の中心位置を第1固定位置aと称する。支持部材5は第1支持手段を構成する1組の背面組合せの玉軸受51の外輪を保持している。ボールねじ7を構成するボールねじ軸70の第1端の近傍が、玉軸受51の内輪に挿入され、締付け部材11により内輪の端部に押付けられることで、回転可能かつX軸方向移動不能に支持されている。この1組の玉軸受51のX軸方向の中央位置を第1基準位置cと称する。また、支持部材5の端部にモータ8が固定されており、モータ8の回転軸81がボールねじ軸70の第1端と結合されている。
第2支持手段を構成する支持部材6はボルト14により基台2の上部に固定されており、ボルト14の中心位置を第2固定位置bと称する。支持部材6は第2支持手段を構成するコロ軸受61の外輪を保持し、コロ軸受61の内輪は締付け部材12によりボールねじ軸70の第2端の近傍に固定されている。コロ軸受なので外輪と内輪は相対的に回転可能かつX軸方向に移動可能である。
以上の構造により、ボールねじ軸70は、X軸方向において、支持部材5の第1基準位置cを基準として伸縮可能に保持される。
ボールねじ軸70にはボールねじ7を構成するボールねじナット71が相対回転して相対移動可能に係合しており、ボールねじナット71は可動体4に固定されている。
また、基台2、支持部材5、支持部材6には温度検出手段TSが設けられており、それぞれの温度を検出することができる。
図2において、基準温度時の、基台2の第1固定位置aと第2固定位置bの間の距離をKLとし、支持部材5の第1固定位置aと第1基準位置cの間の距離をSL1とし、支持部材6の第2固定位置bと端部dの間の距離をSL2とする。また、基準温度時の、ボールねじ軸70の第1基準位置cから第2端の端面701までの距離はBLであり、ボールねじ軸70の他端部701から検出基準面101(端部d)までの距離はDLである。
以上から、KL+SL2=SL1+BL+DLが成り立つ。また、この時のボールねじ7のリードはLである。
所定温度時の、基台2の第1固定位置aと第2固定位置bの間の距離をKL+ΔKLとし、支持部材5の第1固定位置aと第1基準位置cの間の距離をSL1+ΔSL1とし、支持部材6の第2固定位置bと端部dの間の距離をSL2+ΔSL2とする。また、基準温度時の、ボールねじ軸70の第1基準位置cから端面701までの距離はBL+ΔBLであり、ボールねじ軸70の他端部701から検出基準面61(端部d)までの距離はDL+ΔDLである。
以上から、KL+ΔKL+SL2+ΔSL2=SL1+ΔSL1+BL+ΔBL+DL+ΔDLが成り立つ。また、この時のボールねじのリードはL+ΔLである。
ここで、基台2、支持部材5、6は同一の鉄系の材料で製造されているために、線膨張係数を同一のρとし、基台2の基準温度と所定温度の温度差をΔt1とすると、ΔKLは温度差Δt1による距離KLにおける基台2の伸縮量であるので、ΔKL=ρ・Δt1・KLとなる。同様にして、支持部材5の基準温度と所定温度の温度差をΔt2とするとΔSL1=ρ・Δt2・SL1、支持部材6の基準温度と所定温度の温度差をΔt3とするとΔSL2=ρ・Δt3・SL2となる。
以上より、ρ・Δt1・KL+ρ・Δt3・SL2=ρ・Δt2・SL1+ΔBL+ΔDLとなり、ΔBLは式ΔBL=ρ・Δt1・KL+ρ・Δt3・SL2−ρ・Δt2・SL1−ΔDLを用いて算出できる。ここで、Δt1、Δt2、Δt3は温度検出手段TSにより測定可能で、ΔDLは距離検出手段6により測定可能であり、ρ、KL、SL2、SL1は既知であるから、温度検出手段TSと距離検出手段6の測定値から、ボールねじ軸70の第1基準位置cから端面701までの距離の変化量ΔBLを測定できる。
リードの変化量ΔLはボールねじ軸70の第1基準位置cから端面701までの距離の変化量ΔBLと比例するのでΔL=ΔBL・L/BLと表される。
基準温度時の可動体4の移動量T0は、ボールねじ軸70の回転角度をΘ、リードをLとすると式T0=L・Θ/360で表される。また、所定温度時の、可動体4の移動量T1はT1=(L+ΔL)・Θ/360で表される。
基準温度時と所定温度時の可動体4の移動量を同一とするには、温度変化によるリードの変化量ΔLに対応して回転角度ΘをΔΘだけ増減して調整すればよい。すなわち、所定温度時には、T0=L・Θ/360=(L+ΔL)・(Θ+ΔΘ)/360が成り立つような補正角度ΔΘの補正を行えばよい。上式を変形すると、L・Θ=(L+ΔL)・(Θ+ΔΘ)から補正角度ΔΘは式ΔΘ=−ΔL・Θ/(L+ΔL)で算出できる。
はじめに、基台2、支持部材5、支持部材6、ボールねじ7が基準温度である時の、KL、SL2、SL1、BL、DL、Lを測定して記録部301に記録し、さらに、基台2、支持部材5、支持部材6の線膨張係数ρの値と基準温度t0の値も記録部301に記録しておく。
可動体4の移動量T0が指令された場合に、温度検出手段TSにより基台2の温度t1、支持部材5の温度t2、支持部材6の温度t3を測定し、距離検出手段6によりDL+ΔDLを測定して記録部301に記録する。
演算部302において、基準温度との温度差を以下の式Δt1=t1−t0、Δt2=t2−t0、Δt3=t3−t0で演算し、さらにΔBLを以下の式ΔBL=ρ・Δt1・KL+ρ・Δt3・SL2−ρ・Δt2・SL1−ΔDLで演算し、ΔLを=ΔBL・L/BLで演算し記録部301に記録する。
可動体4をT0移動させるための基準温度時のボールねじ7の回転量Θ0を式Θ0=T0・360/Lで演算し、所定温度において可動体4をT0移動させるためのボールねじ7の補正回転量ΔΘを式ΔΘ=−ΔL・Θ/(L+ΔL)で演算する。
モータ制御部303により、モータをΘ+ΔΘの角度だけ回転するように指令する。
温度検出手段TSとして、熱電対やサーミスタその他公知の温度検出器を用いてもよい。
Claims (1)
- 基台と、
前記基台に対して所定の軸方向へ往復移動可能に支持された可動体と、
前記可動体に係合されて前記可動体を往復移動させるボールねじと、
前記ボールねじの第1端に係合し回転動力を伝達して前記ボールねじを回転させる駆動モータと、
前記基台の第1固定位置に固定され、前記第1固定位置から所定の軸方向距離にある第1基準位置で前記ボールねじの前記第1端の近傍を回転可能かつ軸方向移動不能に支持した第1支持手段と、
前記基台の第2固定位置に固定され、前記ボールねじの第2端を回転可能かつ軸方向移動可能に支持した第2支持手段と、
前記第2端の端面に対して前記ボールねじの軸方向に任意の距離だけ離れているとともに、前記第2固定位置から所定の軸方向距離にある第2基準位置で前記第2支持手段に固定されて、前記端面までの距離を検出可能な距離検出手段と、
前記基台と前記第1支持手段と前記第2支持手段の温度を検出可能な温度検出手段と、
前記駆動モータを制御する制御手段と、を備えた位置決め装置であって、
前記制御手段には、
基準温度時における前記第1固定位置と前記第2固定位置までの前記基台の長さである基台基準長さと、
基準温度時における前記第1固定位置と前記第1基準位置までの前記第1支持手段の長さである第1支持手段基準長さと、
基準温度時における前記第2固定位置と前記第2基準位置までの前記第2支持手段の長さである第2支持手段基準長さと、
前記基準温度測定時における前記第1基準位置から前記ボールねじの前記端面までの長さであるボールねじ基準長さと、が記憶されており、
前記制御手段は、
前記基台基準長さと前記温度検出手段で検出した前記基台の検出温度とに基づいて演算により求めた前記基台基準長さの伸縮量と、
前記第1支持手段基準長さと前記温度検出手段で検出した前記第1支持手段の検出温度とに基づいて演算により求めた前記第1支持手段基準長さの伸縮量と、
前記第2支持手段基準長さと前記温度検出手段で検出した前記第2支持手段の検出温度とに基づいて演算により求めた前記第2支持手段基準長さの伸縮量と、
前記距離検出手段にて検出した検出距離と、に基づいて、前記第1基準位置から前記端面までの長さであるボールねじ実長さを求め、
前記ボールねじ実長さと、前記ボールねじ基準長さと、に基づいて、前記駆動モータの制御量を補正する、
位置決め装置。
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