JP5510068B2 - 被加工物の加工表面の欠陥検出装置 - Google Patents
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Description
40:上下スライド体、 50:左右スライド体、 51:側板
60:回転体、 61:後面部、 62:底面部、 63:側面部
70:センサ支持体、 80:センサ、 90:距離センサ
100:制御装置、 110:欠陥検出処理部
W:被検査体、 F:被検査面
Claims (3)
- 円環状の被加工物を被検査体として、当該被検査体において軸方向断面形状が円弧凹形状となる被検査面における欠陥を検出する被加工物の加工表面の欠陥検出装置において、
前記被検査体を支持する被検査体支持体と、
前記被検査体支持体に対して移動可能に設けられた移動基台と、
前記移動基台に、前記被検査体の軸方向に直交する軸回りに回転可能に支持された回転体と、
前記回転体の回転軸に対して直交する直線第一方向に移動可能となるように前記回転体に支持されるセンサ支持体と、
前記センサ支持体に支持され、前記欠陥を検出可能なセンサと、
前記直線第一方向における前記センサによる前記被検査面に対する接触荷重を検出する荷重検出センサと、
前記直線第一方向が前記被検査面のうち前記センサに接触する位置の法線方向に一致するように前記回転体を移動すると共に、前記センサによる前記被検査面に対する前記法線方向の接触荷重が設定された範囲内となるように前記被検査体支持体と前記移動基台とを相対移動する位置決め手段と、
前記位置決め手段により位置決めした後に前記センサから出力される信号により前記欠陥を検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする被加工物の加工表面の欠陥検出装置。 - 請求項1において、
前記センサ支持体は、前記回転体に対して前記直線第一方向へスライド可能となるようにガイドされ、かつ、前記回転体に対して前記直線第一方向に伸縮する弾性体を介して前記回転体に連結され、
前記荷重検出センサは、前記回転体に対する前記センサ支持体の前記直線第一方向における離間距離を検出することにより、前記直線第一方向における前記センサによる前記被検査面に対する前記法線方向の接触荷重を検出することを特徴とする被加工物の加工表面の欠陥検出装置。 - 請求項2において、
前記被検査体は、前記円環状の軸回りに全周に亘って前記軸方向断面形状が円弧凹形状となる前記被検査面を有し、
前記被検査体支持体は、前記被検査体を前記被検査体の軸回りに回転可能に支持し、
前記検出手段は、前記位置決め手段により位置決めした後に、前記被検査体を回転させながら前記センサから出力される信号により前記円環状の軸回りの全周に亘る前記被検査面の前記欠陥を検出することを特徴とする被加工物の加工表面の欠陥検出装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2010119097A JP5510068B2 (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 被加工物の加工表面の欠陥検出装置 |
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JP5510068B2 true JP5510068B2 (ja) | 2014-06-04 |
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Family Applications (1)
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JP2010119097A Active JP5510068B2 (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | 被加工物の加工表面の欠陥検出装置 |
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