JP2010247276A - ボールねじの熱変位検出装置および熱変位検出方法 - Google Patents

ボールねじの熱変位検出装置および熱変位検出方法 Download PDF

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廣光 渡邊
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Abstract

【課題】水分や油分の付着に由来する誤検出の問題は生じず、より信頼性に優れたボールねじの熱変位検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、一側端が回転可能且つ軸方向に移動不能に支持され、他端側が回転可能且つ軸方向に移動可能に支持されるボールねじ7の熱変位を検出する装置であって、ボールねじ7の他端側の端面に、間接的又は直接的に接触するようにリニアセンサ40のセンサロッド42を取り付ける。これによれば、ボールねじ7の端面とセンサロッド42とが接触する状態で熱変位を検出することができるので、従来の電磁誘導センサを検出要素とする形態においては不可避であった、ボールねじ7の他端側の端面に水分や油分等が付着することに起因する誤検出の問題は生じず、信頼性に優れた熱変位検出装置を得ることができる。また、電磁誘導センサのように、ボールねじ7の端面の中心に対する厳密な位置合わせ作業は不要であり、熱変位検出装置の低コスト化に貢献できる。
【選択図】図1

Description

本発明は、ボールねじの熱変位を検出するための装置および方法に関する。
ボールねじは、工作機械等の可動体の送り装置或いは位置決め装置として広く適用されている。また、軸受機構との間の摩擦により発生した熱やサーボモータの発熱がボールねじに伝わり温度が上昇すると、ボールねじが熱膨張して軸方向に熱変位が生じることも知られており、かかる熱変位を検出する方法についても種々の方式が提案されている。
例えば、特許文献1では、ボールねじ12の軸方向の一端側をサーボモータ18に連結し、軸方向の他端側を変位可能な遊端側とし、当該遊端側の端面12aと対向する位置に非接触式の電磁誘導センサ(検出装置24)を配置し、端面12aの中心からセンサまでの間隔距離の変化を捉えることで、ボールねじ12の軸方向の熱変位を検出している(特許文献1の図2参照)。
特開2001−138178号公報(図2、段落番号0012)
特許文献1のように、ボールねじの端面と対向する位置に配置された非接触式の電磁誘導センサにより熱変位を検出する方法では、水分やベアリングの潤滑油などが遊端側の端面に付着すると、誘導率が変化して熱変位の正確な検出が不可能となる。また、ボールねじの回転中心と端面の中心とが一致していることを前提条件として、ボールねじの端面の中心を検出位置とし、誘電率の変化から当該検出位置からセンサまでの距離を捉えて、これをボールねじの軸方向の熱変位として検出しているため、端面の中心位置と電磁誘導センサとの厳密な位置合わせが必要で、工作機械等の製造コストの上昇を招く不利もある。
本発明は、水分や油分の付着に由来する誤検出の問題は生じず、より信頼性に優れたボールねじの熱変位検出装置および方法を提供することを目的とする。
本発明は、一側端が回転可能且つ軸方向に移動不能に支持され、他端側が回転可能且つ軸方向に移動可能に支持されるボールねじの熱変位を検出する装置であって、前記ボールねじの他端側の端面に、間接的又は直接的に接触するようにリニアセンサのセンサロッドが取り付けられていることを特徴とする。
ここで言う間接的とは、ボールねじの端面とセンサロッドとの間に、後述のような継手ブロックが存在しており、該継手ブロックにセンサロッドが接触していることを意味する。
また本発明は、ボールねじの他端に継手ブロックを装着する形態を採ることができる。継手ブロックは、ベアリングを介してボールねじと相対回転可能に支持されて、該ボールねじの熱変位に従って軸方向に変位する伝動体を含むものとし、この伝動体にセンサロッドを固定する。
また本発明は、ボールねじの他端に、継手ブロックが装着されており、継手ブロックは、ベアリングを介して前記ボールねじと相対回転可能に支持され、該ボールねじの熱変位に従って軸方向に変位する伝動体を含み、リニアセンサは、センサロッドと該センサロッドのスライド位置を検出する中空筒状のセンサヘッドとを含み、該センサロッドは、その遊端側が該センサヘッドから離れる方向に付勢されており、センサロッドの遊端が伝動体の軸方向の端面に接触する状態で、リニアセンサが配置されている形態を採ることができる。
伝動体は回止め具で回転不能に固定することが好ましい。
ボールねじの他端側の端面に、センサロッドの遊端を固定する形態を採ることができる。
また本発明は、一側端が回転可能且つ軸方向に移動不能に支持され、他端側が回転可能且つ軸方向に移動可能に支持されるボールねじの熱変位を検出する方法であって、ボールねじの他端側の端面に、間接又は直接的に接触するようにリニアセンサのセンサロッドが取り付けられており、ボールねじの軸方向の変位に伴ってセンサロッドがセンサヘッドに対して相対的にスライド移動することにより、該ボールねじの熱変位を検出することができるようになっていることを特徴とする。
ここで言う間接的とは、ボールねじの端面とセンサロッドとの間に、継手ブロックが存在しており、該継手ブロックにセンサロッドが接触していることを意味する。
本発明に係る熱変位検出装置および熱変位検出方法おいては、リニアセンサをボールねじの熱変位の検出要素として、当該リニアセンサのセンサロッドをボールねじの他端側の端面に間接又は直接的に接触させた。これによれば、ボールねじの端面とセンサロッドとが接触する状態で熱変位を検出することができるので、従来の電磁誘導センサを検出要素とする形態においては不可避であった、ボールねじの他端側の端面に水分や油分等が付着することに起因する誤検出の問題は生じず、信頼性に優れた熱変位検出装置および熱変位検出方法を得ることができる。また、電磁誘導センサのように、ボールねじの端面の中心に対する厳密な位置合わせ作業は不要であり、熱変位検出装置の低コスト化に貢献できる。
リニアセンサを使ってボールねじの熱変位を検出する方法としては、例えば、ボールねじと並行状にセンサロッドを配置する方法が考えられる。しかし、この場合には、ボールねじと略同寸法の全長を有するセンサロッドを採用する必要があり、センサロッドが大型化して、熱検出装置およびこれが適用される工作機械等の全体コストが上昇することが避けられない。これに対して、本願発明のように、リニアセンサのセンサロッドをボールねじの他端側の端面に間接又は直接的に接触させていると、小型のリニアセンサを採用することができ、熱変位検出装置の低コスト化を図ることができる。
ボールねじの他端に、ベアリングを介してボールねじと相対回転可能に支持される伝動体を含む継手ブロックを装着して、伝導体にセンサロッドを固定したので、伝導体およびセンサロッドがボールねじの駆動回転に伴って従動回転することは無く、伝動体およびセンサロッドを軸方向にのみ進退変位させることができる。これによれば、伝動体およびセンサロッドと軸受部材との間の摺動摩擦による発熱を最小限化して、当該発熱に起因する伝導体等の熱変位を抑えることができるので、より正確にボールねじの熱変位を検出することができる。また、センサロッド等の軸受部材の摩耗を防いで、長期使用時にもセンサロッド等ががた付くことが無い信頼性に優れた熱変位装置を得ることができる。
リニアセンサが、センサロッドと該センサロッドのスライド位置を検出する中空筒状のセンサヘッドとを含んでユニット部品化されていると、リニアセンサの組み付け作業の手間を少なくして、熱変位検出装置の低コスト化に貢献できる。センサロッドの伝動体への固定作業が不要であり、この点でもリニアセンサの組み付け作業の手間を少なくして、熱変位検出装置の低コスト化に貢献できる。
伝導体は回止め具で回転不能に固定することが好ましい。これによれば、ボールねじの駆動回転に伴う伝導体の従動回転を確実に防ぐことができるので、伝動体と軸受部材との間の発熱を最小限化することができる。従って、当該発熱に起因する伝導体等の熱変位を抑えて、より正確にボールねじの熱変位を検出することができる。
ボールねじの他端側の端面に、センサロッドの遊端が固定されている形態を採ることができる。これによれば、先の継手ブロックを廃することができるので、装置の低廉化を図ることができる。
本発明の第1実施形態に係る熱変位検出装置の縦断側面図である。 本発明の第1実施形態に係る熱変位検出装置が適用される切削装置の概略構成図である。 切削装置のボールねじ機構を示す縦断側面図である。 本発明の熱変位検出装置の補正効果を説明するための検証モデルを説明するための図である。 検証モデルによる熱変位(熱膨張変位)の実際の伸び、および計測伸びを説明するための図である。 検証モデルによる熱変位(熱膨張変位)の実際の伸び、および計測伸びを示す表である。 本発明の第2実施形態に係る熱変位検出装置の縦断側面図である。 本発明の第3実施形態に係る熱変位検出装置の縦断側面図である。
(第1実施形態) 図1乃至図3に、本発明に係るボールねじの熱変位検出装置およびボールねじの熱変位検出方法を、銅板等の金属板の切削装置に適用した第1実施形態を示す。図2に示すように、切削装置1は、基台2と、該基台2上に設けられて銅板3を水平方向に移動させる台車4と、台車4上で上下動可能に構成されたフライス削り機構5と備える。フライス削り機構5は、基台2に設置されて上下方向に走るボールねじ7と、ボールねじ7の回転に伴って上下動されるホルダー9と、ホルダー9に回転可能に組み付けられて、銅板3の表面を切削するフライス刃10と、ベルト機構11を介してフライス刃10に回転駆動力を与えるモータ12とを備える。
図2において、符号13は、切削装置1の全体を制御する制御装置を示しており、該制御装置13は予め設定された制御プログラムに従って、ボールねじ7を駆動回転させるサーボモータ15、フライス刃10を駆動回転させるモータ12、および台車4を駆動制御する。具体的には、制御装置13は、エンコーダ16および熱変位検出装置17からの検出信号を受けながら、台車4により銅板3を水平方向に移動させるとともに、ボールねじ7を回転操作させてホルダー9ごとフライス刃10を精密に上下動させることにより、所定の厚み寸法で銅板3の表面を削ることができる。
図3に示すように、ボールねじ7は、その全長の殆どを占めて、ホルダー9のナット19が螺合装着される雌ねじ状のねじ部20と、ねじ部の両端部に形成された円筒状の軸部21・22とで構成される。両軸部21・22を基台2に固定された上下一対の軸受ボックス23・24でベアリング25・26・27を介して軸支することにより、ボールねじ7の全体が立直姿勢で回転自在に支持されている。上方側の軸部21は、上方より順に、サーボモータ15の出力軸15aにカップリング29を介して連結される第1ジャーナル部21aと、軸受ボックス23のベアリング26・27に支持される第2ジャーナル部21bと、第2ジャーナル部21bよりも大径の第3ジャーナル部21cとで構成される。第3ジャーナル部21cの上方側の端面が、これに対向するベアリング26の内輪体26cの下面に接触することにより、ボールねじ7の上方側への移動限界が規制されている。
上方側の軸受ボックス23は上下一対のベアリング25・26を備える。両ベアリング25・26の間には予圧が加えられており、これにて、先の第3ジャーナル部21cの端面がベアリング26の内輪体26cの下面に接触することと相俟って、ボールねじ7の上端の上下方向の変位を規制している。なお、両ベアリング25・26のボールのアンギュラー軸線どうしを互いに逆向きに傾斜させることにより、両ベアリング25・26の間に予圧を与えている。
下方側の軸受ボックス24は、一つのベアリング27を有しており、ボールねじ7の下方側の軸部22は、該ベアリング27を介して回転可能に、しかも上下方向に変位可能に構成されている。以上のように下方側の軸部22を上下方向に変位可能に構成することにより、熱変位に伴うボールねじ7の軸方向の伸長変化を逃すことができる。
ボールねじ7の下端には、ボールねじの熱変位を測定するための熱変位検出装置17が設けられている。この熱変位検出装置17は、ボールねじ7の下方側の軸部22に装着される継手ブロック30と、検出要素であるリニアセンサ40とで構成される。図1に示すように継手ブロック30は、軸部22の下端に固定される筒状のハウジング31と、ハウジング31の内部に装着される上下一対のベアリング32・33と、これらベアリング32・33を介してハウジング31およびボールねじ7に対して相対回転可能に支持される伝動体34とを備える。
伝動体34は、両ベアリング32・33の内輪体32a・33aに支持される第1ジャーナル部34aと、該第1ジャーナル部34aよりも大径の第2ジャーナル部34bと、第1ジャーナル部34aの上方端面に突設された雌ねじ部34cとを有する金属部品である。内輪体33aの外面に第2ジャーナル部34bの上端面が接触するまで、第1ジャーナル部34aを内輪体32a・32bの軸受孔に内嵌状に挿通したのち、内輪体32aから突出する雌ねじ部34cにナット35を螺合装着することにより、伝動体34はハウジング31に固定されている。また、以上のようにハウジング31に伝動体34を固定した状態で、ハウジング31をボールねじ7の軸部22の下端部に螺合装着することにより、ボールねじ7に継手ブロック30を連結することができる。
両ベアリング32・33は、それらのボールのアンギュラー軸線どうしを互いに逆向きに傾斜させることにより、内輪体32a・33aどうしが近付く方向の負の隙間となるように、予め内部応力を発生させた状態で組み付けられている。これにて、伝動体34のラジアル方向およびアキシアル方向の位置決めを正確にするとともに、伝動体34の軸方向(上下方向)の振れを抑えることができる。
伝動体34の第2ジャーナル部34bに外嵌状に装着されたリング36には、ボールねじ7の回転に伴う伝動体34の従動回転を阻止するための回り止め部材としてのW字状の板バネ37が取り付けられている。詳しくは、板バネ37は、リング36に装着されて上下方向に走る第1直線部37aと、第1直線部37aの延出端から直角に折り曲げられて水平方向に走る第2直線部37bと、第2直線部37bの延出端から直角に折り曲げられて上下方向に走る第3直線部37cと、第3直線部37cの延出部から直角に折り曲げられて水平方向に走り、支持フレーム38に固定される第4直線部37dとからなり、全体としてW字状に形成されている。第1直線部37aおよび第4直線部37dには、ビス39・39用の貫通孔が設けられている。以上のような板バネ37を配することにより、ボールねじ7の駆動回転に伴う伝動体34の従動回転を確実に阻止することができる。また、隣り合う直線部37a〜37dどうしの折り曲げ角度が変化することにより、ボールねじ7の熱変位に伴う伝動体34の軸方向(上下方向)の変位を吸収することができる。
リニアセンサ40は、支持フレーム38に固定される円筒状のセンサヘッド41と、センサヘッド41内に挿通されて、直線変位する軸状のセンサロッド42とで構成される。センサロッド42の上端は、伝動体34の第2ジャーナル部34bの下端面に陥没形成された凹部34d内に内嵌固定されている。センサロッド42には所定のピッチで磁性マークが設けられており、センサヘッド41にはコイルが設けられている。そして、センサロッド42の直線変位に伴う磁性マークとコイルとの間の磁気結合の変化を捉えることにより、センサヘッド41に対するセンサロッド42のスライド位置を求めることができる。
上記のように、第3ジャーナル部21cの上方側の端面が、これに対向するベアリング26の内輪体26cの下面に接触すること、および軸受ボックス23のベアリング25・26の間に予圧を与えることにより、ボールねじ7は、その上方向への移動が規制されている。このため、サーボモータ15の発熱や、ボールねじ7とナット19との摺動摩擦による発熱等によりボールねじ7が熱変位すると、下方向に向かってのみボールねじ7は伸長する。換言すると、ボールねじ7は第3ジャーナル部21cの上方端を基準位置として下方に向かって伸長し、この伸長変化を伝動体34を介してリニアセンサ40で捉えることで、ボールねじ7の熱変位を検出することができる。
本発明に係る熱変位検出装置17により検出された変位量に基づく補正精度を、図4乃至図6に基づいて説明する。ここでのボールねじ7は、図4に示すように、ねじ部20の全長が1000mmの鉄製であり、ナット19がねじ部20の中央部で揺動動作することにより、当該中央部は40℃に至り、両軸端では20℃となったと仮定する。図4に示すように、両軸端から中央部、および中央部から両端部への温度勾配は直線と仮定する。
また、熱膨張は計算の簡略化のため、100mmの鉄材の1℃変化あたりの伸びは1μmと仮定する。以上より、任意のx地点(0〜500mm)における実際の伸び量Sxは、図4に示す積分式で求めることができる。
図4に係る積分式により得られた軸各部の伸びは、図6に示す表の系列1の如くとなる。また、これをグラフ上にプロットすると、図5の系列1の如くとなる。
軸端で計測した伸びは100μmである。換言すると、リニアセンサによる検出量は100μmであり、これから推測する各部位での伸びを全長計測に比例する変位として示すと、図5および図6の系列2の如くとなる。つまり、系列2は補正数値である。
図6の系列1と系列2とを差分が、補正誤差となる。つまり、本検証モデルによれば、最大でも補正誤差を12μmに抑えることができ、また、中央部の500μmの地点では補正誤差は全く生じないことがわかる。以上より、本発明による熱変位検出装置によれば、熱変位によりねじ部20において生じた最大100μmの誤差を、12μmに抑えることが可能である。
(第2実施形態) 図7に本発明の第2実施形態に係る熱変位検出装置および熱変位検出方法を示す。そこでは、全体がユニット部品化されたペンシル型のリニアセンサ40を採用した点が先の第1実施形態と大きく相違する。
詳しくは、リニアセンサ40は、筒型のセンサヘッド41の内部に挿通されたセンサロッド42の先端に、砲弾状に形成した頭部43が装着されている。センサヘッド41の上端面と頭部との間に、当該頭部43を上方へ付勢するプラスチック製の蛇腹管44が装着されており、頭部43の上端が、常に伝動体34の下端面に接触するようにしている。それ以外の点は、上記第1実施形態と同様であるので、同等の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
この第2実施形態に係る熱変位検出装置によれば、リニアセンサ40をユニット部品化したので、リニアセンサ40の組み付け作業の手間を少なくして、熱変位検出装置の低コスト化に貢献できる。第1実施形態のように、センサロッド42の伝動体34への固定作業が不要であり、この点でもリニアセンサ40の組み付け作業の手間を少なくして、熱変位検出装置の低コスト化に貢献できる。
(第3実施形態) 図8に本発明の第3実施形態に係る熱変位検出装置および熱変位検出方法を示す。そこでは、継手ブロック30および回り止め部材である板バネ37を廃して、リニアセンサ40のロッド42を直接的にボールねじ7の下端に固定した点が、先の第1実施形態と相違する。
詳しくは、本実施形態に係る熱変位検出装置では、センサロッド42は、ボールねじ7の下端面に陥没形成された凹部45内に内嵌固定されており、該ボールねじ7の駆動回転に伴って従動回転するようになっている。それ以外の点は、先の第1実施形態と同様であるので、同等の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態によれば、センサロッド42をボールねじ7に直接的に固定して、継手ブロック30を廃したため、装置の低廉化を図ることができる。
7 ボールねじ
17 熱変位検出装置(ボールねじの熱変位検出装置)
20 ねじ部
21 軸部
22 軸部
30 継手ブロック
32 ベアリング
33 ベアリング
34 伝動体
37 回止め具(板ばね)
40 リニアセンサ
41 センサヘッド
42 センサロッド

Claims (6)

  1. 一側端が回転可能且つ軸方向に移動不能に支持され、他端側が回転可能且つ軸方向に移動可能に支持されるボールねじの熱変位を検出する装置であって、
    前記ボールねじの他端側の端面に、間接的又は直接的に接触するようにリニアセンサのセンサロッドが取り付けられていることを特徴とするボールねじの熱変位検出装置。
  2. 前記ボールねじの他端に、継手ブロックが装着されており、
    前記継手ブロックは、ベアリングを介して前記ボールねじと相対回転可能に支持され、該ボールねじの熱変位に従って軸方向に変位する伝動体を含み、
    前記伝動体に前記センサロッドが固定されている請求項1記載のボールねじの熱変位検出装置。
  3. 前記ボールねじの他端に継手ブロックが装着されており、
    前記継手ブロックは、ベアリングを介して前記ボールねじと相対回転可能に支持され、該ボールねじの熱変位に従って軸方向に変位する伝動体を含み、
    前記リニアセンサは、前記センサロッドと該センサロッドのスライド位置を検出する中空筒状のセンサヘッドとを含んでユニット部品化されており、該センサロッドは、その遊端側が該センサヘッドから離れる方向に付勢されており、
    前記センサロッドの遊端が前記伝動体の軸方向の端面に接触する状態で、前記リニアセンサが配置されている請求項1記載のボールねじの熱変位検出装置。
  4. 前記伝動体が回止め具で回転不能に固定されている請求項2又は3記載のボールねじの熱変位検出装置。
  5. 前記ボールねじの他端側の端面に、前記センサロッドの遊端が固定されている請求項1記載のボールねじの熱変位検出装置。
  6. 一側端が回転可能且つ軸方向に移動不能に支持され、他端側が回転可能且つ軸方向に移動可能に支持されるボールねじの熱変位を検出する方法であって、
    前記ボールねじの他端側の端面に、間接又は直接的に接触するようにリニアセンサのセンサロッドが取り付けられており、
    前記ボールねじの軸方向の変位に伴ってセンサロッドがセンサヘッドに対して相対的にスライド移動することにより、該ボールねじの熱変位を検出することができるようになっていることを特徴とするボールねじの熱変位検出方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4917665B1 (ja) * 2010-11-11 2012-04-18 ファナック株式会社 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置
JP2013234725A (ja) * 2012-05-10 2013-11-21 Takeo Kobayashi ボールねじ送り装置および加工装置
WO2024210348A1 (ko) * 2023-04-07 2024-10-10 재단법인대구경북과학기술원 모션 및 힘 제어가 가능한 동축 구동모듈

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56119351A (en) * 1980-02-19 1981-09-18 Okuma Mach Works Ltd Correcting method of position error of feed screw
JPH02243248A (ja) * 1989-03-14 1990-09-27 Murata Mach Ltd 工作機械における移動部位置補正装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56119351A (en) * 1980-02-19 1981-09-18 Okuma Mach Works Ltd Correcting method of position error of feed screw
JPH02243248A (ja) * 1989-03-14 1990-09-27 Murata Mach Ltd 工作機械における移動部位置補正装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4917665B1 (ja) * 2010-11-11 2012-04-18 ファナック株式会社 工作機械の熱変位補正方法及び熱変位補正装置
CN102528558A (zh) * 2010-11-11 2012-07-04 发那科株式会社 机床的热位移补偿方法以及热位移补偿装置
US8924003B2 (en) 2010-11-11 2014-12-30 Fanuc Corporation Thermal displacement compensation method and thermal displacement compensation device for machine tool
JP2013234725A (ja) * 2012-05-10 2013-11-21 Takeo Kobayashi ボールねじ送り装置および加工装置
WO2024210348A1 (ko) * 2023-04-07 2024-10-10 재단법인대구경북과학기술원 모션 및 힘 제어가 가능한 동축 구동모듈

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