JP5886364B2 - 導波モード共振センサアセンブリ - Google Patents
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Description
本出願は、1999年11月5日出願の仮特許出願第60/163,705号の優先権を主張するものであり、当該仮特許出願の全文を本明細書において参照することにより、当該仮特許出願の全文が特許権の一部放棄を伴うことなく本明細書に特に組み込まれる。本出願はまた、1999年11月6日出願の仮特許出願第60/164,089号の優先権を主張するものであり、当該仮特許出願の全文を本明細書において参照することにより、当該仮特許出願の全文が特許権の一部放棄を伴うことなく本明細書に特に組み込まれる。本出願は更に、2006年9月8日出願の仮特許出願第60/825,066号の優先権を主張するものであり、当該仮特許出願の全文を本明細書において参照することにより、当該仮特許出願の全文が特許権の一部放棄を伴うことなく本明細書に特に組み込まれる。本出願は更に、仮特許出願第60/163,705号及び第60/164,089号の優先権を主張した2000年11月6日出願の米国特許出願第09/707,435号の優先権を主張するものであり、当該米国特許出願の全文を本明細書において参照することにより、当該米国特許出願の全文が特許権の一部放棄を伴うことなく本明細書に特に組み込まれる。
(発明の分野)
本開示は、共振漏洩モードで周期構造の中で動作する光センサを提供するものであり、周期構造では、角度ダイバーシチ、スペクトルダイバーシチ、モードダイバーシチ、及び偏波ダイバーシチを有利に適用して高精度検出を小型システム構成で行なう。このようにして得られ、かつ数値モデルにフィッティングされる相互参照データセットによって精度及び確度が高くなって、非常に広範囲の用途において検出動作の信頼性が向上する。
バイオ検出及び化学検出用の非常に多くの光センサが開発され市販され、そして研究文献に公開されている。例示的なデバイスとして、表面プラズモン共振センサ、MEMS加工カンチレバーセンサ、共振ミラー、ブラッグ格子センサ、導波路センサ、干渉導波路センサ、エリプソメトリー及び格子を適用したセンサを挙げることができる。これらのデバイスのうち表面プラズモン共振(SPR)センサは、コンセプト、機能、及び性能の点で大幅に異なるものの、本開示の主題である導波モード共振(GMR)センサに最も類似している。GMRセンサ及びSPRセンサは共に、タグ不要の生化学的検出能を備える。
本願発明者らによって、共振導波路格子の屈折率及び/又は厚さを変化させることにより、共振導波路格子の共振周波数を変化させる、または調整することができることが提案されている。本願発明者らは、このアイデアをバイオセンサに適用することができることを発見した。というのは、接着する生体層の蓄積をリアルタイムに、化学タグを使用することなく、該当する共振周波数シフトを分光計で追跡調査することによりモニタリングすることができるからである。従って、検体と当該検体に対して指定された受容体との間の会合速度を定量化することができる。実際、会合、解離、及び再生を含む結合サイクル全体の特性を記録することができる。同様に、周囲媒質の屈折率の小さな変化、または導波路格子層群の内のいずれかの導波路格子層の小さな変化を測定することができる。このようにして非常に高い感度の新種のバイオセンサまたは化学センサが実用化されている。このセンサ技術は医療診断、薬剤開発、産業プロセス制御、ゲノミクス、環境モニタリング、及び自国の保安に広く適用することができる。
図3は、薄膜導波路格子(フォトニック結晶スラブ)及び入射面波の相互作用を示す。周期Λが短くなると、図3(b)のようにゼロ次成分(zero−order regime)が得られるようになるまで、高次数の伝搬波はますます遮断される。この構造が適切な導波路を含む場合、この時点で減衰しているまたは遮断されている1次モード波は、漏洩モードとカップリングすることにより共振を誘発することができる。実際には、ゼロ次のモード波は好ましい場合が多いが、これは、図3(a)の回折波のように高次数の回折波が伝搬する際にエネルギーが浪費されないからである。
図4は、誘電体導波モード共振素子の測定スペクトル反射率と計算スペクトル反射率を示す。この素子、低次数の側帯波を含む狭帯域で反射される注目スペクトルを持つ帯域阻止フィルタとして機能する。理論計算上では、平面波が入射する場合に100%のピーク効率が予測されるが、実際には、当該平面波は材料損失、散乱損失、入射ビーム発散、及び横方向素子サイズのような種々の要因によって減衰し、ここで実験により得られるピーク効率は90%である。この共振素子は、HfO2層(約210nm)及びSiO2層(約135nm)を溶融シリカ基板(直径1インチ)の上に堆積させることにより作製された。SiO2格子は、一連のプロセスによって得られ、これらのプロセスでは、フォトレジストマスク格子(□=446nmの周期)のホログラフィック転写をAr+UVレーザ(□=364nm)を用いてロイドミラー干渉光学系の中で行ない、現像を行ない、約10nmのクロムマスク層をフォトレジスト格子の上に堆積させ、フォトレジスト格子をリフトオフし、そして次に、SiO2層をCF4で反応性イオンエッチングする。SEM(走査型電子顕微鏡)によって明らかになる表面粗さがピーク効率の低下の原因になる。
伝搬する電磁波の反射/透過特性の他に、局在化及び電磁場強度増大を含む共振周期構造格子の近接場特性がセンサ用途において注目されている。図4の例示的な作製構造に関連する計算による近接場パターンを図5に示す。厳密な結合波解析(PCWA)によって得られる数値結果が、近接場に関連する相対的な電磁場強度及び電磁場空間分布に関する定量情報を提供する。図5に示すように、ゼロ次のS0波(S0はゼロ次の電場を指す)は、ほぼ同じ(close to unity)反射波振幅をもって伝搬し、単位振幅の入射波との干渉によって示される定在波パターンを生成する。従って、共振を起こすと、エネルギーのほとんどは元に戻る方向に反射される。同時に、S1及びS−1で示される1次のエバネッセント回折波がこの例では、反対方向に伝搬する漏洩モードを構成する。この特定のセンサでは、最大電磁場値は均質層の中に位置し、この場合、エバネッセント減衰波が図5に明瞭に表示されるように、基板及び被覆層の中にまで徐々に伝搬する。図6は、反対方向に伝搬するS−1波及びS+1波によって所定の時点で形成される定在波パターンを示す。S±1空間高調波は局在波に対応するので、これらの空間高調波は、共振が起こるときに非常に強くなることができる。格子変調(Δε=nH 2−nL 2)の大きさによって変わるが、層内の電磁場振幅は、局在強度I〜S2の大きな増加を表わす入射波振幅に対して約10倍〜1000倍の大きさとなり得る。S1の最大振幅は変調強度にほぼ逆比例する。S1の最大振幅は変調強度にほぼ逆比例する。一般的に、変調が小さいということは、ライン幅Δλが狭く、かつ共振器QファクタQ=λ/Δλが大きいことを意味する。
液体環境における使用のために設計される単層センサに関して計算されるスペクトル応答を図7に示す。このセンサは、Si3N4を用いて作製されることができ、回折層を形成するためのプラズマエッチングによりパターニングされることができる。1次元共振導波路格子構造はTE偏光入射波(用紙面の法線方向の電気ベクトル)及びTM偏光入射波に対応する個別の反射率ピークを有する。計算によれば、この構造によって、分光計の分解能を0.01nmとすると、3×10−5屈折率単位(RIU)の平均屈折率変化を分解可能であると判明している。ほぼ直線的な波長シフトが、格子構造(nC=nL=1.3〜1.8)と接触する媒質の広範囲の屈折率変化に対して維持されて(図8)、この格子構造を広いダイナミックレンジを有する汎用センサとすることができる。バイオセンサの感度は、検出対象の特定量の材料に関して測定される応答(ピーク波長シフトのような)として定義される。この測定応答は、検出対象の検体に対する達成可能な最大感度を示す。センサ分解能には、分光装置分解能、パワーメータ精度、生体に対し高い選択性を示す物質の応答、及びピーク形状またはライン幅のような実際の要素上の制約が含まれる。ライン幅は反射ピーク応答の半値全幅(FWHM)である。ライン幅は分光センサの精度に影響を与えるが、これは、ラインが狭くなることによって通常、波長シフトの分解能を高くすることができるからであり、導波路格子を用いた共振センサは通常、構造によって制御することができる約1nmのレベルの狭いライン幅を有する。実際の材料及び波長に関する図9の計算結果が示すように、共振センサは非常に小さい屈折率変化をモニタリングすることができるとともに、センサ表面での厚さ変化を検出するために使用することもできる。
図10に例示されるように、バイオセンシング用途にGMRセンサ技術を使用する手法は、法線入射で照明される2層共振素子を利用する空気中でのタンパク質結合分析を利用して研究されている。この場合、まずクリーンな格子表面を3%アミノプロピルトリメトキシシラン(Sigma社製)を含むメタノール溶液で処理してアミン基で化学修飾する(図10の左上に示す)。次に、当該素子をウシ血清アルブミン(BSA,100mg/ml,Sigma社製)溶液中で洗浄する。そして堆積した38nm厚さのBSA層が、6.4nmの反射共振ピークスペクトルシフトを生じる(図10の左下に示す)。BSA付着の前後で反射率が約90%に維持されたことから、センサ表面上の生体材料層に起因して最小の信号劣化しか生じていないことに注目されたい。
これまで説明してきた方法の他に、光学ポリマーに所望のサブミクロン格子パターンを転写するコスト効率の高いコンタクト印刷法が非常に有用である。シリコーン格子スタンプを使用することにより、格子をUV硬化型光学接着剤の薄膜層に転写することができる(図11(a))。次に、導波路層を格子の上側表面に、Si3N4または他の適切な媒質から成る薄膜層をスパッタリングで形成することにより堆積させる。別の方法として、格子を高屈折率のスピン塗布TiO2ポリマー膜で被覆して、高品質の共振センサ素子を形成する。コンタクト印刷された格子の例を図11(b)に示す。
センサに対する生体層の付着によるTE共振シフト及びTM共振シフトを同時に検出することにより、検出動作の精度を著しく向上させることができる。これにより、全ての生体層の特性、すなわち、屈折率及び厚さを正確に求めることができる。図12及び13は、両方の偏光に関して角度に対する共振シフトの関係を示す計算結果を示す。実際、素子を正しく設計することにより実現するTE/TMモード共振の適切な角度分離を行なうことにより、2つの信号を、図14に示すような1次元検出器アレイ上で発散照明光を用いて同時に検出することができ、この場合、発散照明光は、発光ダイオード(LED,フィルタリングすることによりスペクトルを狭くすることができる)、または垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL)、または注目する角度範囲に自動的に対応する□=850nmのレーザダイオード(LD)によって放出される。この例では、調査光ビームが溶融シリカまたはプラスティックシート(屈折率nC)のようなカバー媒質を通って入射する。注目する光分布が反射ピークとして検出器上に現われる。この例は、均質層及び周期層の両方として機能する高屈折率ポリマー材料を使用する様子を示す。この構造は、例えばシリコーン鋳型を使用して、格子を、支持ウェハにスピン塗布される市販のTiO2リッチの熱硬化型またはUV硬化型ポリマー媒質の中に形成することにより作製することができる。別の構成として、高屈折率導波路層を支持ウェハに堆積させることができ、そして周期層を支持ウェハの上面に成形することができる。
透過型センサ素子、または帯域通過共振センサ素子は種々の媒質の中に作製することができ、これらの媒質として、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)、シリコン・オン・サファイア(SOS)、及び直接転写型熱硬化性ポリマーまたはUV硬化性ポリマーを挙げることができる。周期層の形成は、従来の方法を利用して行なうことができ、これらの方法として、電子ビーム描写及びエッチング法、ホログラフィック干渉法、及び予め成形された原版(マスター)を利用するナノ転写リソグラフィ技術を挙げることができる。この実施形態を明示するために、図19は、例示的なSOI構造の中に構成される透過型センサを示す。図20は、厚さdbioの生体分子層がセンサ表面に付着したときのセンサの応答を示す。透過率ピークは、当該ピークのスペクトル位置を高感度で変える。このプロットを、例えば反射モードで動作する図12〜14のセンサと比較する必要がある。生体材料がセンサの表面に付着すると、共振波長はほぼ、付着材料1nm当たり、約1.6nmのスペクトルシフトの割合でシフトする。この性能をこの事例において達成する特定のプロファイルの形に注目されたい。
作製を容易にし、かつコストを下げるために、我々は次に、上に提示した本発明の実施形態を平板状のシステム機構として実施した構造を開示する。センサは透過モードで動作するものとする。従って、光は、媒質と接触するセンサに入射し、この媒質とセンサとの相互作用に注目する。光は媒質を通過して検出器に到達し、検出器上で、透過光強度の最小値が測定される(帯域阻止フィルタ)、または強度の最大値が測定される(帯域通過フィルタ)。これらの光分布の位置の空間シフトによって生体分子結合反応の重要な特徴を定量化することができる。
検出精度を高めるための更に別のアプローチでは、動作共振漏洩モードの数を増やすことにより、より多くのスペクトルを検出及び高精度カーブフィッティングに適用する。従って、複数の導波路モードが存在することに起因する複数の共振ピークを生成し、そしてモニタリングすることができる。これらの複数のモードによって、高精度検出に利用することができる異なるスペクトル軌跡が得られる。図31は、側壁への付着が生じないと仮定した場合に、図の説明文に指定されるパラメータを持つ2重層GMRセンサのTE偏光応答を示す。入力波長が固定される場合、反射率スペクトルは、異なる漏洩モードで生じる幾つかの共振ピークを示す。生体層が付着すると、スペクトルは、図31に示すように、角度スペクトルの測定可能な変化を示す応答スペクトルとして現われる。このスペクトルは、例えば図16の構造に関する反射率スペクトルとしてモニタリングされる。図32は、例えば図27のシステムにおいてモニタリングされる該当する透過率スペクトルを示す。図33は、法線入射時のこのセンサの波長スペクトルを示し、3つの漏洩モードが図示のスペクトル帯域に含まれる様子を示す。電磁場のこのセンサ内部での特定の分布によって、TE2モードでの動作が最高の感度を示す、すなわち図31〜33に示すように、付着厚さ単位当たり最大の角度シフト及びスペクトルシフトを示す。
入力光の一以上の漏洩モードでまたはその付近で動作するように構成される導波路構造と、そして少なくともM×N個のセンサ素子群を含むセンサアレイを有するTE共振検出器及びTM共振検出器と、を備えるGMRセンサアセンブリ。
更に、照明光を整形する反射レンズアレイを備え、かつ上述の節76に定義されるGMRセンサアセンブリ。
更に、入力光の波面の偏光状態、及び波面の波形の特徴を求める手段を備え、かつ上述の節76に定義されるGMRセンサアセンブリ。
更に、少なくとも第1及び第2の偏光特性を有する入力光を供給する手段を備え、かつ上述の節76に定義されるGMRセンサアセンブリ。
前記導波路構造に隣接する高密度マイクロ流体流路を備え、かつ上述の節76に定義されるGMRセンサアセンブリ。
アレイが、半導体、半導体/誘電体複合体、半導体/誘電体/金属複合体、及び誘電体から成る群から選択される高密度媒質に配置される構成であり、かつ上述の節76に定義されるGMRセンサアセンブリ。
アレイ状のセンサ素子群が、照明入力光源と一体化される構成であり、かつ上述の節76に定義されるGMRセンサアセンブリ。
照明光源からの光がファイバに結合する、または導波路に結合する構成の導波モード共振センサ。
照明光源からの光を、ライン集光素子を使用して線状に集光する構成の導波モード共振センサ。
照明光源及び検出素子群でセンサアレイを走査する構成の導波モード共振センサ。
光ファイバ/導波路から成るアレイを有する導波モード共振センサを使用して光をセンサ素子アレイに照射する。
Claims (21)
- 入力光によって励振される複数の漏洩モードでまたはその付近で動作するように構成される光導波路格子であって、前記入力光によって励振される複数の漏洩モードの共振波長より小さい周期を有する前記光導波路格子を有する構造と、
少なくともN×M個のセンサ素子を含む二次元センサアレイを有する、偏光TE導波モード共振及び偏光TM導波モード共振(polarized TE and TM guided mode resonances)を検出するための検出器であって、Nは整数でかつ前記二次元センサアレイの第1の寸法に対応するものであり、Mは1より大きい整数でかつ前記二次元センサアレイの第2の寸法に対応するものであり、多数の漏洩モードについての位相の変化、波形の変化及び振幅の変化の内の一以上の変化を検出して前記構造またはその直近環境の第1物理状態と第2物理状態とを区別可能にするように構成される前記検出器と
を備える導波モード共振(GMR)センサアセンブリ。 - 照明光を整形するための屈折レンズを更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 照明光を整形するための屈折レンズアレイを更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 照明光を整形するための回折レンズを更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 入力光の波面の偏光状態、及び波面の波形の特徴を求めるための手段を更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 少なくとも2つの異なる波長を有する入力光を供給する手段を更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 少なくとも第1の偏光特性及び第2の偏光特性を有する入力光を供給する手段を更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 前記偏光TE導波モード共振及び前記偏光TM導波モード共振を個別に検出する手段を更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 前記構造に隣接する集積化マイクロ流体流路を更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 透明光学材料と一体化された、基板、光調整素子、及びマイクロバイアルを更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 前記アレイが、半導体、半導体/誘電体複合体、半導体/誘電体/金属複合体、及び誘電体から成る群から選択される一体材料に配置されている、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- アレイ状の前記センサ素子が、照明光源から物理的に分離されている、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- アレイ状の前記センサ素子が、照明用入力光の光源と一体化される、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 小型バイオチップの構造の読み取り検出器を更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 照明源は結合されたファイバまたは導波路を含む、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 導波路または光ファイバが、特定の開口数、偏光維持特性、または材料仕様を有するように設計によって選択される、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 照明源は、ライン集光素子を使用して線状に集光される、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 照明源は、円筒レンズを含むライン集光素子を使用して線状に集光される、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 照明源及び検出器素子は前記センサアレイを横切って走査される、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 光スプリッタを使用することにより単一の光源が幾つかのチャネルに分波される、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
- 前記センサ素子のアレイに光を伝送するための光ファイバのアレイまたは導波路のアレイを更に備える、請求項1記載のGMRセンサアセンブリ。
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JP2018041774A Pending JP2018091869A (ja) | 2006-09-08 | 2018-03-08 | 角度ダイバーシチ、スペクトルダイバーシチ、モードダイバーシチ、及び偏光ダイバーシチを用いて高精度検出を小型構成で行なう導波モード共振センサ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8111401B2 (ja) |
EP (1) | EP2059789B1 (ja) |
JP (4) | JP5547484B2 (ja) |
CN (2) | CN101617211B (ja) |
CA (2) | CA2962332C (ja) |
HK (1) | HK1138066A1 (ja) |
WO (1) | WO2008031071A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016075713A (ja) * | 2006-09-08 | 2016-05-12 | マグヌッソン、ロバートMAGNUSSON, Robert | 角度ダイバーシチ、スペクトルダイバーシチ、モードダイバーシチ、及び偏光ダイバーシチを用いて高精度検出を小型構成で行なう導波モード共振センサ |
Families Citing this family (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7167615B1 (en) | 1999-11-05 | 2007-01-23 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Resonant waveguide-grating filters and sensors and methods for making and using same |
US8938141B2 (en) * | 2004-07-30 | 2015-01-20 | University Of Connecticut | Tunable resonant leaky-mode N/MEMS elements and uses in optical devices |
US7639362B2 (en) * | 2006-07-25 | 2009-12-29 | The Regents Of The University Of Michigan | Photonic crystal sensor |
CN101754812B (zh) | 2007-05-04 | 2013-06-26 | 克拉洛诊断仪器公司 | 流体连接器和微流体系统 |
NL1036322A1 (nl) * | 2007-12-21 | 2009-06-23 | Asml Holding Nv | Systems and methods for lithographic illuminator beam deviation measurement and calibration using grating sensors. |
JP5256808B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-08-07 | 株式会社島津製作所 | 導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法及び屈折率測定装置 |
US7858921B2 (en) * | 2008-05-05 | 2010-12-28 | Aptina Imaging Corporation | Guided-mode-resonance transmission color filters for color generation in CMOS image sensors |
JP5195112B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2013-05-08 | 株式会社リコー | 屈折率センサ、屈折率センサアレイおよびバイオセンサ |
DE202010018623U1 (de) | 2009-02-02 | 2018-12-07 | Opko Diagnostics, Llc | Strukturen zur Steuerung der Lichtwechselwirkung mit mikrofluidischen Vorrichtungen |
US9494419B2 (en) * | 2009-07-31 | 2016-11-15 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Beam direction sensor |
US9791623B2 (en) * | 2009-11-30 | 2017-10-17 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Multilevel leaky-mode resonant optical devices |
US8395768B2 (en) * | 2010-04-30 | 2013-03-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Scattering spectroscopy apparatus and method employing a guided mode resonance (GMR) grating |
JP2012098272A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-05-24 | Nsk Ltd | 標的物質濃度測定装置および標的物質濃度測定方法 |
JP5574926B2 (ja) * | 2010-11-17 | 2014-08-20 | キヤノン株式会社 | 固体撮像素子 |
EP2500314A1 (en) * | 2011-03-14 | 2012-09-19 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Photonic crystal sensor |
US20140080729A1 (en) * | 2011-03-22 | 2014-03-20 | Research Triangle Institute, International | Optical sensing device for sensing analytes and related apparatus and methods |
CN102230986B (zh) * | 2011-05-20 | 2013-10-09 | 北京航空航天大学 | 一种光学相位器件及其应用方法和系统 |
CN102221328B (zh) * | 2011-06-08 | 2012-09-19 | 上海理工大学 | 一种基于导模共振结构设计的高分辨率角度测量方法 |
EP2734841B1 (en) | 2011-07-20 | 2017-07-05 | University Of Washington Through Its Center For Commercialization | Photonic blood typing |
US10031138B2 (en) | 2012-01-20 | 2018-07-24 | University Of Washington Through Its Center For Commercialization | Hierarchical films having ultra low fouling and high recognition element loading properties |
EA036387B1 (ru) | 2012-03-05 | 2020-11-03 | Ой Арктик Партнерс Аб | Способы и аппараты для прогнозирования риска рака предстательной железы и объема предстательной железы |
US8670121B1 (en) * | 2012-09-13 | 2014-03-11 | Corning Incorporated | Wavelength-tunable detector for label-independent optical reader |
EP2720027A1 (en) | 2012-10-10 | 2014-04-16 | ETH Zürich | Absorption based guided-mode resonance sensor/switch and method for sensing physical changes in various environments |
DE102012219643B4 (de) * | 2012-10-26 | 2014-09-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Sensorelement mit einer photonischen kristallanordnung |
JP6263884B2 (ja) * | 2013-07-18 | 2018-01-24 | コニカミノルタ株式会社 | 表面プラズモン増強蛍光測定装置および表面プラズモン増強蛍光測定方法 |
JP6263887B2 (ja) * | 2013-07-22 | 2018-01-24 | コニカミノルタ株式会社 | 表面プラズモン増強蛍光測定方法および表面プラズモン増強蛍光測定装置 |
CN103398952B (zh) * | 2013-08-13 | 2016-01-20 | 上海理工大学 | 生物传感器检测中的导模共振滤波片反射率优化方法 |
US9383312B2 (en) * | 2013-11-06 | 2016-07-05 | Ciencia, Inc. | Electro-optic grating-coupled surface plasmon resonance (EOSPR) |
US9946019B2 (en) * | 2013-12-23 | 2018-04-17 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA—Recherche et Développement | Guided mode resonance device |
CN103968770B (zh) * | 2014-05-08 | 2017-01-25 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法 |
CN103969220B (zh) * | 2014-05-20 | 2016-07-13 | 复旦大学 | 一种检测uv胶水固化过程动态光学特性的方法 |
CN104165864A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-11-26 | 浙江清华长三角研究院 | 一种无标记导模共振布儒斯特传感器检测装置 |
CN104458615B (zh) * | 2014-12-03 | 2017-04-12 | 哈尔滨工业大学 | 光子晶体全反射层制备方法及基于该全反射层的细菌总数快速检测仪 |
CN104634453B (zh) * | 2015-02-03 | 2016-08-17 | 上海理工大学 | 一种检测线偏振入射光偏振角的方法 |
JP2016178234A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 株式会社東芝 | 半導体受光デバイス |
AU2016208337B2 (en) | 2015-07-27 | 2018-03-22 | Personal Genomics, Inc. | Sensing module and sensing method |
FR3041474A1 (fr) * | 2015-09-23 | 2017-03-24 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d’imagerie sans lentille et procede d’observation associe |
WO2017099803A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Polarization diverse ring resonator receivers |
KR20170070685A (ko) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | 삼성전자주식회사 | 하이브리드 컬러필터를 포함한 이미지 센서 |
US10782153B2 (en) | 2016-03-08 | 2020-09-22 | Analog Devices Global | Multiturn sensor arrangement and readout |
GB201610647D0 (en) * | 2016-06-17 | 2016-08-03 | Univ York | Improved sensor and associated methods |
US10084979B2 (en) * | 2016-07-29 | 2018-09-25 | International Business Machines Corporation | Camera apparatus and system, method and recording medium for indicating camera field of view |
KR101953252B1 (ko) * | 2017-08-14 | 2019-02-28 | 한국식품연구원 | 큐 값 조절이 가능한 도파모드 공진 소자, 제조 방법 및 제조 장치 |
US11719575B2 (en) * | 2017-08-24 | 2023-08-08 | Tohoku University | Transmission guided-mode resonant grating integrated spectroscopy device and method for manufacturing same |
CN107577009A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-01-12 | 华中科技大学 | 一种基于泄漏模波导的在线模式分辨器 |
CN107884060B (zh) * | 2017-10-27 | 2020-10-30 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种光纤分布式传感探测方法及装置 |
CN108387551B (zh) * | 2018-01-08 | 2021-07-16 | 上海理工大学 | 一种基于导模共振效应的传感器 |
TWI673481B (zh) * | 2018-02-02 | 2019-10-01 | 國立交通大學 | 共振波長量測裝置及其量測方法 |
WO2019216065A1 (ja) | 2018-05-11 | 2019-11-14 | 日本製鉄株式会社 | 電縫溶接用給電コイル及びこれを用いた造管設備 |
US11506602B2 (en) * | 2018-05-15 | 2022-11-22 | The Administrators Of The Tulane Educational Fund | Refractive-index sensor and method |
US10458909B1 (en) | 2018-10-24 | 2019-10-29 | International Business Machines Corporation | MEMS optical sensor |
US11460521B2 (en) | 2019-03-18 | 2022-10-04 | Analog Devices International Unlimited Company | Multiturn sensor arrangement |
CN110119028B (zh) * | 2019-05-10 | 2020-08-25 | 中南大学 | 用于任意光束的振幅、相位和偏振的整形算法及其光路 |
CN111001452B (zh) * | 2019-12-20 | 2022-04-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种微型全分析器件及其制作方法 |
RU2738314C1 (ru) * | 2020-02-20 | 2020-12-11 | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. | Система, вычислительное устройство и способ определения оптических свойств объемно-рассеивающей среды с использованием диффузной рефлектометрии |
CN111302298A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-19 | 大连理工大学 | 一种转移金属薄膜的方法及其应用 |
WO2021193589A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 積水化学工業株式会社 | 検査方法、検査キット及び検査システム |
CN114696103B (zh) * | 2020-12-31 | 2024-03-08 | 江苏俊知技术有限公司 | 适用于mimo技术的漏泄圆波导组件及其制造方法 |
US20230296521A1 (en) * | 2022-03-17 | 2023-09-21 | Visera Technologies Company Limited | Bio-detection device, bio-detection system, and bio-detection method |
CN114509563A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-05-17 | 合肥工业大学 | 一种结合微流控技术的巨磁阻传感器及其制造方法与应用 |
JP2024004872A (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-17 | 国立大学法人東北大学 | 導波モード共鳴格子、光学部材、光学製品、及び導波モード共鳴格子の製造方法 |
Family Cites Families (255)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3693025A (en) | 1969-11-28 | 1972-09-19 | Brun Sensor Systems Inc | Apparatus and method for eliminating interference errors in dual-beam infrared reflection measurements on a diffusely reflecting surface by geometrical elimination of interference-producing specularly-reflected radiation components |
US3689346A (en) | 1970-09-29 | 1972-09-05 | Rowland Dev Corp | Method for producing retroreflective material |
US3916182A (en) | 1972-08-21 | 1975-10-28 | Western Electric Co | Periodic dielectric waveguide filter |
US3810688A (en) * | 1973-05-21 | 1974-05-14 | A Ballman | Optical waveguiding devices using monocrystalline materials of the sillenite family of bismuth oxides |
US3856404A (en) | 1973-06-06 | 1974-12-24 | Phys Chem Res Corp | Method and apparatus for measuring vapor pressure |
US4009933A (en) * | 1975-05-07 | 1977-03-01 | Rca Corporation | Polarization-selective laser mirror |
US4050895A (en) | 1975-09-26 | 1977-09-27 | Monsanto Research Corporation | Optical analytical device, waveguide and method |
US4576850A (en) * | 1978-07-20 | 1986-03-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Shaped plastic articles having replicated microstructure surfaces |
US4668558A (en) * | 1978-07-20 | 1987-05-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Shaped plastic articles having replicated microstructure surfaces |
US4344438A (en) | 1978-08-02 | 1982-08-17 | The United States Of America As Represented By The Department Of Health, Education And Welfare | Optical sensor of plasma constituents |
US4240751A (en) | 1978-11-09 | 1980-12-23 | Akzona Incorporated | Method and apparatus for specific binding substances |
US4289371A (en) | 1979-05-31 | 1981-09-15 | Xerox Corporation | Optical scanner using plane linear diffraction gratings on a rotating spinner |
US4321057A (en) | 1979-09-20 | 1982-03-23 | Buckles Richard G | Method for quantitative analysis using optical fibers |
US4420502A (en) | 1980-09-05 | 1983-12-13 | Conley Kenneth E | Apparatus and method for producing a flexible sheet material having a predetermined surface characteristic |
GB2103786A (en) | 1981-08-14 | 1983-02-23 | Ici Plc | Fibre optic sensor |
GB2106736B (en) | 1981-09-03 | 1985-06-12 | Standard Telephones Cables Ltd | Optical transmission system |
USRE33064E (en) | 1981-09-18 | 1989-09-19 | Prutec Limited | Method for the determination of species in solution with an optical wave-guide |
JPS58501481A (ja) | 1981-09-18 | 1983-09-01 | プルーテック リミティド | 光学的導波体による溶液中検査物の測定方法および装置 |
EP0112721B1 (en) | 1982-12-21 | 1988-05-18 | Ares-Serono N.V. | Assay technique |
US4536608A (en) | 1983-04-25 | 1985-08-20 | Exxon Research And Engineering Co. | Solar cell with two-dimensional hexagonal reflecting diffraction grating |
US4652290A (en) * | 1983-07-05 | 1987-03-24 | Motorola, Inc. | Method for making optical channel waveguides and product manufactured thereby |
US4531809A (en) | 1983-09-08 | 1985-07-30 | Gte Laboratories Incorporated | Optical waveguide coupling device |
GB2156970B (en) | 1984-01-06 | 1987-09-16 | Plessey Co Plc | Optical detection of specific molecules |
EP0171148B1 (en) * | 1984-06-13 | 1991-04-17 | ARES-SERONO RESEARCH & DEVELOPMENT LIMITED PARTNERSHIP | Devices for use in chemical test procedures |
US4701008A (en) | 1984-08-10 | 1987-10-20 | Motorola, Inc. | Optical waveguide including superstrate of niobium or silicon oxynitride and method of making same |
GB8423204D0 (en) | 1984-09-14 | 1984-10-17 | Comtech Res Unit | Assay technique and equipment |
US4650329A (en) * | 1984-11-29 | 1987-03-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical 3-d signature device for detecting chemical agents |
DE3481644D1 (de) * | 1984-12-10 | 1990-04-19 | Prutec Ltd | Verfahren zum optischen nachweis von parametern von substanzen in einem fluessigen analyt. |
GB8509491D0 (en) | 1985-04-12 | 1985-05-15 | Plessey Co Plc | Optic waveguide biosensors |
CH669050A5 (de) | 1985-05-29 | 1989-02-15 | Oerlikon Buehrle Holding Ag | Sensor zum nachweis von aenderungen der brechzahl einer festen oder fluessigen messsubstanz. |
WO1986007149A1 (de) | 1985-05-29 | 1986-12-04 | Kurt Tiefenthaler | Optischer sensor zum selektiven nachweis von substanzen und zum nachweis von brechzahländerungen in messubstanzen |
CH670521A5 (en) | 1985-05-29 | 1989-06-15 | Oerlikon Buehrle Holding Ag | Optical sensor detecting specific substances in material |
EP0215669A3 (en) | 1985-09-17 | 1989-08-30 | Seiko Instruments Inc. | Analytical device and method for analysis of biochemicals, microbes and cells |
US5468606A (en) | 1989-09-18 | 1995-11-21 | Biostar, Inc. | Devices for detection of an analyte based upon light interference |
US5148302A (en) | 1986-04-10 | 1992-09-15 | Akihiko Nagano | Optical modulation element having two-dimensional phase type diffraction grating |
US4753529A (en) | 1986-06-23 | 1988-06-28 | Litton Systems, Inc. | Apparatus and method for precision adjustment of interferometer pathlength difference |
GB8618133D0 (en) * | 1986-07-24 | 1986-09-03 | Pa Consulting Services | Biosensors |
US4876208A (en) | 1987-01-30 | 1989-10-24 | Yellowstone Diagnostics Corporation | Diffraction immunoassay apparatus and method |
GB8705649D0 (en) * | 1987-03-10 | 1987-04-15 | Pa Consulting Services | Assay sensor |
US4999234A (en) * | 1987-08-10 | 1991-03-12 | Polaroid Corporation | Holographic optical data storage medium |
US4888260A (en) | 1987-08-10 | 1989-12-19 | Polaroid Corporation | Volume phase reflection holograms and methods for fabricating them |
NL8800219A (nl) | 1988-01-29 | 1989-08-16 | Philips Nv | Roteerbare magneetkopeenheid voor een magneetbandapparaat. |
US4952056A (en) | 1988-05-17 | 1990-08-28 | Entwicklungsgemeinschaft Asi | Method of determining the autocollimation angle of a grating coupler |
GB2220080A (en) | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Marconi Gec Ltd | Improvements in optical waveguides |
JPH0715589B2 (ja) | 1988-09-26 | 1995-02-22 | 富士ゼロックス株式会社 | 電子写真感光体、その基体の処理方法および電子写真感光体の製造方法 |
US6235488B1 (en) * | 1988-09-29 | 2001-05-22 | Agilent Technologies, Inc. | Surface preparation for chemical-specific binding |
SE8804074D0 (sv) * | 1988-11-10 | 1988-11-10 | Pharmacia Ab | Sensorenhet och dess anvaendning i biosensorsystem |
SE462454B (sv) | 1988-11-10 | 1990-06-25 | Pharmacia Ab | Maetyta foer anvaendning i biosensorer |
GB2227089A (en) | 1989-01-11 | 1990-07-18 | Plessey Co Plc | An optical biosensor |
US5252293A (en) | 1989-01-17 | 1993-10-12 | Vladimir Drbal | Analytical slide with porous filter membrane |
US5175030A (en) | 1989-02-10 | 1992-12-29 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Microstructure-bearing composite plastic articles and method of making |
GB8916764D0 (en) * | 1989-07-21 | 1989-09-06 | Sambles John R | Surface plasmon optical sensor |
US5156785A (en) | 1991-07-10 | 1992-10-20 | Cordis Corporation | Extruded tubing and catheters having increased rotational stiffness |
US5541057A (en) * | 1989-09-18 | 1996-07-30 | Biostar, Inc. | Methods for detection of an analyte |
WO1991013339A1 (en) | 1990-03-02 | 1991-09-05 | Fisons Plc | Sample cell for use in chemical or biochemical assays |
DE59109246D1 (de) | 1990-05-03 | 2003-04-03 | Hoffmann La Roche | Mikrooptischer Sensor |
IL98150A0 (en) | 1990-05-17 | 1992-08-18 | Adeza Biomedical Corp | Highly reflective biogratings and method for theirhighly reflective biogratings and method production |
US5478756A (en) | 1990-07-24 | 1995-12-26 | Fisons Plc | Chemical sensor for detecting binding reactions |
JP2587743B2 (ja) | 1990-08-31 | 1997-03-05 | ベル コミュニケーションズ リサーチ インコーポレーテッド | 同調可能な液晶エタロンフィルタ |
GB2248497B (en) * | 1990-09-26 | 1994-05-25 | Marconi Gec Ltd | An optical sensor |
US5337183A (en) | 1991-02-01 | 1994-08-09 | Yeda Research And Development Co. Ltd. | Distributed resonant cavity light beam modulator |
GB2254415B (en) | 1991-03-22 | 1994-10-12 | Marconi Gec Ltd | An optical sensor |
SE468188B (sv) | 1991-04-08 | 1992-11-16 | Stiftelsen Inst Foer Mikroelek | Metod foer inkoppling av straalning i en infraroeddetektor, jaemte anordning |
CA2086338C (en) | 1991-04-26 | 2002-03-26 | Rino E. Kunz | Process and device for determining measured quantities by means of an integrated optical sensor module |
US5155785A (en) | 1991-05-01 | 1992-10-13 | At&T Bell Laboratories | Optical fiber interconnection apparatus and method |
GB9111912D0 (en) * | 1991-06-04 | 1991-07-24 | Fisons Plc | Analytical methods |
GB2256477B (en) * | 1991-06-07 | 1995-03-08 | Marconi Gec Ltd | An optical sensor |
CH681920A5 (ja) * | 1991-07-02 | 1993-06-15 | Artificial Sensing Instr Asi A | |
US5216680A (en) | 1991-07-11 | 1993-06-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Optical guided-mode resonance filter |
JPH0588396A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Fuji Electric Co Ltd | 電子写真感光体 |
FR2684239B1 (fr) * | 1991-11-27 | 1994-03-04 | France Telecom | Procede de fabrication d'un guide d'onde optique planaire entierement a base de polymeres, et son utilisation dans un isolateur optique integre. |
US5170448A (en) | 1992-01-06 | 1992-12-08 | Motorola, Inc. | Optical waveguide apparatus and method for partially collecting light |
GB9200562D0 (en) | 1992-01-11 | 1992-03-11 | Fisons Plc | Analytical device with polychromatic light source |
US5268782A (en) | 1992-01-16 | 1993-12-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Micro-ridged, polymeric liquid crystal display substrate and display device |
US5325386A (en) | 1992-04-21 | 1994-06-28 | Bandgap Technology Corporation | Vertical-cavity surface emitting laser assay display system |
US5494829A (en) * | 1992-07-31 | 1996-02-27 | Biostar, Inc. | Devices and methods for detection of an analyte based upon light interference |
US5413884A (en) | 1992-12-14 | 1995-05-09 | American Telephone And Telegraph Company | Grating fabrication using electron beam lithography |
US5420688A (en) * | 1992-12-14 | 1995-05-30 | Farah; John | Interferometric fiber optic displacement sensor |
US5331654A (en) | 1993-03-05 | 1994-07-19 | Photonics Research Incorporated | Polarized surface-emitting laser |
US5615052A (en) * | 1993-04-16 | 1997-03-25 | Bruce W. McCaul | Laser diode/lens assembly |
US5343542A (en) | 1993-04-22 | 1994-08-30 | International Business Machines Corporation | Tapered fabry-perot waveguide optical demultiplexer |
US5512492A (en) * | 1993-05-18 | 1996-04-30 | University Of Utah Research Foundation | Waveguide immunosensor with coating chemistry providing enhanced sensitivity |
US5416884A (en) * | 1993-05-25 | 1995-05-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor waveguide structure of a II-VI group compound |
WO1994028396A1 (en) * | 1993-05-28 | 1994-12-08 | Fisons Plc | Analytical apparatus |
EP0702610B1 (en) | 1993-06-11 | 1997-05-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laser machined replication tooling |
US5475780A (en) | 1993-06-17 | 1995-12-12 | At&T Corp. | Optical waveguiding component comprising a band-pass filter |
GB9314991D0 (en) | 1993-07-20 | 1993-09-01 | Sandoz Ltd | Mechanical device |
SG64333A1 (en) | 1993-09-13 | 1999-04-27 | Minnesota Mining & Mfg | Abrasive article method of manufacture of same method of using same for finishing and a production tool |
US6042998A (en) * | 1993-09-30 | 2000-03-28 | The University Of New Mexico | Method and apparatus for extending spatial frequencies in photolithography images |
US5691846A (en) | 1993-10-20 | 1997-11-25 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ultra-flexible retroreflective cube corner composite sheetings and methods of manufacture |
JP3491969B2 (ja) | 1994-06-27 | 2004-02-03 | キヤノン株式会社 | 変位情報測定装置 |
US5544268A (en) | 1994-09-09 | 1996-08-06 | Deacon Research | Display panel with electrically-controlled waveguide-routing |
US5559338A (en) | 1994-10-04 | 1996-09-24 | Excimer Laser Systems, Inc. | Deep ultraviolet optical imaging system for microlithography and/or microfabrication |
US5955335A (en) | 1994-10-08 | 1999-09-21 | Foschungszentrum Julich GmbH | Biomaterial immobilization on an Si3 N4 surface containing Si-NH2 groups with a heterobifunctional cross-linking agent |
TW323341B (ja) * | 1995-01-09 | 1997-12-21 | Minnesota Mining & Mfg | |
US5606170A (en) * | 1995-02-03 | 1997-02-25 | Research International, Inc. | Multifunctional sensor system |
US5633527A (en) * | 1995-02-06 | 1997-05-27 | Sandia Corporation | Unitary lens semiconductor device |
EP0813667B1 (en) | 1995-03-03 | 1999-05-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Light directing film having variable height structured surface and light directing article constructed therefrom |
US5690894A (en) | 1995-05-23 | 1997-11-25 | The Regents Of The University Of California | High density array fabrication and readout method for a fiber optic biosensor |
WO1996038726A1 (en) | 1995-05-30 | 1996-12-05 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Covalently immobilized phospholipid bilayers on solid surfaces |
US5598300A (en) * | 1995-06-05 | 1997-01-28 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Efficient bandpass reflection and transmission filters with low sidebands based on guided-mode resonance effects |
US6200737B1 (en) * | 1995-08-24 | 2001-03-13 | Trustees Of Tufts College | Photodeposition method for fabricating a three-dimensional, patterned polymer microstructure |
EP0795121B1 (de) | 1995-09-01 | 2003-11-12 | Paul Scherrer Institut | Verfahren und vorrichtung zur messung von lichtbündeln |
GB9518429D0 (en) | 1995-09-08 | 1995-11-08 | Pharmacia Biosensor | A rapid method for providing kinetic and structural data in molecular interaction analysis |
US5814516A (en) | 1995-10-13 | 1998-09-29 | Lockheed Martin Energy Systems, Inc. | Surface enhanced Raman gene probe and methods thereof |
US6174677B1 (en) * | 1995-10-13 | 2001-01-16 | Ut-Battelle, Llc | Advanced surface-enhanced Raman gene probe systems and methods thereof |
US5978401A (en) | 1995-10-25 | 1999-11-02 | Honeywell Inc. | Monolithic vertical cavity surface emitting laser and resonant cavity photodetector transceiver |
US5858799A (en) * | 1995-10-25 | 1999-01-12 | University Of Washington | Surface plasmon resonance chemical electrode |
WO1997015821A1 (en) | 1995-10-25 | 1997-05-01 | University Of Washington | Surface plasmon resonance probe systems based on a folded planar lightpipe |
US5822486A (en) | 1995-11-02 | 1998-10-13 | General Scanning, Inc. | Scanned remote imaging method and system and method of determining optimum design characteristics of a filter for use therein |
US5814524A (en) | 1995-12-14 | 1998-09-29 | Trustees Of Tufts College | Optical sensor apparatus for far-field viewing and making optical analytical measurements at remote locations |
GB9602542D0 (en) | 1996-02-08 | 1996-04-10 | Fisons Plc | Analytical device |
US5804453A (en) | 1996-02-09 | 1998-09-08 | Duan-Jun Chen | Fiber optic direct-sensing bioprobe using a phase-tracking approach |
US5801390A (en) | 1996-02-09 | 1998-09-01 | Nikon Corporation | Position-detection method and apparatus with a grating mark |
US6052213A (en) * | 1996-03-27 | 2000-04-18 | British Telecommunications Plc | Optical diffraction grating |
US5863449A (en) * | 1996-03-29 | 1999-01-26 | The Whitaker Corporation | Method for forming optical interferometer |
BE1010069A6 (nl) * | 1996-03-29 | 1997-12-02 | Imec Inter Uni Micro Electr | Optisch systeem met hoge reflectiviteitsrooster. |
US5821343A (en) | 1996-04-25 | 1998-10-13 | Medtronic Inc | Oxidative method for attachment of biomolecules to surfaces of medical devices |
IL118209A0 (en) * | 1996-05-09 | 1998-02-08 | Yeda Res & Dev | Active electro-optical wavelength-selective mirrors and active electro-optic wavelength-selective filters |
US6174497B1 (en) | 1997-06-04 | 2001-01-16 | Euro-Celtique, S.A. | Detection systems and methods for predicting the dissolution curve of a drug from a pharmaceutical dosage form |
WO1997047997A1 (en) | 1996-06-10 | 1997-12-18 | Holographic Lithography Systems, Inc. | Holographic patterning method and tool for production environments |
US5654118A (en) | 1996-07-15 | 1997-08-05 | Xerox Corporation | Imaging member including a blocking layer containing an enriched amount of nickel hydroxide |
US5666197A (en) | 1996-08-21 | 1997-09-09 | Polaroid Corporation | Apparatus and methods employing phase control and analysis of evanescent illumination for imaging and metrology of subwavelength lateral surface topography |
US6395558B1 (en) * | 1996-08-29 | 2002-05-28 | Zeptosens Ag | Optical chemical/biochemical sensor |
GB9618635D0 (en) | 1996-09-06 | 1996-10-16 | Thermo Fast Uk Ltd | Improvements in or relating to sensors |
US5812571A (en) | 1996-10-25 | 1998-09-22 | W. L. Gore & Associates, Inc. | High-power vertical cavity surface emitting laser cluster |
US5846843A (en) | 1996-11-18 | 1998-12-08 | The University Of Toledo | Sensor using long range surface plasmon resonance with diffraction double-grating |
US5922550A (en) | 1996-12-18 | 1999-07-13 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Biosensing devices which produce diffraction images |
SE9700384D0 (sv) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | Biacore Ab | Analytical method and apparatus |
US6096127A (en) | 1997-02-28 | 2000-08-01 | Superconducting Core Technologies, Inc. | Tuneable dielectric films having low electrical losses |
US5864641A (en) * | 1997-04-11 | 1999-01-26 | F&S, Inc. | Optical fiber long period sensor having a reactive coating |
GB9710062D0 (en) * | 1997-05-16 | 1997-07-09 | British Tech Group | Optical devices and methods of fabrication thereof |
US6055262A (en) * | 1997-06-11 | 2000-04-25 | Honeywell Inc. | Resonant reflector for improved optoelectronic device performance and enhanced applicability |
US6035089A (en) * | 1997-06-11 | 2000-03-07 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | Integrated narrowband optical filter based on embedded subwavelength resonant grating structures |
US5955378A (en) | 1997-08-20 | 1999-09-21 | Challener; William A. | Near normal incidence optical assaying method and system having wavelength and angle sensitivity |
US5925878A (en) | 1997-08-20 | 1999-07-20 | Imation Corp. | Diffraction anomaly sensor having grating coated with protective dielectric layer |
US20030205681A1 (en) * | 1998-07-22 | 2003-11-06 | Ljl Biosystems, Inc. | Evanescent field illumination devices and methods |
US6902703B2 (en) | 1999-05-03 | 2005-06-07 | Ljl Biosystems, Inc. | Integrated sample-processing system |
US6154480A (en) | 1997-10-02 | 2000-11-28 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Vertical-cavity laser and laser array incorporating guided-mode resonance effects and method for making the same |
US6618116B1 (en) | 1997-10-02 | 2003-09-09 | Asahi Glass Company, Limited | Optical head device and a diffraction element suitable for the device, and a method of manufacturing the diffraction element and the optical head device |
US6128431A (en) | 1997-10-08 | 2000-10-03 | The Regents Of The University Of California | High efficiency source coupler for optical waveguide illumination system |
US5994150A (en) | 1997-11-19 | 1999-11-30 | Imation Corp. | Optical assaying method and system having rotatable sensor disk with multiple sensing regions |
US6338968B1 (en) * | 1998-02-02 | 2002-01-15 | Signature Bioscience, Inc. | Method and apparatus for detecting molecular binding events |
GB9803704D0 (en) | 1998-02-24 | 1998-04-15 | Univ Manchester | Waveguide structure |
US6210910B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-04-03 | Trustees Of Tufts College | Optical fiber biosensor array comprising cell populations confined to microcavities |
DE19814811C1 (de) | 1998-04-02 | 1999-08-05 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Anordnung für die Oberflächenplasmonen-Resonanz-Spektroskopie |
NL1008934C2 (nl) | 1998-04-20 | 1999-10-21 | Univ Twente | Geïntegreerde optische lichtgeleider inrichting. |
CA2326322C (en) | 1998-04-21 | 2011-03-01 | University Of Connecticut | Free-form nanofabrication using multi-photon excitation |
US5998298A (en) | 1998-04-28 | 1999-12-07 | Sandia Corporation | Use of chemical-mechanical polishing for fabricating photonic bandgap structures |
TW460758B (en) * | 1998-05-14 | 2001-10-21 | Holographic Lithography System | A holographic lithography system for generating an interference pattern suitable for selectively exposing a photosensitive material |
US6346376B1 (en) * | 1998-06-03 | 2002-02-12 | Centre Suisse D'electronique Et De Mictotechnique Sa | Optical sensor unit and procedure for the ultrasensitive detection of chemical or biochemical analytes |
US5986762A (en) | 1998-06-15 | 1999-11-16 | Imation Corp. | Optical sensor having optimized surface profile |
JP3416532B2 (ja) * | 1998-06-15 | 2003-06-16 | 富士通カンタムデバイス株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
US6052188A (en) * | 1998-07-08 | 2000-04-18 | Verity Instruments, Inc. | Spectroscopic ellipsometer |
US6406921B1 (en) * | 1998-07-14 | 2002-06-18 | Zyomyx, Incorporated | Protein arrays for high-throughput screening |
US6137576A (en) * | 1998-07-28 | 2000-10-24 | Merck Patent Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | Optical transducers based on liquid crystalline phases |
US6320991B1 (en) | 1998-10-16 | 2001-11-20 | Imation Corp. | Optical sensor having dielectric film stack |
JP3537767B2 (ja) | 1998-11-13 | 2004-06-14 | ライチャート インコーポレーティッド | 結合層と検体の結合相互作用を感知するための方法と装置 |
US6579673B2 (en) | 1998-12-17 | 2003-06-17 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Patterned deposition of antibody binding protein for optical diffraction-based biosensors |
US20020037593A1 (en) * | 1999-01-25 | 2002-03-28 | Craighead Harold G. | Diffraction-based cell detection using a micro-contact-printed antibody grating |
AU3474900A (en) | 1999-02-05 | 2000-08-25 | Corning Incorporated | Optical fiber component with shaped optical element and method of making same |
US6303179B1 (en) | 1999-02-08 | 2001-10-16 | Medtronic, Inc | Method for attachment of biomolecules to surfaces through amine-functional groups |
EP1031828B1 (en) | 1999-02-25 | 2006-09-13 | C.S.E.M. Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Integrated-optical sensor and method for integrated-optically sensing a substance |
US6332663B1 (en) | 1999-06-16 | 2001-12-25 | Xerox Corporation | Methods and apparatus for marking images and obtaining image data using a single marking engine platform |
US6771376B2 (en) * | 1999-07-05 | 2004-08-03 | Novartis Ag | Sensor platform, apparatus incorporating the platform, and process using the platform |
EP1192448B1 (en) * | 1999-07-05 | 2006-09-27 | Novartis AG | Process of using a sensor platform |
AU6086600A (en) | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Coho Holdings, Llc | Electro-optic device allowing wavelength tuning |
EP1085315B1 (en) | 1999-09-15 | 2003-07-09 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA | Integrated-optical sensor |
US6212312B1 (en) * | 1999-09-17 | 2001-04-03 | U.T. Battelle, Llc | Optical multiplexer/demultiplexer using resonant grating filters |
US6376177B1 (en) | 1999-10-06 | 2002-04-23 | Virtual Pro, Inc. | Apparatus and method for the analysis of nucleic acids hybridization on high density NA chips |
KR100390875B1 (ko) | 1999-10-27 | 2003-07-10 | (주)해빛정보 | 위상 회절 격자형 광 저대역 통과필터 |
US8111401B2 (en) * | 1999-11-05 | 2012-02-07 | Robert Magnusson | Guided-mode resonance sensors employing angular, spectral, modal, and polarization diversity for high-precision sensing in compact formats |
US7167615B1 (en) * | 1999-11-05 | 2007-01-23 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Resonant waveguide-grating filters and sensors and methods for making and using same |
FR2801977B1 (fr) | 1999-12-02 | 2002-05-17 | Commissariat Energie Atomique | Amplification d'un signal de fluorescence emis par un echantillon surfacique |
EP1255995A2 (en) | 2000-02-16 | 2002-11-13 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method and apparatus for detection of microscopic pathogens |
DE60142220D1 (de) | 2000-02-16 | 2010-07-08 | Wisconsin Alumni Res Found | Biochemische blockierungsschicht für flüssigkristall |
WO2001071410A2 (en) | 2000-03-17 | 2001-09-27 | Zograph, Llc | High acuity lens system |
US6639674B2 (en) | 2000-03-28 | 2003-10-28 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Methods and apparatus for polarized reflectance spectroscopy |
JP2001281284A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Makoto Hirano | 複素誘電率の非破壊測定装置 |
WO2001092870A2 (de) | 2000-06-02 | 2001-12-06 | Zeptosens Ag | Kit und verfahren zur multianalytbestimmung |
US6449097B1 (en) | 2000-06-05 | 2002-09-10 | Lightchip, Inc. | Diffraction grating for wavelength division multiplexing/demultiplexing devices |
US6969449B2 (en) | 2000-07-10 | 2005-11-29 | Vertex Pharmaceuticals (San Diego) Llc | Multi-well plate and electrode assemblies for ion channel assays |
EP1311832A1 (en) * | 2000-08-18 | 2003-05-21 | Lattice Intellectual Property Limited | Method and apparatus for detecting chemical contamination |
US20030113766A1 (en) | 2000-10-30 | 2003-06-19 | Sru Biosystems, Llc | Amine activated colorimetric resonant biosensor |
US20030092075A1 (en) | 2000-10-30 | 2003-05-15 | Sru Biosystems, Llc | Aldehyde chemical surface activation processes and test methods for colorimetric resonant sensors |
US7118710B2 (en) * | 2000-10-30 | 2006-10-10 | Sru Biosystems, Inc. | Label-free high-throughput optical technique for detecting biomolecular interactions |
US7371562B2 (en) | 2000-10-30 | 2008-05-13 | Sru Biosystems, Inc. | Guided mode resonant filter biosensor using a linear grating surface structure |
US7175980B2 (en) * | 2000-10-30 | 2007-02-13 | Sru Biosystems, Inc. | Method of making a plastic colorimetric resonant biosensor device with liquid handling capabilities |
US6951715B2 (en) * | 2000-10-30 | 2005-10-04 | Sru Biosystems, Inc. | Optical detection of label-free biomolecular interactions using microreplicated plastic sensor elements |
US7153702B2 (en) | 2000-10-30 | 2006-12-26 | Sru Biosystems, Inc. | Label-free methods for performing assays using a colorimetric resonant reflectance optical biosensor |
US7202076B2 (en) * | 2000-10-30 | 2007-04-10 | Sru Biosystems, Inc. | Label-free high-throughput optical technique for detecting biomolecular interactions |
US6870624B2 (en) * | 2000-10-30 | 2005-03-22 | Coho Holdings Llc | Optical wavelength resonant device for chemical sensing |
US7615339B2 (en) | 2000-10-30 | 2009-11-10 | Sru Biosystems, Inc. | Method for producing a colorimetric resonant reflection biosensor on rigid surfaces |
US7023544B2 (en) * | 2000-10-30 | 2006-04-04 | Sru Biosystems, Inc. | Method and instrument for detecting biomolecular interactions |
US7300803B2 (en) * | 2000-10-30 | 2007-11-27 | Sru Biosystems, Inc. | Label-free methods for performing assays using a colorimetric resonant reflectance optical biosensor |
US7217574B2 (en) | 2000-10-30 | 2007-05-15 | Sru Biosystems, Inc. | Method and apparatus for biosensor spectral shift detection |
US7306827B2 (en) * | 2000-10-30 | 2007-12-11 | Sru Biosystems, Inc. | Method and machine for replicating holographic gratings on a substrate |
US7142296B2 (en) * | 2000-10-30 | 2006-11-28 | Sru Biosystems, Inc. | Method and apparatus for detecting biomolecular interactions |
US7101660B2 (en) * | 2000-10-30 | 2006-09-05 | Sru Biosystems, Inc. | Method for producing a colorimetric resonant reflection biosensor on rigid surfaces |
US7264973B2 (en) | 2000-10-30 | 2007-09-04 | Sru Biosystems, Inc. | Label-free methods for performing assays using a colorimetric resonant optical biosensor |
US7575939B2 (en) | 2000-10-30 | 2009-08-18 | Sru Biosystems, Inc. | Optical detection of label-free biomolecular interactions using microreplicated plastic sensor elements |
US7524625B2 (en) | 2000-10-30 | 2009-04-28 | Sru Biosystems, Inc. | Real time binding analysis of antigens on a biosensor surface |
US7070987B2 (en) * | 2000-10-30 | 2006-07-04 | Sru Biosystems, Inc. | Guided mode resonant filter biosensor using a linear grating surface structure |
JP2002196117A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Nitto Denko Corp | 光拡散層、光拡散性シート及び光学素子 |
US6587617B2 (en) * | 2001-02-22 | 2003-07-01 | Maven Technologies, Llc | Micro lens array for bioassay |
EP1243916A3 (en) * | 2001-03-22 | 2004-04-14 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Measuring apparatus and measuring chip |
US6665070B1 (en) | 2001-04-20 | 2003-12-16 | Nanometrics Incorporated | Alignment of a rotatable polarizer with a sample |
US6661952B2 (en) | 2001-05-04 | 2003-12-09 | Ut Battelle, Llc | Sub-wavelength efficient polarization filter (SWEP filter) |
US20020197732A1 (en) * | 2001-06-20 | 2002-12-26 | Carnahan James Claude | Method and apparatus for combinatorial screening of polymer compositions |
EP1499885B1 (en) | 2001-08-01 | 2009-10-21 | Cellomics, Inc. | Novel fusion proteins and assays for molecular binding |
US6748138B2 (en) | 2001-09-14 | 2004-06-08 | Fibera, Inc. | Optical grating fabrication |
JP2005535870A (ja) * | 2001-11-07 | 2005-11-24 | オーバーン ユニバーシティ | ファージリガンドセンサーデバイスおよびその使用 |
JP2003161816A (ja) | 2001-11-29 | 2003-06-06 | Nitto Denko Corp | 光拡散性シート、光学素子および表示装置 |
US20030224369A1 (en) | 2002-02-25 | 2003-12-04 | Surber Mark W. | Reverse screening and target identification with minicells |
US7074311B1 (en) | 2002-05-08 | 2006-07-11 | Sru Biosystems Inc. | Biosensor electrophoresis |
AU2002951346A0 (en) | 2002-09-05 | 2002-09-26 | Garvan Institute Of Medical Research | Diagnosis of ovarian cancer |
US7927822B2 (en) | 2002-09-09 | 2011-04-19 | Sru Biosystems, Inc. | Methods for screening cells and antibodies |
US7429492B2 (en) | 2002-09-09 | 2008-09-30 | Sru Biosystems, Inc. | Multiwell plates with integrated biosensors and membranes |
US7309614B1 (en) | 2002-12-04 | 2007-12-18 | Sru Biosystems, Inc. | Self-referencing biodetection method and patterned bioassays |
FR2851373B1 (fr) * | 2003-02-18 | 2006-01-13 | St Microelectronics Sa | Procede de fabrication d'un circuit electronique integre incorporant des cavites |
US7497992B2 (en) * | 2003-05-08 | 2009-03-03 | Sru Biosystems, Inc. | Detection of biochemical interactions on a biosensor using tunable filters and tunable lasers |
US7057720B2 (en) * | 2003-06-24 | 2006-06-06 | Corning Incorporated | Optical interrogation system and method for using same |
US20050018944A1 (en) * | 2003-07-25 | 2005-01-27 | Mozdy Eric J. | Polarization modulation interrogation of grating-coupled waveguide sensors |
US7142298B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-11-28 | Shaw Intellectual Property Holdings, Inc. | Particulate monitor |
US20050070027A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Jacques Gollier | Double resonance interrogation of grating-coupled waveguides |
CA2544836A1 (en) | 2003-11-06 | 2005-05-26 | Guo Bin Wang | High-density amine-functionalized surface |
US6990259B2 (en) * | 2004-03-29 | 2006-01-24 | Sru Biosystems, Inc. | Photonic crystal defect cavity biosensor |
EP1769230A2 (en) * | 2004-06-28 | 2007-04-04 | SRU Biosystems, Inc. | Integration of direct binding sensors with mass spectrometry for functional and structural characterization of molecules |
US7689086B2 (en) * | 2004-07-30 | 2010-03-30 | University Of Connecticut | Resonant leaky-mode optical devices and associated methods |
US8938141B2 (en) * | 2004-07-30 | 2015-01-20 | University Of Connecticut | Tunable resonant leaky-mode N/MEMS elements and uses in optical devices |
US20060072114A1 (en) * | 2004-10-06 | 2006-04-06 | Sigalas Mihail M | Apparatus and mehod for sensing with metal optical filters |
DE602006015793D1 (de) | 2005-04-12 | 2010-09-09 | Sru Biosystems Inc | Proteolipidmembran und lipidmembranen-biosensor |
US7162125B1 (en) | 2005-06-23 | 2007-01-09 | Sru Biosystems, Inc. | Optimized grating based biosensor and substrate combination |
US7197198B2 (en) * | 2005-06-23 | 2007-03-27 | Sru Biosystems, Inc. | Biosensor substrate structure for reducing the effects of optical interference |
US7479404B2 (en) * | 2005-07-08 | 2009-01-20 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Photonic crystal biosensor structure and fabrication method |
US7521769B2 (en) * | 2005-07-08 | 2009-04-21 | Sru Biosystems, Inc. | Photonic crystal biosensor structure and fabrication method |
US7483127B1 (en) * | 2005-08-08 | 2009-01-27 | Sru Biosystems, Inc. | Method and apparatus for generating an image of biomolecular sensor target area |
DE602006014840D1 (de) | 2005-08-11 | 2010-07-22 | Sru Biosystems Inc | Beugungsbasierter sensor, der markierungsfreie bindungserkennung und fluoreszenz-verstärkung kombiniert |
US7790406B2 (en) | 2005-08-11 | 2010-09-07 | Sru Biosystems, Inc | Grating-based sensor combining label-free binding detection and fluorescence amplification and readout system for sensor |
US8288157B2 (en) | 2007-09-12 | 2012-10-16 | Plc Diagnostics, Inc. | Waveguide-based optical scanning systems |
US7812143B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-10-12 | Memorial Sloan-Kettering Cancer Center | Biomarkers for cancer treatment |
WO2008008247A2 (en) | 2006-07-07 | 2008-01-17 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Near ultraviolet-wavelength photonic-crystal biosensor with enhanced surface to bulk sensitivity ratio |
CA2667992A1 (en) | 2006-10-31 | 2008-05-08 | Sru Biosystems, Inc. | Method for blocking non-specific protein binding on a functionalized surface |
AU2007319975B2 (en) | 2006-11-09 | 2011-03-03 | Sru Biosystems, Inc. | Photonic crystal sensors with integrated fluid containment structure |
US7628085B2 (en) * | 2006-11-17 | 2009-12-08 | Sru Biosystems, Inc. | Simultaneous aspirator and dispenser for multiwell plates and similar devices |
US20080240543A1 (en) | 2007-03-30 | 2008-10-02 | Wolfgang Ernst Gustav Budach | Calibration and normalization method for biosensors |
CN101743465A (zh) | 2007-04-19 | 2010-06-16 | Sru生物系统公司 | 应用生物传感器检测与固定化靶标分子直接结合的小分子的方法 |
US9134307B2 (en) | 2007-07-11 | 2015-09-15 | X-Body, Inc. | Method for determining ion channel modulating properties of a test reagent |
WO2009012372A1 (en) | 2007-07-18 | 2009-01-22 | Advantageous Systems, Llc | Methods and apparatuses for detecting analytes in biological fluid of an animal |
US8268637B2 (en) | 2008-01-11 | 2012-09-18 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Label-free biosensors based upon distributed feedback laser |
US8257936B2 (en) | 2008-04-09 | 2012-09-04 | X-Body Inc. | High resolution label free analysis of cellular properties |
WO2009149285A1 (en) * | 2008-06-04 | 2009-12-10 | Sru Biosystems, Inc. | Detection of promiscuous small submicrometer aggregates |
US20100008826A1 (en) * | 2008-07-10 | 2010-01-14 | Sru Biosystems, Inc. | Biosensors featuring confinement of deposited material and intra-well self-referencing |
WO2010005600A1 (en) | 2008-07-11 | 2010-01-14 | Sru Biosystems, Inc. | Methods for identifying modulators of ion channels |
EP2391880A1 (en) | 2009-02-02 | 2011-12-07 | SRU Biosystems, Inc. | Efficient optical arrangement for illumination and detection of label-free biosensors and method to reduce interference fringes in label-free imaging |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016075713A (ja) * | 2006-09-08 | 2016-05-12 | マグヌッソン、ロバートMAGNUSSON, Robert | 角度ダイバーシチ、スペクトルダイバーシチ、モードダイバーシチ、及び偏光ダイバーシチを用いて高精度検出を小型構成で行なう導波モード共振センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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