JP5881357B2 - Sheet sticking device and sheet manufacturing device - Google Patents

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本発明は、シート貼付装置及びシート製造装置に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及びシート製造装置に関する。 The present invention relates to a sheet sticking apparatus及beauty sheet over preparative production equipment, more particularly, the sheet sticking apparatus及beauty sheet over preparative production equipment which can be a belt-like sheet by forming a notch to form the adhesive sheet about the.

従来より、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する場合がある)等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献1に開示されている。特許文献1のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で閉ループ状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置で切込を形成する場合、図3(A)に示されるように、切断刃HCの刃先が20μm前後剥離シートRLに入り込むように、当該切断刃HCとプラテンローラPRとの相対間隔が調整される。なお、このような剥離シートRLは、通常50μm前後の厚みを有するものが採用される。同図中WSは帯状シート、BSは基材シート、ADは接着剤層、RSは原反を示す。   Conventionally, a sheet sticking apparatus for sticking an adhesive sheet to an adherend such as a semiconductor wafer (hereinafter sometimes simply referred to as “wafer”) has been widely used. As such a sheet sticking apparatus, for example, It is disclosed in Patent Document 1. The sheet sticking device of Patent Document 1 includes a feeding unit that feeds an original fabric in which a belt-like sheet is temporarily attached to a release sheet, a cutting blade that forms a closed-loop cut in the course of feeding the original fabric, A peel plate for peeling the adhesive sheet formed on the inside from the release sheet, and a press roller capable of pressing the peeled adhesive sheet against the wafer and the ring frame for pasting. When forming a cut with such a sheet sticking device, as shown in FIG. 3A, the cutting blade HC and the platen roller PR are arranged so that the cutting edge of the cutting blade HC enters the peeling sheet RL of about 20 μm. The relative spacing of is adjusted. Such a release sheet RL usually has a thickness of about 50 μm. In the figure, WS is a belt-like sheet, BS is a base material sheet, AD is an adhesive layer, and RS is an original fabric.

特開2005−116928号公報JP-A-2005-116929

ところで、剥離シートRLにあっては、材料コストを低減するために、25μm前後の薄手のものが採用される機会が多くなっている。このような薄手の剥離シートRLが採用された原反を特許文献1の装置で使用すると、図3(B)に示されるように、切断刃HCの刃先が剥離シートRLに入り込まなくなり、ピールプレートで切込CUの内側に形成された接着シートと、その外側に形成された不要シートとを確実に切り離すことができず、当該接着シートが不要シートと共に巻き取られてしまうことで、接着シートの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。   By the way, in the release sheet RL, in order to reduce the material cost, a thin one having a thickness of about 25 μm is increasingly used. When the original fabric using such a thin release sheet RL is used in the apparatus of Patent Document 1, the cutting edge of the cutting blade HC does not enter the release sheet RL as shown in FIG. The adhesive sheet formed on the inside of the cut CU and the unnecessary sheet formed on the outside cannot be reliably separated, and the adhesive sheet is wound together with the unnecessary sheet. The inconvenience that sticking cannot be performed occurs.

ここで、図3(B)において、切断刃HCの刃先が剥離シートRLに入り込むように当該切断刃HCとプラテンローラPRとの相対間隔を再調整することで、接着シートを確実に不要シートから切り離すようにできる。ところが、この場合、調整の切断刃HCとプラテンローラPRとの相対間隔を近付け過ぎると、装置の振動、雰囲気の温度や湿度、切断刃HCの変形等の何らかの影響によって、ときに切込CUが部分的又は全体的に原反を貫通してしまい、少しの外力を受けただけで接着シートとそれに対応する剥離シート部分とが原反RSから抜け落ちてしまったり、ピールプレートで接着シートを剥離するときに、当該接着シートと共に対応する剥離シート部分も抜けてしまい、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を発生してしまう、という不都合を招来する。   Here, in FIG. 3B, the adhesive sheet is reliably removed from the unnecessary sheet by readjusting the relative distance between the cutting blade HC and the platen roller PR so that the cutting edge of the cutting blade HC enters the release sheet RL. It can be separated. However, in this case, if the relative distance between the adjusting cutting blade HC and the platen roller PR is too close, sometimes the cutting CU may be caused by some influence such as vibration of the apparatus, temperature and humidity of the atmosphere, deformation of the cutting blade HC, etc. Partially or entirely penetrates the original fabric, and the adhesive sheet and the corresponding release sheet part fall off from the original fabric RS with only a slight external force, or peel off the adhesive sheet with a peel plate. Sometimes, the corresponding release sheet part with the adhesive sheet also comes off, and the adhesive sheet with the release sheet part attached to it adheres to the adherend. Inconvenience.

[発明の目的]
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及びシート製造装置を提供することにある。
[Object of invention]
An object of the present invention, release sheet even when thinned, is to provide a sheet sticking apparatus及beauty sheet over preparative production equipment that can perform formation of the adhesive sheet, the peeling and sticking good.

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられる、という構成を採っている。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention feeds out a raw material in which a belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of a belt-like base material sheet is temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer. A cutting means for forming an incision in a predetermined shape in the belt-like sheet and forming an adhesive sheet inside the incision, and forming an unnecessary sheet outside the incision; and temporarily attaching to the release sheet A sheet sticking device including a peeling means for peeling the adhesive sheet, and a pressing means for pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion ,
It further includes a displacing means for the cutter part, and the displacing means is provided so as to be able to change the position of the cutter blade region that forms a cut on the leading end side in the feeding direction of the adhesive sheet by displacing the cutter part. The structure is adopted.

本発明において、前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を有し、前記調整手段は、前記接触検知手段の検知結果に基づいて、前記間隔を調整可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。   In this invention, it has the adjustment means which can adjust the space | interval of the said cutter part and a pressure receiving part, and the said adjustment means is provided so that the said space | interval can be adjusted based on the detection result of the said contact detection means. It is preferable to adopt.

更に、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行う、という構成を採っている。
Further, the present invention provides a feeding means for feeding out a raw material in which a belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of a belt-like base material sheet is temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer; A cutting means for forming a cut in a predetermined shape on the sheet to form an adhesive sheet inside the cut, and forming an unnecessary sheet outside the cut, and the adhesive sheet temporarily attached to the release sheet A sheet sticking device including a peeling means for peeling the adhesive sheet, and a pressing means for pressing and adhering the adhesive sheet to an adherend,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion,
The feeding means adopts a configuration in which the notch is formed a plurality of times for forming one adhesive sheet in conjunction with the cutting means .

更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との接触を検知する、という方法を採っている。
Furthermore, the sheet sticking method of the present invention is a feeding step in which a belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of a belt-like base material sheet is fed out from the original fabric temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer. When,
A slit having a predetermined shape is formed in the belt-like sheet by a cutter portion having a cutting blade capable of forming a cut having a predetermined shape and a pressure receiving portion that receives the pressing force of the cutter blade with the original fabric interposed therebetween. Forming an adhesive sheet on the inside of the cut and forming an unnecessary sheet on the outside of the cut,
A peeling step of peeling the adhesive sheet temporarily attached to the release sheet;
A pressing step of pressing and bonding the adhesive sheet to an adherend,
In the cutting step, a method of detecting contact between the cutter part and the pressure receiving part is adopted.

また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられる、という構成を採っている。
更に、本発明に係るシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行う、という構成を採っている。
Further, the sheet manufacturing apparatus of the present invention is a feeding means for feeding out a raw material in which a belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of a belt-like base material sheet is temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer. When,
A sheet manufacturing apparatus including a cutting means for forming an incision having a predetermined shape in the belt-like sheet to form an adhesive sheet inside the notch and forming an unnecessary sheet outside the notch,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion ,
It further includes a displacing means for the cutter part, and the displacing means is provided so as to be able to change the position of the cutter blade region that forms a cut on the leading end side in the feeding direction of the adhesive sheet by displacing the cutter part. The structure is adopted.
Furthermore, the sheet manufacturing apparatus according to the present invention feeds an original fabric in which a belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of the belt-like base material sheet is temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer. Means,
A sheet manufacturing apparatus including a cutting means for forming an incision having a predetermined shape in the belt-like sheet to form an adhesive sheet inside the notch and forming an unnecessary sheet outside the notch,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion,
The feeding means adopts a configuration in which the notch is formed a plurality of times for forming one adhesive sheet in conjunction with the cutting means.

また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター刃の押圧力を受け止める受圧部とにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記カッター部と受圧部との接触を検知する、という方法を採っている。
The sheet manufacturing method of the present invention is a feeding step in which a belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of a belt-like base material sheet is fed out from the original fabric temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer. When,
A slit having a predetermined shape is formed in the belt-like sheet by a cutter portion having a cutting blade capable of forming a cut having a predetermined shape and a pressure receiving portion that receives the pressing force of the cutter blade with the original fabric interposed therebetween. Forming an adhesive sheet on the inside of the cut and forming a unnecessary sheet on the outside of the cut,
In the cutting step, a method of detecting contact between the cutter part and the pressure receiving part is adopted.

本発明によれば、カッター部と受圧部との接触を検知することで、切込が原反を貫通してしまったことを検知することができるので、切込が部分的又は全体的に原反を貫通してしまったとしても、それを検知して、例えば、シート貼付装置やシート製造装置を非常停止させたり、音や光等の通知手段によってオペレータ等に知らせたりすることができ、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を未然に防止することができる。   According to the present invention, it is possible to detect that the cut has penetrated the original fabric by detecting contact between the cutter portion and the pressure receiving portion. Even if it has penetrated the opposite side, it can be detected and, for example, the sheet sticking device or the sheet manufacturing device can be emergency stopped, or a notification means such as sound or light can be notified to the operator, etc. To prevent adhesion failure of the adhesive sheet, such as the sheet and the corresponding release sheet part falling off from the original fabric, or the adhesive sheet with the release sheet part attached to the adherend. Can do.

また、カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を設けた場合、接触検知手段の検知結果に基づいて間隔を調整可能になり、シート貼付装置やシート製造装置を非常停止させる必要がなくなる。
更に、接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成するカッター刃領域を変更可能な変位手段を有する構成とした場合、当該カッター刃の一部領域が摩耗等によって劣化しても、他の領域で接着シートの繰出方向先端部に対応する切込を形成することができる。
In addition, when an adjustment unit capable of adjusting the interval between the cutter unit and the pressure receiving unit is provided, the interval can be adjusted based on the detection result of the contact detection unit, and the sheet sticking device or the sheet manufacturing device needs to be stopped in an emergency. Disappear.
Further, when the cutter blade region that forms the cut corresponding to the leading end of the adhesive sheet in the feeding direction is configured to have a displacement means that can be changed, even if a partial region of the cutter blade deteriorates due to wear or the like, A notch corresponding to the leading end of the adhesive sheet in the feeding direction can be formed in the region.

また、1枚の接着シート形成に対して切込の形成を複数回行うことで、切込の深さを確実に所定の深さとすることが可能となる。   Moreover, it becomes possible to make the depth of a notch into a predetermined depth reliably by performing notch formation several times with respect to one adhesive sheet formation.

実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。The schematic front view of the sheet sticking apparatus which concerns on embodiment. 切込形成後の原反の概略斜視図。The schematic perspective view of the original fabric after cutting formation. (A)及び(B)は、従来例に係る切断要領を示す説明図。(A) And (B) is explanatory drawing which shows the cutting point which concerns on a prior art example.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this specification, “left”, “right”, “upper”, and “lower” are used with reference to FIG. 1 unless otherwise specified.

図1及び図2において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWF及びリングフレームRFを吸着支持するテーブル11と、このテーブル11を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ12と、帯状の剥離シートRLと、その一方の面に仮着された帯状シートWSとにより構成された原反RSを繰り出し可能な繰出手段14と、この繰出手段14により繰り出された原反RSの帯状シートWSに切込CUを形成し、当該切込CUの内側に接着シートASを形成するとともに、当該切込CUの外側に不要シートUSを形成する切断手段15と、不要シートUSを巻き取り可能な巻取手段16と、剥離シートRLを折り返して接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離手段としての剥離板18と、この剥離板18で剥離された接着シートASをリングフレームRF及びウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ19とを備えて構成されている。帯状シートWSは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に積層された接着剤層ADとを備え、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLに仮着されている。なお、ウエハWFの下面には保護シートPSが貼付されている。   1 and 2, a sheet sticking apparatus 10 includes a table 11 that sucks and supports a wafer WF and a ring frame RF as adherends, and a linear motion motor 12 as a drive device that can move the table 11 in the left-right direction. A stripping sheet RL and a strip-shaped sheet WS temporarily attached to one surface of the strip-shaped sheet WS. The cut sheet CU is formed in the belt-like sheet WS, the adhesive sheet AS is formed inside the cut CU, and the unnecessary sheet US is formed outside the cut CU, and the unnecessary sheet US is wound up. The possible winding means 16, the peeling plate 18 as a peeling means for folding the release sheet RL and peeling the adhesive sheet AS from the release sheet RL, and the peeling plate 18 It is constituted by a pressing roller 19 as a pressing means for sticking an adhesive sheet AS which is to press the ring frame RF and the wafer WF. The belt-like sheet WS includes a base sheet BS and an adhesive layer AD laminated on one surface of the base sheet BS, and is temporarily attached to the release sheet RL via the adhesive layer AD. A protective sheet PS is stuck on the lower surface of the wafer WF.

前記繰出手段14は、原反RSを支持する支持軸25と、この支持軸25から繰り出されて切断手段15を通過する前の原反RSを挟み込む第1駆動ローラ27及び第1ピンチローラ28と、剥離板18を経た後の剥離シートRLを挟み込む第2駆動ローラ31及び第2ピンチローラ32と、これらを通過した後の剥離シートRLを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸34とを備えている。各駆動ローラ27、31は、駆動機器としての回動モータDM1、DM2を介して回転可能に設けられている。   The feeding means 14 includes a support shaft 25 that supports the original fabric RS, and a first drive roller 27 and a first pinch roller 28 that sandwich the original fabric RS that is fed from the support shaft 25 and passes through the cutting means 15. The second drive roller 31 and the second pinch roller 32 that sandwich the release sheet RL after passing through the release plate 18, and the winding shaft that winds the release sheet RL after passing through the release sheet RL with a predetermined torque by a drive device (not shown). 34. The drive rollers 27 and 31 are rotatably provided via rotation motors DM1 and DM2 as drive devices.

前記切断手段15は、繰り出される原反RSの帯状シートWS側に配置され、駆動機器としての回動モータDM3によって回転可能に設けられたカッター部としてのダイカットローラ36と、原反RSを間に挟んでダイカットローラ36と対向配置され、ダイカットローラ36の押圧力を受け止める受圧部としてのプラテンローラ37と、ダイカットローラ36を左右方向に移動させて当該ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整可能な調整手段38と、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との接触を検知可能な接触検知手段39とを備えている。なお、プラテンローラ37は、図示しない機構によりダイカットローラ36と連動して回転可能に設けられている。   The cutting means 15 is disposed on the belt-like sheet WS side of the raw fabric RS to be fed out, and the die cut roller 36 as a cutter portion provided rotatably by a rotation motor DM3 as a driving device, and the raw fabric RS in between. A platen roller 37 serving as a pressure receiving portion that receives the pressing force of the die cut roller 36 and is opposed to the die cut roller 36, and the die cut roller 36 is moved in the left-right direction so that the relative distance between the die cut roller 36 and the platen roller 37 is increased. Adjustable adjustment means 38 and contact detection means 39 capable of detecting contact between the die cut roller 36 and the platen roller 37 are provided. The platen roller 37 is rotatably provided in conjunction with the die cut roller 36 by a mechanism (not shown).

前記ダイカットローラ36は、回動モータDM3と共にブラケット41を介して調整手段38に支持されている。ダイカットローラ36は、外周面から突設する閉ループ状の切断刃40を備え、帯状シートWSにリングフレームRFの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さい略円形の切込CUを形成可能に設けられている。また、切断刃40は、例えば、ダイカットローラ36の回転方向に270°の範囲に亘って設けられ、当該回転方向での先端を図1中符号40aで示し、後端を同図中符号40bで示す。なお、切断刃40の高さは、450μmに設定されている。   The die cut roller 36 is supported by the adjusting means 38 via the bracket 41 together with the rotation motor DM3. The die-cut roller 36 includes a closed-loop cutting blade 40 projecting from the outer peripheral surface, and is provided so that a substantially circular cut CU that is larger than the inner diameter dimension of the ring frame RF and smaller than the outer dimension dimension can be formed on the belt-like sheet WS. It has been. Further, the cutting blade 40 is provided, for example, over a range of 270 ° in the rotational direction of the die cut roller 36, the front end in the rotational direction is denoted by reference numeral 40a in FIG. 1, and the rear end is denoted by reference numeral 40b in the same figure. Show. The height of the cutting blade 40 is set to 450 μm.

前記調整手段38は、ブラケット41に連結された出力軸38Aを備え、当該出力軸38Aを左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータとしての機能と、図1中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に出力軸38Aを回転可能な駆動機器としての回動モータとしての機能とを有している。なお、出力軸38Aを図1中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に回転可能な機能により変位手段が構成され、ダイカットローラ36を同図中矢印R1方向又は矢印R1の反対方向に180°回転駆動することで、ダイカットローラ36の同図中紙面直交方向の向きを反対にすることができる。これにより、切込CUの形成を開始する領域を切断刃40の後端40bに変更可能となり、切断刃40の先端40a及び後端40bの何れからでも切込CUを形成開始可能となり、先端40a及び後端40bの劣化状態等に応じ、それらの何れかを選択的に利用することが可能となる。なお、変位手段は、調整手段38から独立した駆動機器としての回動モータを採用してもよい。   The adjusting means 38 includes an output shaft 38A connected to the bracket 41, and functions as a linear motion motor as a drive device that can move the output shaft 38A in the left-right direction, and in the direction of arrow R1 or arrow R1 in FIG. And a function as a rotation motor as a driving device capable of rotating the output shaft 38A in the opposite direction. The displacement means is constituted by a function capable of rotating the output shaft 38A in the direction of the arrow R1 in FIG. 1 or in the direction opposite to the arrow R1, and the die cut roller 36 is rotated 180 ° in the direction of the arrow R1 or in the direction opposite to the arrow R1 in FIG. By driving, the direction of the die cut roller 36 in the direction perpendicular to the paper surface in the figure can be reversed. Thereby, the region where the formation of the cutting CU is started can be changed to the rear end 40b of the cutting blade 40, and the formation of the cutting CU can be started from either the front end 40a or the rear end 40b of the cutting blade 40. Any one of them can be selectively used according to the deterioration state of the rear end 40b. Note that the displacement means may employ a rotation motor as a drive device independent of the adjustment means 38.

前記接触検知手段39は、プラテンローラ37と切断刃40とが接触することで、電気的に接続されたことを検知可能なセンサ45を備えている。これにより、プラテンローラ37と切断刃40とが原反RSの存在によって絶縁されている状態を非接触状態として判断でき、プラテンローラ37と切断刃40とが電気的に導通している状態を接触状態として判断できるようになっている。   The contact detection means 39 includes a sensor 45 that can detect that the platen roller 37 and the cutting blade 40 are in contact with each other by being in contact with each other. Thereby, the state where the platen roller 37 and the cutting blade 40 are insulated by the presence of the original fabric RS can be determined as a non-contact state, and the state where the platen roller 37 and the cutting blade 40 are electrically connected is in contact. It can be judged as a state.

ここで、切断手段15には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反RSにエネルギーを付与しながら切込CUを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ36、37から離れた位置から切込CUの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。   Here, the cutting means 15 is provided with energy applying means (not shown), and the cutting CU can be formed while applying energy to the raw fabric RS by the energy applying means. Examples of the energy applying means include a coil heater built in at least one of the die-cut roller 36 and the platen roller 37, and a blower that blows hot air from a position away from the rollers 36 and 37 to the formation position of the cut CU. An irradiation device that irradiates energy rays such as a vessel, ultraviolet rays, infrared rays, and microwaves.

前記巻取手段16は、切断手段15により切込CUを形成した後の不要シートUSに掛け回されて当該不要シートUSを剥離シートRLから剥離する剥離ローラ50と、剥離ローラ50を経た後の不要シートUSを巻き取る巻取軸51とを備えて構成されている。巻取軸51は、駆動機器としての回動モータDM4を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートUSを巻き取り可能となっている。   The winding means 16 is wound around the unnecessary sheet US after the cutting means 15 forms the cut CU, and peels off the unnecessary sheet US from the release sheet RL. A take-up shaft 51 for taking up the unnecessary sheet US is provided. The take-up shaft 51 is rotatably provided via a rotation motor DM4 as a drive device, and can take up the unnecessary sheet US with a predetermined torque.

次に、本実施形態における接着シートASの貼付方法について説明する。   Next, a method for applying the adhesive sheet AS in the present embodiment will be described.

まず、支持軸25に支持された原反RSを第1駆動ローラ27と第1ピンチローラ28との間、及び、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との間を通過させる。そして、剥離シートRLから帯状シートWSを剥離し、当該帯状シートWSを剥離ローラ50に掛け回した後、そのリード端を巻取軸51に固定する。また、剥離シートRLは、剥離板18の先端で折り返して第2駆動ローラ31と第2ピンチローラ32との間を通過させ、そのリード端を巻取軸34に固定する。なお、本実施形態では、帯状シートWSの厚みは100μm、剥離シートRLの厚みは25μmのものが採用されている。また、調整手段38によって、ダイカットローラ36とプラテンローラ37との相対間隔を調整する。本実施形態では、切断刃40が切込CUを形成する際、当該切断刃40の頂点とプラテンローラ37の外周面との間隔が10μmになるように設定されている。本実施形態では、図1に示されるように、ダイカットローラ36の回転方向における切断刃40が形成されていない領域の中央をダイカットローラ36のスタート位置Stとし、当該スタート位置Stがプラテンローラ37に再接近した状態で、ダイカットローラ36の回転を停止させておく。   First, the raw fabric RS supported by the support shaft 25 is passed between the first drive roller 27 and the first pinch roller 28 and between the die cut roller 36 and the platen roller 37. Then, the strip-like sheet WS is peeled from the release sheet RL, and the strip-like sheet WS is wound around the peeling roller 50, and then the lead end is fixed to the winding shaft 51. Further, the release sheet RL is folded at the tip of the release plate 18 to pass between the second drive roller 31 and the second pinch roller 32, and its lead end is fixed to the winding shaft 34. In the present embodiment, the belt-like sheet WS has a thickness of 100 μm, and the release sheet RL has a thickness of 25 μm. Further, the relative distance between the die cut roller 36 and the platen roller 37 is adjusted by the adjusting means 38. In this embodiment, when the cutting blade 40 forms the cutting CU, the distance between the apex of the cutting blade 40 and the outer peripheral surface of the platen roller 37 is set to 10 μm. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the center of the area where the cutting blade 40 is not formed in the rotation direction of the die cut roller 36 is set as the start position St of the die cut roller 36, and the start position St is set to the platen roller 37. The rotation of the die cut roller 36 is stopped in the state of approaching again.

そして、回動モータDM1〜DM4を連動させて原反RSを繰り出すと、切断刃40により基材シートBS側から剥離シートRL側に向かって切込CUが形成され、帯状シートWSは、切込CUの内側の接着シートASと、切込CUの外側の不要シートUSとに区分される。この接着シートASの形成過程で、例えば、何らかの影響によって切込CUが部分的又は全体的に原反を貫通してしまった場合、接触検知手段39は、プラテンローラ37と切断刃40との接触を検知し、その検知信号を図示しないコンピュータやシーケンサ等の制御手段に出力する。制御手段は、接触検知手段39からの検知信号を受けると、シート貼付装置10の作動を全て停止して非常停止状態としたり、音や光等の通知手段によってオペレータ等に知らせたりする緊急対応を行うことができる。ここで、図示しない制御手段は、1の接着シートASを形成する間に接触検知手段39から入力される検知信号の継続時間を内部タイマによって計測し、当該継続時間が所定時間以内であれば、非常停止等の緊急対応を行わないタイムキャンセル手段を設けてもよい。また、図示しない制御手段は、1の接着シートASを形成する間に接触検知手段39から発せられる検知信号の入力回数を内部カウンタによってカウントし、当該入力回数が所定回数以内であれば、非常停止等の緊急対応を行わないカウントキャンセル手段を設けてもよい。なお、カウントキャンセル手段は、タイムキャンセル手段を優先させる方が好ましい。   Then, when the raw fabric RS is fed out by interlocking the rotation motors DM1 to DM4, the cutting blade 40 forms a cut CU from the base sheet BS side to the release sheet RL side, and the strip sheet WS is cut. It is divided into an adhesive sheet AS inside the CU and an unnecessary sheet US outside the cut CU. In the process of forming the adhesive sheet AS, for example, when the cut CU partially or entirely penetrates the original fabric due to some influence, the contact detection unit 39 contacts the platen roller 37 and the cutting blade 40. And the detection signal is output to control means such as a computer or sequencer (not shown). Upon receipt of the detection signal from the contact detection means 39, the control means stops the operation of the sheet sticking apparatus 10 to an emergency stop state or notifies the operator or the like by a notification means such as sound or light. It can be carried out. Here, the control means (not shown) measures the duration of the detection signal input from the contact detection means 39 while forming one adhesive sheet AS by an internal timer, and if the duration is within a predetermined time, You may provide the time cancellation means which does not perform emergency response, such as an emergency stop. Further, a control means (not shown) counts the number of detection signals input from the contact detection means 39 while forming one adhesive sheet AS by an internal counter. If the number of inputs is within a predetermined number, an emergency stop is performed. It is also possible to provide a count canceling unit that does not perform emergency response such as The count canceling means preferably gives priority to the time canceling means.

切込CUの形成後、繰り出された原反RSは、剥離ローラ50で剥離シートRLから不要シートUSが剥離され、不要シートUSが巻取軸51に巻き取られる。このとき、切断刃40とプラテンローラ37との間隔をそれらが接触しない程度に設定したので、接着シートASが不要シートUSと切り離され易くなり、接着シートASが不要シートUSと共に巻取軸51方向へ共上がりすることはない。次いで、不要シートUSが巻き取られた原反RSの接着シートASが剥離板18の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートASの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。このとき、切込CUが確実に剥離シートRLに入り込んでいるので、接着シートASの繰出方向先端部は確実に剥離シートRLから剥離され、剥離シートRLと共に第2駆動ローラ31方向に巻き取られるようなことはない。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ36は、図1に示されるように、スタート位置Stがプラテンローラ37に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートASの間隔を任意に調整することができる上、接着シートASの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームRFとウエハWFとがテーブル11上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ12を介してテーブル11が剥離板18の下方を右側から左側に搬送される。テーブル11が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル11の搬送に同期して第1及び第2駆動ローラ27、31が回転して原反RSが繰り出され、剥離板18の先端で接着シートASが剥離される。そして、剥離された接着シートASが押圧ローラ19による押圧力を受け、リングクレームRF及びウエハWFの各上面に貼付され、接着シートASを介してウエハWFとリングクレームRFとが一体化される。このとき、接着シートASの繰出方向先端部に対応する剥離シートRL部分が確実に接着シートASから剥離されているので、剥離シートRL部分が付随した状態の接着シートASが被着体に貼付されるようなことはない。   After the formation of the cut CU, the unrolled sheet RS is peeled off from the release sheet RL by the peeling roller 50, and the unnecessary sheet US is wound around the take-up shaft 51. At this time, since the interval between the cutting blade 40 and the platen roller 37 is set to such an extent that they do not come into contact with each other, the adhesive sheet AS is easily separated from the unnecessary sheet US, and the adhesive sheet AS together with the unnecessary sheet US is in the direction of the winding shaft 51. There is no going up together. Next, when the adhesive sheet AS of the original web RS on which the unnecessary sheet US is wound is peeled off from the front end of the release plate 18 by a predetermined amount, the front end of the adhesive sheet AS is detected by a sensor (not shown) and stopped. It becomes a state. At this time, since the cut CU surely enters the release sheet RL, the leading end of the adhesive sheet AS in the feed direction is reliably released from the release sheet RL, and is wound in the direction of the second drive roller 31 together with the release sheet RL. There is no such thing. In the standby state, as shown in FIG. 1, the die cut roller 36 has the start position St opposed to the platen roller 37, and the die cut roller 36 and The position of the platen roller 37 can be displaced in the vertical direction. According to this, the intervals between the adhesive sheets AS can be arbitrarily adjusted, and the positions thereof can be changed in the vertical direction according to the length in the feeding direction of the adhesive sheet AS. Thereafter, the ring complaint RF and the wafer WF are placed on the table 11 via a transfer means (not shown) and are sucked and held. Next, the table 11 is conveyed below the peeling plate 18 from the right side to the left side via the linear motor 12. When the table 11 is detected at a predetermined position by a sensor (not shown), the first and second drive rollers 27 and 31 are rotated in synchronism with the conveyance of the table 11 to feed out the original fabric RS, and the leading edge of the peeling plate 18 The adhesive sheet AS is peeled off. Then, the peeled adhesive sheet AS receives a pressing force by the pressing roller 19 and is attached to each upper surface of the ring claim RF and the wafer WF, and the wafer WF and the ring claim RF are integrated through the adhesive sheet AS. At this time, since the release sheet RL portion corresponding to the leading end portion in the feeding direction of the adhesive sheet AS is surely released from the adhesive sheet AS, the adhesive sheet AS with the release sheet RL portion attached thereto is affixed to the adherend. There is no such thing.

従って、このような実施形態によれば、切断刃40とプラテンローラ37との接触を検知することができるので、切込CUが部分的又は全体的に原反RSを貫通してしまったとしても、それを検知して、非常停止等の緊急対応を採ることができ、接着シートASとそれに対応する剥離シートRL部分が原反RSから抜け落ちてしまったり、剥離シートRL部分が付随した状態の接着シートASが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートASの貼付不良を抑制することができる。   Therefore, according to such an embodiment, since the contact between the cutting blade 40 and the platen roller 37 can be detected, even if the cutting CU partially or entirely penetrates the raw material RS. , It can be detected and emergency response such as emergency stop can be taken, and the adhesive sheet AS and the release sheet RL corresponding to the adhesive sheet AS fall off from the original RS, or the adhesive with the release sheet RL attached. It is possible to suppress the sticking failure of the adhesive sheet AS such that the sheet AS is stuck to the adherend.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.
Therefore, the description limited to the shape disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded one part or all part is included in this invention.

例えば、切断刃40の頂点とプラテンローラ37との間隔を、原反RSの厚みより約100μm程度大きくし、切断刃40の先端40aがプラテンローラ37に対向した状態としておく。そして、原反RSの繰出を停止させた状態で、調整手段38を駆動させ、ダイカットローラ36を右方向に移動して切断刃40とプラテンローラ37とを接近させる。切断刃40の先端40aと接触部44とが接触すると、接触検知手段39が当該接触を検知し、その検知信号を図示しない制御手段に出力する。制御手段は、接触検知手段39からの検知信号を受け、調整手段38に対してダイカットローラ36を例えば10μm左方向に移動させ指令を送る。この状態から、各回動モータDM1〜DM4を連動させて原反RSの繰出を行い、切込CUを形成するように構成してもよい。
また、帯状シートWSに切込CUを形成する前の段階で、原反RSに線状若しくは点状のテスト用切込TC(図2参照)を形成するテスト切断を行うように構成してもよい。この場合、上記と同様に、原反RSの繰出を停止させた状態で、切断刃40とプラテンローラ37とを接近させてそれらが接触すると、図示しない制御手段がその接触位置を記憶する。その後、調整手段38によって、切断刃40の頂点が原反RSに接触しない位置とされた後に、各回動モータDM1〜DM4を連動させて原反RSの繰出を行い、切込CUを形成する。この切込CUを形成するとき、制御手段は、先に記憶した接触位置を基に、切断刃40の先端40aがプラテンローラ37に対して10μm左方向に位置するように制御を行う。なお、このようなテスト用切込TCを形成する動作は、1枚の接着シートASを形成する毎に行ってもよいし、複数枚の接着シートAS形成毎に行ったり、ダイカットローラ36や切断刃40を交換する毎に、1回或いは複数回行ったりしてもよい。
For example, the distance between the apex of the cutting blade 40 and the platen roller 37 is set to be approximately 100 μm larger than the thickness of the original fabric RS, and the tip 40 a of the cutting blade 40 is in a state of facing the platen roller 37. Then, in a state where the feeding of the raw fabric RS is stopped, the adjusting means 38 is driven, and the die cutting roller 36 is moved in the right direction to bring the cutting blade 40 and the platen roller 37 closer to each other. When the tip 40a of the cutting blade 40 and the contact portion 44 come into contact, the contact detection means 39 detects the contact and outputs a detection signal to a control means (not shown). The control means receives the detection signal from the contact detection means 39, and moves the die cut roller 36 to the adjustment means 38, for example, 10 μm leftward to send a command. From this state, it is also possible to configure the cut CU by feeding the original fabric RS in conjunction with the rotation motors DM1 to DM4.
In addition, it may be configured to perform a test cutting for forming a linear or dotted test cut TC (see FIG. 2) on the raw fabric RS before the cut CU is formed on the belt-like sheet WS. Good. In this case, similarly to the above, when the cutting blade 40 and the platen roller 37 are brought into close contact with each other in a state where the feeding of the raw fabric RS is stopped, a control means (not shown) stores the contact position. Thereafter, after the apex of the cutting blade 40 is brought into a position where it does not come into contact with the original fabric RS by the adjusting means 38, the original fabric RS is fed out by interlocking the rotation motors DM1 to DM4 to form the cut CU. When forming the cut CU, the control means performs control so that the tip 40a of the cutting blade 40 is positioned 10 μm leftward with respect to the platen roller 37 based on the previously stored contact position. The operation of forming such a test cut TC may be performed every time one adhesive sheet AS is formed, or may be performed every time a plurality of adhesive sheets AS are formed, or the die cut roller 36 or the cutting may be performed. Each time the blade 40 is replaced, it may be performed once or a plurality of times.

また、接触検知手段39は、前記実施形態と同様に検知を行える限りにおいて、種々の設計変更が可能である。例えば、切断刃40によってプラテンローラ37に局所的に加わる押圧力を検知可能な圧力センサにより構成し、その圧力値の検知結果によりプラテンローラ37と切断刃40との接触を検知するようにしてもよい。   Further, the contact detection means 39 can be variously modified as long as detection can be performed in the same manner as in the above embodiment. For example, a pressure sensor capable of detecting the pressing force locally applied to the platen roller 37 by the cutting blade 40 is configured, and the contact between the platen roller 37 and the cutting blade 40 is detected based on the detection result of the pressure value. Good.

更に、前記巻取手段16を省略し、剥離シートRLから不要シートUSを剥離せずに、剥離板18で接着シートASを剥離し、剥離シートRLと不要シートUSとを巻取軸34で巻き取るようにしてもよい。   Further, the winding means 16 is omitted, the adhesive sheet AS is peeled off by the peeling plate 18 without peeling off the unnecessary sheet US from the peeling sheet RL, and the peeling sheet RL and the unnecessary sheet US are wound around the winding shaft 34. You may make it take.

また、切込Cの形成にあっては、各回動モータDM1〜DM4を連動させて原反RSを繰り出し方向に往復動させ、1枚の接着シートAS形成に対し、切込CUの形成を複数回行ってもよい。   In forming the cut C, the rotation motors DM1 to DM4 are interlocked to reciprocate the original fabric RS in the feeding direction, and a plurality of cut CUs are formed for one adhesive sheet AS. You may go round.

更に、前記シート貼付装置10の剥離板18及び押圧ローラ19を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段15によって接着シートASを形成した後、当該接着シートASが剥離シートRLに仮着された原反RSが巻取軸34に巻き取られる。巻取軸34に巻き取られた原反RSは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。   Furthermore, you may comprise a sheet manufacturing apparatus by abbreviate | omitting the peeling plate 18 and the press roller 19 of the said sheet sticking apparatus 10. FIG. According to the apparatus, after the adhesive sheet AS is formed by the cutting means 15 as in the above-described embodiment, the original fabric RS on which the adhesive sheet AS is temporarily attached to the release sheet RL is wound around the winding shaft 34. The raw fabric RS wound on the winding shaft 34 can be separately conveyed and stored, or used in a sheet sticking apparatus or the like that does not have a cutting means.

また、切断刃40の平面形状は、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側を接着シートASとして形成し得る限りにおいて、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等、種々の変更が可能であり、刃の高さも任意に変更できる。   Further, the planar shape of the cutting blade 40 is polygonal, oval, oval, rhombus, straight line as long as the cut CU can be formed in the belt-like sheet WS and the inside of the cut CU can be formed as the adhesive sheet AS. Various changes such as a shape combined with a curve are possible, and the height of the blade can also be arbitrarily changed.

更に、切断刃40は、エッチング加工の他、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。   Further, the cutting blade 40 may use an engraving blade formed by machining, a rotary die, a flat blade having a blade formed on a flat plate, a Thomson blade, or the like in addition to etching. .

また、調整手段38による切断刃40とプラテンローラ37との間隔は、原反RSの厚みや性質、特に剥離シートRSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。   Further, the distance between the cutting blade 40 and the platen roller 37 by the adjusting means 38 can be appropriately changed in consideration of the thickness and properties of the original fabric RS, particularly the thickness and properties of the release sheet RS.

更に、繰出手段14や剥離板18、押圧ローラ19は、種々の設計変更が可能である。
また、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、
更に、上記実施形態と同様の調整手段38をプラテンローラ37側にも設け、ダイカットローラ36を停止させた状態で、プラテンローラ37をダイカットローラ36に対して離間接近させたり、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37を相互に離間接近させたりして切断刃40とプラテンローラ37との間隔を調整するようにしてもよい。
Furthermore, various design changes can be made to the feeding means 14, the peeling plate 18, and the pressing roller 19.
Moreover, the thickness of the member which comprises original fabric RS is not limited to what was illustrated by the said embodiment at all.
In addition, a driving device for moving the sheet sticking device 10 is provided, and the sheet sticking device 10 is moved rightward in FIG. 1 or the table 11 is moved leftward while the table 11 is stopped. The apparatus 10 may be configured to be attached to the adherend by moving the apparatus 10 in the right direction,
Further, an adjustment means 38 similar to that in the above embodiment is also provided on the platen roller 37 side, and with the die cut roller 36 stopped, the platen roller 37 is moved away from and close to the die cut roller 36, or the die cut roller 36 and the platen The distance between the cutting blade 40 and the platen roller 37 may be adjusted by moving the rollers 37 apart from each other.

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。   The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).

更に、被着体は、ウエハWFやリングフレームRFに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームRFに代えて、C字状やU字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームRFなしで単独の被着体を接着シートASの貼付対象としてもよい。   Further, the adherend may be a glass plate, a steel plate, or a resin plate instead of the wafer WF or the ring frame RF, and the semiconductor wafer may be a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer. It may be. Further, instead of the ring frame RF, a frame having a different shape such as a C-shape or U-shape may be used, or a single adherend may be used as an attachment target of the adhesive sheet AS without the ring frame RF.

10 シート貼付装置
14 繰出手段
15 切断手段
18 剥離板(剥離手段)
19 押圧ローラ(押圧手段)
36 カッター部(ダイカットローラ)
37 受圧部(プラテンローラ)
38 調整手段
39 接触検知手段
40 切断刃
AD 接着剤層
AS 接着シート
BS 基材シート
CU 切込
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
TC テスト用切込
US 不要シート
WF 半導体ウエハ(被着体)
WS 帯状シート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sheet sticking apparatus 14 Feeding means 15 Cutting means 18 Release plate (peeling means)
19 Pressing roller (pressing means)
36 Cutter (die cut roller)
37 Pressure receiver (platen roller)
38 adjusting means 39 contact detecting means 40 cutting blade AD adhesive layer AS adhesive sheet BS base sheet CU cutting RF ring frame (adhered body)
RL Release sheet RS Original TC Cutting for test US Unnecessary sheet WF Semiconductor wafer (adhered body)
WS Strip sheet

Claims (4)

帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
The belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of the belt-like base material sheet is provided with a feeding means for feeding out the original fabric temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer, and the belt-like sheet is cut into a predetermined shape. A cutting means for forming an adhesive sheet inside the cut and forming an unnecessary sheet outside the cut, and a peeling means for peeling the adhesive sheet temporarily attached to the release sheet; A sheet sticking device including a pressing means for pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion ,
It further includes a displacing means for the cutter part, and the displacing means is provided so as to be able to change the position of the cutter blade region that forms a cut on the leading end side in the feeding direction of the adhesive sheet by displacing the cutter part. The sheet sticking apparatus characterized by the above-mentioned.
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行うことを特徴とするシート貼付装置。
The belt-like sheet having an adhesive layer on one surface of the belt-like base material sheet is provided with a feeding means for feeding out the original fabric temporarily attached to the belt-like release sheet via the adhesive layer, and the belt-like sheet is cut into a predetermined shape. A cutting means for forming an adhesive sheet inside the cut and forming an unnecessary sheet outside the cut, and a peeling means for peeling the adhesive sheet temporarily attached to the release sheet; A sheet sticking device including a pressing means for pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion,
The sheet feeding device, wherein the feeding means performs the formation of the notch a plurality of times with respect to the formation of one adhesive sheet in conjunction with the cutting means .
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え
前記カッター部の変位手段を更に含み、当該変位手段は、前記カッター部を変位させることにより、前記接着シートの繰出方向先端部側の切込を形成するカッター刃領域の位置を変更可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
A feeding means for feeding out the original fabric temporarily attached to the strip-shaped release sheet by the strip-shaped sheet having the adhesive layer on one surface of the strip-shaped base sheet;
A sheet manufacturing apparatus including a cutting means for forming an incision having a predetermined shape in the belt-like sheet to form an adhesive sheet inside the notch and forming an unnecessary sheet outside the notch,
The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion ,
It further includes a displacing means for the cutter part, and the displacing means is provided so as to be able to change the position of the cutter blade region that forms a cut on the leading end side in the feeding direction of the adhesive sheet by displacing the cutter part. A sheet manufacturing apparatus.
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、A feeding means for feeding out the original fabric temporarily attached to the strip-shaped release sheet by the strip-shaped sheet having the adhesive layer on one surface of the strip-shaped base sheet;
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、A sheet manufacturing apparatus including a cutting means for forming an incision having a predetermined shape in the belt-like sheet to form an adhesive sheet inside the notch and forming an unnecessary sheet outside the notch,
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、これらカッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、The cutting means is disposed on the belt-like sheet side of the original fabric and has a cutter blade having a cutting blade capable of forming the incision, and the cutter portion is arranged to face the cutter portion with the original fabric interposed therebetween. A pressure receiving portion that receives the pressure of the pressure, and contact detection means that can detect contact between the cutter portion and the pressure receiving portion,
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記切込の形成を複数回行うことを特徴とするシート製造装置。The sheet feeding apparatus according to claim 1, wherein the feeding unit performs the formation of the notch a plurality of times with respect to the formation of one adhesive sheet in conjunction with the cutting unit.
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