JP5877416B2 - 光ビーム経路におけるビーム調整のための装置および方法 - Google Patents
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Description
各試験偏差に対して、「応答ベクトル」
T=A−1・A・T=A−1・X
2 光源
3 照明光絞り
4 照明光絞り
5 レンズ系
6 レンズ系
7 ビーム結合器
8 ビーム、ビーム経路
9 ビーム、ビーム経路
10 照明ビーム経路
11 ビームスプリッタ/ビーム結合器
12 照明光
13 走査装置
14 走査ミラー
15 レンズ装置
16 対物レンズ
17 サンプル
18 検出光
19 レンズ系
20 検出光絞り
21 検出器
22 較正サンプル
23 表面構造
24 通路、回転軸
25 (較正サンプルにおける)停止装置
26 作動要素
Claims (21)
- 少なくとも2つの相互に独立した光源(1、2)と、
前記少なくとも2つの相互に独立した光源(1、2)から出射されるそれぞれのビーム(8、9)の各光ビーム経路(8、9)を結合するビーム結合器(7)と、
前記ビーム結合器(7)で結合されたビーム(10)が共通照明ビーム経路(10)として照射されるサンプル(17)と
を備え、前記各光ビーム経路(8、9)におけるビーム調整のための装置であって、前記光源(1、2)から出射された各ビーム(8、9)が、前記共通照明ビーム経路(10)において重畳される必要がある装置であって、
前記ビーム(8、9)の瞳位置および/または焦点位置を、当該較正サンプル(22)の表面構造に基づいて、チェックできるように支援する較正サンプル(22)と、
前記較正サンプル(22)を、中間像の場所またはその近傍で、前記共通照明ビーム経路(10)に組み入れ、かつそこから取り出すことができるように配置されたサンプルホルダと、
前記各ビーム(8、9)のうちの1つのビームの瞳位置および/または焦点位置を、相対的に前記各ビーム(8、9)のうちの他の1つのビームの瞳位置および/または焦点位置に自動的に調整するように構成された少なくとも1つの作動要素(26)と
を備えた光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。 - 前記サンプルホルダは、前記較正サンプル(22)を前記共通照明ビーム経路(10)にピボットできるように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記較正サンプル(22)の前記表面構造(23)が、規定された、規則的または対称的な表面構造(23)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記較正サンプル(22)の前記表面構造(23)が、任意の、不規則的または非対称的な表面構造(23)を含むことを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記較正サンプル(22)の前記表面構造(23)が微細構造化されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記較正サンプル(22)の前記表面構造(23)が、サンドブラストまたはガラスパールブラストされていることを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 波長選択性の検出器(21)が、重畳される前記各ビーム(8、9)の検出光(18)を検出するように設けられることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 検出器が、重畳される前記各ビーム(8、9)の前記検出光(18)を検出するときに、前記光源(1、2)は、スイッチが入れられ、そして個々にまたは順次スイッチを切られるように構成されていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)が、結合される前記各ビーム(8、9)のうちの少なくとも1つのビームの瞳位置および/または焦点位置に作用することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)が、結合される前記各ビームの前記各ビーム経路(8、9)にそれぞれ配置されることを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)が、前記各ビーム経路(8、9)の瞳に配置されるかまたは瞳の近傍に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)が、別の中間像の近傍に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)が、前記各ビーム経路(8、9)の瞳もしくはその近傍に配置されるか、または別の中間像の近傍に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)は、2つの軸の周りを傾斜できるミラーを含んで構成されていることを特徴とする、請求項1、9〜13のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記ミラーを、電動式に移動させることができることを特徴とする、請求項14に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 部分的反射ミラーおよび/または位置敏感型センサが、それぞれのビーム位置を決定するために設けられることを特徴とする、請求項1〜15のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記較正サンプル(22)は、重畳される前記少なくとも2つの前記各ビーム(8、9)により照射され、照射された画像が得られるように構成されている請求項1〜16のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 前記少なくとも1つの作動要素(26)は、前記較正サンプル(22)から得られる前記少なくとも2つの前記各ビーム(8、9)に対応する画像のずれが許容誤差範囲内になるまで、前記各ビーム(8、9)のうちの1つのビームの瞳位置および/または焦点位置を、相対的に前記各ビーム(8、9)のうちの他の1つのビームの瞳位置および/または焦点位置に自動的に調整するように構成されている請求項1〜17のいずれか一項に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための装置。
- 少なくとも2つの相互に独立した光源(1、2)を有する各光ビーム経路(8、9)におけるビーム調整のための方法であって、
前記光源(1、2)のビームが、請求項1〜18のいずれか一項に記載の装置を適用するために、前記共通照明ビーム経路(10)において重畳される方法であって、
前記各ビーム(8、9)の瞳位置および/または焦点位置がチェックされるのを支援する較正サンプル(22)を、前記共通照明ビーム経路(10)に組み入れ、かつそこから取り出すことを特徴とする方法。 - 2D相互相関の最大位置を用いて、前記各ビーム(8、9)に割り当てられる画像オフセットを決定できることを特徴とする、請求項19に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための方法。
- 前記各ビーム(8、9)の検出された強度が、前記オフセットのための測定変数として働くことを特徴とする、請求項19に記載の光ビーム経路におけるビーム調整のための方法。
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