JP5866890B2 - 渦電流検出方法および渦電流検出装置 - Google Patents
渦電流検出方法および渦電流検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5866890B2 JP5866890B2 JP2011193557A JP2011193557A JP5866890B2 JP 5866890 B2 JP5866890 B2 JP 5866890B2 JP 2011193557 A JP2011193557 A JP 2011193557A JP 2011193557 A JP2011193557 A JP 2011193557A JP 5866890 B2 JP5866890 B2 JP 5866890B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- eddy current
- excitation
- potential difference
- midpoints
- measurement object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Description
(請求項1)本発明に係る渦電流検出方法は、渦電流検出装置を用いて測定対象物に発生させた渦電流を検出する渦電流検出方法である。ここで、前記渦電流検出装置は、前記測定対象物に渦電流を発生させて当該渦電流による磁界を検出する励磁兼検出コイルと、前記励磁兼検出コイルに直列接続された参照コイルとにより形成される第一ハーフブリッジ回路と、2個の基準抵抗を直列接続され、前記第一ハーフブリッジ回路に並列接続された第二ハーフブリッジ回路と、それぞれの前記ハーフブリッジ回路の両端に交流電圧を印加する交流電源と、2つの前記ハーフブリッジ回路の中点間電位差を測定する電圧計とを備える。
前記励磁兼検出コイルは、センサヘッドの内部の先端側に配置され、前記参照コイルは、前記センサヘッドの内部の後端側に配置され、前記2個の基準抵抗は、基準の測定対象物について測定した場合の前記中点間電位差がゼロとなるように調整される。
(請求項3)また、前記近似直線算出工程は、前記仮想対象物の温度を変化させることにより、前記励磁兼検出コイルの温度を変化させて、前記中点間電位差を取得するようにしてもよい。
上記においては、本発明を渦電流検出方法として捉えた場合について説明した。この他に、本発明は、渦電流検出装置としても捉えることができる。
(請求項6)本発明に係る渦電流検出装置は、測定対象物に発生させた渦電流を検出する渦電流検出装置において、前記測定対象物に渦電流を発生させて当該渦電流による磁界を検出する励磁兼検出コイルと、前記励磁兼検出コイルに直列接続された参照コイルとにより形成される第一ハーフブリッジ回路と、2個の基準抵抗を直列接続され、前記第一ハーフブリッジ回路に並列接続された第二ハーフブリッジ回路と、それぞれの前記ハーフブリッジ回路の両端に交流電圧を印加する交流電源と、2つの前記ハーフブリッジ回路の中点間電位差を測定する電圧計と、前記中点間電位差に基づいて渦電流相関値を算出する演算部とを備える。
前記励磁兼検出コイルは、センサヘッドの内部の先端側に配置され、前記参照コイルは、前記センサヘッドの内部の後端側に配置され、前記2個の基準抵抗は、基準の測定対象物について測定した場合の前記中点間電位差がゼロとなるように調整される。
前記演算部は、前記測定対象物に相当する仮想対象物を対象とし、かつ、前記励磁兼検出コイルの温度を変化させたときに、複素平面上において前記中点間電位差の挙動を表した近似直線を算出する近似直線算出手段と、前記複素平面上において実数軸または虚数軸に対する前記近似直線の傾き角度を算出する傾き角度算出手段と、実際の前記測定対象物を対象として、前記複素平面上において前記中点間電位差の座標を算出し、当該座標に対して前記傾き角度を逆回転させる回転座標変換を行い、変換後座標の実数成分または虚数成分を算出する回転座標変換手段と、前記実数成分または虚数成分を前記渦電流相関値として出力する渦電流算出手段とを備える。
本実施形態の渦電流検出装置の概要構成について、図1を参照して説明する。本実施形態において、渦電流検出装置は、ワークW(測定対象物)に生じている加工変質層の状態、および、ワークWに生じている疵の有無を検出する。加工変質層とは、例えば研削加工により生じる研削焼けなどである。つまり、当該装置は、どのような状態の研削焼けがワークWに生じているかを検出する。この渦電流検出装置は、ワークWに渦電流を発生させて当該渦電流を検出し、加工変質層に対応した渦電流相関値を算出することで、加工変質層の状態を検出する。
次に、演算部による処理について図3および図4のフローチャート、および、図5〜図7のグラフを参照して説明する。演算部70の処理は、図3に示す傾き角度算出処理と図4に示す渦電流相関値算出処理とを行う。
上記実施形態においては、演算部70による傾き角度算出処理は、仮想ワークWを実際に複数の温度に変化させて中点間電位差Vを測定し、傾き角度θaを算出した。この他に、以下に説明する処理を適用することもできる。本実施形態における傾き角度算出処理について、図8〜図10を参照して説明する。
なお、上記実施形態においては、実数軸に対する傾き角度θaを算出し、回転座標変換後の座標のうち虚数成分Im2を渦電流相関値とした。この他に、虚数軸に対する傾き角度θaを算出し、回転座標変換後の座標のうち実数成分Re2を渦電流相関値としてもよい。この場合も、上記同様の効果を奏する。
Claims (6)
- 渦電流検出装置を用いて測定対象物に発生させた渦電流を検出する渦電流検出方法であって、
前記渦電流検出装置は、
前記測定対象物に渦電流を発生させて当該渦電流による磁界を検出する励磁兼検出コイルと、前記励磁兼検出コイルに直列接続された参照コイルとにより形成される第一ハーフブリッジ回路と、
2個の基準抵抗を直列接続され、前記第一ハーフブリッジ回路に並列接続された第二ハーフブリッジ回路と、
それぞれの前記ハーフブリッジ回路の両端に交流電圧を印加する交流電源と、
2つの前記ハーフブリッジ回路の中点間電位差を測定する電圧計と、
を備え、
前記励磁兼検出コイルは、センサヘッドの内部の先端側に配置され、
前記参照コイルは、前記センサヘッドの内部の後端側に配置され、
前記2個の基準抵抗は、基準の測定対象物について測定した場合の前記中点間電位差がゼロとなるように調整され、
前記渦電流検出方法は、
前記測定対象物に相当する仮想対象物を対象とし、かつ、前記励磁兼検出コイルの温度を変化させたときに、複素平面上において前記中点間電位差の挙動を表した近似直線を算出する近似直線算出工程と、
前記複素平面上において実数軸または虚数軸に対する前記近似直線の傾き角度を算出する傾き角度算出工程と、
実際の前記測定対象物を対象として、前記複素平面上において前記中点間電位差の座標を算出し、当該座標に対して前記傾き角度を逆回転させる回転座標変換を行い、変換後座標の実数成分または虚数成分を算出する回転座標変換工程と、
前記実数成分または虚数成分を渦電流相関値として出力する渦電流算出工程と、
を備える渦電流検出方法。 - 請求項1において、
前記近似直線算出工程は、前記仮想対象物を対象として前記励磁兼検出コイルの複数の温度に変化させたときにそれぞれの前記中点間電位差を取得し、取得したそれぞれの前記中点間電位差を複素平面上にプロットし、プロットした複数点を直線近似することにより前記近似直線を算出する渦電流検出方法。 - 請求項2において、
前記近似直線算出工程は、前記仮想対象物の温度を変化させることにより、前記励磁兼検出コイルの温度を変化させて、前記中点間電位差を取得する渦電流検出方法。 - 請求項1において、
前記近似直線算出工程は、前記励磁兼検出コイルのインダクタンスおよび巻線抵抗についての温度特性を測定し、前記温度特性に基づいて前記近似直線を算出する渦電流検出方法。 - 請求項1〜4の何れか一項において、
前記測定対象物に発生する渦電流は、前記測定対象物に生じている加工変質層の状態に応じて変化し、
前記基準の測定対象物は、加工変質層のない対象物であり、
前記渦電流相関値は、前記加工変質層の状態に対応する値であり、
前記渦電流検出方法は、前記測定対象物に生じている加工変質層の状態を検出する渦電流検出方法。 - 測定対象物に発生させた渦電流を検出する渦電流検出装置において、
前記測定対象物に渦電流を発生させて当該渦電流による磁界を検出する励磁兼検出コイルと、前記励磁兼検出コイルに直列接続された参照コイルとにより形成される第一ハーフブリッジ回路と、
2個の基準抵抗を直列接続され、前記第一ハーフブリッジ回路に並列接続された第二ハーフブリッジ回路と、
それぞれの前記ハーフブリッジ回路の両端に交流電圧を印加する交流電源と、
2つの前記ハーフブリッジ回路の中点間電位差を測定する電圧計と、
前記中点間電位差に基づいて渦電流相関値を算出する演算部と、
を備え、
前記励磁兼検出コイルは、センサヘッドの内部の先端側に配置され、
前記参照コイルは、前記センサヘッドの内部の後端側に配置され、
前記2個の基準抵抗は、基準の測定対象物について測定した場合の前記中点間電位差がゼロとなるように調整され、
前記演算部は、
前記測定対象物に相当する仮想対象物を対象とし、かつ、前記励磁兼検出コイルの温度を変化させたときに、複素平面上において前記中点間電位差の挙動を表した近似直線を算出する近似直線算出手段と、
前記複素平面上において実数軸または虚数軸に対する前記近似直線の傾き角度を算出する傾き角度算出手段と、
実際の前記測定対象物を対象として、前記複素平面上において前記中点間電位差の座標を算出し、当該座標に対して前記傾き角度を逆回転させる回転座標変換を行い、変換後座標の実数成分または虚数成分を算出する回転座標変換手段と、
前記実数成分または虚数成分を前記渦電流相関値として出力する渦電流算出手段と、
を備える渦電流検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011193557A JP5866890B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 渦電流検出方法および渦電流検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011193557A JP5866890B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 渦電流検出方法および渦電流検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013053984A JP2013053984A (ja) | 2013-03-21 |
JP5866890B2 true JP5866890B2 (ja) | 2016-02-24 |
Family
ID=48131097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011193557A Active JP5866890B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 渦電流検出方法および渦電流検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5866890B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6021106B2 (ja) * | 2012-11-15 | 2016-11-02 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 変位計測装置及び方法 |
CN105074450A (zh) | 2013-05-30 | 2015-11-18 | 新东工业株式会社 | 表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法 |
JP6361243B2 (ja) | 2014-04-07 | 2018-07-25 | 株式会社ジェイテクト | 加工変質検出センサを備える工作機械 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62239050A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Kobe Steel Ltd | 渦流探傷装置 |
JPS62191754A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-22 | Kobe Steel Ltd | 渦流探傷における自動位相設定方法 |
JP2003084020A (ja) * | 2001-06-21 | 2003-03-19 | Toyobo Co Ltd | 非接触式表面抵抗測定装置 |
JP5065614B2 (ja) * | 2006-04-14 | 2012-11-07 | 株式会社アルバック | 渦電流式膜厚計 |
JP4807281B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2011-11-02 | トヨタ自動車株式会社 | 焼入パターン検査方法及び検査装置 |
JP5035158B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2012-09-26 | トヨタ自動車株式会社 | 焼入パターン検査方法及び検査装置 |
-
2011
- 2011-09-06 JP JP2011193557A patent/JP5866890B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013053984A (ja) | 2013-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3769094B1 (en) | Contactless current measurement using magnetic sensors | |
JP6223540B2 (ja) | 仮想rfセンサ | |
JP5951005B2 (ja) | 電束に関する異なる二つの値によって対象物の電位を非接触式に検出するための方法並びに装置 | |
JP2010520780A5 (ja) | ||
WO2015083618A1 (ja) | 非接触電圧測定装置および非接触電圧測定方法 | |
JP2006343109A (ja) | 電力測定装置 | |
JP5866890B2 (ja) | 渦電流検出方法および渦電流検出装置 | |
JP2011158444A (ja) | 二次電池の残存容量検出方法および装置 | |
WO2015146656A1 (ja) | 磁気センサー | |
WO2015137017A1 (ja) | 非接触電圧計測装置 | |
CN104218147B (zh) | 磁传感器的制备方法以及磁传感器 | |
CN105092976A (zh) | 接触电阻的测试方法和测试结构 | |
JP2009264736A (ja) | 基板検査装置 | |
TWI597475B (zh) | 用於薄膜量測的方法、裝置及電腦程式產品 | |
TWI461706B (zh) | 電阻抗測定裝置 | |
WO2017187791A1 (ja) | 計測装置および計測方法 | |
WO2017161870A1 (zh) | 一种频率调节的方法及装置 | |
JP6441604B2 (ja) | 高周波測定装置、および、高周波測定装置の校正方法 | |
JP4208560B2 (ja) | インピーダンス測定装置 | |
US9007053B2 (en) | Circuitry for and a method of compensating drift in resistance in eddy current probes | |
JP2011247631A (ja) | 渦電流検出方法および渦電流検出センサ | |
TWI546542B (zh) | 量測耗電量的裝置、非接觸式量測供電狀況的裝置及方法 | |
US8917102B2 (en) | Method, capacitance meter, computer program and computer program product for improved capacitance measurement | |
JP6007923B2 (ja) | 減肉検出装置 | |
JP4007484B2 (ja) | 抵抗率測定方法及び固有抵抗率計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150519 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5866890 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |