CN105074450A - 表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法 - Google Patents

表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105074450A
CN105074450A CN201480010057.8A CN201480010057A CN105074450A CN 105074450 A CN105074450 A CN 105074450A CN 201480010057 A CN201480010057 A CN 201480010057A CN 105074450 A CN105074450 A CN 105074450A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
subject
character
inspection
detecting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201480010057.8A
Other languages
English (en)
Inventor
牧野良保
加贺秀明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sintokogio Ltd
Original Assignee
Sintokogio Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sintokogio Ltd filed Critical Sintokogio Ltd
Publication of CN105074450A publication Critical patent/CN105074450A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D11/00—Process control or regulation for heat treatments
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D7/00—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation
    • C21D7/02—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation by cold working
    • C21D7/04—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation by cold working of the surface
    • C21D7/06—Modifying the physical properties of iron or steel by deformation by cold working of the surface by shot-peening or the like
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9006—Details, e.g. in the structure or functioning of sensors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

本发明提供一种能够减小检查环境的温度变化的影响地高精度地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能够应用于在线测量的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法。表面特性检查装置(1)具备交流电源(10)、交流桥电路(20)以及评价装置(30)，交流桥电路(20)由分配比(γ)可变的可变电阻(21)、基准检测器(22)以及检查检测器(23)构成。检查检测器(23)具备卷绕成与被检体(M)的表面特性检查区域相向的线圈(23b)，通过对线圈(23b)供给来自交流电源(10)的交流电力而在被检体(M)中激发涡电流。由此，能够检测被检体(M)的电磁特性，根据来自交流桥电路(10)的输出信号来检查表面特性。

Description

表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法
技术领域
本发明涉及一种无损地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态的好坏的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法。
背景技术
在汽车部件等所使用的齿轮、轴等钢材料产品中，为了提高耐磨损性、提高疲劳强度等，而进行了基于热处理、氮化处理等的表面硬化、喷丸处理等表面处理。
以往，通过抽样的破坏性检查对这些产品的表面处理后的残留应力、硬度等表面特性进行了评价。因此，存在无法对所有产品直接进行检查这样的问题、由于是破坏性检查因此检查过的产品不能再使用这样的问题等。
因此，开发能够无损地检查产品的表面特性的装置的需求高涨。作为这样的装置，例如在专利文献1中公开了如下一种喷丸处理面的无损检查装置：针对配置于喷丸处理面上方的具备线圈的检查电路，在使频率变化的同时输入交流信号，利用检查电路中的阻抗的频率响应特性来检查检查对象上的残留应力的产生状态。
专利文献1：日本特开2008-2973号公报
发明内容
发明要解决的问题
但是，由于表面处理而发生变化的磁导率、导电率等电磁测量的要素受到环境变化的影响，因此在日本特开2008-2973号公报所记载的装置中存在如下问题：在测量作为基准的检查体的环境与测量被检体的环境不同的情况下、尤其是在产生了温度变化的情况下，容易产生测量误差。由此，难以用于在线测量。另外，由于是局部的测量，因此容易产生涡电流集中所导致的发热的影响，如果想要检查表面处理部整体则需要非常多的时间。并且，在使用接触式的检测器的情况下，必须针对每个被检体准备与其形状相应的检测器，无法成为通用性高的装置。
因此，本发明的目的在于提供一种能够减小检查环境的温度变化的影响地高精度地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能够应用于在线测量的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法。
用于解决问题的方案
为了达成上述目的，使用以下技术方案，即，第1发明所记载的发明是一种用于检查实施过表面处理的被检体的表面特性的表面特性检查装置，该表面特性检查装置具备：交流桥电路；交流电源，其向上述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其根据来自上述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，其中，上述交流桥电路具有：可变电阻，其构成为在第一电阻和第二电阻之间分配比可变；检查检测器，其具备使交流磁场产生作用来在上述被检体中激发涡电流的线圈；以及基准检测器，其检测成为与来自上述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，上述第一电阻、上述第二电阻、上述基准检测器以及上述检查检测器构成上述交流桥电路，上述评价装置根据在对上述交流桥电路供给交流电力而上述检查检测器检测出上述被检体的电磁特性且上述基准检测器检测出基准状态的状态下来自上述交流桥电路的输出信号，对上述被检体的表面特性进行评价。
根据第1发明所记载的发明，能够通过检查检测器的线圈在被检体中激发涡电流，根据从交流桥电路输出的输出信号来对被检体的表面特性进行评价。由此，能够通过简单的电路结构进行高精度的表面状态的检查。另外，由于采用在被检体中激发涡电流来检查表面特性的方式，因此能够减小检查环境的温度变化的影响。在此，表面特性是指“从被检体的最外表面到内表面的影响层为止的特性”。
在第2发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第1发明所记载的表面特性检查装置中，以包围被检体的表面特性检查区域的方式卷绕上述线圈，通过向上述线圈供给交流电力而在上述表面特性检查区域中激发涡电流。
根据第2发明所记载的发明，能够稳定地向被检体供给磁，并且能够一次性地检查被检体的表面特性检查区域。另外，由于能够使涡电流分散来抑制被检体表面的发热，因此能够减小被检体的温度变化，从而能够进行精度更高的检查。
在第3发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第2发明所记载的表面特性检查装置中，上述表面特性检查装置是被嵌入于进行喷丸处理来作为上述表面处理的表面处理装置中的表面特性检查装置，上述表面特性检查装置还具备移动机构，该移动机构通过输送来使上述被检体或上述检查检测器移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置。
根据第3发明所记载的发明，表面特性检查装置通过被嵌入于进行喷丸处理来作为表面处理的表面处理装置中并具备移动机构，能够迅速地检查喷丸处理后的被检体。另外，由于能够将检查装置封装于表面处理装置(喷丸装置)来提供给顾客，因此能够提高表面处理装置(喷丸装置)的价值，提高顾客满意度。
在第4发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第2发明所记载的表面特性检查装置中，还具备：第一输送机构，其能够上下地驱动上述被检体，将上述被检体输送到位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置以及该评价位置的上方侧和下方侧中的一方或双方的位置；以及定位部，其对上述被检体在水平面内的位置进行定位，其中，以由进行喷丸处理来作为上述表面处理的喷丸装置进行的表面处理工序中的在线或离线的方式对被检体的表面特性进行评价。
根据第4发明所记载的发明，由于设置有进行被检体的定位的定位部和第一输送机构，因此能够在评价表面特性时使被检体位于适当的位置，因此能够进行高精度的可靠的检查。另外，能够通过该定位部和第一输送机构来实现自动化，从而能够进行在线的检查。在此，“在线”的检查是指由机器人等自动地进行喷丸处理前后的被检体的输送作业(被检体被搬入和搬出于喷丸装置、被搬入和搬出于评价位置)的检查，表示与喷丸处理生产线的生产工时一致的检查。另外，“离线”的检查是指手动地进行喷丸处理前后的被检体的输送作业的检查，表示与喷丸处理生产线的生产工时不一致的检查。不需要在喷丸装置之前配置检查装置而在生产线外的场所进行检查也是离线检查。
在第5发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第3发明或第4发明所记载的表面特性检查装置中，上述检查检测器构成为在具备齿轮部的被检体中激发涡电流。
例如，像齿轮那样的具备齿轮部的构件很难通过接触式的检测器检查整体，但是在本发明的表面特性检查装置中，能够容易地进行检查，从而能够较佳地使用。
在第6发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第5发明所记载的表面特性检查装置中，上述检查检测器还具备磁屏蔽件，该磁屏蔽件在上述线圈的外侧以包围被检体的方式配置，屏蔽外部磁。
根据第6发明所记载的发明，由于能够通过磁屏蔽件屏蔽外部磁，因此能够提高电磁特性的检测灵敏度，从而与表面处理状态对应的电磁特性的检测灵敏度得到提高，因此能够更高精度地评价被检体的表面处理状态。
在第7发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第6发明所记载的表面特性检查装置中，还具备温度测量单元，该温度测量单元检测上述被检体的表面的温度，在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围内的情况下，上述评价装置判断上述被检体的表面处理状态的好坏，在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围外的情况下，上述评价装置不进行上述被检体的表面处理状态的好坏判断。
根据第7发明所记载的发明，由于能够在由温度测量单元检测出的温度影响检查的精度那样的情况下不进行被检体的表面处理状态的好坏判断，因此能够进行高精度的检查。
在第8发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，一种表面处理装置，具备根据第3发明所记载的表面特性检查装置和将上述被检体保持为被定位的状态的保持部，进行喷丸处理来作为上述表面处理，在该表面处理装置中，上述表面特性检查装置在上述喷丸处理前后或者上述喷丸处理之后，通过输送来使上述检查检测器或上述保持部所保持的上述被检体移动，由此使上述保持部所保持的上述被检体位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置，来检查上述被检体的表面特性。
根据第8发明所记载的发明，由于设置有将被检体保持为被定位的状态的保持部，因此能够在评价表面特性时使被检体位于适当的位置，因此能够进行高精度的检查。另外，能够通过该保持部实现自动化，从而能够进行在线的检查。另外，由于能够将检查装置封装于表面处理装置(喷丸装置)来提供给顾客，因此能够提高表面处理装置(喷丸装置)的价值，提高顾客满意度。
在第9发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，一种表面处理系统，具备：根据第4发明所记载的表面特性检查装置；表面处理装置，其进行喷丸处理来作为上述表面处理；第二输送机构，其沿水平方向或者相对于水平方向倾斜的方向输送被上述第一输送机构移动到第一待机位置的上述被检体，并且将上述被检体输送到上述表面处理装置的规定位置；以及第三输送机构，其能够沿水平方向或者相对于水平方向倾斜的方向输送上述被检体，将上述被检体从喷丸处理前区域经由第二待机位置输送到喷丸处理及检查完成区域，其中，上述第一待机位置是相对于上述评价位置处于上方侧或下方侧且与上述表面处理位置相向的位置，上述第二待机位置是上述评价位置或者相对于上述评价位置处于上方侧或下方侧的位置，上述第三输送机构将上述被检体从上述喷丸处理前区域输送到第二待机位置，被输送到上述第二待机位置的上述被检体和上述检查检测器中的至少一方被移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的评价位置，上述第三输送机构将被上述第一输送机构移动到上述第二待机位置的上述被检体输送到上述喷丸处理及检查完成区域。
根据第9发明所记载的发明，由于设置有第一输送机构和定位部，因此该定位部能够在评价表面特性时使被检体位于适当的位置，因此能够进行高精度的可靠的检查。另外，通过第一输送机构、第二输送机构、第三输送机构的组合能够进行在线的检查。通过第一输送机构和定位部能够实现上述的正确的检查，并且能够在适当的状态下使第二输送机构输送被检体，从而实现通过第二输送机构进行的向表面处理装置的适当位置的输送。即，通过简单的结构实现表面处理装置中的定位。
在第10发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第9发明所记载的表面处理系统中，还具备使上述检查检测器在上下方向上移动的检查检测器输送机构，上述第二待机位置是上述评价位置，在上述被检体被输送到上述第二待机位置时，通过上述检查检测器输送机构在上下方向上移动上述检查检测器，由此使上述被检体位于上述检查检测器的评价位置。
如第10发明所记载的发明那样，能够采用通过检查检测器输送机构使检查检测器在上下方向上移动来使被检体位于检查检测器的评价位置的结构。
在第11发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第9发明所记载的表面处理系统中，上述第二待机位置是相对于上述评价位置处于上方侧或下方侧的位置，通过上述第一输送机构使被输送到上述第二待机位置的上述被检体在上下方向上移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的评价位置。
根据第11发明所记载的发明，在将检查检测器的位置固定的状态下，能够仅使被检体移动来进行检查，因此不需要设置检查检测器的输送机构，还不容易产生位置偏移。
在第12发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，包括以下工序：准备工序，准备根据第1发明至第4发明中的任一个所记载的表面特性检查装置；配置工序，在从上述交流电源向上述交流桥电路供给了交流电力的状态下，对上述检查检测器进行配置使得在被检体中激发涡电流；以及评价工序，根据从上述交流桥电路输出的输出信号，对被检体的表面特性进行评价。
根据第12发明所记载的发明，能够通过使用表面特性检查装置进行以下动作来评价被检体的表面特性：在配置工序中，在从交流电源向交流桥电路供给了交流电力的状态下，对检查检测器进行配置使得在被检体中激发涡电流，在评价工序中，根据从交流桥电路输出的输出信号，对被检体的表面特性进行评价。
在第13发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第12发明所记载的表面特性检查方法中，还包括以下工序：为了利用上述基准检测器检测基准状态而准备并测量用于输出基准输出的基准检查体。
根据第13发明所记载的发明，为了利用基准检测器检测基准状态而使用用于输出基准输出的基准检查体，因此只要使用表面处理状态良好的基准检查体，就能够与基准检查体进行比较来评价被检体的表面状态的好坏。
在第14发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第12发明所记载的表面特性检查方法中，为了利用上述基准检测器检测基准状态而不使用用于输出基准输出的基准检查体。
根据第14发明所记载的发明，为了利用基准检测器检测基准状态而不使用用于输出基准输出的基准检查体，因此不会受到基准检查体的温度变化的影响，从而能够进行高精度的检查。
在第15发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第14发明所记载的表面特性检查方法中，通过在表面处理前后分别测量被检体的表面特性并比较各个测量值，来判断被检体的表面处理状态的好坏。
根据第15发明所记载的发明，由于能够将表面处理前后的表面特性进行比较来掌握表面特性的变化，因此能够更正确地进行高精度的检查。
在第16发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第1发明所记载的表面特性检查装置中，上述基准检测器具有线圈以及强磁性体芯，该强磁性体芯被配置在该线圈的内侧，通过向该线圈供给交流电力来激发涡电流。
根据第16发明所记载的发明，基准检测器具备线圈，在该线圈的内侧配置强磁性体芯而非基准检查体，因此能够不依赖于被检体的尺寸、形状地构成基准检测器，能够使基准检测器小型化。
在第17发明所记载的发明中，使用以下技术方案，即，在第16发明所记载的表面特性检查装置中，上述交流桥电路具备电路基板，在该电路基板上配置有上述可变电阻以及上述基准检测器。
根据第17发明所记载的发明，由于可变电阻和基准检测器被配置在电路基板上，因此不需要另外处理基准检测器，从而容易地进行表面特性检查装置的处理，并且能够提高表面特性检查装置的设置的自由度。
附图说明
图1A是表示表面特性检查装置的结构的说明图，是表示表面特性检查装置的电路结构的图。
图1B是表示表面特性检查装置的结构的说明图，是表示检查检测器的结构的透视图。
图2是针对来自交流桥电路的输出进行说明的等效电路图。
图3是表示表面特性检查方法的流程图。
图4A是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图4B是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图4C是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图4D是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图5A是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图5B是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图5C是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图5D是表示第一实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图6A是表示表面处理装置的结构的说明图。
图6B是表示表面处理装置的结构的说明图。
图7是表示第一实施方式的表面特性评价系统的变更例的说明图。
图8A是表示第二实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图8B是表示第二实施方式的表面特性检查系统的结构以及表面特性检查方法的工序的说明图。
图9是表示表面特性检查装置的电路结构的变更例的说明图。
图10A是表示将本发明的表面检查方法中的检查环境的温度变化的影响与以往的表面特性检查方法进行比较得到的实施例的结果的说明图。
图10B是表示将本发明的表面检查方法中的检查环境的温度变化的影响与以往的表面特性检查方法进行比较得到的实施例的结果的说明图。
图10C是表示将本发明的表面检查方法中的检查环境的温度变化的影响与以往的表面特性检查方法进行比较得到的实施例的结果的说明图。
具体实施方式
(表面特性检查装置)
如图1A所示，本发明的实施方式的表面特性检查装置1具备交流电源10、交流桥电路20以及评价装置30。
交流电源10构成为能够向交流桥电路20供给频率可变的交流电力。
交流桥电路20具备可变电阻21、检查检测器23以及基准检测器22，该检查检测器23形成为能够将线圈配置成在被检体M中激发涡电流，该基准检测器22检测成为与来自检查检测器23的输出进行比较的基准的基准状态。
可变电阻21构成为能够将电阻RA以分配比γ可变的方式分配成电阻R1与电阻R2。电阻R1、电阻R2与基准检测器22和检查检测器23一起构成了桥电路。在本实施方式中，分配电阻R1和电阻R2的点A以及基准检测器22与检查检测器23之间的点B连接于评价装置30的交流电源10，电阻R1与基准检测器22之间的点C以及电阻R2与检查检测器23之间的点D连接于放大器31。另外，为了降低噪声，基准检测器22和检查检测器23侧接地。
评价装置30具备：放大器31，其将从交流桥电路20输出的电压信号进行放大；绝对值电路32，其进行全波整流；低通滤波器(LPF)33，其进行直流变换；相位比较器34，其将从交流电源10供给的交流电压与从放大器31输出的电压的相位进行比较；频率调整器35，其调整从交流电源10供给的交流电压的频率；判断单元36，其进行使R1和R2的分配最优化的非平衡调整，并且根据来自LPF33的输出来判断被检体M的表面状态的好坏；显示单元37，其将判断单元36的判断结果进行显示、警告；以及温度测量单元38，其检测评价位置的温度。
放大器31连接于点C和点D，被输入点C与点D之间的电位差。另外，依次将绝对值电路32、LPF33与判断单元36连接。相位比较器34与交流电源10、放大器31以及判断单元36连接。频率调整器35与交流电源10和放大器31连接。另外，判断单元36构成为能够通过输出控制信号来变更交流桥电路20的点A的位置、即电阻R1与电阻R2的分配比γ，由此执行后述的可变电阻设定工序。
温度测量单元38由非接触式的红外传感器、热电偶等构成，将被检体M的表面的温度信号输出到判断单元36。判断单元36在由温度测量单元38检测出的被检体M的温度在规定范围内的情况下，判断被检体M的表面处理状态的好坏，在由温度测量单元38检测出的温度在规定范围外的情况下，不进行被检体M的表面处理状态的好坏判断。由此，能够在被检体M的温度对检查的精度造成影响那样的情况下不进行被检体的表面处理状态的好坏判断，因此能够进行高精度的检查。在此，还能够采用如下结构：通过热电偶等测量评价位置Ts的温度，以被检体M的表面的温度为代表的温度来判断是否进行被检体M的表面处理状态的好坏判断。
作为检查检测器23和与检查检测器23相同结构的基准检测器22，使用如下检测器：在能够贯穿被检体的评价部的芯的外周卷绕形成有线圈，使线圈与被检体M的表面相向并接近，从而能够在被检体M中激发涡电流。即，该线圈以包围被检体的表面特性检查区域的方式相向地卷绕。在此，包围被检体的表面特性检查区域是指包含以下情况：通过至少包围(围成包起来)表面特性检查区域的一部分来在表面特性检查区域中激发涡电流。
在此，说明用于对作为被检体M的具备齿轮部的被检体、例如对齿轮部进行过表面处理的齿轮G的表面特性进行检查的检查检测器23。检查检测器23如图1B所示那样具备以覆盖齿轮G的齿轮部的方式形成的圆筒状的芯23a以及卷绕于芯23a的外周面的线圈23b。芯23a由非磁性材料、例如树脂形成。此外，芯23a的形状只要能够将齿轮G配置在内侧就不限于圆筒状。此外，在基准检测器22中，能够不配置被检体M而配置用于输出基准输出的基准检查体S。
本发明的检查检测器23的特征在于高精度地捕捉涡电流的反应来评价表面特性，因此优选以使涡电流在想要检查表面特性的区域中流动的方式针对被检体M进行配置。也就是说，优选为以线圈23b的卷绕方向为与想要使涡电流流动的方向相同的方向的方式进行配置。
齿轮G通过喷丸处理而在齿轮部形成残留应力层。在对作为被检体M的齿轮G进行评价的情况下，优选为不只评价齿顶的表面特性，还评价齿面和齿根的表面特性。因此，优选以线圈23b的卷绕方向与齿轮G的旋转轴大致正交的方式配置线圈23b。由此，沿旋转轴的方向产生磁场环，因此能够沿齿轮G的旋转方向激发涡电流，因此不仅能够评价齿顶的表面特性，还能够评价齿面和齿根的表面特性。在以往的接触型的检测器中，需要与齿的形状相应地准备多个种类的检测器，并且只能够检查接触部附近的表面特性，但是，根据检查检测器23，能够通过一个检测器一次性地检查大范围的表面特性。
关于检查检测器23，如果线圈23b能够维持形状，则也可以不具备芯23a。这样的线圈23b例如能够通过以下方式来形成：在利用固化性的环氧树脂等粘接以空芯方式卷绕的漆包铜线、或者使用具有遇热而固化的作用的焊接漆包铜线以空芯方式卷绕之后，通过热风、干燥炉等的热使其固化。
以线圈23b包围被检体M的检查对象面的方式相向地配置检查检测器23，当由交流电源10向线圈23b供给规定频率的交流电力时产生交流磁场，在被检体M的表面激发出沿与交流磁场交叉的方向流动的涡电流。由于涡电流根据残留应力层的电磁特性而发生变化，因此从放大器31输出的输出波形(电压波形)的相位和振幅(阻抗)根据残留应力层的特性(表面处理状态)而发生变化。能够根据该输出波形的变化检测表面处理层的电磁特性来进行检查。
即，通过向线圈23b供给交流电力，由此在线圈23b的内侧生成与线圈23b的轴线平行的方向的交流磁场。该交流磁场被配置于线圈23b的内侧，在线圈23b中，在非接触的齿轮G的内部激发出与交流磁场的方向正交的方向的涡电流。由此，在齿轮G的内部激发出齿轮G的旋转方向的涡电流。因此，涡电流在要检查表面特性的齿轮G的表面特性检查区域(齿轮G的外周面附近)中大量地流动，从而表面特性检查区域的表面处理状态被较强地反映于激发出的涡电流中。通过像这样以使与要检查表面特性的面(表面特性检查区域)大致平行的方向的交流磁场产生作用的方式配置被检体，能够高灵敏度地检测表面特性。换句话说，优选在沿着线圈的内周面的方向上配置表面特性检查区域。
另外，在齿轮G的内部激发出的涡电流大致均匀地分布于表面特性检查区域(齿轮G的外周面附近)，因此表面特性检查区域整体的特性被反映于涡电流，从而能够正确地检测表面特性检查区域整体的表面处理状态。另外，由于涡电流分布于表面特性检查区域整体，因此能够防止由于局部地流动较大的涡电流而被检体的温度上升从而检测精度下降。
并且，包围作为工件的齿轮G，能够取入更多的涡电流变化，因此能够减少检查环境的温度变化的影响。
还能够设置以在检查检测器23的外部且环绕被检体M的方式配置的磁屏蔽件23c。当使用磁屏蔽件23c时，能够屏蔽外部磁力，因此能够提高电磁特性的检测灵敏度，从而提高与表面处理状态对应的电磁特性的检测灵敏度，因此能够更高精度地评价被检体M的表面处理状态。
(来自交流桥电路的输出)
接着，参照图2的等效电路说明来自被调整为非平衡状态的交流桥电路20的输出。用于输出基准输出的例如保证表面处理状态良好的基准检查体S接近基准检测器22，使要判定表面处理状态好坏的被检体M接近检查检测器23。此外，也能够如后述那样不使基准检查体S接近基准检测器22、即不使用基准检查体S来检查表面特性。下面，对于使用基准检查体S的情况下的输出进行说明，但是在不使用基准检查体S的情况下，除了后述的iα为0的情况以外的内容相同，因此省略说明。此外，在后述的表面特性检查方法中，对于不使用基准检查体S的情况进行了说明。
在将可变电阻RA的分配比设为γ的情况下，电阻R1为RA/(1+γ)，电阻R2为RAγ/(1+γ)。将基准检测器22的阻抗设为RS+jωLS，将检查检测器23的阻抗设为RT+jωLT。另外，将点A的电位设为E，将在没有使各检查体(基准检查体S、被检体M)接近基准检测器22、检查检测器23时的桥的各边流动的励磁电流分别设为i1、i2，由于使各检查体接近基准检测器22、检查检测器23而磁量发生变化，将与其变化量相应地流动的电流分别设为iα、iβ。此时的基准检测器22和检查检测器23的电位E1、E2以及激励电流i1、i2用下面的式(1)～(4)表示。
[数1]
E1＝RS+jωLS)(iα+i1)(1)
[数2]
E2＝(RT+jωLT)(iβ+i2)(2)
[数3]
i 1 = E R A 1 + γ + R S + jωL S - - - ( 3 )
[数4]
i 2 = E R A γ 1 + γ + R T + jωL T - - - ( 4 )
向放大器31输出的电压为E1、E2之差，用下式表示。
[数5]
E2-E1＝[{(RT+jωLT)iβ-(RS+jωLS)iα}+{(RT+jωLT)i2-(RS+jωLS)i1}](5)
由式(3)～(5)导出下式。
[数6]
E 2 - E 1 = [ { ( R T + jωL T ) i β - ( R S + jωL S ) i α } + { ( R T + jωL T ) E R A γ 1 + γ + R T + jωL T - ( R S + jωL S ) E R A 1 + γ + R S + jωL S } ] - - - ( 6 )
将式(6)的右边拆开为下面的成分A、B来考虑差电压的各成分。
成分A：
(RT+jωLT)iβ-(RS+jωLS)iα
成分B：
( R T + jωL T ) E R A γ 1 + γ + R T + jωL T - ( R S + jωL S ) E R A 1 + γ + R S + jωL S
成分A由各检测器成分：(RS+jωLS)、(RT+jωLT)、在各检查体接近各检测器时发生变化的电流量：iα、iβ构成。iα、iβ根据由各检查体的磁导率、导电率等电磁特性引起的穿过检查体的磁量的不同而大小发生变化。因此，能够通过改变从各检测器产生的影响磁量的励磁电流i1、i2，来改变iα、iβ的大小。另外，依据式(3)、式(4)，励磁电流i1、i2根据可变电阻的分配比γ的不同而改变，因此能够通过调整可变电阻的分配比γ，来改变成分A的大小。
成分B由各检测器成分：(RS+jωLS)、(RT+jωLT)、以可变电阻的分配比γ分配得到的电阻的参数构成。因此与成分A同样地能够通过调整可变电阻的分配比γ来改变成分B的大小。
当将被检体M配置于规定的位置而由交流电源10向检查检测器23的线圈23b供给规定频率的交流电力时，在被检体M的表面激发出沿与交流磁场交叉的方向流动的涡电流。由于涡电流根据残留应力层的电磁特性发生变化，因此从放大器31输出的输出波形(电压波形)的相位和振幅(阻抗)根据残留应力层的特性(表面处理状态)发生变化。能够根据该输出波形的变化来检测残留应力层的电磁特性从而进行表面处理层的检查。
从桥的放大器31输出的信号是提取基准检测器22和检查检测器23的电压波形的差面积而得到的信号，由于形成为使检测器中流动的电流(励磁电流)固定的电路结构，因此能够将被提取出的电压信号认作电力信号。另外，向检测器供给的电力始终是固定的，从而向被检体M供给的磁能也能够设为固定。
(表面特性检查方法)
接着，参照图3说明利用表面特性检查装置1进行的被检体的表面特性检查方法。
首先，在准备工序S1中，准备表面特性检查装置1以及表面处理良好的基准检查体S。同时，也可以事先准备未实施表面处理的检查体或者表面处理状态不良的检查体、即参照检查体。
接着，进行可变电阻设定工序S2。在可变电阻设定工序S2中，首先，从交流电源10向交流桥电路20供给交流电力。在该状态下，调整可变电阻21的分配比γ以使表面特性检查装置1对检查体的检测灵敏度变高。即，以不使检查体接近检查检测器23而交流桥电路20的输出信号变小的方式调整可变电阻21的分配比γ。通过像这样事先设定可变电阻21，能够使接近检查检测器23的被检体M的表面处理状态不良的情况和表面处理状态良好的情况下的输出信号的差异大，从而提高检测精度。具体地说，通过(例如判断单元36所具备的)示波器等具有波形显示功能的显示装置监视来自交流桥电路20的输出信号的电压振幅、或者来自LPF33的电压输出，以使输出变小的方式调整分配比γ。优选的是，以使输出取得最小值或极小值(局部平衡点)的方式调整、设定可变电阻21的分配比γ。
进行可变电阻21的分配比γ的调整，以使差电压(E2-E1)变小，来使与表面状态的差异相应的输出差增大，从而提高检查精度。如上述那样，通过调整分配比γ来改变成分A、B，因此能够根据基准检测器22、检查检测器23的阻抗(RS+jωLS)、(RT+jωLT)调整可变电阻21的分配比γ，使作为来自交流桥电路20的输出的差电压(E2-E1)变小。由此能够减少基准检测器22与检查检测器23之间的特性差异，从而能够尽可能大地提取被检体M原本的特性，因此能够提高检查精度。
在频率设定工序S3中，在使基准检查体S接近检查检测器23的状态下，从交流电源10向交流桥电路20供给交流电力，由频率调整器35改变向交流桥电路20供给的交流电力的频率，来监视来自交流桥电路20的电压振幅输出或来自LPF33的电压输出。
频率调整器35向交流电源10输出控制信号以成为在频率调整器35中设定的初始频率f1，频率f1时的来自放大器31的输出电压Ef1被输入并存储到频率调整器35中。接着，向交流电源10输出控制信号以成为比频率f1高规定的值、例如100Hz的频率f2，频率f2时的来自放大器31的输出电压Ef2被输入并存储到频率调整器35中。
接着，进行Ef1与Ef2的比较，如果Ef2>Ef1，则输出控制信号以成为比频率f2高规定的值的频率f3，频率f3时的来自放大器31的输出电压Ef3被输入并存储到频率调整器35。然后，进行Ef2与Ef3的比较。反复进行该处理，将Efn+1<Efn时的频率fn、即输出为最大的频率fn设定为在阈值设定工序S4和交流供给工序S5中使用的频率。由此，能够通过一次的操作来与表面处理状态、形状等不同且阻抗不同的被检体M相对应地设定使来自交流桥电路20的输出大的频率。最佳的频率是根据被检体的材料、形状、表面处理状态而变化的，但是在事先知道该变化的情况下，不需要进行频率的设定。由此，能够使输出灵敏地对应表面处理状态的变化，从而提高检查的灵敏度。
在此，频率设定工序S3也能够在可变电阻设定工序S2之前实施。另外，当使用基准检查体S时，能够选定最佳的频率来尽可能大地提取被检体M原本的特性，但是也能够代替基准检查体S而使用参照检查体来设定频率。
在阈值设定工序S4中，使基准检查体S接近检查检测器23，从交流电源10向交流桥电路20供给在频率设定工序S3中设定的频率的交流电力。从交流桥电路20输出的电压输出被放大器31放大，在绝对值电路32中进行全波整流，并在LPF33中进行直流变换，被输出到判断单元36。将在使表面处理良好的基准检查体S接近检查检测器23时输出到判断单元36的输出值设定为正常阈值，并事先存储在判断单元36中。在此，也能够将在使参照检查体接近检查检测器23时输出到判断单元36的输出值设定为不良阈值，使阈值增加，由此提高检查的便利性。
在后述的好坏判断工序S8中，在将在使被检体M接近检查检测器23时的输出值与正常阈值和不良阈值进行比较来判断被检体M的好坏的情况下，如果被检体M的输出值是正常阈值与不良阈值之间的值，则无法判定好坏。因此，还能够使用表面状态不同的多个参照检查体进行输出测量，以与正常阈值之差变小的方式设定不良阈值。另外，也可以通过同时使用被检体的破坏性检查，来更精密地决定不良阈值。
在交流供给工序S5中，从交流电源10向交流桥电路20供给在频率设定工序S3中设定的频率的交流电力。在此，基准检查体S不接近检查检测器23。
接着，在配置工序S6中，使要判定表面处理状态的好坏的被检体M接近检查检测器23，以在被检体中激发出涡电流的方式进行配置。此时，从交流桥电路20输出电压输出信号，输出信号被放大器31放大，在绝对值电路32中进行全波整流，在LPF33中进行直流变换。
温度测量单元38在被检体M接近检查检测器23之前、或者配置被检体M之后测量被检体M的表面的温度，并将被检体M的表面的温度信号输出到判断单元36。
在检查状态判断工序S7中，由相位比较器34将从交流电源10供给的交流电力的波形与从交流桥电路20输出的交流电压波形进行比较，检测它们的相位差。通过监视该相位差，能够判断检查状态是否良好(例如，检查检测器23与被检体M之间没有位置偏移)。即使来自交流桥电路20的输出相同，但在相位差大幅变化的情况下，检查状态发生变化，能够判断为有可能没有适当地进行检查。另外，在由温度测量单元38检测出的被检体M的温度在规定范围内的情况下，判断单元36判断被检体M的表面处理状态的好坏，在由温度测量单元38检测出的温度在规定范围外的情况下，不进行被检体M的表面处理状态的好坏判断。在此，规定的温度范围是被检体M的温度变化对检查没有实质影响的温度范围，例如能够设定为0℃～60℃。在被检体M的表面的温度在规定的温度范围外的情况下，能够进行以下等处理：进行待机直至被检体M处于规定的温度范围内为止、对被检体M吹送空气、或不进行被检体M的检查而移动到其它的处理线。
在好坏判断工序S8中，在LPF33中进行直流变换后的信号被输入到判断单元36，判断单元36根据被输入的信号判断被检体M的表面状态的好坏。也就是说，本工序是根据从交流桥电路20输出的输出信号来对被检体的表面特性进行评价的评价工序。判断单元36的判断结果通过显示单元37进行显示，在表面状态不良的情况下进行警告。
通过将来自LPF33的输出值(测量值)与在阈值设定工序S4中设定的正常阈值进行比较来进行被检体M的表面处理状态的好坏判断。在设定有不良阈值的情况下，通过将来自LPF33的输出值(测量值)与正常阈值和不良阈值进行比较来进行被检体M的表面处理状态的好坏判断。
通过以上工序能够简单且高精度地检查被检体M的表面处理状态的好坏。为了继续进行检查而仅更换被检体M并重复进行配置工序S6、检查状态判断工序S7、好坏判断工序S8即可。在变更被检体M的种类、表面处理的种类等的情况下，再次实施可变电阻设定工序S2、频率设定工序S3、阈值设定工序S4。
检查检测器23通过捕捉在齿轮G的表面流动的涡电流的变化，来间接地捕捉表面电阻变化。在此，在作为表面处理进行了喷丸处理的情况下，作为涡电流的流量发生变化的因素，列举因喷丸引起的应变、组织的细化、位错，但它们在测量环境的温度变化(0℃～40℃)程度下是大致固定的。检查检测器23所检测的磁变化是由于涡电流的退磁场的变化所引起的，由于涡电流发生变化的因素不容易受到测量环境的温度变化的影响，因此能够减小温度变化对检查精度的影响。此外，也能够为了利用基准检测器22检测基准状态而使用用于输出基准输出的基准检查体S。由此，例如只要使用表面处理状态良好的基准检查体S，就能够与基准检查体S进行比较来评价被检体M的表面状态的好坏。
这样，通过使基准检查体S接近基准检测器22(将基准检查体S配置在基准检测器22的线圈22b的内侧)并获得基准输出，能够高精度地评价被检体M的表面状态的好坏。然而，根据表面特性检查装置的设置环境的不同，存在难以将被检体M的温度和基准检查体S的温度维持为相同程度的情况。另外，根据设置环境的不同，存在被检体M、基准检查体S各自受到的感应噪声、干扰在被检体M和基准检查体S中显著不同的情况。在这些情况下，由于使用基准检查体S，反而难以正确地评价被检体M的表面状态，因此期望不使用基准检查体S来评价表面特性。
这样，在以不使用基准检查体S来检查表面特性为前提的情况下，也能够将基准检测器22的线圈22b构成为比检查检测器23的线圈23b更小型。由此，能够使基准检测器22小型化。优选的是，在将基准检测器22的线圈22b构成为小型的情况下，在线圈22b的内侧配置强磁性体芯22a。当配置强磁性体芯22a时，基准检测器22的线圈22b的阻抗上升，因此在使施加电压的频率相同的情况下，与未配置强磁性体芯22a的线圈相比阻抗变高。由此，能够将具有与检查检测器23的线圈23b相同程度的阻抗的线圈22b构成为更小型。
另外，通过在基准检测器22的线圈22b的内侧配置强磁性体芯22a，使其形成磁屏蔽件，还具有不容易受到来自线圈22b周边的感应噪声的影响的优点。并且，通过使基准检测器22的线圈22b小型化，还能够将该线圈22b配置在安装有交流桥电路(可变电阻21)的电路基板24上。由此，能够将基准检测器22与交流桥电路一起容易地进行处理，并且能够提高表面特性检查装置的设置的自由度。
(表面特性评价系统：第一实施方式)
接着，说明包括表面特性检查装置1的表面特性评价系统，该表面特性评价系统通过利用喷丸装置进行的表面处理工序中的在线或离线来对被检体的表面特性进行评价，该喷丸装置进行喷丸处理作为表面处理。如图4A～4D、图5A～5D所示，表面特性评价系统100具备进行被检体M的表面处理的表面处理装置110、包括缸体的第一输送机构120、包括输送臂的第二输送机构121、包括输送机的第三输送机构122以及包括缸体的检查检测器输送机构123。此外，在图4A～4D、图5A～5D中，将俯视图和侧视图上下排列地示出。在图4A、4B以及图5D的俯视图中，省略检查检测器23的图示。另外，检查检测器23包含在表面特性检查装置1中，但是在图4A～4D、图5A～5D中为了说明而分开地标记。在本实施方式中，进行齿轮G的齿轮部的喷丸处理来作为表面处理。在此，表面特性评价系统100是包括第4发明所示的表面特性检查装置的第9、10发明所示的结构。此外，在本实施方式中，第一输送机构120被设置在表面特性检查装置1中，但是也能够采用被设置于表面特性评价系统100中的结构。
第一输送机构120能够上下地驱动作为被检体的齿轮G，在前端具备在输送齿轮G时对水平面内的位置进行定位的定位部120a。定位部120a例如被形成为朝向上方具有锥形的突起部，被构成为仅载置齿轮G就能够进行定位。第一输送机构120能够相对于在检查检测器23的线圈23b的内侧进行齿轮G的检查的评价位置Ts而沿上下方向(评价位置Ts的上方侧和下方侧中的一方或两方的位置)输送齿轮G。这样，定位部120a是在第一输送机构输送被检体时对被检体在水平面内的位置进行定位的定位部。此外，定位部不限定于该结构，只要是能够对被检体在水平面内的位置进行定位的结构即可。例如还能够设为后述的止挡件122a具有定位功能的结构。
第二输送机构121包括能够把持齿轮G的输送臂，沿水平方向输送被第一输送机构120移动到后述的第一待机位置T1的齿轮G，并且将齿轮G输送到表面处理装置110的载物台115a。此外，根据第一待机位置T1与表面处理装置110的载物台115a之间的位置关系，能够采用第二输送机构121沿相对于水平方向倾斜的方向输送齿轮G的结构。
第三输送机构122将齿轮G从喷丸处理前区域Ab经由第二待机位置T2输送至喷丸处理和检查完成区域Aa。
检查检测器输送机构123使检查检测器23沿上下方向移动来使齿轮G位于检查检测器23的评价位置Ts。
在本实施方式中，作为表面处理装置110，采用喷丸装置。如图6A所示，喷丸装置具备向被处理物喷射投射材料来进行喷丸处理的喷射喷嘴111、向喷射喷嘴111供给投射材料的供给装置112、将投射材料、粉尘分级来进行分离的分离装置113等，被构成为能够在处理室114内部进行喷丸处理。另外，具备保持部115和旋转装置116，该保持部115包括将齿轮G以被定位的状态载置的载物台115a和用于将齿轮G从上方加压而固定的工件压紧件115b，该旋转装置116与载物台115a连结，使齿轮G沿水平方向旋转。
通过以下动作实施基于表面处理装置110的喷丸处理：如图6B所示，首先，通过缸体117使工件压紧件115b向下方移动，来将被输送到载物台115a的齿轮G从上方加压而固定，一边通过旋转装置116使齿轮G旋转，一边从喷射喷嘴111喷射投射材料来从齿轮G的齿面的侧方对齿轮部进行喷丸。
说明使用了表面特性评价系统100的齿轮G的表面特性评价方法。首先，如图4A所示，通过第三输送机构122从喷丸处理前区域Ab将圆筒状的齿轮G以旋转轴为铅垂方向的状态进行输送，并通过止挡件122a使齿轮G停止。
接着，如图4B所示，第一输送机构120从齿轮G下方上升，将齿轮G定位于第二待机位置T2。在此，作为定位机构，例如能够采用具备能够贯穿于齿轮G中心的孔部的锥形部的支承器具。
接着，如图4C所示，通过检查检测器输送机构123使检查检测器23移动到齿轮G侧，从而线圈23b配置在与齿轮部相向的位置，检查表面处理前的表面特性。表面处理前的表面特性数据被存储到评价装置30的判断单元36中。由于通过定位部120a对齿轮G进行定位，因此能够在评价表面特性时使齿轮G位于适当的位置，因此能够进行高精度的可靠的检查。在此，第二待机位置T2为对表面特性进行评价、检查的评价位置Ts。在本实施方式中，第二待机位置T2为评价位置Ts，但是也能够采用使检查检测器23和齿轮G移动而将第二待机位置T2设为相对于评价位置Ts处于上方侧或下方侧的位置的结构。
接着，如图4D所示，通过第一输送机构120使齿轮G移动到检查检测器23上方的第一待机位置T1。由此，齿轮G从检查检测器23的评价位置Ts移动，从而成为能够输送到表面处理装置110的状态。在本实施方式中，第一待机位置T1是相对于评价位置Ts处于上方侧，但是只要是相对于评价位置Ts处于上方侧或下方侧的位置且与表面处理装置110相向的位置即可。
接着，如图5A所示，通过第二输送机构121把持齿轮G并输送到表面处理装置110，载置在从第一待机位置T1来看位于水平方向或相对于水平方向倾斜的方向的载物台115a上，通过工件压紧件115b进行定位、固定。
在由表面处理装置110进行了表面处理之后，如图5B所示那样由第二输送机构121把持齿轮G，输送并载置于在第一待机位置T1处待机的第一输送机构120的定位部120a。接着，通过第一输送机构120使齿轮G移动到第二待机位置T2(评价位置Ts)，检查表面处理后的表面特性。在此，评价装置30将存储于判断单元36中的表面处理前的表面特性数据与表面处理后的表面特性数据进行比较(例如差计算)，通过与预先设定的阈值进行比较，能够判断表面处理状态的好坏。
接着，如图5C所示，通过检查检测器输送机构123使检查检测器23上升从而与齿轮G分离，如图5D所示那样解除止挡件122a后通过第三输送机构122将齿轮G输送到检查完成区域Aa。
如以上的工序那样，在包括表面处理装置110的表面特性评价系统100中，由于在第一输送机构120中设置有定位部120a，因此能够在评价表面特性时使齿轮G位于适当的位置，因此能够进行高精度的可靠的检查。能够通过具备定位部120a的第一输送机构120来在适当的状态下将齿轮G输送到第二输送机构121，从而实现通过第二输送机构121向表面处理装置110的适当位置的输送。即，能够通过简单的结构实现表面处理装置110中的定位。通过第一输送机构120、第二输送机构121、第三输送机构122、检查检测器输送机构123的组合，能够进行在线检查，该在线检查是自动地进行喷丸处理前后的被检体的输送作业的检查，是与喷丸处理线的生产工时一致的检查。
在以上的工序中，如图4C所示那样进行了表面处理前的表面特性检查，但是也可以只进行表面处理后的表面特性检查。在该情况下，通过将测量值与正常阈值进行比较或者将测量值与正常阈值和不良阈值进行比较来判断表面处理状态的好坏。
也能够在将检查检测器23的位置固定的状态下，通过仅使齿轮G移动来进行检查。在该情况下，如图7所示那样设为将检查检测器23配置在第一待机位置T1与第二待机位置T2之间，第二待机位置T2为相对于评价位置Ts处于下方侧的位置，第一待机位置T1为相对于评价位置Ts处于上方侧的位置。通过第一输送机构120使被输送到第二待机位置T2的齿轮G向上方向移动，由此使该齿轮G定位于检查检测器23的评价位置Ts。由于能够在将检查检测器23的位置固定的状态下，通过仅使被检体移动来进行检查，因此不需要设置检查检测器输送机构123，也不容易产生位置偏移。此外，检查检测器23被支承用的固定夹具(例如多个树脂制的棒构件)所固定，在图7中省略图示。
(表面特性评价系统：第二实施方式)
如图8A、8B所示，表面特性评价系统200在表面处理装置110的处理室114内内置有检查检测器23。此外，在图8A、8B中省略了第一实施方式的第二输送机构121、第三输送机构122等向表面处理装置110输送被检体M的输送机构的图示。
图8A示出正在对齿轮G进行喷丸处理的状态。在图8A中，为了说明检测器防护面板118的结构以及动作，而一并记载了检测器防护面板118附近的俯视图和从图中左侧观察得到的主视图。检查检测器23与缸体119连接，缸体119是输送检查检测器23来使齿轮G位于线圈23b的内侧的评价位置Ts的移动机构，检查检测器23与齿轮G的旋转轴同轴地被配置在齿轮G的上方。在检查检测器23的外侧设置有用于在进行喷丸处理时保护检查检测器23的检测器防护面板118。检测器防护面板118包括以覆盖检查检测器23的侧面的方式设置的固定面板118a和以覆盖检查检测器23的下表面的方式设置的可动面板118b。
可动面板118b以固定面板118a侧的一端为转动中心，可动面板118b的远离转动中心的部分被链、金属线悬挂。通过缸体119驱动该链、金属线的基端侧来进行下方关闭的状态与下方打开的状态之间的切换。在进行喷丸处理时，处于下方关闭以保护检查检测器23的状态。
图8B示出在喷丸处理后进行齿轮G的表面特性的检查的状态。在图8B中，一并记载了检测器防护面板118附近的主视图。通过缸体119向处于被保持部115保持的状态的齿轮G的评价位置Ts输送检查检测器23，从而检查表面特性。在此，由于覆盖检查检测器23的下表面的可动面板118b转动而下方打开，因此不会干扰向下方侧下降的检查检测器23。
通过上述的结构，能够迅速地检查喷丸处理后的齿轮G。另外，由于设置有将齿轮G保持为被定位的状态的保持部115，因此能够在评价表面特性时使齿轮G位于适当的位置，因此能够进行高精度的检查。另外，通过该保持部115能够实现自动化，并能够进行在线的检查。由于能够将检查装置封装于表面处理装置110来提供给顾客，因此能够提高表面处理装置110的价值并提高顾客满意度。而且，由于能够通过检测器防护面板118来防止投射材料撞击到检查检测器23，因此能够实现检查检测器23的长寿命化以及防止由检查检测器23的损伤导致的误检测。
在投射材料的弹回较少的情况、能够将检查检测器23退避至几乎不存在投射材料弹回的位置的情况下，并非一定要设置检测器防护面板118。
(变更例)
在对在内周面具有齿轮部的构件进行检查的情况下，检查检测器23只要设为能够贯穿于构件使得线圈23b能够与内周面相向地配置的形状即可。
如图9所示，作为交流桥电路20的电路结构，还能够采用放大器31与点A和点B连接、交流电源10与点C和点D连接的结构。
在不实施检查状态判断工序S7的情况下，表面特性检查装置1能够省略相位比较器34。例如能够设为进行以下等处理的结构：通过激光位移计等位置检测单元进行检查检测器23与被检体M的位置关系的检测，通过光电传感器(激光器)等判定检查检测器23的轴与被检体M的轴之间的偏移是否在规定的范围内。另外，相位比较器34、频率调整器35或显示单元37还能够以内置于判断单元36中等方式一体地设置。
在测量被检体M时的来自交流桥电路20的输出足够大的情况下，也能够省略可变电阻设定工序S2、频率设定工序S3。在省略频率设定工序S3的情况下，表面特性检查装置1能够省略频率调整器35。
[实施方式的效果]
根据本发明的表面特性检查装置1和表面特性检查方法，能够通过检查检测器23的线圈23b在被检体M中激发涡电流，根据从交流桥电路10输出的输出信号来评价被检体M的表面特性。由此，能够通过简单的电路结构来进行高精度的表面状态的检查。另外，由于采用在被检体M中激发涡电流来检查表面特性的方式，因此能够减小检查环境的温度变化的影响。另外，能够稳定地向被检体供给磁力，并且能够一次性地检查被检体的表面特性检查区域。另外，由于能够使涡电流分散来抑制被检体表面的发热，因此能够减小被检体M的温度变化，从而能够进行精度更高的检查。
另外，根据本发明的表面特性检查系统，由于具备进行被检体M的正确的定位并进行输送的机构，因此能够进行表面处理工序中的在线的检查。由于能够将表面特性检查装置1封装于表面处理装置110来提供给顾客，因此能够提高表面处理装置110的价值，提高顾客满意度。
[实施例]
将对气体渗碳处理后的圆柱形状的SCr420材料的侧面进行喷丸处理得到的被检体准备覆盖率的水平不同的七个试样，在使用以往的接触型检测器的检查方法和本发明的表面特性检查方法中进行了比较。在此，覆盖率是指表面处理后的被检体表面的打痕率，覆盖率越大则表示表面的处理密度越高。使检查环境的周围温度在10℃～40℃内变化来进行检查，并将输出进行了比较。
图10A是表示以周围温度10℃为基准检查覆盖率100％的试样时的因周围温度所引起的放大器输出的变化率的曲线图，纵轴是输出变化率，横轴是周围温度。从该曲线图可知，利用本发明的表面特性检查方法的一方的因温度引起的输出变化更少。
在图10B和图10C中示出以在10℃～40℃的范围内产生温度变动的状态进行覆盖率的水平不同的七个试样的检查得到的结果。图10B是利用本发明的表面特性检查方法的检查结果，图10C是利用以往的表面特性检查方法的检查结果。在各曲线图中，标记上下的振动幅度表示温度变化时的输出变动范围。
如图10C所示，在以往的表面特性检查方法中，无法检测由输出变动大、覆盖率不同引起的表面特性的差异。也就是说，难以在温度变化剧烈的在线环境下应用。另一方面，在本发明的表面特性检查方法中，如图10B所示那样可知，由温度变动引起的输出变动非常小，从而能够高精度地检测表面特性的差异。
如上所述，确认出本发明的表面特性检查方法不容易受到检查环境的温度变化的影响，能够适宜地用于在线检查。
附图标记说明
1：表面特性检查装置；10：交流电源；20：交流桥电路；21：可变电阻；22：基准检测器；22a：强磁性体芯；22b：线圈；23：检查检测器；23a：芯；23b：线圈；23c：磁屏蔽件；24：电路基板；30：评价装置；31：放大器；32：绝对值电路；33：LPF；34：相位比较器；35：频率调整器；36：判断单元；37：显示单元；38：温度测量单元；100：表面特性评价系统；110：表面处理装置；111：喷射喷嘴；112：供给装置；113：分离装置；114：处理室；115：保持部；115a：载物台；115b：工件压紧件；116：旋转装置；117：缸体；118：检测器防护面板；118a：固定面板；118b：可动面板；119：缸体；120：第一输送机构；120a：定位部；121：第二输送机构；122：第三输送机构；122a：止挡件；123：检查检测器输送机构；200：表面特性评价系统；Aa：检查完成区域；Ab：喷丸处理前区域；G：齿轮；M：被检体；T1：第一待机位置；T2：第二待机位置；Ts：评价位置。

Claims (17)

1.一种表面特性检查装置，用于检查实施过表面处理的被检体的表面特性，该表面特性检查装置的特征在于，具备：
交流桥电路；
交流电源，其向上述交流桥电路供给交流电力；以及
评价装置，其根据来自上述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，
其中，上述交流桥电路具有：可变电阻，其构成为在第一电阻和第二电阻之间分配比可变；检查检测器，其具备使交流磁场产生作用来在上述被检体中激发涡电流的线圈；以及基准检测器，其检测成为与来自上述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，上述第一电阻、上述第二电阻、上述基准检测器以及上述检查检测器构成上述交流桥电路，
上述评价装置根据在对上述交流桥电路供给交流电力而上述检查检测器检测出上述被检体的电磁特性且上述基准检测器检测出基准状态的状态下来自上述交流桥电路的输出信号，对上述被检体的表面特性进行评价。
2.根据权利要求1所述的表面特性检查装置，其特征在于，
以包围被检体的表面特性检查区域的方式卷绕上述线圈，通过向上述线圈供给交流电力而在上述表面特性检查区域中激发涡电流。
3.根据权利要求2所述的表面特性检查装置，其特征在于，
上述表面特性检查装置是被嵌入于进行喷丸处理来作为上述表面处理的表面处理装置中的表面特性检查装置，
上述表面特性检查装置还具备移动机构，该移动机构通过输送来使上述被检体或上述检查检测器移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置。
4.根据权利要求2所述的表面特性检查装置，其特征在于，还具备：
第一输送机构，其能够上下地驱动上述被检体，将上述被检体输送到位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置以及该评价位置的上方侧和下方侧中的一方或双方的位置；以及
定位部，其对上述被检体在水平面内的位置进行定位，
其中，以由进行喷丸处理来作为上述表面处理的喷丸装置进行的表面处理工序中的在线或离线的方式对被检体的表面特性进行评价。
5.根据权利要求3或4所述的表面特性检查装置，其特征在于，
上述检查检测器构成为在具备齿轮部的被检体中激发涡电流。
6.根据权利要求5所述的表面特性检查装置，其特征在于，
还具备磁屏蔽件，该磁屏蔽件在上述线圈的外侧以包围被检体的方式配置，屏蔽外部磁。
7.根据权利要求6所述的表面特性检查装置，其特征在于，
还具备温度测量单元，该温度测量单元检测上述被检体的表面的温度，
在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围内的情况下，上述评价装置判断上述被检体的表面处理状态的好坏，在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围外的情况下，上述评价装置不进行上述被检体的表面处理状态的好坏判断。
8.一种表面处理装置，具备根据权利要求3所述的表面特性检查装置和将上述被检体保持为被定位的状态的保持部，进行喷丸处理来作为上述表面处理，该表面处理装置的特征在于，
上述表面特性检查装置在上述喷丸处理前后或者上述喷丸处理之后，通过输送来使上述检查检测器或上述保持部所保持的上述被检体移动，由此使上述保持部所保持的上述被检体位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置，来检查上述被检体的表面特性。
9.一种表面处理系统，其特征在于，具备：
根据权利要求4所述的表面特性检查装置；
表面处理装置，其进行喷丸处理来作为上述表面处理；
第二输送机构，其沿水平方向或者相对于水平方向倾斜的方向输送被上述第一输送机构移动到第一待机位置的上述被检体，并且将上述被检体输送到上述表面处理装置的规定位置；以及
第三输送机构，其能够沿水平方向或者相对于水平方向倾斜的方向输送上述被检体，将上述被检体从喷丸处理前区域经由第二待机位置输送到喷丸处理及检查完成区域，
其中，上述第一待机位置是相对于上述评价位置处于上方侧或下方侧且与上述表面处理位置相向的位置，
上述第二待机位置是上述评价位置或者相对于上述评价位置处于上方侧或下方侧的位置，
上述第三输送机构将上述被检体从上述喷丸处理前区域输送到第二待机位置，
被输送到上述第二待机位置的上述被检体和上述检查检测器中的至少一方被移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的评价位置，
上述第三输送机构将被上述第一输送机构移动到上述第二待机位置的上述被检体输送到上述喷丸处理及检查完成区域。
10.根据权利要求9所述的表面处理系统，其特征在于，
还具备使上述检查检测器在上下方向上移动的检查检测器输送机构，
上述第二待机位置是上述评价位置，
在上述被检体被输送到上述第二待机位置时，通过上述检查检测器输送机构在上下方向上移动上述检查检测器，由此使上述被检体位于上述检查检测器的评价位置。
11.根据权利要求9所述的表面处理系统，其特征在于，
上述第二待机位置是相对于上述评价位置处于上方侧或下方侧的位置，
通过上述第一输送机构使被输送到上述第二待机位置的上述被检体在上下方向上移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的评价位置。
12.一种表面特性检查方法，包括以下工序：
准备工序，准备权利要求1至4中的任一项所述的表面特性检查装置；
配置工序，在从上述交流电源向上述交流桥电路供给了交流电力的状态下，对上述检查检测器进行配置使得在被检体中激发涡电流；以及
评价工序，根据从上述交流桥电路输出的输出信号，对被检体的表面特性进行评价。
13.根据权利要求12所述的表面特性检查方法，其特征在于，还包括以下工序：
为了利用上述基准检测器检测基准状态而准备并测量用于输出基准输出的基准检查体。
14.根据权利要求12所述的表面特性检查方法，其特征在于，
为了利用上述基准检测器检测基准状态而不使用用于输出基准输出的基准检查体。
15.根据权利要求14所述的表面特性检查方法，其特征在于，
通过在表面处理前后分别测量被检体的表面特性并比较各个测量值，来判断被检体的表面处理状态的好坏。
16.根据权利要求1所述的表面特性检查装置，其特征在于，
上述基准检测器具有线圈以及强磁性体芯，该强磁性体芯被配置在该线圈的内侧，通过向该线圈供给交流电力来激发涡电流。
17.根据权利要求16所述的表面特性检查装置，其特征在于，
上述交流桥电路具备电路基板，在该电路基板上配置有上述可变电阻以及上述基准检测器。
CN201480010057.8A 2013-05-30 2014-02-14 表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法 Pending CN105074450A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013-113694 2013-05-30
JP2013113694 2013-05-30
PCT/JP2014/054100 WO2014192335A1 (en) 2013-05-30 2014-02-14 Surface property inspection apparatus, surface property inspection system, and surface property inspection method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105074450A true CN105074450A (zh) 2015-11-18

Family

ID=50236239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480010057.8A Pending CN105074450A (zh) 2013-05-30 2014-02-14 表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9638668B2 (zh)
JP (1) JP5877505B2 (zh)
CN (1) CN105074450A (zh)
DE (1) DE112014002603T5 (zh)
WO (1) WO2014192335A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109791126A (zh) * 2016-10-06 2019-05-21 新东工业株式会社 表面特性检查方法和表面特性检查装置
CN110869756A (zh) * 2017-07-10 2020-03-06 新东工业株式会社 表面特性评价方法、表面特性评价装置以及表面特性评价系统

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015107725A1 (ja) * 2014-01-20 2015-07-23 新東工業株式会社 表面特性検査装置及び表面特性検査方法
US10768144B2 (en) * 2015-06-25 2020-09-08 Sintokogio, Ltd. Surface characteristics evaluation apparatus and surface characteristics evaluation method for steel material
FR3043194B1 (fr) 2015-11-02 2019-04-19 Mesure-Systems3D Dispositif de controle tridimensionnel sans contact de pale pour turbomachine, en particulier pour reacteur ou turbine d’aeronef
FR3043193B1 (fr) 2015-11-02 2019-04-19 Mesure-Systems3D Dispositif de controle tridimensionnel sans contact d’une piece mecanique a denture
TWI776811B (zh) * 2016-05-16 2022-09-11 日商新東工業股份有限公司 表面處理加工方法及表面處理加工裝置
CN110662628B (zh) 2017-05-16 2022-03-22 新东工业株式会社 表面处理加工方法和表面处理加工装置
EP3593945B1 (en) * 2017-06-30 2023-03-15 Sintokogio, Ltd. Shot treatment device
JP7238702B2 (ja) 2019-08-30 2023-03-14 新東工業株式会社 ショット処理装置及びショット処理方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04296649A (ja) * 1991-03-26 1992-10-21 Daido Steel Co Ltd 導電性部品の疵検出装置
US5438262A (en) * 1992-07-10 1995-08-01 Nippon Oil Co. Limited Method and apparatus for the nondestructive determination of torsional breakage torque of tubular carbon fiber reinforced composite materials
US5485084A (en) * 1993-05-10 1996-01-16 The Boeing Company Apparatus and method for detecting structural cracks using a movable detector
JP2001318080A (ja) * 2000-05-09 2001-11-16 Kaisei Engineer Kk 検出コイルとこの検出コイルを用いた検査装置
US20050017712A1 (en) * 2000-04-07 2005-01-27 Le Cuong Duy Thickness Estimation Using Conductively Related Calibration Samples
US20090013777A1 (en) * 2005-11-22 2009-01-15 Kazuhiko Ohtsuka Thermal flow sensor having an amplifier section for adjusting the temperature of the heating element
JP2009236762A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Honda Motor Co Ltd 渦電流磁界変化検出装置及び歯車強度評価法
JP2010230350A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Honda Motor Co Ltd ワーク硬度計測装置
CN102574273A (zh) * 2009-09-30 2012-07-11 新东工业株式会社 钢材制品的喷丸处理法
WO2012153862A1 (en) * 2011-05-10 2012-11-15 Sintokogio, Ltd. Surface property inspection device and surface property inspection method

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3020745A (en) * 1958-11-13 1962-02-13 Smith Corp A O Method of flaw detection in a metal member
JPH0641938B2 (ja) * 1985-12-16 1994-06-01 株式会社日立製作所 ジルコニウム合金材の非破壊測定方法
JPH0660888B2 (ja) * 1985-12-20 1994-08-10 住友金属工業株式会社 ステンレス鋼材のシグマ相検査方法
JPH0466863A (ja) * 1990-07-09 1992-03-03 Toyota Motor Corp 鋼材の加工による残留応力の測定方法
JPH0792140A (ja) * 1993-09-27 1995-04-07 Toyota Motor Corp 鋼材の疲労強度の評価方法
JPH11337656A (ja) * 1998-05-25 1999-12-10 Sumitomo Special Metals Co Ltd 金属検知方法及び金属検知装置
GB2444012C (en) * 2005-09-02 2012-02-29 Dynamic Controls Ltd An angular position sensing device
JP5004519B2 (ja) 2006-06-22 2012-08-22 株式会社不二製作所 ショットピーニング処理面の非破壊検査方法及び装置
JP2009168556A (ja) * 2008-01-15 2009-07-30 Meiwa E Tec:Kk 焼入れ検査装置および焼入れ検査方法
CN102099695B (zh) * 2008-07-22 2015-08-12 Abb研究有限公司 用于电流测量的磁阻传感器布置
JP5866890B2 (ja) * 2011-09-06 2016-02-24 株式会社ジェイテクト 渦電流検出方法および渦電流検出装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04296649A (ja) * 1991-03-26 1992-10-21 Daido Steel Co Ltd 導電性部品の疵検出装置
US5438262A (en) * 1992-07-10 1995-08-01 Nippon Oil Co. Limited Method and apparatus for the nondestructive determination of torsional breakage torque of tubular carbon fiber reinforced composite materials
US5485084A (en) * 1993-05-10 1996-01-16 The Boeing Company Apparatus and method for detecting structural cracks using a movable detector
US20050017712A1 (en) * 2000-04-07 2005-01-27 Le Cuong Duy Thickness Estimation Using Conductively Related Calibration Samples
JP2001318080A (ja) * 2000-05-09 2001-11-16 Kaisei Engineer Kk 検出コイルとこの検出コイルを用いた検査装置
US20090013777A1 (en) * 2005-11-22 2009-01-15 Kazuhiko Ohtsuka Thermal flow sensor having an amplifier section for adjusting the temperature of the heating element
JP2009236762A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Honda Motor Co Ltd 渦電流磁界変化検出装置及び歯車強度評価法
JP2010230350A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Honda Motor Co Ltd ワーク硬度計測装置
CN102574273A (zh) * 2009-09-30 2012-07-11 新东工业株式会社 钢材制品的喷丸处理法
WO2012153862A1 (en) * 2011-05-10 2012-11-15 Sintokogio, Ltd. Surface property inspection device and surface property inspection method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109791126A (zh) * 2016-10-06 2019-05-21 新东工业株式会社 表面特性检查方法和表面特性检查装置
CN109791126B (zh) * 2016-10-06 2023-10-24 新东工业株式会社 表面特性检查方法和表面特性检查装置
CN110869756A (zh) * 2017-07-10 2020-03-06 新东工业株式会社 表面特性评价方法、表面特性评价装置以及表面特性评价系统
CN110869756B (zh) * 2017-07-10 2023-10-27 新东工业株式会社 表面特性评价方法、表面特性评价装置以及表面特性评价系统

Also Published As

Publication number Publication date
DE112014002603T5 (de) 2016-04-07
US9638668B2 (en) 2017-05-02
WO2014192335A1 (en) 2014-12-04
US20150241391A1 (en) 2015-08-27
JP2015525336A (ja) 2015-09-03
JP5877505B2 (ja) 2016-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105074450A (zh) 表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法
CN106415261B (zh) 表面特性检查装置以及表面特性检查方法
EP2707705B1 (en) Surface property inspection device and surface property inspection method
CN106164666B (zh) 表面特性检查方法和表面特性检查装置
CN106030300B (zh) 表面特性检查挑选装置、表面特性检查挑选系统以及表面特性检查挑选方法
US10718739B2 (en) Surface characteristics inspection method and surface characteristics inspection apparatus for steel product
KR101137028B1 (ko) 열분해관 침탄도 측정장비 및 측정방법
JP6880538B2 (ja) 表面特性検査方法及び表面特性検査装置
Han et al. The Use of Eddy Current Testing for Defect Detection in Additive Manufactured Metals
KR20090119807A (ko) 원통형 강철배관 진단용 와전류 검사기의 프로브구조
JP2014126376A (ja) 焼入れ品質検査装置および焼入れ品質検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20151118

RJ01 Rejection of invention patent application after publication