JP6223540B2 - 仮想rfセンサ - Google Patents
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- H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
- H03H7/38—Impedance-matching networks
- H03H7/40—Automatic matching of load impedance to source impedance
Description
102 RF生成器モジュール
106 プラズマチャンバ
110 整合モジュール
140 出力制御モジュール
144 ユーザインタフェースモジュール
148 CEXモジュール
152 RF生成モジュール
156 センサモジュール
160 RF測定モジュール
164 プラズマチャンバセンサ
200 仮想RFセンサシステム
204 RF測定モジュール
208 整合モジュール
212 プラズマチャンバ
216 インピーダンス判定モジュール
220 仮想センサモジュール
224 制御モジュール
228 整合ネットワーク調整モジュール
Claims (20)
- 無線周波数(RF)生成システムにおいて、
RF電圧およびRF電流を受信し、かつ前記RF電圧およびRF電流に基づいてRF生成器のインピーダンスを判定するインピーダンス判定モジュールと、
前記RF生成器のインピーダンスに基づいて複数の電気的な値を決定する制御モジュールと、
前記RF生成器のインピーダンスおよび複数の電気的な値に基づいて負荷のインピーダンスを整合させ、かつ
前記複数の電気的な値に基づいて2ポート伝達関数を決定する整合モジュールと、
前記RF電圧、RF電流、RF生成器のインピーダンス、および2ポート伝達関数に基づいて、負荷電圧、負荷電流、および負荷インピーダンスを推定する仮想センサモジュールとを備えていることを特徴とする無線周波数(RF)生成システム。 - 前記RF生成器のインピーダンスは、予め定められた値であることを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 前記整合モジュールは、複数の電気的な値に基づいて複数の電気的素子を選択的に調整し、前記複数の電気的素子は、キャパシタンス値、インダクタンス値、および抵抗値を含み、前記キャパシタンス値、インダクタンス値、および抵抗値は、ABCD行列によって表されることを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 前記仮想センサモジュールは、RF電圧、RF電流、RF生成器のインピーダンス、および2ポート伝達関数間の数学的関係に基づいて、負荷電圧および負荷電流を推定することを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 前記複数の電気的素子は、複数のキャパシタ、複数のインダクタ、および複数の抵抗を含むことを特徴とする請求項3に記載のRF生成システム。
- 前記RF電圧およびRF電流を測定するセンサモジュールを更に備えていることを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 前記インピーダンス判定モジュールは、RF電流に対するRF電圧の比に基づいてRF生成器のインピーダンスを判定することを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 前記仮想センサモジュールは、複数の電気的な値の各々に対するABCD行列を決定し、かつ前記複数の電気的な値の各々についてのABCD行列の各々に基づいて全ABCD行列を決定することを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 前記仮想センサモジュールは、全ABCD行列の逆行列、RF電圧、およびRF電流間の関係に基づいて、負荷電圧および負荷電流を推定することを特徴とする請求項8に記載のRF生成システム。
- 前記2ポート伝達関数は、予め定められた値であることを特徴とする請求項1に記載のRF生成システム。
- 無線周波数(RF)生成方法において、
RF電圧およびRF電流を受信するステップと、
前記RF電圧およびRF電流に基づいてRF生成器のインピーダンスを判定するステップと、
前記RF生成器のインピーダンスに基づいて複数の電気的な値を決定するステップと、
前記複数の電気的な値に基づいて複数の電気的素子を選択的に調整するステップと、
前記RF生成器のインピーダンスおよび電気的素子に基づいて負荷のインピーダンスを整合させるステップと、
前記複数の電気的な値に基づいて2ポート伝達関数を決定するステップと、
前記RF電圧、RF電流、RF生成器のインピーダンス、および2ポート伝達関数に基づいて、負荷電圧、負荷電流、および負荷インピーダンスを推定するステップとを有していることを特徴とする無線周波数(RF)生成方法。 - 前記RF生成器のインピーダンスは、予め定められた値であることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記複数の電気的素子は、キャパシタンス値、インダクタンス値、および抵抗値を含み、前記キャパシタンス値、インダクタンス値、および抵抗値は、ABCD行列によって表されることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記RF電圧、RF電流、RF生成器のインピーダンス、および2ポート伝達関数間の数学的関係に基づいて、負荷電圧および負荷電流を推定するステップを更に有していることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記複数の電気的素子は、複数のキャパシタ、複数のインダクタ、および複数の抵抗を含むことを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記RF電圧およびRF電流を測定するステップを更に有していることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記RF電流に対するRF電圧の比に基づいて、RF生成器のインピーダンスを判定するステップを更に有していることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記複数の電気的な値の各々に対するABCD行列を決定するステップと、前記複数の電気的な値の各々についてのABCD行列の各々に基づいて、全ABCD行列を決定するステップとを更に有していることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
- 前記全ABCD行列の逆行列、RF電圧、およびRF電流間の関係に基づいて、負荷電圧および負荷電流を推定するステップを更に有していることを特徴とする請求項18に記載のRF生成方法。
- 前記2ポート伝達関数は、予め定められた値であることを特徴とする請求項11に記載のRF生成方法。
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