JP5845379B1 - 樹脂塗布装置及び樹脂塗布済部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

部材と塗布ヘッドとの距離を比較的大きくすることができる樹脂塗布装置及び樹脂塗布済部材の製造方法を提供する。樹脂塗布装置（１）は、樹脂（１３）が塗布される部材（１１）が載置される載置台（１２）と、載置台（１２）に載置された部材（１１）に対して樹脂（１３）を吐出する塗布ヘッド（１４）と、塗布ヘッド（１４）を載置台（１２）に対して相対的に移動させる移動装置（１５）と、載置台（１２）と塗布ヘッド（１４）との間に電圧を印加する電源装置（１７）とを備える。樹脂塗布済部材の製造方法は、部材（１１）を載置台（１２）に載置し、塗布ヘッド（１４）を部材（１１）の上方に配置し、載置台（１２）と塗布ヘッド（１４）との間に電圧を印加したまま、かつ、塗布ヘッド（１４）から樹脂（１３）を吐出しながら、塗布ヘッド（１４）を載置面（１２ｆ）に沿う方向に載置台１１に対して相対的に移動させることで部材（１１）に樹脂（１３）を塗布する。

Description

本発明は、樹脂塗布装置及び樹脂塗布済部材の製造方法に関し、特に部材に樹脂を塗布する樹脂塗布装置及び樹脂塗布済部材の製造方法に関する。

２つの部材、例えば液晶パネルと保護ガラスとを接着剤で貼り合わせて接合部材を製造する際には、両方の部材又は一方の部材の貼り合わせ面の一部に接着剤塗布装置で接着剤を塗布する。そして、２つの部材の貼り合わせ面を対面させて、２つの部材を加圧し接着剤を展延させて貼り合わせるようにしている。

このような接着剤塗布装置として、ダイヘッド（塗布ヘッド）を用いて、被塗布部材表面に非接触で接着剤を吐出しながら塗膜を形成するようにしたダイコート法を用いたものがあり、両サイドの膜厚の盛り上がりを抑制しつつエンドの直線性を保つようにしたものがある（例えば、特許文献１参照。）。このダイコート法による接着剤の塗布は、塗布回数を１回で行え、しかもダイが被塗布部材と非接触であるので、塗布面にむらが残らず品質を向上できる。

また、接着剤を塗布した２つの部材を貼り合わせる際に、２つの部材間に電圧を印加して、それらの間に電界を形成することにより、その接着剤の接触面積が低減される形状に変化させ、ボイドが形成されるのを大幅に抑制するようにしたものがある（例えば、特許文献２参照。）。

特開平１０−２７７４６４号公報 特許第３３１２７３１号公報

しかし、特許文献１の塗布装置の場合、被塗布部材の両サイドの膜厚の盛り上がりを抑制できるが、部材と塗布ヘッドの出射口との距離が所定距離より大きくなると接着剤が途中で途切れ、接着剤を連続して供給ができなくなる。接着剤の供給は断続状態での供給となり、均一に接着剤を塗布できなくなる。特に、部材の表面に凸部がある場合、塗布ヘッドが凸部に当たらないようにするために、部材と塗布ヘッドの出射口との距離を確保する必要があり、そのような場合に均一に接着剤を塗布できなくなる。

また、特許文献２のものでは、接着剤を塗布した後の２つの部材を貼り合わせる際に、２つの部材間に電圧を印加するものであり、接着剤にボイドが混入するのを防止するものであり、塗布ヘッドにより部材に接着剤を塗布する際のものではない。

本発明の目的は、樹脂を塗布する塗布ヘッドと樹脂が塗布される部材との間の距離を比較的大きくしても均一に樹脂を塗布できる樹脂塗布装置及び樹脂塗布済部材の製造方法を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る樹脂塗布装置は、例えば図１に示すように、樹脂１３が塗布される部材１１が載置される載置面１２ｆを有する載置台１２と；載置台１２に載置された部材１１に対して樹脂１３を吐出する塗布ヘッド１４と；塗布ヘッド１４を、載置面１２ｆに沿う方向に、載置台１２に対して相対的に移動させる移動装置１５と；載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加する電源装置１７とを備える。

このように構成すると、樹脂が部材に塗布される際に載置台と塗布ヘッドとの間に電圧を印加することができ、これによって樹脂の広がり性が向上し、塗布ヘッドと載置台との距離を比較的大きくしても部材に対して樹脂を適切に塗布することができる。

また、本発明の第２の態様に係る樹脂塗布装置は、例えば図１に示すように、上記本発明の第１の態様に係る樹脂塗布装置１において、塗布ヘッド１４から吐出される樹脂１３の吐出量を調節する吐出量調節装置１６、１８を備える。

このように構成すると、適切な量の樹脂を塗布ヘッドから吐出することができ、部材に対して樹脂を適切に塗布することができる。

また、本発明の第３の態様に係る樹脂塗布装置は、例えば図１に示すように、上記本発明の第１の態様又は第２の態様に係る樹脂塗布装置１において、塗布ヘッド１４に形成された樹脂１３の吐出口１９と、載置台１２に載置された部材１１との距離を検知するギャップ検知部３３と；電源装置１７によって載置台１２と塗布ヘッド１４との間に印加される電圧の値を調節する電圧調節部１７ｃと；ギャップ検知部３３で検知された距離に応じて電圧調節部１７ｃで調節される電圧値を設定する第１の制御装置５１とを備える。

このように構成すると、塗布ヘッドと部材との距離に対して適切な値の電圧を印加することができる。

また、本発明の第４の態様に係る樹脂塗布装置は、例えば図１に示すように、上記本発明の第１の態様乃至第３の態様のいずれか１つの態様に係る樹脂塗布装置１において、塗布ヘッド１４を、載置台１２に対して、接近及び離間できるように相対的に移動させる距離可変装置１５と；載置面１２ｆに載置された部材１１に対する塗布ヘッド１４からの樹脂１３の吐出開始時における塗布ヘッド１４と載置台１２との距離を、樹脂１３の吐出開始後における塗布ヘッド１４と載置台１２との距離よりも小さくするように距離可変装置１５を制御する第２の制御装置５２とを備える。

このように構成すると、塗布ヘッドと部材との距離を比較的大きくしたときに生じ得る、樹脂の塗布開始時の樹脂の盛り上がりを抑制することができる。

また、本発明の第５の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法は、例えば図１及び図３を参照して示すと、上記本発明の第１の態様乃至第４の態様のいずれか１つの態様に係る樹脂塗布装置１によって樹脂塗布済部材を製造する方法であって；樹脂１３が塗布される部材１１を、載置面１２ｆに載置する載置工程（Ｓ１）と；塗布ヘッド１４を、載置台１２に載置された部材１１の上方に配置する塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）と；電源装置１７で載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加する電圧印加工程（Ｓ５〜Ｓ１０）と；載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加したまま、かつ、塗布ヘッド１４から樹脂１３を吐出しながら、移動装置１５を作動させることで部材１１に樹脂１３を塗布する樹脂塗布工程（Ｓ６〜Ｓ９）とを備える。なお、上記本発明の第１の態様乃至第４の態様のいずれか１つの態様に係る樹脂塗布装置１において、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加したまま、かつ、塗布ヘッド１４から樹脂１３を吐出しながら、移動装置１５を作動させるように、塗布ヘッド１４、移動装置１５、及び電源装置１７を制御する制御装置（第１の制御装置５１及び第２の制御装置５２と区別する場合は第３の制御装置と呼称してもよい）を備えることとしてもよい。

このように構成すると、樹脂が部材に塗布される際に載置台と塗布ヘッドとの間に電圧を印加するので、樹脂の広がり性が向上し、塗布ヘッドと載置台との距離を比較的大きくしても部材に対して樹脂を適切に塗布することができる。

上記目的を達成するために、本発明の第６の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法は、例えば図１及び図３を参照して示すと、樹脂１３が塗布される部材１１を、載置台１２に形成された載置面１２ｆに載置する載置工程（Ｓ１）と；部材１１に対して樹脂１３を吐出する塗布ヘッド１４を、載置台１２に載置された部材１１の上方に配置する塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）と；載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加する電圧印加工程（Ｓ５〜Ｓ１０）と；載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加したまま、かつ、塗布ヘッド１４から樹脂１３を吐出しながら、塗布ヘッド１４を載置面１２ｆに沿う方向に載置台１１に対して相対的に移動させることで部材１１に樹脂１３を塗布する樹脂塗布工程（Ｓ６〜Ｓ９）とを備える。

このように構成すると、樹脂が部材に塗布される際に載置台と塗布ヘッドとの間に電圧を印加するので、樹脂の広がり性が向上し、塗布ヘッドと載置台との距離を比較的大きくしても部材に対して樹脂を適切に塗布することができる。

また、本発明の第７の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法として、例えば図１及び図３を参照して示すと、上記本発明の第５の態様又は第６の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法において、塗布ヘッド１４に形成された樹脂１３の吐出口１９と、載置台１２に載置された部材１１との距離を検知するギャップ検知工程（Ｓ３）と；ギャップ検知工程（Ｓ３）で検知された距離に応じて、電圧印加工程（Ｓ５〜Ｓ１０）で印加される電圧値を調節する電圧調節工程（Ｓ４）とを備えることとしてもよい。

このように構成すると、塗布ヘッドと部材との距離に対して適切な値の電圧を印加することができる。

また、本発明の第８の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法として、例えば図１及び図３を参照して示すと、上記本発明の第５の態様乃至第７の態様のいずれか１つの態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法において、樹脂塗布工程（Ｓ６）は、部材１１に対する塗布ヘッド１４からの樹脂１３の吐出開始時における塗布ヘッド１４と載置台１２との距離を、樹脂１３の吐出開始後における塗布ヘッド１４と載置台１２との距離よりも小さくする工程を含んでいてもよい。

このように構成すると、塗布ヘッドと部材との距離を比較的大きくしたときに生じ得る、樹脂の塗布開始時の樹脂の盛り上がりを抑制することができる。

また、本発明の第９の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法として、例えば図１、図３及び図６（Ｂ）を参照して示すと、上記本発明の第５の態様乃至第８の態様のいずれか１つの態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法において、載置台１２に載置された部材１１の樹脂１３が塗布される面１１ｆに対する、塗布ヘッド１４の傾きを検知する傾き検知工程（Ｓ３Ａ）を備え；電圧印加工程（Ｓ５〜Ｓ１０）が、傾き検知工程（Ｓ３Ａ）で検知された傾きに対応してあらかじめ設定されている電圧で行われるように構成されていてもよい。

このように構成すると、塗布ヘッドの傾きの許容範囲が大きくなり、塗布ヘッドの傾き調節に要する手間を軽減することができる。

また、本発明の第１０の態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法として、例えば図１を参照して示すと、上記本発明の第５の態様乃至第９の態様のいずれか１つの態様に係る樹脂塗布済部材の製造方法において、樹脂塗布工程において塗布される樹脂１３の厚さを設定する厚さ設定工程と；厚さ設定工程において設定した厚さに応じて、載置台１２に載置された部材１１と塗布ヘッド１４との距離、及び電圧印加工程において印加する電圧の値を決定する条件決定工程とを備えることとしてもよい。

このように構成すると、塗布される樹脂の厚さに応じた適切な塗布が可能になり、塗布される樹脂の厚さを薄くすることが可能になる。

また、接着剤塗布装置として、部材を載置するための平面状の載置台と、前記載置台に載置された部材の上方から接着剤をシム板にて塗布幅を調整して塗布する塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを前記部材の上方で相対的に走行させる走行機構部と、前記載置台と前記塗布ヘッドの間に電圧を印加する電源装置とを備えたことを特徴とすることとしてもよい。

このようにすると、部材を搭載した載置台と塗布ヘッドとの間に電圧を印加するので、接着剤が途中で途切れることなく接着剤を連続して供給できる。したがって、塗布ヘッドと部材との間の距離が所定距離より大きくても均一に接着剤を塗布できる。また、従来の塗布装置の場合、部材に対して平行度を保たなければならないところ、前段落に記載の接着剤塗布装置によれば、塗布ヘッドと部材との間の平行度が多少ずれていても均一に接着剤を塗布できる。

本発明によれば、樹脂が部材に塗布される際に載置台と塗布ヘッドとの間に電圧を印加することができ、これによって樹脂の広がり性が向上し、塗布ヘッドと載置台との距離を比較的大きくしても部材に対して樹脂を適切に塗布することができる。

本発明の実施の形態に係る接着剤塗布装置の構成図である。 （Ａ）は塗布ヘッドの全体斜視図、（Ｂ）は塗布ヘッドの分解斜視図、（Ｃ）は塗布ヘッドの垂直断面図である。 本発明の実施の形態に係る接着剤塗布済部材の製法の手順を示すフローチャートである。 塗布ヘッドの出射口と載置台に載置された部材との距離と、電源装置が印加する適切な電圧値との関係の一例を説明する表を示す図である。 本発明の実施の形態の接着剤塗布装置での接着剤の塗布の説明図である。 （Ａ）は塗布ヘッドの傾き状況を示す正面図、（Ｂ）は本発明の実施の形態に係る接着剤塗布済部材の製法の手順の変形例の部分を抜粋したフローチャートである。 塗布ヘッドの出射口と載置台に載置された部材との距離と、電源装置が印加する適切な電圧値と、幅方向における塗布ヘッドの許容される傾き差との関係の一例を説明する表を示す図である。 異なる厚さで接着剤を塗布する際の、塗布ヘッドの出射口と載置台に載置された部材との距離と、電源装置が印加する適切な電圧値との関係の一例を説明する表を示す図である。 部材に塗布する接着剤の途切れの有無を、塗布ヘッドの出射口と載置台に載置された部材との距離と、電圧印加の有無との関係で示した表を示す図である。 従来の接着剤塗布装置での接着剤の塗布の説明図である。 接着剤の塗布後の被塗布部材の平面図である。 接着剤の塗布後の接着剤の厚さの説明図である。 塗布ヘッドと部材との間の平行度のずれの説明図である。 接着剤を均一に塗布できるか否かを、塗布ヘッドの出射口と載置台に載置された部材との距離と、塗布ヘッドの左右のばらつきの大きさとの関係で示した表を示す図である。

この出願は、日本国で２０１４年３月１４日に出願された特願２０１４−０５１９３５号に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は以下の詳細な説明によりさらに完全に理解できるであろう。本発明のさらなる応用範囲は、以下の詳細な説明により明らかとなろう。しかしながら、詳細な説明及び特定の実例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、本発明の精神と範囲内で、当業者にとって明らかであるからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において互いに同一又は相当する部材には同一あるいは類似の符号を付し、重複した説明は省略する。

図１は、本発明の実施の形態に係る樹脂塗布装置としての接着剤塗布装置１の構成図である。図１に示すように、接着剤塗布装置１は、被塗布部材（以下、単に部材という）１１を搭載する載置台１２と、部材１１に樹脂としての接着剤１３を塗布する塗布ヘッド１４と、載置台１２を走行させる走行機構部１５、塗布ヘッド１４に接着剤１３を供給する接着剤供給部１６、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加する電源装置１７とを備えている。

部材１１は、典型的には、接着剤１３を介して２つの部材が貼り合わせられるものの一方の部材である。典型的には、接着剤塗布装置１によって部材１１に接着剤１３が塗布された後の工程で、もう一方の部材が貼り合わせられる。一例として、部材１１を液晶ディスプレイ又は液晶モジュールとし、もう一方の部材を保護ガラスとすることが挙げられる。部材１１は、典型的には平板状を呈しており、接着剤１３が塗布される面が塗布面１１ｆとなっている。

載置台１２は、部材１１に接着剤１３が塗布される際に、部材１１が置かれる台である。載置台１２は、典型的には、平面視において部材１１を包含する大きさで、板状に形成されている。載置台１２は、部材１１が載置される面が載置面１２ｆとなっている。載置面１２ｆは、載置される部材１１に適合する形状になっており、本実施の形態では平面に形成されている。載置台１２は、典型的には、載置面１２ｆが上向きで水平になるように配設されている。載置台１２は、電極となりうる部材で形成されており、一般に金属で形成され、本実施の形態ではアルミニウムあるいはステンレス鋼で形成されている。また、載置台１２には、典型的にはアース線（不図示）が接続されている。

接着剤１３は、本実施の形態では、部材１１に塗布されるときは流動性を有する所定の粘度の液体状となっており、紫外線を照射して硬化させたときに粘着特性を発現する光学樹脂であり、樹脂の一形態である。接着剤１３は、硬化させたときに弾性を有する樹脂であってもよい。接着剤１３は、部材１１の用途に応じた適切な粘度を有するものが用いられる。接着剤１３は、一例として、３０００ｍＰａ・ｓの粘度を有するものを用いることができ、以下の説明では、特に断りがない限り、接着剤１３の粘度が３０００ｍＰａ・ｓであるとする。部材１１に塗布される接着剤１３は、接着剤供給部１６が有する接着剤タンク（不図示）内に貯留されている。接着剤供給部１６は、また、貯留されている接着剤１３を塗布ヘッド１４に向けて圧送する圧送機（不図示）を有している。圧送機として、ポンプを用いることができる。接着剤供給部１６が有する圧送機は、接着剤１３の吐出圧力を変えることで、接着剤１３の吐出流量を変えることができるように構成されている。なお、接着剤１３の吐出圧力は、ポンプに代えて気圧によって変化させる構成としてもよい。その場合の一例として、接着剤供給部１６に接着剤１３の貯留タンクを設け、その貯留タンクの内部気圧を調節することが挙げられる。あるいは、塗布ヘッド１４内に接着剤１３の貯留部を設け、その貯留部内の気圧を調節してもよい。気圧は典型的には空気圧であるが、窒素のような不活性ガスとしてもよい。気圧をかけるための気体は圧縮機を用いて供給してもよいし、高圧ボンベから調節弁を介して供給してもよい。接着剤供給部１６は、接着剤流路１６ｐを介して塗布ヘッド１４と接続されており、接着剤流路１６ｐを介して接着剤１３を塗布ヘッド１４に供給することができるように構成されている。

塗布ヘッド１４は、載置台１２に載置された部材１１に向けて、接着剤１３を吐出するものである。塗布ヘッド１４は、接着剤１３の塗布幅１３Ａを調整するためのシム板１８を有し、シム板１８の厚さで調整された塗布幅１３Ａで接着剤供給部１６から供給される接着剤１３を出射口１９から出射する。ここでいう塗布幅１３Ａとは、出射口１９から出射された接着剤１３の厚さを意味し、必ずしも部材１１に塗布された際の厚さではない。部材１１に塗布後の厚さは、載置台１２に対する塗布ヘッド１４の相対的な移動速度によっても変化する。前述のように、載置台１２は平面状に形成され部材１１を搭載する。載置台１２に搭載された部材１１の上方には、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１が所定の間隔（例えば、２００μｍ）を保って塗布ヘッド１４の出射口１９が位置するように、塗布ヘッド１４が配置される。

図２（Ａ）乃至図２（Ｃ）を参照して、塗布ヘッド１４の詳細を説明する。図２（Ａ）は塗布ヘッド１４の全体斜視図、図２（Ｂ）は塗布ヘッド１４の分解斜視図、図２（Ｃ）は塗布ヘッド１４の垂直断面図である。塗布ヘッド１４は、概ね細長い直方体状に形成されている。塗布ヘッド１４には、直方体状の一面に、当該面から突出するように出射口１９が形成されており、出射口１９は、直方体状の長手方向に沿って延びている。出射口１９は、接着剤１３を吐出する吐出口に相当する。出射口１９は、典型的には、接着剤１３が塗布される部材１１の幅以上に、直方体状の長手方向に沿って延びている。塗布ヘッド１４は、本実施の形態では、シム板１８を着脱可能とするために、出射口１９が分かれるような二分割で構成されている。塗布ヘッド１４は、本実施の形態では、出射口１９が延びる方向に沿って分割されることで、一方ヘッド１４ａと、他方ヘッド１４ｂとに分かれるように構成されている。一方ヘッド１４ａには、他方ヘッド１４ｂに対向する面である一方ヘッド合面１４ａｆに一方貯留溝１４ａｇが形成されている。一方貯留溝１４ａｇは、出射口１９が延びる方向に長く形成されている。他方ヘッド１４ｂには、一方ヘッド合面１４ａｆに対向する面に他方貯留溝１４ｂｇが形成されている。他方貯留溝１４ｂｇは、一方ヘッド１４ａと他方ヘッド１４ｂとが合わさったときに一方貯留溝１４ａｇと協働して１つの貯留溝１４ｇが形成されるように、他方ヘッド１４ｂに形成されている。他方ヘッド１４ｂには、出射口１９が形成される面とは反対側の面に、接着剤１３を導入する導入口１４ｈが形成されている。導入口１４ｈには、接着剤流路１６ｐ（図１参照）が接続される。他方ヘッド１４ｂの内部には、導入口１４ｈと他方貯留溝１４ｂｇとを連通（連絡）するガイド穴１４ｐが形成されている。

塗布ヘッド１４は、一方ヘッド１４ａと他方ヘッド１４ｂとの間にシム板１８が挟まれて構成されている。シム板１８は、一方ヘッド合面１４ａｆ（他方ヘッド１４ｂの一方ヘッド１４ａに合わさる面と同様）の大きさを基本形状とした板状部材に対して、切り込み１８ｃが入れられることにより形成されている。切り込み１８ｃは、シム板１８を一方ヘッド合面１４ａｆに合わせた状態で一方貯留溝１４ａｇが露出し、かつ、一方貯留溝１４ａｇと出射口１９との間の部分の一方ヘッド合面１４ａｆが現れるように形成されている。シム板１８は、出射口１９が延びる方向の両端において、切り込み１８ｃを挟むように出射口１９となる位置まで延びている。塗布ヘッド１４は、所定の厚さのシム板１８が挟まれることで、シム板１８の厚さ及び切り込み１８ｃの幅に応じた開口面積を有する出射口１９が形成されるように構成されている。このような構成により、シム板１８の厚さを変えることで、塗布幅１３Ａを変えることができ、ひいては接着剤１３の吐出流量を変えることができる。シム板１８は、吐出量調節装置の一形態である。塗布ヘッド１４は、電極となりうる部材で形成されており、一般に金属で形成され、本実施の形態ではステンレス鋼で形成されている。

再び図１に戻って、接着剤塗布装置１の構成の説明を続ける。走行機構部１５は、載置台１２を駆動して、塗布ヘッド１４を部材１１の上方で相対的に走行させるものであり、図１に示す本実施の形態では、載置台１２を駆動して塗布ヘッド１４を部材１１の上方で相対的に走行させる場合を示している。走行機構部１５は、支持レール１５ｓを介して載置台１２と接続されている。走行機構部１５は、支持レール１５ｓを移動させることができるモーター（不図示）を有しており、モーター（不図示）の作動により、支持レール１５ｓを介して、載置台１２を、塗布ヘッド１４に対して移動させることができるように構成されている。走行機構部１５は、塗布ヘッド１４が載置台１２に対して載置面１２ｆに沿う方向に相対的に移動するように、換言すれば本実施の形態では塗布ヘッド１４が載置台１２に対して水平に相対的に移動するように、載置台１２を移動させることができるように構成されている。このように、走行機構部１５は、移動装置として機能する。また、走行機構部１５は、塗布ヘッド１４が載置台１２に対して接近及び離間する方向に相対的に移動するように、換言すれば本実施の形態では塗布ヘッド１４が載置台１２に対して鉛直に相対的に移動するように、載置台１２を移動させることができるように構成されている。このように、走行機構部１５は、距離可変装置として機能する。つまり、本実施の形態では、走行機構部１５が、移動装置と距離可変装置とを兼ねている。

電源装置１７は、電線１７ｗによって載置台１２及び塗布ヘッド１４に接続されており、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加することができるように構成されている。電源装置１７は、本実施の形態では、接着剤１３の粘性あるいは抵抗値を考慮して、直流電圧を印加するように構成されている。電源装置１７は、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に印加する電圧値を変化させることができる電圧調節部１７ｃを有している。電源装置１７は、電圧調節部１７ｃによって、載置台１２と塗布ヘッド１４との間の電位差を調節することができるように構成されている。

接着剤塗布装置１は、さらに、ギャップ検知部としてのギャップ検知器３３と、制御装置５０とを備えている。ギャップ検知器３３は、塗布ヘッド１４に形成された出射口１９と、載置台１２に載置された部材１１との距離（間隔ｈ１）を検知する機器である。ギャップ検知器３３は、典型的にはレーザー変位計が用いられるが、超音波計測器等のギャップを計測することができる機器を用いてもよい。

制御装置５０は、接着剤塗布装置１の動作を司る機器である。制御装置５０は、電圧制御部５１と、動作制御部５２とを有している。電圧制御部５１は、ギャップ検知器３３と信号ケーブルで接続されており、ギャップ検知器３３が検知した間隔ｈ１を信号として受信することができるように構成されている。電圧制御部５１には、ギャップ検知器３３が検知した間隔ｈ１と、電源装置１７が印加する適切な電圧値との関係が記憶されている。また、電圧制御部５１は、電圧調節部１７ｃと信号ケーブルで接続されており、電源装置１７が印加すべき電圧値の情報を送信することができるように構成されている。電圧制御部５１は、第１の制御装置に相当する。動作制御部５２は、走行機構部１５と信号ケーブルで接続されており、載置台１２を水平及び鉛直に移動させることができると共に、水平及び鉛直への移動速度を調節することができるように構成されている。また、動作制御部５２は、接着剤供給部１６と信号ケーブルで接続されており、接着剤供給部１６から塗布ヘッド１４への接着剤１３の供給の有無の制御及び接着剤１３の供給流量の調節を行うことができるように構成されている。動作制御部５２は、第２の制御装置に相当する。なお、本実施の形態では、機能の観点から、便宜上、電圧制御部５１と動作制御部５２とをそれぞれ独立した構成として示しているが、物理的に区別されることなく制御装置５０内に渾然一体に設けられていてもよい。

次に図３を参照して、部材１１に接着剤１３を塗布する方法を説明する。なお、部材１１に接着剤１３を塗布することによって、接着剤塗布済部材が製造されるため、以下に説明する部材１１に接着剤１３を塗布する方法（接着剤塗布済部材の製法）は、樹脂塗布済部材の製造方法の一態様である。図３は、接着剤塗布済部材の製法の手順を示すフローチャートである。以下に説明する接着剤塗布済部材の製法は、典型的には、これまで説明した接着剤塗布装置１で行われるが、接着剤塗布装置１を用いること以外の手法で行われてもよい。以下の接着剤塗布済部材の製法の説明において、接着剤塗布装置１の構成に言及しているときは、適宜図１並びに図２（Ａ）乃至図２（Ｃ）を参照することとする。

接着剤塗布済部材の製造を開始したら、まず、部材１１を載置台１２に載置する（載置工程：Ｓ１）。典型的には、接着剤塗布装置１外のロボットハンド（不図示）が、部材１１の待機場所から部材１１を１つ掴んで載置台１２に搬送し、塗布面１１ｆを上に向けて部材１１を載置台１２の載置面１２ｆに載置する。このとき、塗布ヘッド１４は、載置台１２への部材１１の載置を阻害しない位置に退避している。載置台１２に部材１１を載置したら、塗布ヘッド１４を部材１１の上方に配置する（塗布ヘッド配置工程：Ｓ２）。本実施の形態では、動作制御部５２が走行機構部１５を作動させて載置台１２を移動させることにより、塗布ヘッド１４を載置台１２に対して相対的に移動させて、塗布ヘッド１４を部材１１の上方に配置することとしている。このとき、塗布ヘッド１４の出射口１９が、部材１１の塗布開始位置Ｙ１の鉛直上方に位置するように、塗布ヘッド１４を配置する。塗布開始位置Ｙ１は、部材１１に対して接着剤１３の塗布が開始される位置である。

塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）においては、部材１１に塗布する接着剤１３の厚さｈ２、塗布ヘッド１４から吐出する接着剤１３の圧力、部材１１に対する接着剤１３の塗工速度等を考慮して、あらかじめ決められた間隔ｈ１を目指した高さに塗布ヘッド１４を配置するようにする。間隔ｈ１は、例えば部材１１の塗布面１１ｆに凸部が存在する場合は塗工の際に塗布ヘッド１４が凸部に当たらないように設定するとよいが、一般に、間隔ｈ１が大きすぎると塗布ヘッド１４から吐出された接着剤１３が部材１１に接する前に途切れて均一な接着剤１３の塗布ができなくなるおそれが生じ得る。本発明者らは、部材１１に接着剤１３を塗布する際に電界を生じさせれば、接着剤１３が途切れずに部材１１に塗布することができる間隔ｈ１を大きくすることができることを見いだし、接着剤塗布装置１に電源装置１７を備えることとした。塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）においては、この点を考慮して、塗布ヘッド１４を配置する間隔ｈ１を決定し、当該間隔ｈ１で塗布ヘッド１４を塗布開始位置Ｙ１の上方に配置するとよい。しかし、実際には、この間隔ｈ１に関し、目標とする値と実際の値とが異なる場合がある。そこで、ギャップ検知器３３が、実際の間隔ｈ１を検知する（ギャップ検知工程：Ｓ３）。ギャップ検知器３３は、間隔ｈ１を検知したら、その結果を電圧制御部５１に送信する。電圧制御部５１は、ギャップ検知器３３が検知した間隔ｈ１を受信したら、あらかじめ記憶されている関係に照らし、その検知した間隔ｈ１に対して、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に印加する電圧の適切な値を決定し、決定した電圧値を電圧調節部１７ｃに送信して、電源装置１７の電圧を調節する（電圧調節工程：Ｓ４）。

図４に、電圧制御部５１に記憶されている、ギャップ検知器３３が検知した間隔ｈ１（塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との距離）と、電源装置１７が印加する適切な電圧値との関係の一例を表で示す。図４中、間隔ｈ１をｍｍで表し、電圧（ｋＶ）を基準値ｘとの比較で表し（基準値ｘのｎ倍を「ｎｘ」と表す）、○印が付いている部分が当該間隔ｈ１（ｍｍ）に対する適切な電圧値（ｋＶ）である。例えば、間隔ｈ１が０．１８ｍｍあるいは０．２ｍｍの場合、電圧を印加しない場合（０ｋＶ）に加え、電圧の基準値ｘ〜基準値ｘの５倍（５ｘ）までが適切な電圧値となる。もう１つ例示すると、間隔ｈ１が１．２ｍｍの場合、６ｘ〜１０ｘが適切な電圧値となる。本発明者らは、部材１１に接着剤１３を塗布する際に適切な電界を生じさせれば、塗布した接着剤１３中に気泡が生じず、接着剤１３の塗布切れがなく部材１１に適切に濡れ広がることを見いだした。図４に示す、ある間隔ｈ１に対して、電源装置１７が印加する電圧が適切な電圧値よりも小さい場合は、部材１１に塗布した接着剤１３中に気泡が存在するおそれがあり、また、部材１１に対する接着剤１３の広がりが不足するおそれがある。他方、ある間隔ｈ１に対して、電源装置１７が印加する電圧が適切な電圧値よりも大きい場合は、載置台１２と塗布ヘッド１４との間で放電するおそれがある。このような不都合が生じないようにする観点から、ある間隔ｈ１に対する適切な電圧値の範囲を決定している。なお、図４に示す関係は、電源装置１７が印加する電圧が直流、塗布ヘッド１４から接着剤１３を吐出する圧力が０．１５ＭＰａ（ゲージ圧）、部材１１に塗布される接着剤１３の厚さｈ２が１７０μｍ、塗工速度が１０ｍｍ／ｓの塗工条件下におけるものである。電圧制御部５１は、典型的には、塗工条件が異なる複数の（つまり、図４に例示する関係以外についても）、間隔ｈ１と適切な電圧値との関係が記憶されている。

再び図３を主に参照して、接着剤塗布済部材の製法の説明を続ける。電圧調節工程（Ｓ４）が行われたら、電圧制御部５１は、電源装置１７による載置台１２と塗布ヘッド１４との間への電圧の印加を開始する（Ｓ５）。これにより、電圧印加工程が始まる。次に、動作制御部５２は、塗布ヘッド１４からの接着剤１３の吐出を開始する（Ｓ６）。塗布ヘッド１４からの接着剤１３の吐出は、上述した所定の塗工条件下における圧力（本実施の形態では０．１５ＭＰａ）で行われる。接着剤１３の吐出を開始したら、電源装置１７が電圧を印加したまま、かつ、塗布ヘッド１４から接着剤１３を吐出しながら、動作制御部５２が走行機構部１５を作動させることにより、載置台１２を水平（載置面１２ｆに沿う方向）に移動させる（Ｓ７）。これにより、塗布ヘッド１４が、接着剤１３を吐出しながら載置台１２に載置された部材１１の塗布面１１ｆに対して相対的に移動することとなり、載置面１２ｆに接着剤１３が塗布される。電源装置１７が電圧を印加したまま、かつ、塗布ヘッド１４から接着剤１３を吐出しながら、載置台１２を移動させる工程が、樹脂塗布工程に相当する。また、樹脂塗布工程においては、電源装置１７による電圧の印加が行われているため、電圧印加工程も行われていることとなる。なお、図３では、説明の便宜上、電圧の印加開始（Ｓ５）、接着剤１３の吐出開始（Ｓ６）、載置台１２の移動（Ｓ７）の順で行われるように示しているが、典型的にはこれらは同時に行われる。塗布ヘッド１４から接着剤１３を吐出する際は、接着剤１３の厚さｈ２が所定の厚さ（本実施の形態では１７０μｍ）となるように、塗工速度（本実施の形態では１０ｍｍ／ｓ）を考慮して、接着剤１３の吐出流量を調節するとよい。接着剤１３の吐出流量の調節は、塗布ヘッド１４に設けられたシム板１８の厚さ及び／又はシム板１８の切り欠き１８ｃの幅、あるいは接着剤供給部１６から供給される接着剤１３の加圧力の変化によって行うことができ、これらが吐出量調節装置に相当する。これまで説明した、塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）から載置台１２を移動する工程（Ｓ７）までの概要は、以下のようになる。

接着剤１３の塗布の開始前には、走行機構部１５により、塗布ヘッド１４の出射口１９の位置をＹ１にセットする。そして、塗布ヘッド１４を部材１１の上方でＹ２方向に相対的に走行させつつ、塗布ヘッド１４の出射口１９から接着剤１３を出射する。シム板１８の厚さで調整された塗布幅１３Ａ、及び塗布ヘッド１４の塗工速度で接着剤の厚さｈ２が決まる。また、接着剤１３の厚さｈ２は、接着剤１３の粘度、及び塗布ヘッド１４から接着剤１３が吐出される圧力による影響も受け得る。塗布ヘッド１４から接着剤１３が吐出される圧力は、典型的には、接着剤供給部１６が有する圧送機（不図示）等から塗布ヘッド１４に送られる接着剤１３の圧送力によって決まる。

本発明の実施の形態では、接着剤の塗布の際には、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電源装置１７から電圧を印加する。載置台１２及び塗布ヘッド１４は金属で形成されているので、電源装置１７から載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧が印加されると電界が発生する。この電界により接着剤の濡れ性が良くなり広がり性が向上するので、接着剤が途中で途切れることなく接着剤を連続して供給できる。後述するように、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加することにより、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１は大きくなっても接着剤が途中で途切れない。

図５は、本発明の実施の形態の接着剤塗布装置での接着剤の塗布の説明図である。図５に示すように、接着剤１３の塗布は矢印で示す塗工方向Ｙに塗布ヘッド１４を部材１１の上方で相対的に走行させることにより行われる。接着剤の塗布長｜Ｘ１−Ｘ２｜で、部材１１の塗布面１１ｆの塗工方向ＹにＹ１からＹ２まで１回の走行で接着剤１３を塗布する。

この接着剤の塗布の際には、前述したように載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電源装置１７から電圧を印加するので、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１は大きくなっても接着剤が途中で途切れることなく接着剤を連続して供給できる。

再度図３を主に参照して、接着剤塗布済部材の製法の説明を続ける。載置台１２を移動する工程（Ｓ７）を行ったら、動作制御部５２は、塗工が完了したか否かを判断する（Ｓ８）。塗工が完了したか否かは、塗布ヘッド１４の出射口１９が、部材１１の塗布面１１ｆの塗布終了位置Ｙ２の鉛直上方に到達したか否かで判断する。塗工が完了したか否かを判断する工程（Ｓ８）において、塗工が完了していない場合は、載置台１２を移動する工程（Ｓ７）に戻り、載置台１２の移動を継続する。他方、塗工が完了した場合は、載置台１２の移動を停止する（Ｓ９）。次に、塗布ヘッド１４からの接着剤１３の吐出を停止する（Ｓ１０）。そして、電源装置１７による電圧の印加を停止する（Ｓ１１）。これで、接着剤塗布済部材が製造されたことになる。なお、図３では、説明の便宜上、載置台１２の移動停止（Ｓ９）、接着剤１３の吐出停止（Ｓ１０）、電圧の印加停止（Ｓ１１）の順で行われるように示しているが、典型的にはこれらは同時に行われる。また、電圧の印加を開始する工程（Ｓ５）から電圧の印加を停止する工程（Ｓ１１）の前まで（電圧の印加を開始する工程（Ｓ５）から接着剤１３の吐出を停止する工程（Ｓ１０）まで）が、電圧印加工程に相当する。

接着剤塗布済部材が製造されたら、塗布ヘッド１４を部材１１（載置台１２）の上方から退避させる（Ｓ１２）。本実施の形態では、動作制御部５２が走行機構部１５を作動させて載置台１２を移動させることにより、塗布ヘッド１４を載置台１２に対して相対的に移動させて、塗布ヘッド１４を部材１１の上方から退避させることとしている。塗布ヘッド１４を退避させたら、接着剤塗布済部材を接着剤塗布装置１から搬出する（Ｓ１３）。典型的には、接着剤塗布装置１外のロボットハンド（不図示）が、載置台１２に載置されている接着剤塗布済部材を掴んで、接着剤塗布装置１の外に搬出する。接着剤塗布装置１から搬出された接着剤塗布済部材は、典型的には、次工程（例えば、接着剤塗布済部材に別の部材を貼り合わせる工程）が行われる場所に運ばれる。なお、この次工程は接着剤塗布済部材を他の場所に運ぶことなく、載置台１２の上で行うこととしてもよい。

以上で説明したように、本実施の形態に係る接着剤塗布装置１及び接着剤塗布済部材の製法によれば、部材１１に接着剤１３を塗布する際に、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に適切な値の電圧を印加するので、接着剤１３の広がり性が向上し、塗布ヘッド１４の出射口１９と載置台１２に載置された部材１１の塗布面１１ｆとの間隔ｈ１を比較的大きくしても、塗布面１１ｆに接着剤１３を適切に塗布することができる。間隔ｈ１を大きくすることで、塗布面１１ｆに凸部が存在する場合でも、塗布面１１ｆに接着剤１３を適切に塗布することができる。また、間隔ｈ１を大きくできることで、塗布開始位置Ｙ１の上方に配置された塗布ヘッド１４の、塗布面１１ｆに対する平行度のずれの許容範囲を大きくすることができる。以下に、この平行度のずれについて説明する。

図６（Ａ）の正面図に示すように、載置台１２に載置された部材１１の上方に塗布ヘッドを配置したときに、出射口１９の全体が塗布面１１ｆに対して平行にならず、塗布ヘッド１４の端Ｘ１側の間隔ｈ１＋αが、端Ｘ２側の間隔ｈ１−αよりも大きくなる場合がある（塗布ヘッド１４の傾き）。塗布ヘッド１４の傾きは、塗布ヘッド１４の出射口１９が延びる方向の複数箇所において間隔ｈ１を検知することができるようにギャップ検知器３３を複数設置することで、検知することができる。塗布ヘッド１４の傾きを検知する場合、図６（Ｂ）の抜粋したフローチャートに示すように、図３に示すフローチャート中のギャップ検知工程（Ｓ３）と電圧調節工程（Ｓ４）との間で、塗布ヘッド１４の傾きを検知する工程（傾き検知工程：Ｓ３Ａ）を行うようにするとよい。この場合、典型的には、ギャップ検知工程（Ｓ３）と傾き検知工程（Ｓ３Ａ）とが同時に行われる。電源装置１７による電圧の印加が行われない従来のように、塗布ヘッド１４と部材１１との間隔ｈ１を大きくすることができない場合は、塗布ヘッド１４が部材１１に当たらないように、塗布ヘッド１４の平行度を高い精度で調節する必要がある。しかし、本実施の形態に係る接着剤塗布装置１のように、間隔ｈ１を比較的大きくできる場合は、塗布ヘッド１４の平行度が許容できる範囲にあれば足りる。なお、傾き差αは、正面視（図６（Ａ）参照）において、塗布ヘッド１４の幅方向（出射口１９が延びる方向）の中点を通り部材１１の塗布面１１ｆに平行な仮想直線Ｌと、塗布ヘッド１４の端部における出射口１９との垂直距離をいうこととする。したがって、幅方向における塗布ヘッド１４の高さの差は、±α（＝２α）となる。

図７に、間隔ｈ１と、電源装置１７が印加する電圧値と、許容される傾き差αとの関係の一例を表で示す。図７中、間隔ｈ１をｍｍで表し、電圧（ｋＶ）を基準値ｘとの比較で表し（基準値ｘのｎ倍を「ｎｘ」と表す）、傾き差αをμｍで表し、○印が付いている部分が当該間隔ｈ１（ｍｍ）及び電圧値（ｋＶ）の際に許容できる傾き差αである。例えば、間隔ｈ１が０．２ｍｍで電圧値が２ｘｋＶの場合、±５０μｍの傾き差まで許容できる。もう１つ例示すると、間隔ｈ１が０．５ｍｍで電圧値が３ｘｋＶの場合、±３００μｍの傾き差まで許容できる。○印が付いていない部分は、部材１１に塗布した接着剤１３中に気泡が存在するおそれ、部材１１に対する接着剤１３の広がりが不足するおそれ、あるいは載置台１２と塗布ヘッド１４との間で放電するおそれがある。図７に示す関係は、塗工条件が、図４に示す関係の場合と同じである。なお、実用的には、図６（Ｂ）に示すように、ギャップ検知工程（Ｓ３）と傾き検知工程（Ｓ３Ａ）を行って電圧調節工程（Ｓ４）を行うので、図７の関係に照らして、ギャップ検知器３３で検知した間隔ｈ１及び傾き差αに基づいて、適切な電圧値を決定することになる。例えば、ギャップ検知器３３で検知した間隔ｈ１が０．２ｍｍ、傾き差αが±１００μｍであった場合、電圧制御部５１は、電源装置１７が印加する電圧が３ｘｋＶ乃至４ｘｋＶとなるように電圧調節部１７ｃに信号を送信することとなる。図７に示す関係は、典型的には電圧制御部５１にあらかじめ記憶されている。

次に、部材１１に塗布する接着剤１３の厚さｈ２（部材１１に塗布された接着剤１３が形成する塗膜の厚さであり、略して「膜厚」という場合もある。）について言及する。近年の、製品に対する小型化の要請を背景に、部材１１に塗布する接着剤１３の厚さｈ２を薄くしたいという要請がある。電源装置１７による電圧の印加が行われない従来の場合、接着剤の粘度が例えば３０００ｍＰａ・ｓと比較的高い場合は、適切に塗布することができる接着剤１３の厚さｈ２を５０μｍ程度まで薄くすることができなかったが、本発明者らは、部材１１に接着剤１３を塗布する際に適切な電界を生じさせれば、比較的高い粘度の接着剤１３でも厚さｈ２が５０μｍ程度で適切に塗布することができることを見いだした。

図８に、異なる厚さｈ２で接着剤１３を塗布する際の、間隔ｈ１と電源装置１７が印加する適切な電圧値との関係の一例を表で示す。図８に示す例では、厚さｈ２が１８０μｍの場合と５０μｍの場合とを例示し、図８中、間隔ｈ１をｍｍで表し、電圧（ｋＶ）を基準値ｘとの比較で表し（基準値ｘのｎ倍を「ｎｘ」と表す）、○印が付いている部分が当該間隔ｈ１（ｍｍ）に対する適切な電圧値（ｋＶ）である。厚さｈ２を１８０μｍとする場合、電源装置１７によって適切な値の電圧を印加することにより、比較的広範囲の条件で、部材１１に対して接着剤１３を適切に塗布することができる。他方、適用条件は少ないが、接着剤１３を塗布する厚さｈ２を５０μｍとすることも可能である。厚さｈ２を５０μｍとする場合、間隔ｈ１を０．５ｍｍとした場合は５ｘｋＶの電圧を印加し、間隔ｈ１を１．０ｍｍとした場合は７ｘｋＶ乃至８ｘｋＶの電圧を印加することで、接着剤１３を適切に塗布することができる。なお、図８に示す関係は、電源装置１７が印加する電圧が直流であって、厚さｈ２を１８０μｍとする場合は、塗布ヘッド１４から接着剤１３を吐出する圧力が０．１５ＭＰａ（ゲージ圧）、塗工速度が１０ｍｍ／ｓの塗工条件下におけるものであり、厚さｈ２を５０μｍとする場合は、塗布ヘッド１４から接着剤１３を吐出する圧力が０．１４ＭＰａ（ゲージ圧）、塗工速度が３０ｍｍ／ｓの塗工条件下におけるものである。塗工速度が速いほど、部材１１に対する接着剤１３の塗布に要する時間が短くなり、生産性が向上する。厚さｈ２を５０μｍとする場合は、塗布した接着剤１３の薄膜化の要請に応えることができると共に、生産性を向上させることができるという利点がある。

部材１１に塗布する接着剤１３の厚さｈ２を薄くする場合、上述のような塗工条件にすると共に、前述した接着剤１３の粘度やシム板１８の厚さも適切に設定することとなる。したがって、図示は省略するが、部材１１に塗布される接着剤１３の厚さｈ２を設定する厚さ設定工程と、当該厚さ設定工程において設定した厚さに応じて間隔ｈ１及び電源装置１７により印加する電圧値を決定する条件決定工程とを、図３に示すフローチャート中の塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）前の適時に行うこととなる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、これまでの説明とは別の条件おける、電圧の印加と間隔ｈ１との関係や、接着剤１３の塗布の適切性、塗布ヘッド１４の平行度のずれについて補足する。以下の説明には、検証結果も一部含まれている。

通常、接着剤の厚さｈ２が１５０μｍである場合、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔（Ｇａｐ）ｈ１は、接着剤が途中で途切れることを避けるために所定の距離（例えば２００μｍ）を保っているが、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加することにより、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１は１５００μｍであっても接着剤が途中で途切れないことを確認した。その確認結果を図９に示す。

図９に示す表では、接着剤の厚さｈ２は１５０μｍ、接着剤の粘度は３０００ｍＰａ・ｓ、塗工速度は１０ｍｍ／ｓｅｃの場合を示しており、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１は、従来の２００μｍから７．５倍の１５００μｍであっても接着剤が途中で途切れることなく塗工ができることを確認した。これにより、部材１１の表面に凸部がある場合であっても、塗布ヘッド１４が凸部に当たらないで塗布できる。

図１０は、従来の接着剤塗布装置での接着剤の塗布の説明図であり、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１が従来の２００μｍである場合、部材１１に２００μｍ以上の凸部２１があったとすると、塗布ヘッド１４の出射口１９が凸部２１に当接してしまい、塗布ヘッド１４の走行ができなくなる。したがって、接着剤の塗布ができなくなる。これに対し、本発明の実施の形態では、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１が従来の２００μｍから７．５倍の１５００μｍであっても接着剤が途中で途切れることなく塗工ができるので、部材１１に２００μｍ以上の凸部２１があったとしても接着剤の塗布ができる。実際には、部材１１に２００μｍ以上の凸部２１があることは極端な場合であるが、本発明の実施の形態では、部材１１の凸部２１を考慮しなくても容易に塗工ができる。

図１１は、接着剤の塗布後の被塗布部材の平面図であり、図１１（Ａ）は本発明の実施の形態の接着剤塗布装置で接着剤を塗布した後の被塗布部材の平面図、図１１（Ｂ）は電圧印加しない従来の接着剤塗布装置で接着剤を塗布した後の被塗布部材の平面図である。図１１では、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１を所定の距離（例えば２００μｍ）より大きい２２０μｍとし、接着剤の粘度は３０００ｍＰａ・ｓ、塗工速度は１０ｍｍ／ｓｅｃの場合を示している。

図１１（Ａ）に示すように、本発明の実施の形態の場合には、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加するので、部材１１のエンド（両端部、換言すれば、相対移動する塗布ヘッド１４の出射口１９から吐出された接着剤１３の、部材１１に塗布されたときの幅の両側の外縁。以下同じ。）の接着剤は直線性を保っているが、電圧を印加しない従来の場合には、図１１（Ｂ）に示すように、部材１１のエンド（両端部）Ｖ１、Ｖ２の接着剤は波状になり直線性を保つことができなくなっている。このことから、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加することにより、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１が従来の所定の距離（例えば２００μｍ）より大きくなっても、部材１１のエンド（両端部）の接着剤は直線性を保てることが分かる。

図１２は接着剤の塗布後の接着剤の厚さｈ２の説明図であり、図１２（Ａ）は図１１（Ａ）のＵ１−Ｕ１線で断面した場合の接着剤の厚さｈ２、図１２（Ｂ）は図１１（Ｂ）のＵ２−Ｕ２線で断面した場合の接着剤の厚さｈ２の説明図である。

図１２（Ａ）に示すように、本発明の実施の形態の場合には、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加するので、部材１１の両サイド（塗布開始位置Ｙ１付近及び塗布終了位置Ｙ２付近）で接着剤（膜厚）の盛り上がりがあるものの接着剤の膜厚プロファイルは平らで滑らかになっているが、電圧を印加しない従来の場合には、図１２（Ｂ）に示すように、接着剤の膜厚プロファイルは凹凸があり平らで滑らかになっていない。このことから、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加することにより、接着剤の膜厚プロファイルは平らで滑らかにできることが分かる。

なお、図１２（Ａ）に示すように、本発明の実施の形態の場合において、部材１１の両サイド（塗布開始位置Ｙ１付近及び塗布終了位置Ｙ２付近）の接着剤（膜厚）の盛り上がりは、厚さｈ２に対して、塗布終了位置Ｙ２付近では微少であるのに対し、塗布開始位置Ｙ１付近では比較的大きくなっている。そこで、接着剤１３の盛り上がりが比較的大きくなる塗布開始位置Ｙ１付近において平滑化を図るために、以下のようにするとよい。動作制御部５２は、図３に示す塗布ヘッド配置工程（Ｓ２）において、接着剤１３の塗布開始時の盛り上がり量を見越して、盛り上がりに相当する分だけ間隔ｈ１が小さくなるように、塗布開始位置Ｙ１の上方に塗布ヘッドを配置する。その後、塗布ヘッド１４を載置台１２に対して相対的に移動させる（図３に示す載置台移動工程（Ｓ７））際に、走行機構部１５によって作動させる載置台１２を、接着剤１３の盛り上がりが生じる部分に合わせて、水平方向に移動させながら垂直方向にも移動させる。つまり、図１２（Ａ）で見て、接着剤１３の吐出開始時から、接着剤１３の盛り上がりがなくなる位置まで、接着剤１３の盛り上がりに合わせて間隔ｈ１を広げていくように、塗布ヘッド１４を載置台１２に対して相対的に移動させるようにする。このとき、変化する間隔ｈ１に応じて、電圧制御部５１は、電源装置１７が印加する電圧値を調節することとなる。このように、部材１１への接着剤１３の塗布開始時に、間隔ｈ１が広がるように走行機構部１５を制御することで、塗布ヘッド１４と載置台１２との間に電圧を印加しながら接着剤１３を塗布したときの、塗布開始時に生じ得る接着剤１３の盛り上がりを抑制することができ、部材１１に塗布した接着剤１３の厚さｈ２の平滑化を図ることができる。

次に、図１３は塗布ヘッド１４と部材１１との間の平行度のずれの説明図である。図１３に示すように、塗布ヘッド１４は部材１１に対して、部材１１の中心位置Ｏからのずれ距離Δｈ１を所定範囲内に保ち平行度を保つように調整している。現状では、ずれ距離Δｈ１を所定範囲（±１０μｍ）に保つようにしているが、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に電圧を印加することにより、ずれ距離Δｈ１は大きくても均一に接着剤を塗布できることを確認した。その確認結果を図１４に示す。

図１４に示す表では、接着剤の厚さｈ２は１５０μｍ、接着剤の粘度は３０００ｍＰａ・ｓ、塗工速度は１０ｍｍ／ｓｅｃの場合を示しており、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１は、５００μｍ〜１５００μｍの場合を示している。図１４から分かるように、塗布ヘッド１４の出射口１９と部材１１との間隔ｈ１が７００μｍ〜１０００μｍの場合には、塗布ヘッドの左右ばらつき（ずれ距離Δｈ１×２）は、現状の塗布ヘッドの左右ばらつき（１０μｍ×２＝２０μｍ）の１２．５倍の２５０μｍとなっており、塗布ヘッド１４と部材１１との間の平行度が多少ずれていても均一に接着剤を塗布できることを確認した。これにより、塗布ヘッドを部材１１に対して平行度を保つための塗布ヘッド１４の精密な位置調整は不要となり作業性が向上する。

以上の説明では、部材１１に塗布する樹脂が接着剤１３であるとしたが、接着剤１３ではない樹脂（例えば緩衝材として機能する液状樹脂）であってもよい。

以上の説明では、移動装置及び距離可変装置が、塗布ヘッド１４に対して載置台１２を移動させる走行機構部１５で構成されていることとしたが、載置台１２に対して塗布ヘッド１４を移動させる構成であってもよく、載置台１２及び塗布ヘッド１４を相互に移動させる構成であってもよい。また、走行機構部１５が移動装置及び距離可変装置を兼ねていることとしたが、移動装置と距離可変装置が別体で構成されていてもよい。この場合、移動装置が載置台１２を移動させて距離可変装置が塗布ヘッド１４を移動させる構成としてもよく、移動装置が塗布ヘッド１４を移動させて距離可変装置が載置台１２を移動させる構成としてもよく、移動装置及び距離可変装置が共に載置台１２及び塗布ヘッド１４を相互に移動させる構成であってもよい。

以上の説明では、電源装置１７が、載置台１２と塗布ヘッド１４との間に直流電圧を印加するように構成されていることとしたが、接着剤１３の粘性あるいは抵抗率が高くない場合は、交流電圧を印加するように構成されているとよい。

以上の説明では、図３に示すギャップ検知工程（Ｓ３）において、載置台１２に載置された部材１１と、その上方に配置された塗布ヘッド１４の出射口１９との間隔ｈ１を、ギャップ検知器３３によって自動で検知することとしたが、手動で行うこととしてもよい。間隔ｈ１の検知を手動で行う例として、載置台１２及び／又は塗布ヘッド１４はダイヤルを回すことで移動し、かつ、そのダイヤルは載置台１２及び／又は塗布ヘッド１４の移動距離と旋回角とが決められている構成とし、ダイヤルを所定の角度旋回させることで、間隔ｈ１を決定することが挙げられる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、この実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

本明細書中で引用する刊行物、特許出願及び特許を含むすべての文献を、各文献を個々に具体的に示し、参照して組み込むのと、また、その内容のすべてをここで述べるのと同じ限度で、ここで参照して組み込む。

本発明の説明に関連して（特に以下の請求項に関連して）用いられる名詞及び同様な指示語の使用は、本明細書中で特に指摘したり、明らかに文脈と矛盾したりしない限り、単数及び複数の両方に及ぶものと解釈される。語句「備える」、「有する」、「含む」及び「包含する」は、特に断りのない限り、オープンエンドターム（すなわち「〜を含むが限らない」という意味）として解釈される。本明細書中の数値範囲の具陳は、本明細書中で特に指摘しない限り、単にその範囲内に該当する各値を個々に言及するための略記法としての役割を果たすことだけを意図しており、各値は、本明細書中で個々に列挙されたかのように、明細書に組み込まれる。本明細書中で説明されるすべての方法は、本明細書中で特に指摘したり、明らかに文脈と矛盾したりしない限り、あらゆる適切な順番で行うことができる。本明細書中で使用するあらゆる例又は例示的な言い回し（例えば「など」）は、特に主張しない限り、単に本発明をよりよく説明することだけを意図し、本発明の範囲に対する制限を設けるものではない。明細書中のいかなる言い回しも、請求項に記載されていない要素を、本発明の実施に不可欠であるものとして示すものとは解釈されないものとする。

本明細書中では、本発明を実施するため本発明者が知っている最良の形態を含め、本発明の好ましい実施の形態について説明している。当業者にとっては、上記説明を読めば、これらの好ましい実施の形態の変形が明らかとなろう。本発明者は、熟練者が適宜このような変形を適用することを期待しており、本明細書中で具体的に説明される以外の方法で本発明が実施されることを予定している。したがって本発明は、準拠法で許されているように、本明細書に添付された請求項に記載の内容の修正及び均等物をすべて含む。さらに、本明細書中で特に指摘したり、明らかに文脈と矛盾したりしない限り、すべての変形における上記要素のいずれの組合せも本発明に包含される。

１ 接着剤塗布装置
１１ 部材
１２ 載置台
１２ｆ 載置面
１３ 接着剤
１４ 塗布ヘッド
１５ 走行機構部
１６ 接着剤供給部
１７ 電源装置
１７ｃ 電圧調節部
１８ シム板
１９ 出射口
３３ ギャップ検知器
５０ 制御装置
５１ 電圧制御部
５２ 動作制御部

Claims (5)

1. 樹脂が塗布される部材が載置される載置面を有する載置台と；
   前記載置台に載置された前記部材に対して前記樹脂を吐出する塗布ヘッドと；
   前記塗布ヘッドを、前記載置面に沿う方向に、前記載置台に対して相対的に移動させる移動装置と；
   前記載置台と前記塗布ヘッドとの間に電圧を印加する電源装置と；
   前記塗布ヘッドに形成された前記樹脂の吐出口と、前記載置台に載置された前記部材との距離を検知するギャップ検知部と；
   前記電源装置によって前記載置台と前記塗布ヘッドとの間に印加される電圧の値を調節する電圧調節部と；
   前記ギャップ検知部で検知された距離に応じて前記電圧調節部で調節される電圧値を設定する第１の制御装置とを備える；
   樹脂塗布装置。
2. 前記塗布ヘッドから吐出される前記樹脂の吐出量を調節する吐出量調節装置を備える；
   請求項１に記載の樹脂塗布装置。
3. 前記塗布ヘッドを、前記載置台に対して、接近及び離間できるように相対的に移動させる距離可変装置と；
   前記載置面に載置された前記部材に対する前記塗布ヘッドからの前記樹脂の吐出開始時における前記塗布ヘッドと前記載置台との距離を、前記樹脂の吐出開始後における前記塗布ヘッドと前記載置台との距離よりも小さくするように前記距離可変装置を制御する第２の制御装置とを備える；
   請求項１又は請求項２に記載の樹脂塗布装置。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の樹脂塗布装置によって樹脂塗布済部材を製造する方法であって；
   樹脂が塗布される部材を、前記載置面に載置する載置工程と；
   前記塗布ヘッドを、前記載置台に載置された前記部材の上方に配置する塗布ヘッド配置工程と；
   前記電源装置で前記載置台と前記塗布ヘッドとの間に電圧を印加する電圧印加工程と；
   前記載置台と前記塗布ヘッドとの間に電圧を印加したまま、かつ、前記塗布ヘッドから前記樹脂を吐出しながら、前記移動装置を作動させることで前記部材に前記樹脂を塗布する樹脂塗布工程と；
   前記ギャップ検知部で前記吐出口と前記載置台に載置された前記部材との距離を検知するギャップ検知工程と；
   前記ギャップ検知工程で検知された距離に応じて、前記電圧印加工程で印加される電圧値を調節する電圧調節工程とを備える；
   樹脂塗布済部材の製造方法。
5. 樹脂が塗布される部材を、載置台に形成された載置面に載置する載置工程と；
   前記部材に対して前記樹脂を吐出する塗布ヘッドを、前記載置台に載置された前記部材の上方に配置する塗布ヘッド配置工程と；
   前記載置台と前記塗布ヘッドとの間に電圧を印加する電圧印加工程と；
   前記載置台と前記塗布ヘッドとの間に電圧を印加したまま、かつ、前記塗布ヘッドから前記樹脂を吐出しながら、前記塗布ヘッドを前記載置面に沿う方向に前記載置台に対して相対的に移動させることで前記部材に前記樹脂を塗布する樹脂塗布工程と；
   前記塗布ヘッドに形成された前記樹脂の吐出口と、前記載置台に載置された前記部材との距離を検知するギャップ検知工程と；
   前記ギャップ検知工程で検知された距離に応じて、前記電圧印加工程で印加される電圧値を調節する電圧調節工程とを備える；
   樹脂塗布済部材の製造方法。

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