JP5844005B2 - 高周波回路装置 - Google Patents

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Description

本発明は、マイクロ波帯およびミリ波帯で用いられる高周波信号(3GHz〜300GHz)を、導波管を用いて送受信する高周波回路装置に関する。
マイクロ波帯およびミリ波帯において、低損失な伝送線路である導波管は、送受信アンテナとの間の入出力インターフェースとして広く用いられている。例えば、準ミリ波帯以上の移動無線端末や映像伝送等に用いられる高周波回路装置の低損失化と広帯域化と小型化とを実現する構造に関する技術が、下記の特許文献1に開示されている。
特許文献1に開示されている技術は、接地用の金属筐体の中に、高周波回路を形成する半導体と誘電体基板と金属電極と接地用金属電極の伝送線路を設け、金属筐体に設けた導波管と同一寸法の角穴から導波管に高周波信号を取り出すものである。
特開2007-006198号公報
上記特許文献1における半導体と誘電体基板等は、大量生産が可能な高周波モジュールとして、セラミック材料をパッケージ母材に使用したセラミックパッケージ等に封入することができる。このようなセラミックパッケージ等で形成した高周波モジュールの入出力インターフェースに導波管を用いる場合、従来、図6及び図7に示すような、高周波モジュールを導波管接続用の金属部材にネジ締結する構造が採用されていた。
従来の高周波モジュールを導波管接続用の金属部材にネジ締結した構造を有する高周波回路装置について、図6及び図7を参照して説明する。
図6は、従来の高周波回路装置の構成例を示す図であり、また、図7(a)は、図6の高周波回路装置の外観を示す平面図であり、(b)は、(a)に示すA−A面で切断した場合の断面図である。
図6において、10は送信回路機能および受信回路機能を有する高周波モジュールであり、また、20は金属部材であり、本例では金属製のシャーシである。つまり、本例の高周波回路装置100は、高周波モジュール10と、シャーシ20とから構成されている。シャーシ20には、例えば、送受信アンテナとの間の入出力インターフェースとしての導波管(図示せず)が取り付けられ接続される。高周波モジュール10は、図6に示すように、ネジ50でシャーシ20に締結する構造となっている。
図6及び図7に示すように、高周波モジュール10において、11は、高周波モジュール10内部に実装され、図示しないMMIC(モノリシックマイクロ波集積回路)チップと図示しない導波管との間で高周波信号を受け渡す送受信部である誘電体基板である。12は、MMICチップや誘電体基板11等を、その内部に収容する合金製の金属筐体である。また、13は、MMICチップや誘電体基板11等の各種部品を実装した金属筐体12を封止するための金属蓋体であり、材質は金属筐体12と同じである。
また、金属筐体12には、4箇所のネジ止め穴部12bを有するフランジ部12aが設けられている。また、金属筐体12内部の誘電体基板11が実装(接合固定)された底面には、導波管部として機能する矩形の貫通穴12cが設けられており、この貫通穴12cから外部に高周波信号を取り出す。
また、シャーシ20において、20aは、高周波モジュール10をシャーシ20にネジ締結するためのネジ穴であり、上述した金属筐体12の4箇所のネジ止め穴部12bと合致する位置に設けられている。また、20bは、前記金属筐体12の貫通穴12cと接続される貫通穴であり、高周波モジュール10と図示しない導波管との間で送受される高周波信号を通過させるものである。貫通穴20bの形状及び大きさは、貫通穴12cの形状及び大きさと同じ又は略同じである。
つまり、金属筐体12の貫通穴12cがシャーシ20の貫通穴20bに一致するように、高周波モジュール10がシャーシ20にネジ締結されることにより、貫通穴12cと貫通穴20bは、導波管として機能することになる。
ここで、高周波モジュール10がシャーシ20にネジ締結された状態で高周波回路装置100全体の温度がΔt度上昇した場合を考察する。
シャーシ20に温度上昇Δt分の熱が加わり熱膨張が生じると、図4に示すシャーシ20のネジ穴部20aの熱膨張前のピッチL0は、熱膨張後にL1=(α1×L0×Δt)+L0(α1は、シャーシ20の線膨張係数)となり、α1×L0×Δtの伸びが生じる。
また、高周波モジュール10の金属筐体12に温度上昇Δt分の熱が加わり熱膨張が生じると、図4に示す金属筐体12のネジ止め穴部12bの熱膨張前のピッチL0は、熱膨張後にL2=(α2×L0×Δt)+L0(α2は、金属筐体12の線膨張係数)となり、α2×L0×Δtの伸びが生じる。
例えば、シャーシ20の材質がアルミニウム(線膨張係数α1=2.3×10−5−1)で、高周波モジュール10の金属筐体12の材質がコバール(線膨張係数α2=5.2×10−6−1)であるとすると、熱膨張後のシャーシ20のネジ穴部20aのピッチL1と熱膨張後の金属筐体12のネジ止め穴部12bのピッチL2の伸びに違いが生じる。
つまり、線膨張係数α1,α2は材料固有の係数であり、高周波モジュール10の金属筐体12の線膨張係数α2とシャーシ20の線膨張係数α1の差は約4.4倍ある為、熱膨張後のシャーシ20のピッチL1が熱膨張後の高周波モジュール10の金属筐体12のピッチL2よりも約4.4倍伸びることになる。
しかし、熱膨張前に、シャーシ20に高周波モジュール10の金属筐体12をネジ締結している為、熱膨張後のシャーシ20と高周波モジュール10の金属筐体12との間で、ΔL=L1−L2分伸びきれず、高周波モジュール10の金属筐体12にストレスが加わる。
金属筐体12内部には、上述したように、誘電体基板11が接着固定されている為、シャーシ20と金属筐体12に熱膨張が生じることで、誘電体基板11は、金属筐体12の熱膨張に追従する形となり、熱膨張により金属筐体12にかかるストレスによって、誘電体基板11に応力集中が生じる。
なお、上述したように、金属筐体12の貫通穴12cとシャーシ20の貫通穴20bとが重なるように高周波モジュール10とシャーシ20とを固定しなければならないため、金属筐体12のネジ止め穴部12bの径とシャーシ20のネジ穴部20aの径をほぼ同一にする必要がある。
つまり、高周波モジュール10とシャーシ20とがネジ締結されていると、ネジ止め穴部12bの径とシャーシ20のネジ穴部20aの径との間に遊びがないため、シャーシ20と金属筐体12に熱膨張が生じることで、熱膨張によるΔL=L1−L2分の伸び量の違いが直接金属筐体12にストレスとして掛かってしまい、誘電体基板11に益々応力集中が発生することでクラックが生じ、パワーが落ちて無線性能に重大な影響を及ぼすという問題があった。
本発明は、この様な問題を解決するためになされたもので、高周波モジュールの金属筐体とシャーシの線膨張係数の違いによって起こる温度上昇時の誘電体基板への応力集中の発生を回避することが可能な高周波回路装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明に係る高周波回路装置は、高周波モジュールと、当該高周波モジュールを取り付ける導波管接続用の金属部材とで構成される高周波回路装置であって、前記高周波モジュールは、導波管との間で高周波信号を受け渡すための送受信部である誘電体基板と、前記誘電体基板が実装された内部底面に第1の貫通穴を有し、ネジ止め穴部を有する複数のフランジ部が形成された金属筐体と、前記金属筐体を封止する金属蓋体と、を含んで構成され、前記導波管接続用の金属部材は、前記高周波モジュールの前記フランジ部をネジ締結するためのネジ穴と、前記金属筐体の前記第1の貫通穴と接続するために、前記第1の貫通穴と略同じ形状及び大きさで形成された第2の貫通穴と、前記ネジ穴の周囲に設けた第1の溝と、を含んで構成され、前記第1の貫通穴が前記第2の貫通穴に一致するように、前記高周波モジュールを前記金属部材にネジ締結することにより、前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴が導波管として機能する一方、前記第1の溝により、温度上昇時の前記金属筐体の熱膨張による前記誘電体基板への応力集中が軽減されることを特徴とする。
上記目的を達成するための本発明に係る高周波回路装置は、上記した高周波回路装置において、前記第1の溝は、前記ネジ穴の周囲を180度以上囲むように設けた溝であることを特徴とする。
上記目的を達成するための本発明に係る高周波回路装置は、上記した高周波回路装置において、前記導波管接続用の金属部材は、前記高周波モジュールの長手方向の外周に沿うように第2の溝を設けることにより、温度上昇時の前記金属筐体の熱膨張による前記誘電体基板への応力集中が軽減されることを特徴とする。
上記目的を達成するための本発明に係る高周波回路装置は、高周波モジュールと、当該高周波モジュールが実装される導波管接続用の金属部材とで構成される高周波回路装置であって、前記高周波モジュールは、導波管との間で高周波信号を受け渡すための送受信部である誘電体基板と、前記誘電体基板が実装された内部底面に第1の貫通穴を有し、ネジ止め穴部を有する複数のフランジ部が形成された金属筐体と、前記金属筐体を封止する金属蓋体と、を含んで構成され、前記導波管接続用の金属部材は、前記高周波モジュールの前記フランジ部をネジ締結するためのネジ穴と、前記金属筐体の前記第1の貫通穴と接続するために、前記第1の貫通穴と略同じ形状及び大きさで形成された第2の貫通穴と、前記金属筐体の長手方向に対して直交するよう真ん中付近に設けた第3の溝と、を含んで構成され、前記第1の貫通穴が前記第2の貫通穴に一致するように、前記高周波モジュールを前記金属部材にネジ締結することにより、前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴が導波管として機能する一方、前記第3の溝により、温度上昇時の前記金属筐体の熱膨張による前記誘電体基板への応力集中が軽減されることを特徴とする。
以上説明したように、本発明によれば、高周波モジュールの金属筐体とシャーシの線膨張係数の違いによって起こる温度上昇時の誘電体基板への応力集中の発生を回避することが可能な高周波回路装置を提供することができる。
更に、本発明によれば、シャーシに高周波モジュールをネジ締結した状態で誘電体基板への応力集中の発生を回避することができる。
本発明の実施形態1に係る高周波回路装置の構成の一例を示す斜視図。 (a)は、図1の高周波回路装置の外観を示す平面図。(b)は、(a)に示すB−B面で切断した場合の断面図。(c)は、(b)に示すD部の詳細図。 本発明の実施形態2に係る高周波回路装置の構成の一例を示す斜視図。 従来のネジ穴2aの周囲に溝がない場合の応力値の低減率を0として、溝を設けた範囲(角度)を変更した場合の応力値の低減率を示すシミュレーション解析によるグラフ。 ネジ穴2aの周囲に設けた溝形状の具体例を示す図。 従来の高周波回路装置の構成例を示す図。 (a)は、図6の高周波回路装置の外観を示す平面図。(b)は、(a)に示すA−A面で切断した場合の断面図。
<実施形態1>
図1は、本発明の実施形態1に係る高周波回路装置1の構成の一例を示す斜視図である。また、図2(a)は、図1の高周波回路装置1の外観を示す平面図である。(b)は、(a)に示すB−B面で切断した場合の断面図である。(c)は、(b)に示すD部の詳細図である。
図1及び図2において、10は送信回路機能および受信回路機能を有する高周波モジュールであり、また、2は金属部材であり、本例では金属製のシャーシである。つまり、本例の高周波回路装置1は、高周波モジュール10と、シャーシ2とから構成されている。シャーシ2には、例えば、送受信アンテナとの間の入出力インターフェースとしての導波管(図示せず)が取り付けられ接続される。高周波モジュール10は、図1に示すように、ネジ50でシャーシ2に締結する構造となっている。
なお、シャーシ2の材質は、例えば、アルミニウム(線膨張係数α1=2.3×10−5−1)等である。
図1及び図2示すように、高周波モジュール10において、11は、高周波モジュール10内部に実装され、図示しないMMIC(モノリシックマイクロ波集積回路)チップと図示しない導波管との間で高周波信号を受け渡す送受信部である誘電体基板である。12は、MMICチップや誘電体基板11等を、その内部に収容する合金製の金属筐体である。また、13は、MMICチップ5や誘電体基板11等の各種部品を実装した金属筐体12を封止するための金属蓋体であり、材質は金属筐体12と同じである。なお、金属筐体12及び金属蓋体13の材質は、例えば、コバール(線膨張係数α2=5.2×10−6−1)等である。
また、金属筐体12には、4箇所のネジ止め穴部12bを有するフランジ部12aが設けられている。また、金属筐体12内部の誘電体基板11が実装(接合固定)された底面には、導波管部として機能する矩形の貫通穴12cが設けられており、この貫通穴12cから外部に高周波信号を取り出す。(図5参照)
また、シャーシ2において、2aは、高周波モジュール10をシャーシ2にネジ締結するためのネジ穴であり、上述した金属筐体12の4箇所のネジ止め穴部12bと合致する位置に設けられている。また、2bは、前記金属筐体12の貫通穴12cと接続される貫通穴であり、高周波モジュール10と図示しない導波管との間で送受される高周波信号を通過させるものである。貫通穴2bの形状及び大きさは、貫通穴12cの形状及び大きさと同じ又は略同じである。
つまり、金属筐体12の貫通穴12cがシャーシ2の貫通穴2bに一致するように、高周波モジュール10がシャーシ2にネジ締結されることにより、貫通穴12cと貫通穴2bは、導波管として機能することになる。
また、シャーシ2は、図1に示すように、4箇所のネジ穴2aの周囲に、それぞれ溝2d及び溝2eを有しており、また、高周波モジュール10の長手方向の外周に沿うように、溝2fを有している。
なお、4箇所のネジ穴2aの周囲に設けた溝2dまたは溝2eは、それぞれのネジ穴2aの周囲の全周(360度)に設けることが最良であるが、180度以上囲めるようにできればよい。
ここで、シャーシ2において、ネジ穴2aの周囲に設けた溝の形状を種々変更した場合の誘電体基板11にかかる応力値の違いについて、図4及び図5を参照して説明する。
図4は、従来のネジ穴2aの周囲に溝がない場合の応力値の低減率を0として、溝を設けた範囲(角度)を変更した場合の応力値の低減率を示すシミュレーション解析によるグラフである。また、図5は、ネジ穴2aの周囲に設けた溝形状の具体例を示す図であり、(a)は90度の場合、(b)は180度の場合、また、(c)は360度の場合を示す。
図4のグラフから分かるように、ネジ穴2aの周囲に設けた溝の範囲が360度の場合に応力値の低減率が約−35%と最も大きい。また、溝の範囲が180度の場合に応力値の低減率が約−10%であり、応力値の低減率が−5%未満である溝の範囲が90度の場合よりも応力値の低減率が大きいことがわかる。また、溝の範囲が90度〜180度よりも、180度〜360度の方が、応力値の低減率の減少幅が大きくなっているため、ネジ穴2aの周囲に設けた溝の範囲が大きい角度になるほど応力値の低減率が大きくなり、後述する線膨張係数の違いによる誘電体基板への応力集中を回避することができると考えられる。
ここで、高周波モジュール10がシャーシ2にネジ締結された状態で高周波回路装置1全体の温度がΔt度上昇した場合を考察する。
高周波モジュール10の金属筐体12に温度上昇Δt分の熱が加わり熱膨張が生じると、図1に示す金属筐体12のネジ止め穴部12bの熱膨張前のピッチL0は、熱膨張後にL2=(α2×L0×Δt)+L0(α2は、金属筐体12の線膨張係数)となり、α2×L0×Δtの伸びが生じる。
また、図1において、シャーシ2の4箇所のネジ穴2aの周囲に設けた溝2d及び溝2eや高周波モジュール10の長手方向の外周に沿うように設けた溝2fが無い場合には、従来のシャーシ20と同様に、温度上昇Δt分の熱が加わり熱膨張が生じるとシャーシ2のネジ穴部2aの熱膨張前のピッチL0は、熱膨張後にL1=(α1×L0×Δt)+L0(α1は、シャーシ2の線膨張係数)となり、α1×L0×Δtの伸びが生じることになる。
また、上述したように、シャーシ2の材質がアルミニウム(線膨張係数α1=2.3×10−5−1)で、高周波モジュール10の金属筐体12の材質がコバール(線膨張係数α2=5.2×10−6−1)であるとした場合には、熱膨張後のシャーシ2のネジ穴部2aのピッチL1と熱膨張後の金属筐体12のネジ止め穴部12bのピッチL2の伸びに違いが生じる。
つまり、高周波モジュール10の金属筐体12の線膨張係数α2とシャーシ2の線膨張係数α1の差は約4.4倍ある為、熱膨張後のシャーシ2のピッチL1が熱膨張後の高周波モジュール10の金属筐体12のピッチL2よりも約4.4倍伸びることになる。
従って、熱膨張前に、シャーシ2に高周波モジュール10の金属筐体12をネジ締結している為、熱膨張後のシャーシ2と高周波モジュール10の金属筐体12との間で、ΔL=L1−L2分伸びきれず、高周波モジュール10の金属筐体12にストレスが加わることになる。
また、金属筐体12内部には、上述したように、誘電体基板11が接着固定されている為、シャーシ2と金属筐体12に熱膨張が生じることで、誘電体基板11は、金属筐体12の熱膨張に追従する形となり、熱膨張により金属筐体12にかかるストレスによって、誘電体基板11に応力集中が生じることになる。
しかし、本発明の実施形態1に係る高周波回路装置1においては、シャーシ2に溝2d、溝2e及び溝2fを設けることによって、熱膨張後のシャーシ2のピッチL1と熱膨張後の高周波モジュール10のピッチL2のΔL=L1−L2分の伸び量の違いも考慮した隙間と同様の効果があり、誘電体基板11にかかるストレスは図6の従来品と比較すると、応力値が約17.9%軽減される。また、高周波モジュール10の金属筐体12のフランジ部12aをシャーシ2のネジ穴2aにネジ50によってネジ締結することで、上下左右方向の高周波モジュール10の挙動を抑制することができる。
以上説明したように、本発明によれば、高周波モジュールの金属筐体とシャーシの線膨張係数の違いによって起こる温度上昇時の誘電体基板への応力集中の発生を回避することが可能な高周波回路装置を提供することができる。
更に、本発明によれば、シャーシに高周波モジュールをネジ締結した状態で誘電体基板への応力集中の発生を回避することができる。
<実施形態2>
図3は、本発明の実施形態2に係る高周波回路装置30の構成の一例を示す斜視図である。
図3において、10は送信回路機能および受信回路機能を有する高周波モジュールであり、また、3は金属部材であり、本例では金属製のシャーシである。つまり、本例の高周波回路装置30は、高周波モジュール10と、シャーシ3とから構成されている。シャーシ3には、例えば、送受信アンテナとの間の入出力インターフェースとしての導波管(図示せず)が取り付けられ接続される。高周波モジュール10は、図3に示すように、ネジ50でシャーシ3に締結する構造となっている。
なお、シャーシ3の材質は、例えば、アルミニウム(線膨張係数α1=2.3×10−5−1)等である。
高周波モジュール10は、実施形態1に係る高周波回路装置1の高周波モジュール10と同様の構成である。
また、シャーシ3において、3aは、高周波モジュール10をシャーシ3にネジ締結するためのネジ穴であり、上述した金属筐体12の4箇所のネジ止め穴部12bと合致する位置に設けられている。また、3bは、金属筐体12の貫通穴12cと接続される貫通穴であり、高周波モジュール10と図示しない導波管との間で送受される高周波信号を通過させるものである。貫通穴3bの形状及び大きさは、貫通穴12cの形状及び大きさと同じ又は略同じである。
つまり、金属筐体12の貫通穴12cがシャーシ3の貫通穴3bに一致するように、高周波モジュール10がシャーシ3にネジ締結されることにより、貫通穴12cと貫通穴3bは、導波管として機能することになる。
また、シャーシ3は、図3に示すように、金属筐体12の長手方向に対して直交するよう真ん中付近に溝3dを有している。
ここで、高周波モジュール10がシャーシ3にネジ締結された状態で高周波回路装置30全体の温度がΔt度上昇した場合を考察する。
高周波モジュール10の金属筐体12に温度上昇Δt分の熱が加わり熱膨張が生じると、図3に示す金属筐体12のネジ止め穴部12bの熱膨張前のピッチL0は、熱膨張後にL2=(α2×L0×Δt)+L0(α2は、金属筐体12の線膨張係数)となり、α2×L0×Δtの伸びが生じる。
また、図3において、シャーシ3の真ん中付近に設けた溝3dが無い場合には、従来のシャーシ20と同様に、温度上昇Δt分の熱が加わり熱膨張が生じるとシャーシ3のネジ穴部3aの熱膨張前のピッチL0は、熱膨張後にL1=(α1×L0×Δt)+L0(α1は、シャーシ3の線膨張係数)となり、α1×L0×Δtの伸びが生じることになる。
また、上述したように、シャーシ3の材質がアルミニウム(線膨張係数α1=2.3×10−5−1)で、高周波モジュール10の金属筐体12の材質がコバール(線膨張係数α2=5.2×10−6−1)であるとした場合には、熱膨張後のシャーシ3のネジ穴部3aのピッチL1と熱膨張後の金属筐体12のネジ止め穴部12bのピッチL2の伸びに違いが生じる。
つまり、高周波モジュール10の金属筐体12の線膨張係数α2とシャーシ3の線膨張係数α1の差は約4.4倍ある為、熱膨張後のシャーシ3のピッチL1が熱膨張後の高周波モジュール10の金属筐体12のピッチL2よりも約4.4倍伸びることになる。
従って、熱膨張前に、シャーシ3に高周波モジュール10の金属筐体12をネジ締結している為、熱膨張後のシャーシ3と高周波モジュール10の金属筐体12との間で、ΔL=L1−L2分伸びきれず、高周波モジュール10の金属筐体12にストレスが加わることになる。
また、金属筐体12内部には、上述したように、誘電体基板11が接着固定されている為、シャーシ3と金属筐体12に熱膨張が生じることで、誘電体基板11は、金属筐体12の熱膨張に追従する形となり、熱膨張により金属筐体12にかかるストレスによって、誘電体基板11に応力集中が生じることになる。
しかし、本発明の実施形態2に係る高周波回路装置30においては、シャーシ3に溝3dを設けることによって、熱膨張後のシャーシ3のピッチL1と熱膨張後の高周波モジュール10のピッチL2のΔL=L1−L2分の伸び量の違いも考慮した隙間と同様の効果があり、誘電体基板11にかかるストレスは図6の従来品と比較し、応力値が軽減される。また、高周波モジュール10の金属筐体12のフランジ部12aをシャーシ3のネジ穴3aにネジ50によってネジ締結することで、上下左右方向の高周波モジュール10の挙動を抑制することができる。
以上説明したように、本発明によれば、高周波モジュールの金属筐体とシャーシの線膨張係数の違いによって起こる温度上昇時の誘電体基板への応力集中の発生を回避することが可能な高周波回路装置を提供することができる。
更に、本発明によれば、シャーシに高周波モジュールをネジ締結した状態で誘電体基板への応力集中の発生を回避することができる。
なお、本発明は、上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、各実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
本発明は、発熱する或いは冷却が必要な電気回路を実装するものに広く利用でき、無線通信機器、レーダやその他の無線計測装置、プラズマ応用装置、液体窒素等で冷却して使用する検出器等に利用できる。
1:高周波回路装置、2:シャーシ、2a:ネジ穴部、2b:貫通穴、2d:溝、2e:溝、2f:溝、3:シャーシ、3a:ネジ穴部、3b:貫通穴、3d:溝、10:高周波モジュール、11:誘電体基板、12:金属筐体、12a:フランジ部、12b:ネジ止め穴部、12c:貫通穴、13:金属蓋体、20:シャーシ、20a:ネジ穴部、20b:貫通穴、30:高周波回路装置、50:ネジ、100:高周波回路装置。

Claims (4)

  1. 高周波モジュールと、当該高周波モジュールを取り付ける導波管接続用の金属部材とで構成される高周波回路装置であって、
    前記高周波モジュールは、
    導波管との間で高周波信号を受け渡すための送受信部である誘電体基板と、
    前記誘電体基板が実装された内部底面に第1の貫通穴を有し、ネジ止め穴部を有する複数のフランジ部が形成された金属筐体と、
    前記金属筐体を封止する金属蓋体と、
    を含んで構成され、
    前記導波管接続用の金属部材は、
    前記高周波モジュールの前記フランジ部をネジ締結するためのネジ穴と、
    前記金属筐体の前記第1の貫通穴と接続するために、前記第1の貫通穴と略同じ形状及び大きさで形成された第2の貫通穴と、
    前記ネジ穴の周囲に設けた第1の溝と、
    を含んで構成され、
    前記第1の貫通穴が前記第2の貫通穴に一致するように、前記高周波モジュールを前記金属部材にネジ締結することにより、前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴が導波管として機能する一方、前記第1の溝により、温度上昇時の前記金属筐体の熱膨張による前記誘電体基板への応力集中が軽減されることを特徴とする高周波回路装置。
  2. 請求項1記載の高周波回路装置において、前記第1の溝は、前記ネジ穴の周囲を180度以上囲むように設けた溝であることを特徴とする高周波回路装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の高周波回路装置において、前記導波管接続用の金属部材は、前記高周波モジュールの長手方向の外周に沿うように第2の溝を設けることにより、温度上昇時の前記金属筐体の熱膨張による前記誘電体基板への応力集中が軽減されることを特徴とする高周波回路装置。
  4. 高周波モジュールと、当該高周波モジュールが実装される導波管接続用の金属部材とで構成される高周波回路装置であって、
    前記高周波モジュールは、
    導波管との間で高周波信号を受け渡すための送受信部である誘電体基板と、
    前記誘電体基板が実装された内部底面に第1の貫通穴を有し、ネジ止め穴部を有する複数のフランジ部が形成された金属筐体と、
    前記金属筐体を封止する金属蓋体と、
    を含んで構成され、
    前記導波管接続用の金属部材は、
    前記高周波モジュールの前記フランジ部をネジ締結するためのネジ穴と、
    前記金属筐体の前記第1の貫通穴と接続するために、前記第1の貫通穴と略同じ形状及び大きさで形成された第2の貫通穴と、
    前記金属筐体の長手方向に対して直交するよう真ん中付近に設けた第3の溝と、
    を含んで構成され、
    前記第1の貫通穴が前記第2の貫通穴に一致するように、前記高周波モジュールを前記金属部材にネジ締結することにより、前記第1の貫通穴と前記第2の貫通穴が導波管として機能する一方、前記第3の溝により、温度上昇時の前記金属筐体の熱膨張による前記誘電体基板への応力集中が軽減されることを特徴とする高周波回路装置。
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