JP5843307B2 - 帯電防止性粘着剤 - Google Patents
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Description
粘着剤に吸着された異物は、さらにペリクル内に移動して、ペリクルとしての商品価値を失くし、ペリクルの製造歩留まりを低下させる。
すなわち、本発明は、粘着剤にイオン性帯電防止剤を配合してなる帯電防止性粘着剤である。
また、本発明は、少なくともペリクル膜と、該ペリクル膜が貼り付けられたペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられた、ペリクルをガラス基板に貼り付けるための粘着剤層とを有するペリクルにおいて、前記粘着剤層が、前記帯電防止性粘着剤により形成されていることを特徴とするペリクルである。
前記イオン性帯電防止剤はリチウム塩とし、該リチウム塩には、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiAsF6、LiSbF6、LiSO3CF3、LiN(SO2CF3)2、LiSO3C4F9、LiC(SO2CF3)3、及びLiB(C6H5)4から選ばれる1種または2種以上からなるものとするのが好ましい。
また、前記粘着剤には、シリコーン系粘着剤またはアクリル系粘着剤が好ましく選択される。
図1は、本発明のペリクル、すなわち、本発明の帯電防止性粘着剤を使用して形成した粘着剤層を有するペリクルの一例を示した縦断面図である。
このペリクル1では、これを貼り付ける基板(フォトマスク又はそのガラス基板部分)の形状に対応した通常四角形枠状(長方形枠状又は正方形枠状)のペリクルフレーム12の上端面にペリクル膜11が張設されている。ペリクルフレーム12の下端面には、ペリクルを基板に貼り付けるための粘着剤層13が形成されている。また、粘着剤層13の下面には、粘着剤層13を保護するための離型層(セパレータ)14が剥離可能に貼り付けられている。
シリコーン系粘着剤では、特には粘着強度が強く、低分子シロキサンが低減されているX−40−3122(信越化学工業社製、製品名)が好ましい。アクリル系粘着剤では、粘着力や作業性の点から、SK−1425(綜研化学社製、製品名)が好ましい。
上記イオン性帯電防止剤としては、具体的には、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiAsF6、LiSbF6、LiSO3CF3、LiN(SO2CF3)2、LiSO3C4F9、LiC(SO2CF3)3、LiB(C6H5)4等が例示される。これらは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることもできる。
シリンジ23は、その先端にニードル25が取り付けられ、粘着剤が満たされたエア加圧式ディスペンサ(図示せず)に接続されており、3軸ロボット22の制御部(図示せず)によりロボット動作と塗布液吐出の両方が制御される。そして、粘着剤塗布装置2の架台21上にセットされたペリクルフレーム24の端面上(この場合、ペリクルの天地が逆に配置されており、ペリクルの上述した下端面が上方を向いている)を、粘着剤をニードル25から滴下しながら移動させることにより、ペリクルフレーム24の端面上に粘着剤が塗布される。
[実施例1]
はじめに、外寸782×474mm、内寸768×456mm、高さ5.0mmのアルミニウム合金製の枠体の上端面及び下端面の各辺縁部をR加工し、さらに、これら上下端面側の各平坦面を幅4.0mm、コーナー部の内寸R2.0mm、外寸R6.0mmに機械加工して、長方形のアルミニウム合金製ペリクルフレームを製作し、表面に黒色アルマイト処理を施した。その後、クリーンルーム内に搬入し、中性洗剤と純水を用いて十分に洗浄・乾燥させた。
粘着剤は、シリコーン粘着剤X−40−3122(信越化学工業株式会社製、製品名)100質量部に対して、帯電防止剤としてLiN(SO2CF3)2を20質量%含有するアジピン酸エステルを0.05質量部添加して調製した。
また、前記ペリクルフレーム上端面にペリクル膜を張設するため、接着剤としてシリコーン粘着剤KR−3700(信越化学工業株式会社製、製品名)を塗布した。次いで、ペリクル膜をペリクルフレームの接着剤塗布端面側に貼り付け、カッターにて外側の不要膜を切除しペリクルを完成させた。
粘着剤として、アクリル粘着剤SK−1425(綜研化学株式会社製、製品名)100質量部に対して、帯電防止剤としてLiN(SO2CF3)2を20質量%含有するアジピン酸エステルを0.05質量部添加して調製した以外は実施例1と同様にしてペリクルを作製した。
粘着剤として、シリコーン粘着剤X−40−3122(信越化学工業株式会社製、製品名)を使用し、帯電防止剤を添加しない以外は実施例1と同様にしてペリクルを作製した。
粘着剤として、シリコーン粘着剤X−40−3122(信越化学工業株式会社製、製品名)を使用し、帯電防止剤の代わりに、25℃における粘度が75mm2/sであるポリエーテル変性シリコーンオイルKF−351(信越化学工業株式会社製、製品名)を使用した以外は実施例1と同様にしてペリクルを作製した。
[帯電量(半減期)]
スタチックオネストメーター(シシド静電気株式会社製)を用いて、粘着剤の表面にコロナ放電により静電気を6kVチャージした後、その帯電圧が半分になる半減期の時間を測定した。
作製したペリクルを目視にて観察し、粘着剤に吸着した異物の有無を確認した。
11 ペリクル膜
12 ペリクルフレーム
13 粘着剤層
14 離型層(セパレータ)
2 粘着剤塗布装置
21 架台
22 3軸ロボット
23 シリンジ
24 ペリクルフレーム
25 ニードル
Claims (5)
- 少なくともペリクル膜と、該ペリクル膜が貼り付けられたペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられた、ペリクルをガラス基板に貼り付けるための粘着剤層とを有するペリクルにおいて、前記粘着剤層が、粘着剤100質量部に対して、イオン性帯電防止剤を0.0001質量部以上、0.01質量部未満の割合で配合してなる帯電防止性粘着剤により形成されていることを特徴とするペリクル。
- 前記イオン性帯電防止剤がリチウム塩である請求項1に記載のペリクル。
- 前記リチウム塩が、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiAsF6、LiSbF6、LiSO3CF3、LiN(SO2CF3)2、LiSO3C4F9、LiC(SO2CF3)3、及びLiB(C6H5)4から選ばれる1種または2種以上からなる請求項2に記載のペリクル。
- 前記粘着剤がシリコーン系粘着剤である請求項1乃至3のいずれか1項に記載のペリクル。
- 前記粘着剤がアクリル系粘着剤である請求項1乃至3のいずれか1項に記載のペリクル。
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