JP5840005B2 - 圧電デバイス - Google Patents

圧電デバイス Download PDF

Info

Publication number
JP5840005B2
JP5840005B2 JP2012011836A JP2012011836A JP5840005B2 JP 5840005 B2 JP5840005 B2 JP 5840005B2 JP 2012011836 A JP2012011836 A JP 2012011836A JP 2012011836 A JP2012011836 A JP 2012011836A JP 5840005 B2 JP5840005 B2 JP 5840005B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mounting
integrated circuit
terminal
pad
piezoelectric device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012011836A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013153252A (ja
Inventor
友治 恩田
友治 恩田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Crystal Device Corp
Original Assignee
Kyocera Crystal Device Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Crystal Device Corp filed Critical Kyocera Crystal Device Corp
Priority to JP2012011836A priority Critical patent/JP5840005B2/ja
Publication of JP2013153252A publication Critical patent/JP2013153252A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5840005B2 publication Critical patent/JP5840005B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、電子機器等に用いられる圧電デバイスに関するものである。
従来、圧電デバイス200は、図6に示されているように、素子搭載部材210と、素子搭載部材210に搭載された集積回路素子220および圧電振動素子(図示せず)とを含んでいる。
素子搭載部材210は、四隅に設けられた外部端子216を有している。また、素子搭載部材210は、集積回路素子220が搭載される複数の搭載パッド213を有している。
複数の搭載パッド213は、例えば素子搭載部材210の中央部に2行×3列の行列状に6個設けられている。また、搭載パッド213は、集積回路素子220の複数の接続端子221に対向する位置に設けられている。また、複数の搭載パッド213は、例えば半田等の導電性接合材222によって、集積回路素子220の複数の接続端子221に電気的に接続されている。
特開2011−211449号公報
しかしながら、従来の圧電デバイス200は、複数の外部端子216の配置が変更された場合、集積回路素子220の複数の接続端子221の配置も変更する必要があった。
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、複数の外部端子の配置が変更された場合でも同一の集積回路素子で対応できる圧電デバイスを提供するものである。
本発明の一つの態様による圧電デバイスは、上面に複数の搭載パッドを有し、下面に複数の外部端子を有する素子搭載部材と、複数の搭載パッドに搭載された集積回路素子と、素子搭載部材に搭載されており集積回路素子に電気的に接続された圧電振動素子とを備え複数の搭載パッドのそれぞれの形成領域が素子搭載部材の所定方向に延びており、複数の搭載パッドの少なくとも第1の搭載パッド及び第2の搭載パッドを分離することで、第1の搭載領域と第2の搭載領域とをそれぞれ設け、第1の搭載パッドの第1の搭載領域と第2の搭載パッドの第2の搭載領域とを外部端子の一つに電気的に接続し、第1の搭載パッドの第2の搭載領域と第2の搭載パッドの第1の搭載領域を外部端子の他の一つに電気的に接続されている。
本発明の一つの態様による圧電デバイスは、複数の搭載パッドのそれぞれの形成領域が素子搭載部材の所定方向に延びており、複数の搭載パッドの少なくとも第1の搭載パッドと第2の搭載パッドが、複数の搭載領域に分離されており、複数の搭載領域が前述の所定方向に並んで配置されてことによって、集積回路素子を前述の所定方向にずらして搭載することで複数の外部端子の異なる配置にも対応した圧電デバイスを実現することができる。
本発明の実施形態に係る圧電デバイスを示した断面図である。 図1に示された圧電デバイスの下面図である。 図2に示された圧電デバイスにおいて集積回路素子を省略した図である。 図3に示された圧電デバイスにおいて符号Bによって示された部分の拡大図である。 図2に示された圧電デバイスにおいて集積回路素子の搭載位置を変更した例を示す図である。 従来の圧電デバイスを示す下面図である。
以下、本発明の例示的な実施形態について図面を参照して説明する。
図1に示されているように、本発明の一つの実施形態における圧電デバイス100は、素子搭載部材110と、素子搭載部材110に搭載された集積回路素子120および圧電振動素子130とを含んでいる。なお、図1は、図2に示された圧電デバイス100のA−Aにおける断面図を示している。
素子搭載部材110は、図1に示されているように、基板部110aと、基板部110aの下面に設けられた第1の枠部110bと、基板部110aの上面に設けられた第2の枠部110cとを含んでいる。ここで、素子搭載部材110の下面の凹部空間を第1の凹部空間K1、上面の凹部空間を第2の凹部空間K2とする。素子搭載部材110を構成する基板部110aと第1の枠部110bと第2の枠部110cとは、例えば、ガラス−セラミックス、アルミナセラミックス等のセラミック材料からなる。
また、基板部110aは、例えば、図1、図2に示されているように、矩形の平板状である。第1の枠部110bは、基板部110aの下面の縁部に沿って設けられており、基板部110aとで第1の凹部空間K1が形成されている。また、第2の枠部110cは、基板部110aの上面の縁部に沿って設けられており、基板部110aとで第2の凹部空間K2が形成されている。尚、外部端子116は、第1の枠部110bの下面の四隅部に設けられている。
また、素子搭載部材110は、図2、図3に示されているように、基板部110aの下面に集積回路素子120が搭載される搭載パッド113と測定用端子114とが設けられている。
図4に示されているように、複数の搭載パッド113のそれぞれの形成領域117は、所定方向に延びている。ここで、図4において、所定方向とは仮想のx軸方向である。複数の搭載パッド113のうち第1の搭載パッド113aと第2の搭載パッド113bは、複数の搭載領域118に分離されており、複数の搭載領域118が所定方向(仮想のx軸方向)に並んで配置されている。このように本発明の一つの実施形態における圧電デバイス100は、第1の搭載パッド113aと第2の搭載パッド113bを複数の搭載領域118に分離することで、後述するように、集積回路素子110の搭載位置をずらすだけで外部端子116の異なる配置にも対応することができる。
また、複数の搭載パッド113は、図1に示されているように、集積回路素子120の複数の接続端子121と対向する位置に設けられている。接続端子121は、図2に示されているように、複数の外部端子116のうち制御端子116aに接続される制御接続端子121aと、GND端子116bに接続されるGND接続端子121bと、出力端子116cに接続される出力接続端子121cと、電源端子116dに接続される電源接続端子121dと、一対の測定用端子114に接続される測定用接続端子121eおよび121fとから構成される。なお、複数の接続端子121のそれぞれは、符号121の後にアルファベットを付して例えば121a、121b等のように示されている。同様に、複数の外部端子116も、符号116の後にアルファベットを付して例えば116a、116b等のように示されている。
また、集積回路素子120を搭載する複数の搭載パッド113は、図1に示されているように、例えば、半田等の導電性接合材122によって、集積回路素子120が有する接続端子121と電気的に接続されている。また、例えば、複数の搭載パッド113のうちの所定の2つは、一対の測定用端子114を介して圧電振動素子130と電気的に接続されている。また、例えば、残りの4つの搭載パッド113は、後述する外部端子116と電気的に接続されている。
測定用端子114は、例えば、図2、図3に示すように、第1の凹部空間K1の底面に2個一対で設けられている。また、例えば、2個一対の測定用端子114は、所定の2つの集積回路素子120を搭載する搭載パッド113と後述する圧電振動素子130と電気的に接続されている。
本発明の一つの実施形態における圧電デバイス100の第1の搭載パッド113aは、図3に示すように、第1の搭載パッド113aの第1の搭載領域113a1が外部端子116の制御端子116aに電気的に接続されており、第2の搭載領域113a2が外部端子116の出力端子116cに電気的に接続されている。また、第2の搭載パッド113bは、図3に示すように、第2の搭載パッド113bの第1の搭載領域113b1が外部端子116の出力端子116cに電気的に接続されており、第2の搭載領域113a2が外部端子116の制御端子116aに電気的に接続されている。
また、圧電振動素子130は、所定の結晶軸でカットした圧電素板に外部からの変動電圧が一対の接続用電極と励振用電極を介して圧電素板に印加されると、所定の周波数で音叉振動を起こすようになっている。また、圧電素板としては、例えば音叉型の水晶が用いられる。また、圧電振動素子130が収容される素子搭載部材110の他方の第2の凹部空間K2は、第2の枠部110cと蓋部材140とで気密封止されている。
外部端子116は、例えば、図2に示されているように、素子搭載部材110の一方の第1の凹部空間K1を形成する第1の枠部110bの四隅に1個ずつ4個設けられている。外部端子116は、例えば、制御端子116a、GND端子116b、出力端子116c電源端子116dとして機能する端子が設けられている。
本実施形態の圧電デバイス100において、複数の搭載パッド113のそれぞれの形成領域117が素子搭載部材110の所定方向(仮想のx軸方向)に延びており、複数の搭載パッド113の少なくとも第1の搭載パッド113aと第2の搭載パッド113bが、複数の搭載領域118に分離されており、複数の搭載領域118が前述の所定方向(仮想のx軸方向)に並んで配置されてことによって、集積回路素子120を前述の所定方向(仮想のx軸方向)にずらして搭載することで複数の外部端子116の異なる配置にも対応した圧電デバイスを実現することができる。
また、図3、図4においては、第1の搭載パッド113aと第2の搭載パッド113bを接続する配線を搭載パッド113が形成されている面と同一層に形成しているが、異なる層に形成しても構わない。
以下、集積回路素子120の搭載位置をずらすことによって複数の外部端子116の異なる配置に対応した圧電デバイス100の例について図2および図5を参照して説明する。
図2は、搭載パッド113の複数の搭載領域118の一方を選択した場合の集積回路素子120の配置例を示している。また、図5は、搭載パッド113の複数の搭載領域118の他方を選択した場合の集積回路素子120の配置例を示している。
例えば、図2においては、図4に示されている第1の搭載パッド113aが集積回路素子110の制御接続端子121aと外部端子116の右上の制御端子116aに接続され、第2の搭載パッド113bが集積回路素子110の出力接続端子121cと外部端子116の左下の出力端子116cに接続されている。これに対し、図5においては、図4に示されている第1の搭載パッド113aが集積回路素子110の制御接続端子121aと外部端子116の左下の制御端子116aに接続され、第2の搭載パッド113bが集積回路素子110の出力接続端子121cと外部端子116の右上の出力端子116cに接続されている。また、図2、図5ともに、集積回路素子110のGND接続端子121bが外部端子116の右下のGND端子116bに接続され、集積回路素子110の電源接続端子121dが外部端子116の右上の電源端子116dに接続されている。また、図2、図5ともに、集積回路素子110の測定用接続端子121eが素子搭載部材110の右側の測定用端子114に接続され、集積回路素子110の測定用接続端子121fが素子搭載部材110の左側の測定用端子114に接続されている。
即ち、本実施形態における圧電デバイス100は、図2に示されているように集積回路素子120の搭載位置を素子搭載部材110の右側に寄せることで、外部端子116の右上を制御端子116aとし、左下を出力端子116cとしている。また、本実施形態における圧電デバイス100は、図5に示されているように集積回路素子120の搭載位置を素子搭載部材110の左側に寄せることで、外部端子116の右上を出力端子116cとし、左下を制御端子116aとしている。
これにより、本実施形態における圧電デバイス100は、複数の搭載パッド113の第1の搭載パッド113aと第2の搭載パッド113bが、複数の搭載領域118に分離されており、複数の搭載領域118が所定方向に並んで配置されていることから、集積回路素子120の搭載位置を変えることで同一の集積回路素子120で少なくとも2種類以上の設計仕様に対応できる。
また、前記した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、前記実施形態に示した圧電デバイス100の第2の凹部空間K2に搭載される素子として、音叉型の圧電振動素子130を示したが、これに限定することなく、例えば、ATカット振動素子や弾性表面波素子を用いても構わない。
100・・・圧電デバイス
110・・・素子搭載部材
110a・・・基板部
110b・・・第1の枠部
110c・・・第2の枠部
113・・・搭載パッド
113a・・・第1の搭載パッド
113a1・・・第1の搭載領域
113a2・・・第2の搭載領域
113b・・・第2の搭載パッド
113b1・・・第1の搭載領域
113b2・・・第2の搭載領域
114・・・測定用端子
116・・・外部端子
116a・・・制御端子
116b・・・GND端子
116c・・・出力端子
116d・・・電源端子
117・・・形成領域
118・・・搭載領域
120・・・集積回路素子
121・・・接続端子
121a・・・制御接続端子
121b・・・GND接続端子
121c・・・出力接続端子
121d・・・電源接続端子
121e・・・測定用接続端子
121f・・・測定用接続端子
122・・・導電性接合材
130・・・圧電振動素子
140・・・蓋部材
K1・・・第1の凹部空間
K2・・・第2の凹部空間

Claims (1)

  1. 上面に複数の搭載パッドを有し、下面に複数の外部端子を有する素子搭載部材と、
    前記複数の搭載パッドに搭載された集積回路素子と、
    前記素子搭載部材に搭載されており前記集積回路素子に電気的に接続された圧電振動素子とを備え
    前記複数の搭載パッドのそれぞれの形成領域が前記素子搭載部材の所定方向に延びており、
    前記複数の搭載パッドの少なくとも第1の搭載パッド及び第2の搭載パッドを分離することで、第1の搭載領域と第2の搭載領域とをそれぞれ設け、
    前記第1の搭載パッドの前記第1の搭載領域と前記第2の搭載パッドの第2の搭載領域とを前記外部端子の一つに電気的に接続し、
    前記第1の搭載パッドの前記第2の搭載領域と前記第2の搭載パッドの第1の搭載領域を前記外部端子の他の一つに電気的に接続されていることを特徴とする圧電デバイス。
JP2012011836A 2012-01-24 2012-01-24 圧電デバイス Active JP5840005B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012011836A JP5840005B2 (ja) 2012-01-24 2012-01-24 圧電デバイス

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012011836A JP5840005B2 (ja) 2012-01-24 2012-01-24 圧電デバイス

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013153252A JP2013153252A (ja) 2013-08-08
JP5840005B2 true JP5840005B2 (ja) 2016-01-06

Family

ID=49049294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012011836A Active JP5840005B2 (ja) 2012-01-24 2012-01-24 圧電デバイス

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5840005B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6565671B2 (ja) * 2015-03-11 2019-08-28 株式会社大真空 圧電デバイス

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62196376U (ja) * 1986-06-04 1987-12-14
JPH10294553A (ja) * 1997-04-18 1998-11-04 Tec Corp 回路基板
JP2009135562A (ja) * 2007-11-28 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶発振器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013153252A (ja) 2013-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017110308A1 (ja) 弾性波装置
JP6017250B2 (ja) 圧電デバイス
JP5735822B2 (ja) 圧電発振器
JP5840005B2 (ja) 圧電デバイス
JP5643040B2 (ja) 圧電発振器
JP5955132B2 (ja) 圧電デバイス
JP5878029B2 (ja) 圧電デバイス
JP2012142700A (ja) 圧電発振器
JP6538401B2 (ja) 圧電デバイス及びその製造方法
JP6066588B2 (ja) 圧電発振器
JP2008017092A (ja) 圧電振動子
JP2019047373A (ja) 水晶振動子
JP5768594B2 (ja) 半導体装置、及び、その製造方法
JP6166030B2 (ja) 圧電デバイス
JP5875894B2 (ja) 圧電デバイス
JP5907754B2 (ja) 圧電デバイス
JP2012119853A (ja) 圧電デバイス
JP2005236775A (ja) 圧電デバイス用パッケージおよび圧電デバイスの製造方法
JP6525788B2 (ja) 水晶振動素子集合ウエハ
JP6525789B2 (ja) 水晶振動素子集合ウエハ
JP2017096908A (ja) 圧電衝撃センサー及びその製造方法
JP2014093570A (ja) 圧電デバイス
JP2016170100A (ja) シリコン配線埋め込みガラス基板およびそれを用いたセンサ
JP6525766B2 (ja) 水晶振動素子集合ウエハ
JP6019610B2 (ja) Saw発振器および電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140919

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150903

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150908

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151021

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151110

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5840005

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350