JP5839577B2 - 弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法 - Google Patents
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これにより、より大きな電気機械結合係数を示す弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶となる。
これにより、一括で改質できるため、より低コストで化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造できる。
このように予め処理することで、気相平衡法による改質の処理速度が飛躍的に向上して、化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶をより生産性良く製造できる。
これにより、より大きな電気機械結合係数を示す弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造できる。
このような化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶であれば、一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶の電気機械結合係数を100%としたとき、電気機械結合係数を100%〜約120%の範囲で所望の値に調整することが出来、同時に、安価で熱伝導率のよい弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶となる。
このように厚い、例えばブール形状のタンタル酸リチウム単結晶を、気相平衡法により一様に化学量論組成に改質できるので、生産性良く製造でき、安価な弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶となる。
これにより、より大きな電気機械結合係数が得られる弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶となる。
また、Feを0.5mol%含む場合の化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の電気機械結合係数は、一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶の電気機械結合係数に比べ、1.05倍程度となっている。図1に示すように、Feの含有量によって電気機械結合係数が変化していることがわかる。また、Feの含有量が0.5mol%を超えると、電気機械結合係数が一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶の電気機械結合係数以下となってしまう場合があるため、Feの含有量は0.5mol%以下とする必要がある。尚、Ni,Coにおいても、上記Feと同じ傾向を示す。
このような弾性表面波素子用複合圧電基板であれば、電気機械結合係数が優れるとともに、結晶の放熱性が向上しているため、弾性表面波素子の耐電力性が向上する。更に、複合圧電基板であるが故に周波数温度特性が向上した安価な複合基板となる。
これにより、電気機械結合係数を所望の値に調整することが出来、同時に、安価で熱伝導率のよい弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を提供できる。
このように、一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶のウェーハの表面が粗いもの同士を重ね合わせることで、改質の際の気相反応に大きな支障が生じない。このため、一括で多数のウェーハを気相平衡法により一様に化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶に改質できる為、より安価な弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を提供することができる。
このように厚い、例えばブール形状のタンタル酸リチウム単結晶を、気相平衡法により一様に化学量論組成に改質できるので、生産性良く製造でき、安価な弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を提供できる。
これにより、表面を活性化することができ、気相平衡法における処理速度が飛躍的に向上するため、より生産性良く弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造できる。
これにより、より大きな電気機械結合係数が得られる弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造できる。
(実施例1)
引き上げ法によりFeを0.3mol%含有する一致溶融組成の4インチ(10.16cm)径36°回転YカットLiTaO3単結晶を作製し、これをスライスにより0.2mmtの厚さの板形状に仕上げた。この板形状のLiTaO3単結晶の表面粗さを評価した所、Rmaxは3μmであった。
このFeを0.3mol%含有する36°回転YカットLiTaO3単結晶板を20mm角に切断し、レーザフラッシュ法により熱伝導率を測定した所、その値は7.32W/(m・K)であった。
引き上げ法により、Feを0.5mol%含有する一致溶融組成の4インチ(10.16cm)径36°回転YカットLiTaO3単結晶を作製し、これをスライスにより30mmtの厚さのブール形状に仕上げ、塩化ナトリウム溶液に浸漬させた。そして、塩化ナトリウム溶液に浸漬させたLiTaO3単結晶ブールを白金製の皿の上に載せ、Li2CO3粉とTa2O5粉を6:4のモル比で混合した気相平衡処理原料と混在させ、両者を白金の容器に入れ、当該容器を電気炉に入れ、常圧、1402℃±1℃で100時間加熱した(気相平衡処理)。
実施例1と同様にして得られた、引き上げ法による一致溶融組成の4インチ(10.16cm)径36°回転YカットLiTaO3単結晶に、実施例1と同様の気相平衡処理と分極処理を施して化学量論組成LiTaO3単結晶を得た。そして、得られた化学量論組成LiTaO3単結晶をウェーハ形状にし、その裏面を鏡面研磨して0.19mmtの厚さのウェーハとした。
前記接合基板に中心周波数1GHzの1ポートSAW共振子を作製して周波数温度特性を評価した所、共振周波数の温度係数は−12ppm/℃、反共振周波数の温度係数は−24ppm/℃であった。また、前記接合基板の熱伝導率を測定した所、7.32W/(m・K)であった。
引き上げ法により、Feを含まない一致溶融組成の4インチ(10.16cm)径36°回転YカットLiTaO3単結晶を作製し、これをスライスにより0.2mmtの厚さの板形状に仕上げた。この板形状のLiTaO3単結晶の表面粗さを評価した所、Rmaxは3μmであった。前記0.2mmtの厚さの板形状のLiTaO3単結晶を塩化ナトリウム溶液に浸漬させた後に、それを100枚積層して積層体を形成した。そして、該積層体を白金製の皿の上に載せ、LiO3粉とTa2O5粉を6:4のモル比で混合した気相平衡処理原料と混在させ、両者を白金の容器に入れ、当該容器を電気炉に入れ、常圧、1402℃±1℃で30時間加熱して一括処理した(気相平衡処理)。
引き上げ法によりFeを含まない一致溶融組成の4インチ(10.16cm)径36°回転YカットLiTaO3単結晶を作製し、これをスライスにより30mmtの厚さのブール形状に仕上げ、塩化ナトリウム溶液に浸漬させた。そして、塩化ナトリウム溶液に浸漬させたLiTaO3単結晶ブールを白金製の皿の上に載せ、Li2CO3粉とTa2O5粉を6:4のモル比で混合した気相平衡処理原料と混在させ、両者を白金の容器に入れ、当該容器を電気炉に入れ、常圧、1402℃±1℃で100時間加熱した。
引き上げ法により、Feを含まない一致溶融組成の4インチ(10.16cm)径36°回転YカットLiTaO3単結晶を作製し、これをスライス及び両面研磨により0.2mmtの厚さの板形状に仕上げた。この板形状のLiTaO3単結晶の表面粗さを評価した所、Rmaxが0.001μmの鏡面であった。前記0.2mmtの厚さの板形状のLiTaO3単結晶を塩化ナトリウム溶液に浸漬させた後、100枚積層して積層体を形成した。そして、該積層体を白金製の皿の上に載せ、Li2CO3粉とTa2O5粉を6:4のモル比で混合した気相平衡処理原料と混在させ、両者を白金の容器に入れ、当該容器を電気炉に入れ、常圧、1402℃±1℃で30時間加熱して一括処理した(気相平衡処理)。
その後、前記36°回転YカットLiTaO3単結晶板を20mm角に切断し、レーザフラッシュ法によりその熱伝導率を測定した所、前記積層体の上部及び下部に位置する単結晶板では、8.65W/(m・K)であった。しかし、該積層体の中央部に位置する単結晶板の熱伝導率を測定した所、その値は4.51W/(m・K)であった。
以上のように、鏡面の場合は、一括処理は困難であることがわかった。
Claims (3)
- 弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法であって、
引き上げ法により、Fe,Ni,Coの少なくとも1つ以上の元素を0.5mol%以下含む一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶を得て、該一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶を、複数積層して積層体を形成し、該積層体を気相平衡法により一括で化学量論組成に改質することで複数の前記弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造する際に、前記Fe,Ni,Coの少なくとも1つ以上の元素の量を調整することにより、電気機械結合係数が調整された前記弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶を製造することを特徴とする弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法。 - 前記改質される一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶を、塩化カリウム溶液又は塩化ナトリウム溶液に浸漬させた後、気相平衡法により化学量論組成に改質することを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法。
- 前記改質される一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶の結晶方位を、30°〜50°回転Yカットとすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012107914A JP5839577B2 (ja) | 2012-05-09 | 2012-05-09 | 弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013236276A JP2013236276A (ja) | 2013-11-21 |
JP5839577B2 true JP5839577B2 (ja) | 2016-01-06 |
Family
ID=49762028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012107914A Active JP5839577B2 (ja) | 2012-05-09 | 2012-05-09 | 弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5839577B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6406670B2 (ja) * | 2015-01-15 | 2018-10-17 | 信越化学工業株式会社 | 弾性表面波素子用タンタル酸リチウム単結晶基板及びこれを用いたデバイスとその製造方法及び検査方法 |
JP6296507B2 (ja) * | 2015-01-26 | 2018-03-20 | 信越化学工業株式会社 | リチウム化合物からなる圧電性酸化物単結晶基板の製造方法 |
US20180048283A1 (en) * | 2015-04-16 | 2018-02-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Lithium tantalate single crystal substrate, bonded substrate, manufacturing method of the bonded substrate, and surface acoustic wave device using the bonded substrate |
JP6335831B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2018-05-30 | 信越化学工業株式会社 | 接合基板の製造方法 |
JP6485307B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2019-03-20 | 住友金属鉱山株式会社 | タンタル酸リチウム単結晶及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3952666B2 (ja) * | 2000-06-23 | 2007-08-01 | 株式会社日立製作所 | 弾性表面波素子 |
JP2007028538A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Tdk Corp | 弾性表面波装置 |
JP2007033489A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Sony Corp | 強誘電体結晶の製造方法および電気光学素子 |
JP4789281B2 (ja) * | 2005-10-19 | 2011-10-12 | 株式会社山寿セラミックス | 弾性表面波フィルタ及びその製造方法 |
JP4770552B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2011-09-14 | ソニー株式会社 | タンタル酸リチウム単結晶の製造方法 |
JP4730365B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2011-07-20 | ソニー株式会社 | 光機能素子の製造方法及びタンタル酸リチウム単結晶の製造方法 |
JP4995847B2 (ja) * | 2009-01-27 | 2012-08-08 | 信越化学工業株式会社 | タンタル酸リチウム結晶の製造方法 |
JP5507870B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2014-05-28 | 信越化学工業株式会社 | 表面弾性波素子用基板の製造方法 |
JP2011135245A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Panasonic Corp | 弾性波デバイスとこれを用いた電子機器、及び弾性波デバイスの製造方法 |
-
2012
- 2012-05-09 JP JP2012107914A patent/JP5839577B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013236276A (ja) | 2013-11-21 |
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