JP5836932B2 - レジストストリッピング組成物及び電気装置を製造するための方法 - Google Patents
レジストストリッピング組成物及び電気装置を製造するための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5836932B2 JP5836932B2 JP2012508978A JP2012508978A JP5836932B2 JP 5836932 B2 JP5836932 B2 JP 5836932B2 JP 2012508978 A JP2012508978 A JP 2012508978A JP 2012508978 A JP2012508978 A JP 2012508978A JP 5836932 B2 JP5836932 B2 JP 5836932B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composition
- layer
- resist
- weight
- hydroxylamine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 200
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 69
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 48
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 104
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 63
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 45
- 239000012085 test solution Substances 0.000 claims description 45
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 36
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 claims description 36
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 29
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims description 28
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims description 25
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 23
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 18
- 150000002443 hydroxylamines Chemical class 0.000 claims description 18
- AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine Chemical compound ON AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 16
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 13
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims description 10
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 8
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 claims description 6
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 6
- WUGQZFFCHPXWKQ-UHFFFAOYSA-N Propanolamine Chemical compound NCCCO WUGQZFFCHPXWKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- MCTWTZJPVLRJOU-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-1H-imidazole Chemical compound CN1C=CN=C1 MCTWTZJPVLRJOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LQGKDMHENBFVRC-UHFFFAOYSA-N 5-aminopentan-1-ol Chemical compound NCCCCCO LQGKDMHENBFVRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000004673 fluoride salts Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 3
- JZQLRTAGAUZWRH-UHFFFAOYSA-N 2-aminoethanol;hydrate Chemical compound [OH-].[NH3+]CCO JZQLRTAGAUZWRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- YOUGRGFIHBUKRS-UHFFFAOYSA-N benzyl(trimethyl)azanium Chemical compound C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 YOUGRGFIHBUKRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 2
- DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N tetrabutylammonium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- CBXCPBUEXACCNR-UHFFFAOYSA-N tetraethylammonium Chemical compound CC[N+](CC)(CC)CC CBXCPBUEXACCNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N tetramethylammonium Chemical compound C[N+](C)(C)C QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OSBSFAARYOCBHB-UHFFFAOYSA-N tetrapropylammonium Chemical compound CCC[N+](CCC)(CCC)CCC OSBSFAARYOCBHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims 2
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 34
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 16
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 12
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- -1 ammonium ions Chemical class 0.000 description 9
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 1-aminopropan-2-ol Chemical compound CC(O)CN HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 7
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 6
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000036541 health Effects 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GIAFURWZWWWBQT-UHFFFAOYSA-N 2-(2-aminoethoxy)ethanol Chemical compound NCCOCCO GIAFURWZWWWBQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229940102253 isopropanolamine Drugs 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LHIJANUOQQMGNT-UHFFFAOYSA-N aminoethylethanolamine Chemical compound NCCNCCO LHIJANUOQQMGNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 4
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 239000012458 free base Substances 0.000 description 4
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- FENFUOGYJVOCRY-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-ol Chemical compound CCCOCC(C)O FENFUOGYJVOCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N N-methylethanolamine Chemical compound CNCCO OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 3
- KTDMLSMSWDJKGA-UHFFFAOYSA-M methyl(tripropyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCC[N+](C)(CCC)CCC KTDMLSMSWDJKGA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 3
- MIJDSYMOBYNHOT-UHFFFAOYSA-N 2-(ethylamino)ethanol Chemical compound CCNCCO MIJDSYMOBYNHOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N Dicyclohexylamine Chemical compound C1CCCCC1NC1CCCCC1 XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- JPIGSMKDJQPHJC-UHFFFAOYSA-N 1-(2-aminoethoxy)ethanol Chemical compound CC(O)OCCN JPIGSMKDJQPHJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPDNKWSQWXOPSC-UHFFFAOYSA-N 1-(methylamino)ethanol Chemical compound CNC(C)O FPDNKWSQWXOPSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 1-Ethyl-2-pyrrolidinone Chemical compound CCN1CCCC1=O ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGDAWAQEKLURQI-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)ethanol;hydrate Chemical compound O.OCCOCCO UGDAWAQEKLURQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZTWONRVIPPDKH-UHFFFAOYSA-N 2-(piperidin-1-yl)ethanol Chemical compound OCCN1CCCCC1 KZTWONRVIPPDKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWZAXBZEPADBLS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[[[2-(4-bromothiophen-2-yl)-2-hydroxyethyl]amino]methyl]phenoxy]-n-ethylacetamide Chemical compound CCNC(=O)COC1=CC=CC=C1CNCC(O)C1=CC(Br)=CS1 KWZAXBZEPADBLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDHWOCLBMVSZPG-UHFFFAOYSA-N 3-imidazol-1-ylpropan-1-amine Chemical compound NCCCN1C=CN=C1 KDHWOCLBMVSZPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMGMDXCADSRNCX-UHFFFAOYSA-N 5,6-dihydroxy-1,3-diazepan-2-one Chemical class OC1CNC(=O)NCC1O ZMGMDXCADSRNCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000008431 aliphatic amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001414 amino alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- NDKBVBUGCNGSJJ-UHFFFAOYSA-M benzyltrimethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 NDKBVBUGCNGSJJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- AOGYCOYQMAVAFD-UHFFFAOYSA-N chlorocarbonic acid Chemical class OC(Cl)=O AOGYCOYQMAVAFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000536 complexating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011243 crosslinked material Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 1
- XQRLCLUYWUNEEH-UHFFFAOYSA-N diphosphonic acid Chemical compound OP(=O)OP(O)=O XQRLCLUYWUNEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- GUVUOGQBMYCBQP-UHFFFAOYSA-N dmpu Chemical compound CN1CCCN(C)C1=O GUVUOGQBMYCBQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical group [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 125000000686 lactone group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- YSKUDFBMFIEUIA-UHFFFAOYSA-N n-(2-hydroxyethyl)methanesulfonamide Chemical compound CS(=O)(=O)NCCO YSKUDFBMFIEUIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 150000003856 quaternary ammonium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000001115 scanning electrochemical microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M tetrapropylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCC[N+](CCC)(CCC)CCC LPSKDVINWQNWFE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 150000003672 ureas Chemical class 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/42—Stripping or agents therefor
- G03F7/422—Stripping or agents therefor using liquids only
- G03F7/425—Stripping or agents therefor using liquids only containing mineral alkaline compounds; containing organic basic compounds, e.g. quaternary ammonium compounds; containing heterocyclic basic compounds containing nitrogen
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
- H01L21/0206—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of insulating layers
- H01L21/02063—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of insulating layers the processing being the formation of vias or contact holes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31127—Etching organic layers
- H01L21/31133—Etching organic layers by chemical means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Description
(A)フッ化水素酸と金属非含有の塩基の塩、
(B1)水溶性有機溶媒、
(C)有機酸と無機酸から成る群から選ばれる酸、及び
(D)水、
を必須の成分として、及び
(E)アンモニウム塩、
を任意の成分として含むレジストストリッピング組成物が開示されている。
従って、新規な液体組成物が見出された。該液体組成物は、N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体を含まず、回転式粘度計で測定して、50℃で、動的せん断粘度が1〜10mPasである液体組成物であって、該液体組成物の全質量に対して、
(A)それぞれの試験液(AB)の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す溶媒から成る群から選ばれる、(液体組成物の全質量に対して、)40〜99.95質量%の少なくとも1種の極性有機溶媒、
(B)(液体組成物の全質量に対して、)0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)液体組成物の全質量に対して、<5質量%の水、
を含むものである。
(I)それぞれの試験液(AB)の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す、少なくとも1種の極性有機溶媒(A)を選択する工程、
(II)得られた混合物の全質量に対して、
(A)40〜99.5質量%の少なくとも1種の、選択された極性溶媒、
(B)0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、
(C)<5質量%の水、
を、N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン及びヒドロキシルアミン誘導体の不存在下に混合する工程、
(III)回転式粘度計で測定して、50℃で、工程(II)で得られた混合物の動的せん断粘度を1〜10mPasに調整する工程、
を含むものである。
(1)少なくとも1種の低誘電率材料又は超低誘電率材料から成る絶縁性誘電体層を、基材の頂部に施す工程、
(2)ポジティブ又はネガティブなレジスト層を、絶縁性誘電体層(1)の頂部に施す工程、
(3)レジスト層を電磁放射又は粒子線に、選択的に曝す工程、
(4)レジスト層(3)を現像し、レジストパターンを形成する工程、
(5)レジストパターン(4)をマスクとして使用して絶縁性誘電体層(1)をドライエッチングし、基材表面と通じるワイヤートレンチ及び/又はビアホールを形成する工程、
(6)それぞれの試験液(AB)の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す、少なくとも1種の極性有機溶媒(A)を選択する工程、
(7)N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体を含まず、及び回転式粘度計で測定して、50℃で、動的せん断粘度が1〜10mPasであり、及び組成物の全質量に対して、
(A)工程(6)から選ばれる、40〜99.5質量%の少なくとも1種の極性有機溶媒、
(B)組成物の全質量に対して、0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)組成物の全質量に対して、<5質量%の水、
を含む少なくとも1種のレジストストリッピング組成物を用意する工程、
(8)オールウェット法によって、工程(7)に従って製造された、少なくとも1種のレジストストリッピング組成物を使用して、レジストパターン及びエッチング後の残留物を除去する工程、及び、
(9)ワイヤートレンチ及びビアホールを、電気抵抗が低い少なくとも1種の材料で充填する工程、
を含むものである。
更に、パターン化Through Silicon Viasによる、及び/又はメッキ及びバンピングによる3D Stacked Integrated Circuits及び3D Wafer Level Packingsの製造で、所定の液体組成物を、ネガティブ−トーン、及びポジティブ−トーンフォトレジスト、及びエッチング後の残留物を除去するために使用する新規な方法が見出された。ここで上記所定の液体組成物は、N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体を含まず、及び回転式粘度計で測定して、50℃で、動的せん断粘度が1〜10mPasであり、及び組成物の全質量に対して、
(A)それぞれの試験液(AB)の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す溶媒から成る群から選ばれる、組成物の全質量に対して40〜99.95質量%の少なくとも1種の極性有機溶媒、
(B)組成物の全質量に対して0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)組成物の全質量に対して、<5質量%の水、
を含むものである。
本発明の目的が、本発明の組成物、本発明の製造(調製)、本発明の製造方法によって達成可能であることは、上述した従来技術の観点から、この技術分野の当業者にとって驚くべきことであり、そして予期することができなかった。
その最も広い局面では、本発明は、N−アルキルピロリドン、特にN−メチルピロリドン、及びN−エチルピロリドン、及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体、特に米国特許出願US2005/0266683A1、第4頁パラグラフ[0046]〜[0050]、及びUS2005/0263743A1、第4頁、パラグラフ[0057]〜第5頁、パラグラフ[0063]に開示されたヒドロキシルアミン誘導体を含まない液体組成物に関する。
「一定の(constant)」という特徴的構成は、与えられた範囲で、除去速度が、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の濃度から完全に、又は実質的に独立していることを意味する。
−国際特許出願WO2004/100245A1、第9頁、パラグラフ[0030]〜第10頁、パラグラフ[0031]、
−米国特許出願US2005/0176259A1、第4頁、パラグラフ[0049]〜第5頁、パラグラフ[0059]、
−米国特許出願US2005/0263743A1、第5頁、パラグラフ[0067]〜第6頁、パラグラフ[0073]、及び
−米国特許出願US2008/0280452A1、第3頁、パラグラフ[0045]〜第4頁、パラグラフ[0053]。
−US2004/0106531A1、第6頁、パラグラフ[0074]、及び
−US2005/0263743A1、第5頁、パラグラフ[0070]、第6頁、パラグラフ[0073](パラグラフ[0078]と一緒に)。
(A)40、好ましくは45、及び最も好ましくは50質量%〜〜99.95質量%、又はより好ましくは99.94質量%の、少なくとも1種の、選択された極性有機溶媒、
(B)0.05質量%、又はより好ましくは0.6質量%〜<0.5質量%の、上述した少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)<5質量%、好ましくは<4質量%、より好ましくは<3質量%、及び最も好ましくは<2質量%の水、
(質量%は、組成物、及び特に本発明の組成物の全質量に基く)を含むものが用意される。
好ましくは、UV−線、遠UV−線、エキシマーレーザー線、特に、KrF−、ArF−、又はF2−エキシマーレーザー線、又はX−線が、電磁放射(electromagnetic radiation)として使用される。暴露のために、レジスト層を、このような活性線を放射可能な光源、例えば低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、又はキセノンランプに、所望のマスクパターンを通して曝しても良い。
実施例1
極性有機溶媒(A)の選択
表1に示した極性有機溶媒を、その洗浄機能、及びその高い沸点、高い引火点、及び環境性、健康性、及び安全性(EHS)の評価(すなわち、溶媒は、可能な限りEHS問題を引き起こすべきでない)に従い、酸塩化物、クロロフォルメート、アルコール、ジオール、ポリオール、アルデヒド、アセタール、ケトン、アミン、アミノアルコール、カルボン酸、及び誘導体、複素環式化合物、イオン液体、ニトリル、ウレア誘導体、ビニル化合物、ビニルエーテル、及び脂肪族アミドから成る群からの極性有機溶媒(S)から、予め選択した。
シリコン半導体ウエハーの被覆したピースを、50℃でビーカー内で、180秒間、100rpmで攪拌した試験溶液(SB)に曝した。この後、シリコン半導体の被覆したピースを、試験溶液(SB)から取り出し、イソプロパノール、そして次に脱イオン水でリンスし、そして乾燥した窒素を使用して50℃で乾燥した。室温にまで冷却した後、transmission FTIR及び干渉分光法を使用して、架橋されたポリマー性バリア反射防止層がなお残っているか否か、残っている場合には、その厚さがいくらかを調査した。
試験溶液(SB)のTMAH濃度の、エッチング速度に対する影響
追加的に、表1の極性有機溶媒、及び1質量%、2質量%、及び4質量%(質量%は、各試験溶液の全質量に基づく)のTMAHを含む試験溶液(SB)の相性(適合性)を以下のように試験した。
処理されていない超低誘電率層とは対照的に、曝された超低誘電率層のほとんど全て、特に、2質量%、及び4質量%のTMAHを含む試験溶液(SB)に曝された層が、厚さの相当な低減を示した。150℃で、120分間、焼き鈍しすることによって、試験溶液(SB)を曝された超低誘電率層から除去した後、厚さは(特に、2質量%及び4質量%のTMAHを含む試験溶液(SB)に曝された層の場合)更に減少した。
有機極性溶媒(A)、低濃度のTMAHを含む組成物の、レジストストリッピング組成物としての使用
厚さが30nmのシリコンカーバイドエッチストップ層、厚さが386nmの超低誘電率カーボンドープシリコンオキシド層、厚さが39nmのチタニウムニトリド硬質マスク層、遠UV吸収基(UV absorbing group)を含む、厚さが28nmのポリマー性バリア反射防止層、ペンディングアダマンタン、及びラクトン基を含むメタクリレートコポリマーをベースにした、厚さが60nmの、ポジティブ194nm遠UVレジストで、この順番で被覆された300mmシリコン半導体ウエハーを実施例3のために使用した。
極性有機溶媒(A)及び低濃度のTMAHを含む組成物の、ポジティブトーン及びネガティブトーンフォトレジスト、及びエッチング後の残留物をストリップ除去するための使用、及び組成物、及び支持体上に薄くされたシリコンウエハーを結合させているグリュー材料の相性(適合性)
実施例4を行うために、実施例3の組成物3.1〜3.5を使用した。
Claims (14)
- 電気装置を製造するための方法であって、以下の工程、
(1)少なくとも1種の低誘電率材料又は超低誘電率材料から成る絶縁性誘電体層を、基材の頂部に施す工程、
(2)ポジティブ又はネガティブなレジスト層を、絶縁性誘電体層(1)の頂部に施す工程、
(3)レジスト層(2)を電磁放射又は粒子線に、選択的に曝す工程、
(4)選択的に曝されたレジスト層(3)を現像し、レジストパターンを形成する工程、
(5)レジストパターン(4)をマスクとして使用して絶縁性誘電体層(1)をドライエッチングし、基材表面と通じるワイヤートレンチ及び/又はビアホールを形成する工程、
(6)それぞれの試験液の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す、ジエチレントリアミン、N−メチルイミダゾール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、及びジメチルスルホキシドから成る群から選ばれる少なくとも1種の極性有機溶媒(A)を選択する工程、
(7)N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体を含まず、及び回転式粘度計で測定して、50℃で、動的せん断粘度が1〜10mPasであり、及び当該組成物の全質量に対して、
(A)工程(6)から選ばれる、40〜99.5質量%の少なくとも1種の極性有機溶媒、
(B)組成物の全質量に対して、0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)組成物の全質量に対して、<2質量%の水、
を含む少なくとも1種のレジストストリッピング組成物を用意する工程、
(8)オールウェット法によって、工程(7)に従って製造された、少なくとも1種のレジストストリッピング組成物(7)を使用して、レジストパターン及びエッチング後の残留物を除去する工程、及び、
(9)ワイヤートレンチ(5)及びビアホール(5)を、電気抵抗が低い少なくとも1種の材料で充填する工程、
を含むことを特徴とする電気装置を製造するための方法。 - 水酸化第4級アンモニウム(B)が、テトラメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム、テトラプロピルアンモニウム、テトラブチルアンモニウム、ベンジルトリメチルアンモニウム、及び(2−ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシドから成る群から選ばれることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 水酸化第4級アンモニウム(B)が、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドであることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 溶媒(A)とは異なる極性有機溶媒(D)、防蝕剤(E)、キレート剤(F)、フッ化塩(G)、及び界面活性剤(H)から成る群から選ばれる、少なくとも1種の追加的な成分を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 防蝕剤(E)が、銅防蝕剤から成る群から選ばれることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 硬質マスク層(10)が、レジスト層(2)と絶縁性誘電体層(1)の間に配置され、前記硬質マスク層(10)は、工程(5)で、マスクとしてレジストパターン(4)を使用して選択的にエッチングされることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- バリア反射防止層(11)が、レジスト層(2)と絶縁性誘電体層(1)の間に配置され、前記バリア反射防止層(11)は、工程(5)で、マスクとしてレジストパターン(4)を使用して選択的にエッチングされることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- バリア反射防止層(11)が、硬質マスク層(10)とレジスト層(2)の間に配置され、前記バリア反射防止層(11)及び硬質マスク層(10)は、工程(5)で選択的にエッチングされることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 選択的にエッチングされたバリア反射防止層(11)が、工程(8)で除去されることを特徴とする請求項1又は6に記載の方法。
- 電気抵抗が低い材料(9)として、銅が使用されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 製造された電気装置が、半導体集積回路、液晶パネル、有機エレクトロルミネセントパネル、プリント基板、マイクロマシン、DNAチップ及びマイクロプラントであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- パターン化Through Silicon Viasによる、及び/又はメッキ及びバンピングによる3D Stacked Integrated Circuits及び3DWafer Level Packingsの製造で、レジストストリッピング組成物を、ネガティブ−トーン、及びポジティブ−トーンフォトレジスト、及びエッチング後の残留物を除去するために使用する方法であって、
前記組成物は、N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体を含まず、及び回転式粘度計で測定して、50℃で、動的せん断粘度が1〜10mPasであり、及び組成物の全質量に対して、
(A)それぞれの試験液(AB)の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す、ジエチレントリアミン、N−メチルイミダゾール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、及びジメチルスルホキシドから成る群から選ばれる、組成物の全質量に対して40〜99.95質量%の少なくとも1種の極性有機溶媒、
(B)組成物の全質量に対して0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)組成物の全質量に対して、<2質量%の水、
を含むことを特徴とする方法。 - 銅及び低誘電率材料又は超低誘電率材料を含む半導体基材からパターン化されたレジストを除去するためにレジストストリッピング組成物を使用する方法であって、
前記組成物は、N−アルキルピロリドン及びヒドロキシルアミン、及びヒドロキシルアミン誘導体を含まず、及び回転式粘度計で測定して、50℃で、動的せん断粘度が1〜10mPasであり、及び組成物の全質量に対して、
(A)それぞれの試験液(AB)の全質量に対する百分率で表して、0.06〜4質量%の、溶解したテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(B)の存在下に、遠UV吸収発色団を含む、厚さが30nmのポリマー性バリア反射防止層について、50℃で一定の除去速度を示す、ジエチレントリアミン、N−メチルイミダゾール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、及びジメチルスルホキシドから成る群から選ばれる、組成物の全質量に対して40〜99.95質量%の少なくとも1種の極性有機溶媒、
(B)組成物の全質量に対して0.05〜<0.5質量%の、少なくとも1種の水酸化第4級アンモニウム、及び
(C)組成物の全質量に対して、<2質量%の水、
を含むことを特徴とする方法。 - エッチング後残留物(PER)及びバリア反射防止層(BARC)を除去することを特徴とする請求項13に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17617909P | 2009-05-07 | 2009-05-07 | |
US61/176,179 | 2009-05-07 | ||
PCT/EP2010/055205 WO2010127943A1 (en) | 2009-05-07 | 2010-04-20 | Resist stripping compositions and methods for manufacturing electrical devices |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012526295A JP2012526295A (ja) | 2012-10-25 |
JP2012526295A5 JP2012526295A5 (ja) | 2013-06-06 |
JP5836932B2 true JP5836932B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=42271987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012508978A Active JP5836932B2 (ja) | 2009-05-07 | 2010-04-20 | レジストストリッピング組成物及び電気装置を製造するための方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9146471B2 (ja) |
EP (1) | EP2427804B1 (ja) |
JP (1) | JP5836932B2 (ja) |
KR (1) | KR101799602B1 (ja) |
CN (1) | CN102804074B (ja) |
IL (1) | IL215954A (ja) |
MY (1) | MY158776A (ja) |
RU (1) | RU2551841C2 (ja) |
SG (2) | SG10201402081TA (ja) |
TW (1) | TWI492001B (ja) |
WO (1) | WO2010127943A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012127342A1 (en) | 2011-03-18 | 2012-09-27 | Basf Se | Method for manufacturing integrated circuit devices, optical devices, micromachines and mechanical precision devices having patterned material layers with line-space dimensions of 50 nm and less |
CN104169801B (zh) * | 2012-03-16 | 2019-12-17 | 巴斯夫欧洲公司 | 光致抗蚀剂剥离和清洁组合物、其制备方法及其用途 |
SG11201500235XA (en) * | 2012-07-16 | 2015-02-27 | Basf Se | Composition for manufacturing integrated circuit devices, optical devices, micromachines and mechanical precision devices |
CN104769733B (zh) * | 2012-07-24 | 2017-08-08 | 株式会社Lg化学 | 用于改进发光器件的光提取效率的方法以及用于制造发光器件的方法 |
JP6165665B2 (ja) * | 2013-05-30 | 2017-07-19 | 信越化学工業株式会社 | 基板の洗浄方法 |
US9472420B2 (en) | 2013-12-20 | 2016-10-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Composition for titanium nitride hard mask and etch residue removal |
CN104774697A (zh) * | 2015-04-28 | 2015-07-15 | 苏州永创达电子有限公司 | 一种液晶清洗剂 |
US9976111B2 (en) | 2015-05-01 | 2018-05-22 | Versum Materials Us, Llc | TiN hard mask and etch residual removal |
KR102384908B1 (ko) * | 2015-11-25 | 2022-04-08 | 삼성전자주식회사 | 자성 패턴 세정 조성물, 자성 패턴 형성 방법 및 자기 메모리 장치의 제조 방법 |
KR20180087624A (ko) | 2017-01-25 | 2018-08-02 | 동우 화인켐 주식회사 | 레지스트 박리액 조성물 |
US11175587B2 (en) * | 2017-09-29 | 2021-11-16 | Versum Materials Us, Llc | Stripper solutions and methods of using stripper solutions |
US10948826B2 (en) * | 2018-03-07 | 2021-03-16 | Versum Materials Us, Llc | Photoresist stripper |
KR20200076778A (ko) | 2018-12-19 | 2020-06-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지의 제조방법 |
JP7273660B2 (ja) * | 2019-08-30 | 2023-05-15 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置、および半導体装置の製造方法 |
KR20220058094A (ko) | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 주식회사 이엔에프테크놀로지 | 포토레지스트 제거용 박리액 조성물 |
KR20220150134A (ko) * | 2021-05-03 | 2022-11-10 | 삼성전자주식회사 | 포토레지스트 박리 조성물과 이를 이용하는 반도체 소자 및 반도체 패키지의 제조 방법 |
CN117031895A (zh) * | 2023-08-17 | 2023-11-10 | 浙江奥首材料科技有限公司 | 一种芯片光刻胶剥离液、其制备方法及用途 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1834588A1 (ru) * | 1989-12-07 | 1996-07-10 | Научно-исследовательский институт точного машиностроения | Способ формирования рельефа интегральных микросхем |
CA2193905A1 (en) | 1996-12-24 | 1998-06-24 | Luc Ouellet | Integrated processing for an etch module |
JPH10239865A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-11 | Jsr Corp | ネガ型フォトレジスト用剥離液組成物 |
US6218078B1 (en) | 1997-09-24 | 2001-04-17 | Advanced Micro Devices, Inc. | Creation of an etch hardmask by spin-on technique |
US5919599A (en) | 1997-09-30 | 1999-07-06 | Brewer Science, Inc. | Thermosetting anti-reflective coatings at deep ultraviolet |
US7579308B2 (en) | 1998-07-06 | 2009-08-25 | Ekc/Dupont Electronics Technologies | Compositions and processes for photoresist stripping and residue removal in wafer level packaging |
US7547669B2 (en) | 1998-07-06 | 2009-06-16 | Ekc Technology, Inc. | Remover compositions for dual damascene system |
RU2145156C1 (ru) * | 1999-02-09 | 2000-01-27 | Нижегородский государственный технический университет | Способ формирования структур в микроэлектронике |
GB0009112D0 (en) * | 2000-04-12 | 2000-05-31 | Ekc Technology Ltd | Inhibition of titanium corrosion |
JP3738996B2 (ja) | 2002-10-10 | 2006-01-25 | 東京応化工業株式会社 | ホトリソグラフィー用洗浄液および基板の処理方法 |
CN100403169C (zh) | 2001-07-13 | 2008-07-16 | Ekc技术公司 | 亚砜吡咯烷酮链烷醇胺剥离和清洗组合物 |
CN100338530C (zh) | 2001-11-02 | 2007-09-19 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 剥离抗蚀剂的方法 |
US20030148624A1 (en) | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Kazuto Ikemoto | Method for removing resists |
KR101017738B1 (ko) * | 2002-03-12 | 2011-02-28 | 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤 | 포토레지스트 박리제 조성물 및 세정 조성물 |
TWI297725B (en) * | 2002-04-25 | 2008-06-11 | Arch Spec Chem Inc | Non-corrosive cleaning compositions for pemoving etch residues |
JP3516446B2 (ja) | 2002-04-26 | 2004-04-05 | 東京応化工業株式会社 | ホトレジスト剥離方法 |
JP4443864B2 (ja) | 2002-07-12 | 2010-03-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | レジストまたはエッチング残さ物除去用洗浄液および半導体装置の製造方法 |
US7399365B2 (en) | 2003-04-18 | 2008-07-15 | Ekc Technology, Inc. | Aqueous fluoride compositions for cleaning semiconductor devices |
KR20060014388A (ko) | 2003-05-02 | 2006-02-15 | 이케이씨 테크놀로지, 인코포레이티드 | 반도체 공정에서의 에칭후 잔류물의 제거 방법 |
RU2263998C2 (ru) * | 2003-06-05 | 2005-11-10 | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" | Способ изготовления тонкопленочной структуры межсоединений принтерной головки с тонкопленочным резистором |
KR101043397B1 (ko) | 2003-07-10 | 2011-06-22 | 주식회사 동진쎄미켐 | 티에프티 엘시디 제조 공정의 칼라 레지스트 제거용박리액 조성물 |
US7384900B2 (en) * | 2003-08-27 | 2008-06-10 | Lg Display Co., Ltd. | Composition and method for removing copper-compatible resist |
JP2005181802A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | レジスト剥離液組成物 |
US9217929B2 (en) | 2004-07-22 | 2015-12-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Composition for removing photoresist and/or etching residue from a substrate and use thereof |
US20060213780A1 (en) | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Electroplating composition and method |
US7432210B2 (en) | 2005-10-05 | 2008-10-07 | Applied Materials, Inc. | Process to open carbon based hardmask |
KR100908601B1 (ko) | 2007-06-05 | 2009-07-21 | 제일모직주식회사 | 반사방지 하드마스크 조성물 및 이를 이용한 기판상 재료의패턴화 방법 |
US7884019B2 (en) | 2007-06-07 | 2011-02-08 | Texas Instruments Incorporated | Poison-free and low ULK damage integration scheme for damascene interconnects |
US7981812B2 (en) | 2007-07-08 | 2011-07-19 | Applied Materials, Inc. | Methods for forming ultra thin structures on a substrate |
CN101398638A (zh) | 2007-09-29 | 2009-04-01 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种光刻胶清洗剂 |
US20090121353A1 (en) * | 2007-11-13 | 2009-05-14 | Ramappa Deepak A | Dual damascene beol integration without dummy fill structures to reduce parasitic capacitance |
CN101578341A (zh) * | 2008-01-07 | 2009-11-11 | 巴斯夫欧洲公司 | 有机涂膜剥离用组合物及剥离有机涂膜的方法 |
RU2010148303A (ru) | 2008-04-28 | 2012-06-10 | Басф Се (De) | Low-к диэлектрики, получаемые методом twin-полимеризации |
CN102046699B (zh) | 2008-05-26 | 2012-09-05 | 巴斯夫欧洲公司 | 制备多孔材料的方法和通过该方法制备的多孔材料 |
US8444768B2 (en) * | 2009-03-27 | 2013-05-21 | Eastman Chemical Company | Compositions and methods for removing organic substances |
WO2010127941A1 (en) | 2009-05-07 | 2010-11-11 | Basf Se | Resist stripping compositions and methods for manufacturing electrical devices |
-
2010
- 2010-04-20 MY MYPI2011005271A patent/MY158776A/en unknown
- 2010-04-20 CN CN201080030190.1A patent/CN102804074B/zh active Active
- 2010-04-20 US US13/319,187 patent/US9146471B2/en active Active
- 2010-04-20 RU RU2011149552/04A patent/RU2551841C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2010-04-20 EP EP10715225.8A patent/EP2427804B1/en active Active
- 2010-04-20 JP JP2012508978A patent/JP5836932B2/ja active Active
- 2010-04-20 KR KR1020117029143A patent/KR101799602B1/ko active IP Right Grant
- 2010-04-20 SG SG10201402081TA patent/SG10201402081TA/en unknown
- 2010-04-20 WO PCT/EP2010/055205 patent/WO2010127943A1/en active Application Filing
- 2010-04-20 SG SG2011079381A patent/SG175820A1/en unknown
- 2010-05-06 TW TW099114548A patent/TWI492001B/zh active
-
2011
- 2011-10-26 IL IL215954A patent/IL215954A/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102804074B (zh) | 2015-03-04 |
SG10201402081TA (en) | 2014-07-30 |
SG175820A1 (en) | 2011-12-29 |
TWI492001B (zh) | 2015-07-11 |
KR20120024714A (ko) | 2012-03-14 |
US20120058644A1 (en) | 2012-03-08 |
JP2012526295A (ja) | 2012-10-25 |
TW201044124A (en) | 2010-12-16 |
IL215954A0 (en) | 2012-01-31 |
CN102804074A (zh) | 2012-11-28 |
WO2010127943A1 (en) | 2010-11-11 |
IL215954A (en) | 2017-01-31 |
EP2427804B1 (en) | 2019-10-02 |
MY158776A (en) | 2016-11-15 |
US9146471B2 (en) | 2015-09-29 |
EP2427804A1 (en) | 2012-03-14 |
KR101799602B1 (ko) | 2017-11-20 |
RU2011149552A (ru) | 2013-06-20 |
RU2551841C2 (ru) | 2015-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5836932B2 (ja) | レジストストリッピング組成物及び電気装置を製造するための方法 | |
JP5663562B2 (ja) | レジストストリッピング組成物及び電気装置を製造するための方法 | |
KR102378486B1 (ko) | 에칭제 용액 및 이를 사용하는 방법 | |
WO2010127941A1 (en) | Resist stripping compositions and methods for manufacturing electrical devices | |
TWI274968B (en) | Composition for stripping and cleaning and use thereof | |
TWI355416B (en) | Aqueous cleaning composition for removing residues | |
US20040038840A1 (en) | Oxalic acid as a semiaqueous cleaning product for copper and dielectrics | |
KR20040032855A (ko) | 술폭시드 피롤리드(인)온 알칸올아민 박리 및 세정 조성물 | |
JP2007510173A (ja) | 石英で被覆したポリシリコンおよびその他の資材の洗浄におけるビスコリンおよびトリスコリンの使用工程 | |
EP1550912A1 (en) | Method for removing photoresist | |
JP2007531006A (ja) | パターン化されたイオン注入フォトレジストのウエハーから裏面反射防止膜を除去するのに有用な組成物 | |
JP2006096984A (ja) | 残留物を除去するための組成物及び方法 | |
JP2007109744A (ja) | 基板洗浄液 | |
JP2007311729A (ja) | 基板洗浄液 | |
JP2005217116A (ja) | 銅配線用非フッ素系残渣洗浄剤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130416 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140722 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140729 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140819 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150525 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5836932 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |