JP5814804B2 - 半導体製造装置および半導体製造方法 - Google Patents
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Description
(実施形態1)
図1に、本実施形態の半導体製造装置であるエピタキシャル成膜装置の断面図を示す。図に示すように、例えばφ200mmのウェーハwが成膜処理される反応室11には、反応室11上方より、トリクロロシラン、ジクロロシランなどのソースガスを含むプロセスガスなどを、所定の流量でウェーハw上に供給するためのガス供給機構12と接続されたガス供給口12aが設置されている。反応室11の内壁には、例えば石英からなり、反応室11の清掃時には取り外し可能なライナー11aが設けられている。反応室11下方には、例えば2箇所に、ガスを排出し、反応室11内の圧力を一定(常圧)に制御するためのガス排出機構13と配管接続されたガス排出口13aが配置されている。反応室11の底部には、反応室11の壁面から滴下されるオイリーシランを受け取り、誘導するオイリーシランの案内溝としてオイリーシラン受け部14aが設置されている。また、オイリーシラン受け部14aの底面にはオイリーシランを排出するオイリーシラン排出口14bが形成されている。オイリーシラン排出口14bには、オイリーシランを反応室11の外に排出するドレイン14cが接続されている。そして、ドレイン14cの下方には、バルブ14dを介してオイリーシランを溜めるタンク14eが接続されている。
本実施形態において、実施形態1とエピタキシャル成膜装置の構成は同様であるが、排気を横方向とすることにより、オイリーシラン受け部を回転軸18aの周囲に複数個設けている点で実施形態1と異なっている。
12…ガス供給機構
12a…ガス供給口
13、23…ガス排出機構
13a、23a…ガス排出口
14a、24a…オイリーシラン受け部
14b、24b…オイリーシラン排出口
14c、24c…ドレイン
14d、24d…バルブ
14e、24e…タンク
15…整流板
16…サセプタ
17…リング
18…回転駆動制御機構
19…ヒータ
Claims (10)
- ガス供給口およびガス排出口を有し、ウェーハが導入される反応室と、
前記反応室の前記ガス供給口から前記反応室内にプロセスガスを供給するプロセスガス供給機構と、
前記反応室内に設けられ、前記ウェーハを保持するウェーハ保持部材と、
前記反応室内に設けられ、前記ウェーハ保持部材で保持された前記ウェーハを所定の温度に加熱するヒータと、
前記ウェーハ保持部材を前記ウェーハと共に回転させる回転駆動制御機構と、
前記反応室の前記ガス排出口から前記反応室内のガスを排出するガス排出機構と、
前記反応室の外部に設けられるドレインと、
前記反応室の底面に設けられ、少なくとも一部に傾斜面を有し、前記反応室の壁面から滴下するオイリーシランを受け前記ドレインに逐次導入するオイリーシラン受け部と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記ガス排出口は、前記オイリーシラン受け部の上面から突出して設置されることを特徴とする請求項1の半導体製造装置。
- 前記ガス排出口は、前記反応室の壁面の下部に設置されることを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記オイリーシラン受け部は、前記反応室の内壁面に沿って形成され、前記ガス排出口近傍を頂部として、この頂部から前記ドレインが設けられる底部に向かって下方に傾斜し、前記反応室の前記壁面より滴下された前記オイリーシランを前記ドレインへ誘導する案内溝を備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体製造装置。
- 前記オイリーシラン受け部は、複数個形成され、前記反応室の前記底面側の口径より前記ドレイン側の口径が小さいことを特徴とする請求項3に記載の半導体製造装置。
- 前記ドレインに接続され、前記オイリーシランを溜めた状態で、前記反応室から分離可能なタンクを更に備えることを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体製造装置。
- 前記タンクの内部に溜められた前記オイリーシランの量を検知する検知機構を更に備えることを特徴とする請求項6の半導体製造装置。
- 反応室内にウェーハを導入し、
前記ウェーハを所定温度で加熱し、
前記ウェーハを回転させ、前記ウェーハ上にSiソースガスを含むプロセスガスを供給することにより、前記ウェーハ上に成膜し、
余剰のプロセスガスを排出するとともに、前記成膜の過程で生成され、前記反応室の壁面から滴下されるオイリーシランを、前記反応室の底面に設けられ、少なくとも一部に傾斜面を有するオイリーシラン受け部において受け、このオイリーシラン受け部を介して、前記反応室の外部に設けられたドレインに逐次導入し、前記反応室の外側に排出すること特徴とする半導体製造方法。 - 前記オイリーシランが導入される前記ドレインに接続されたタンクを前記反応室から分離した後、前記オイリーシランを処理することを特徴とする請求項8に記載の半導体製造方法。
- 前記タンクの内部に溜められた前記オイリーシランの量を検知し、前記検知した量に基づいて前記タンクを前記反応室から分離することを特徴とする請求項9に記載の半導体製造方法。
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