JP5813916B2 - 垂直磁気記録ヘッド - Google Patents
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Description
また、好ましくは、主磁極のトレーリング側およびリーディング側に浮上面の垂直方向からダウントラック方向に傾斜した面を有し、該傾斜の角度はトレーリング側の方がリーディング側よりも大きく構成する。
また、好ましくは、主磁極は浮上面から遠ざかるに連れてトラック幅方向の長さが増加するフレア形状を有し、フレア角度θを、任意のクロストラック位置における浮上面から垂直方向の距離hとその位置におけるトラック幅方向の幅と浮上面部分の幅の差分△Twwを用いてtanθ=△Tww/2hと定義した場合、該浮上面部分よりトレーリング側に位置する部分のθ1に比べて、浮上面よりリーディング側に存在する部分のフレア角度θ2を小さく構成する。
また、好ましくは、該浮上面部分のダウントラック方向の幅は、該浮上面部分のクロストラック方向の幅に比べて大きく構成する。
また、好ましくは、該浮上面部分のダウントラック方向の幅は、該浮上面部分のクロストラック方向の幅の1/2以下である。
また、好ましくは、該主磁極のトレーリング側に配置されたトレーリングシールドと、該主磁極のクロストラック方向両側に配置されたサイドシールドを有し、該トレーリングシールドの飽和磁束密度は該サイドシールドの飽和磁束密度に比べて大きい。
例えば、有限要素法磁界計算で求めた磁界分布を基に説明する。計算に用いた記録ヘッドは、主磁極のクロストラック方向の長さ(以下主磁極幅)は60nm、同ダウントラック方向の長さ(主磁極厚さ)は120nmである。
図6(b)はヘッド磁界シミュレーションによって求めたθL/θTと遷移線湾曲の関係を示す。計算に用いたヘッド寸法の主磁極幅は60nm、主磁極厚さは120nmである。θL/θTの増加ともに、湾曲は低減する。この理由は、テーパー面2から供給される磁束量は、テーパー角度減少とともに増加する。従ってθL/θTが増加すると、主磁極トレーリング側の磁束が増大し湾曲が改善されるのである。図から明らかなように、この効果は、θT<θLとすることで効果的に湾曲を低減することが可能である。
一般的にフレア形状によるクロストラック方向の磁束の絞り込み効果は、50°程度まではフレア角度が大きいほど増加する。従ってトレーリング側に位置する主磁極部分のフレア角度を、リーディング側のそれより大きくすることで、トレーリング部分に選択的に磁束を集中することが可能となり、本発明による記録磁界の湾曲を低減する効果は一層大きくなる。
図8(b)はヘッド磁界シミュレーションによって求めた、湾曲とPW/tMPAの関係を示す。ここではPWは60nmとして、主磁極厚さを30〜240nmと変化させた。図から明らかなように、PW/tMPA低下とともに遷移線湾曲は低減する。これによって記録遷移線の直線性向上が可能である。また、PW/tMPA > 1となると、その効果がより大きい。
まず、ウェハ30上に製膜された無機物絶縁膜31の上に、フォトレジストなどからなるマスク32を形成する(図11(a))。ここで、無機絶縁膜には、アルミナ、SiO2,NiCrなどを用いることができる。次に、マスク32を用いて、無機絶縁膜をエッチングして傾斜面を形成する(図11(b))。エッチングにはArイオンミリングや塩素系ガスを用いたRIEあるいはAr+CHF3などのフッ素系混合ガスを用いた反応性イオンミリングを利用することができる。このとき、エッチング角度やマスク厚さによって、傾斜面の角度を制御する。また、エッチング深さを全体の膜厚の1/2以上とすることで、実施例1に述べたような形状を実現することが可能である。
15:コイル 16:ヨーク 20:再生ヘッド 21:再生素子 22:下部シールド
23:上部シールド 30:ウェハ 31:無機絶縁膜 32:マスク 33:主磁極磁性膜
34:マスク 35:非磁性サイドギャップ膜 36:サイドシールド磁性膜 37:マスク
38:非磁性膜 39:マスク 40:磁性膜 41:浮上面位置。
Claims (2)
- 主磁極のダウントラック方向の膜厚は浮上面から遠ざかるにつれて増加し、該主磁極の浮上面に露出する部分(浮上面部分)の膜厚方向の中心位置は、浮上面から後退した部分において最大の膜厚を有する部分(後退部分)の膜厚方向の中心位置に対して、トレーリング側に位置し、
主磁極のトレーリング側およびリーディング側に浮上面の垂直方向からダウントラック方向に傾斜した面を有し、該傾斜の角度はトレーリング側の方がリーディング側よりも小さく構成することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 請求項1に記載の垂直磁気記録ヘッドにおいて、該浮上面部分のダウントラック方向の幅は、該浮上面部分のクロストラック方向の幅に比べて小さく構成することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。
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