JP4906268B2 - 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
記録媒体に対向する媒体対向面と、
記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
媒体対向面に配置された端面を有するトラック幅規定部を含み、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
トラック幅規定部の下に配置された下地層と、
下地層、磁極層およびコイルが積層される基板とを備えている。
記録媒体に対向する媒体対向面と、
記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
媒体対向面に配置された端面を有するトラック幅規定部を含み、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
磁極層およびコイルが積層される基板とを備えている。
媒体対向面に配置されたトラック幅規定部の端面は、基板に近い第1の辺と、第1の辺とは反対側の第2の辺と、第1の辺の一端と第2の辺の一端とを結ぶ第3の辺と、第1の辺の他端と第2の辺の他端とを結ぶ第4の辺とを有し、
第2の辺は、トラック幅を規定し、
媒体対向面に配置されたトラック幅規定部の端面の幅は、第1の辺に近づくに従って小さくなり、
磁極層は、コバルト、鉄、ニッケルのいずれかを含む磁性合金によって構成されている。
磁極層を構成する磁性合金に比べて、イオンビームエッチングにおけるエッチング速度が大きい材料によって構成された下地層を、トラック幅規定部が配置される領域に形成する工程と、
後に両側面がエッチングによって斜面化されることによってトラック幅規定部となる被エッチング部を含み、この被エッチング部の両側面がエッチングされることによって磁極層となる磁性層を、被エッチング部が下地層の上に配置されるように形成する工程と、
磁性層が磁極層になるように、イオンビームエッチングを用いて被エッチング部の両側面をエッチングする工程と、
コイルを形成する工程とを備えている。
磁極層を構成する磁性合金に比べて、イオンビームエッチングにおけるエッチング速度が大きく、且つ導電性を有する材料によって構成された下地層を、トラック幅規定部が配置される領域に形成する工程と、
トラック幅規定部が下地層の上に配置されるように、下地層を電極として、めっき法を用いて磁極層を形成する工程と、
イオンビームエッチングを用いて、下地層のうちの磁極層の下に存在する部分以外の部分を除去する工程と、
コイルを形成する工程とを備えている。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1および図2を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図2は本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す断面図である。なお、図2は媒体対向面および基板の面に垂直な断面を示している。また、図2において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。
次に、図18ないし図25を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。図18ないし図25において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図18ないし図25では、絶縁層8よりも基板1側の部分を省略している。
次に、図26ないし図34を参照して、本発明の第3の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。図26ないし図34において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図26ないし図34では、絶縁層8よりも基板1側の部分を省略している。
次に、図35ないし図43を参照して、本発明の第4の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。図35ないし図43において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図35ないし図43では、絶縁層8よりも基板1側の部分を省略している。
次に、図44ないし図53を参照して、本発明の第5の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。図44ないし図53において、(a)は、磁気ヘッドの製造過程における積層体の、媒体対向面および基板に垂直な断面を示し、(b)は、積層体の、媒体対向面の近傍における媒体対向面に平行な断面を示している。なお、図44ないし図53では、絶縁層8よりも基板1側の部分を省略している。
Claims (3)
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有するトラック幅規定部を含み、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
前記磁極層およびコイルが積層される基板とを備え、
前記媒体対向面に配置された前記トラック幅規定部の端面は、前記基板に近い第1の辺と、第1の辺とは反対側の第2の辺と、第1の辺の一端と第2の辺の一端とを結ぶ第3の辺と、第1の辺の他端と第2の辺の他端とを結ぶ第4の辺とを有し、
前記第2の辺は、トラック幅を規定し、
前記媒体対向面に配置された前記トラック幅規定部の端面の幅は、前記第1の辺に近づくに従って小さくなり、
前記磁極層は、コバルト、鉄、ニッケルのいずれかを含む磁性合金によって構成されている垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法であって、
前記磁極層を構成する前記磁性合金に比べて、イオンビームエッチングにおけるエッチング速度が大きく、且つ導電性を有する材料によって構成された下地層を、前記トラック幅規定部が配置される領域に形成する工程と、
前記トラック幅規定部が前記下地層の上に配置されるように、前記磁極層を形成する工程と、
イオンビームエッチングを用いて、前記下地層のうちの前記磁極層の下に存在する部分以外の部分を除去する工程と、
前記コイルを形成する工程と
を備え、
前記磁極層は、第1層と、前記第1層の上に配置された第2層とを有し、
前記磁極層を形成する工程は、
前記第1層となる電極膜を形成する工程と、
前記第2層に対応した形状の溝部を有するフレームを、前記電極膜の上に形成する工程と、
前記下地層および電極膜を電極としてめっきを行って、前記フレームの溝部内に前記第2層を形成する工程と、
前記第2層の形成後に、前記フレームを除去する工程と、
イオンビームエッチングを用いて、前記電極膜のうちの前記第2層の下に存在する部分以外の部分を除去して、前記第1層を形成する工程と
を含むことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記下地層のうちの前記磁極層の下に存在する部分以外の部分を除去する工程では、イオンビームエッチングを用いて前記トラック幅規定部の両側面もエッチングすることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
- 前記下地層を構成する材料は、Pd、PtPd、NiCuのいずれかであることを特徴とする請求項1または2記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
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