JP4818325B2 - 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4818325B2 JP4818325B2 JP2008185705A JP2008185705A JP4818325B2 JP 4818325 B2 JP4818325 B2 JP 4818325B2 JP 2008185705 A JP2008185705 A JP 2008185705A JP 2008185705 A JP2008185705 A JP 2008185705A JP 4818325 B2 JP4818325 B2 JP 4818325B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- disposed
- magnetic
- recording
- facing surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/312—Details for reducing flux leakage between the electrical coil layers and the magnetic cores or poles or between the magnetic cores or poles
- G11B5/3123—Details for reducing flux leakage between the electrical coil layers and the magnetic cores or poles or between the magnetic cores or poles by using special coil configurations or conductors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49067—Specified diverse magnetic materials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
記録媒体に対向する媒体対向面と、
記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
磁性材料よりなるシールドと、
非磁性材料よりなるギャップ層とを備えている。
磁極層を形成する工程と、
磁極層の上にギャップ層を形成する工程と、
ギャップ層の上に第1層を形成する工程と、
コイルを形成する工程と、
第2層を形成する工程と、
第2層の形成後にフォトレジスト層を形成する工程と、
フォトレジスト層の形成後に非磁性層を形成する工程とを備えている。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1ないし図3を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド(以下、単に磁気ヘッドと記す。)の構成について説明する。図1は本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成を示す断面図である。なお、図1は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。また、図1において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図2は本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図3は本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける磁極層およびシールドを示す平面図である。
次に、図16および図17を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る磁気ヘッドおよびその製造方法について説明する。図16は本実施の形態に係る磁気ヘッドの構成を示す断面図である。なお、図16は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。また、図16において記号Tで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図17は本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面の近傍における一部を示す斜視図である。
Claims (9)
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
磁性材料よりなるシールドと、
非磁性材料よりなるギャップ層とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記シールドは、前記媒体対向面において前記磁極層の前記端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する第1層と、前記コイルの少なくとも一部と前記媒体対向面との間に配置され、前記第1層に対して磁気的に接続された第2層とを有し、
前記第2層は、前記媒体対向面により近い端面を有し、この端面は前記媒体対向面から離れた位置に配置され、
前記ギャップ層は、前記磁極層と前記第1層との間に配置され、
前記垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、前記第2層の前記端面と前記媒体対向面との間に配置された、無機絶縁材料よりなる非磁性層と、前記第2層の前記端面と前記非磁性層との間に配置されたフォトレジスト層とを備えたことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - 前記コイルの少なくとも一部および前記第2層は、前記第1層に対して記録媒体の進行方向の前側に配置され、前記第2層は前記第1層に直接接続されていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
- 前記コイルの少なくとも一部および前記第2層は、前記磁極層に対して記録媒体の進行方向の後側に配置され、
前記シールドは、更に、前記磁極層に接触せずに前記第1層と第2層とを連結する連結部を有することを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - 更に、前記コイル、磁極層、シールド、ギャップ層、非磁性層およびフォトレジスト層が積層される基板を備え、
前記フォトレジスト層は、前記非磁性層に接する端面を有し、この端面の任意の位置の前記媒体対向面からの距離は、前記位置が前記基板から離れるに従って大きくなっていることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。 - 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極層と、
磁性材料よりなるシールドと、
非磁性材料よりなるギャップ層とを備え、
前記シールドは、前記媒体対向面において前記磁極層の前記端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された端面を有する第1層と、前記コイルの少なくとも一部と前記媒体対向面との間に配置され、前記第1層に対して磁気的に接続された第2層とを有し、
前記第2層は、前記媒体対向面により近い端面を有し、この端面は前記媒体対向面から離れた位置に配置され、
前記ギャップ層は、前記磁極層と前記第1層との間に配置され、
更に、前記第2層の前記端面と前記媒体対向面との間に配置された、無機絶縁材料よりなる非磁性層と、前記第2層の前記端面と前記非磁性層との間に配置されたフォトレジスト層とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドを製造する方法であって、
前記磁極層を形成する工程と、
前記磁極層の上に前記ギャップ層を形成する工程と、
前記ギャップ層の上に前記第1層を形成する工程と、
前記コイルを形成する工程と、
前記第2層を形成する工程と、
前記第2層の形成後に前記フォトレジスト層を形成する工程と、
前記フォトレジスト層の形成後に前記非磁性層を形成する工程とを備えたことを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記コイルの少なくとも一部および前記第2層は、前記第1層に対して記録媒体の進行方向の前側に配置され、前記第2層は前記第1層に直接接続され、
前記第2層は前記第1層の形成後に形成されることを特徴とする請求項5記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記コイルの少なくとも一部および前記第2層は、前記磁極層に対して記録媒体の進行方向の後側に配置され、前記シールドは、更に、前記磁極層に接触せずに前記第1層と第2層とを連結する連結部を有し、
前記垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法は、更に、前記連結部を形成する工程を備え、
前記連結部は前記第2層の形成後に形成され、前記第1層は前記連結部の形成後に形成されることを特徴とする請求項5記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記垂直磁気記録用磁気ヘッドは、更に、前記コイル、磁極層、シールド、ギャップ層、非磁性層およびフォトレジスト層が積層される基板を備え、
前記フォトレジスト層は、前記非磁性層に接する端面を有し、この端面の任意の位置の前記媒体対向面からの距離は、前記位置が前記基板から離れるに従って大きくなっており、
前記フォトレジスト層を形成する工程は、後に熱処理されることにより前記フォトレジスト層となる初期層を形成する工程と、前記初期層が収縮して前記フォトレジスト層となるように前記初期層を熱処理する工程とを含むことを特徴とする請求項5記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記非磁性層は、スパッタ法によって形成されることを特徴とする請求項5記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/987,100 | 2007-11-27 | ||
US11/987,100 US7933094B2 (en) | 2007-11-27 | 2007-11-27 | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a shield that includes a part recessed from medium facing surface |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009129534A JP2009129534A (ja) | 2009-06-11 |
JP4818325B2 true JP4818325B2 (ja) | 2011-11-16 |
Family
ID=40669498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008185705A Expired - Fee Related JP4818325B2 (ja) | 2007-11-27 | 2008-07-17 | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7933094B2 (ja) |
JP (1) | JP4818325B2 (ja) |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0166890B1 (de) * | 1984-05-04 | 1988-12-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Dünnschicht-Magnetkopf mit einem Doppelspalt für ein senkrecht zur magnetisierendes Aufzeichnungsmedium |
US4656546A (en) * | 1985-01-22 | 1987-04-07 | Digital Equipment Corporation | Vertical magnetic recording arrangement |
JPH01128214A (ja) | 1987-11-12 | 1989-05-19 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
JPH0461611A (ja) | 1990-06-28 | 1992-02-27 | Yamaha Corp | 薄膜磁気ヘッドの製造法 |
JPH087222A (ja) | 1994-06-17 | 1996-01-12 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
JPH1186219A (ja) | 1997-09-11 | 1999-03-30 | Yamaha Corp | ターミナルパッド形成用レプリカおよびその作成方法 |
US6504675B1 (en) * | 2000-01-12 | 2003-01-07 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording heads with write pole shaped to reduce skew effects during writing |
JP2001256610A (ja) * | 2000-03-09 | 2001-09-21 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP2001256614A (ja) | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP3875019B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2007-01-31 | アルプス電気株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP3593312B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2004-11-24 | アルプス電気株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP4009233B2 (ja) * | 2003-08-21 | 2007-11-14 | アルプス電気株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドの製造方法 |
JP3892023B2 (ja) * | 2004-11-05 | 2007-03-14 | Tdk株式会社 | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
JP2006164463A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Alps Electric Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッド |
JP4007513B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2007-11-14 | Tdk株式会社 | 垂直磁気記録用磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
JP2006252620A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP2007141337A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
US7508629B2 (en) * | 2005-11-30 | 2009-03-24 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording that has a structure to suppress protrusion of an end portion of a shield layer resulting from heat generated by a coil, and method of manufacturing same |
US7609479B2 (en) | 2006-03-10 | 2009-10-27 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same |
US7729085B2 (en) * | 2006-04-04 | 2010-06-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Thermally assisted recording of magnetic media using an optical resonant cavity |
US7633714B2 (en) * | 2006-07-26 | 2009-12-15 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic head for perpendicular magnetic recording and method of manufacturing same |
JP2008123600A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Shinka Jitsugyo Kk | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
-
2007
- 2007-11-27 US US11/987,100 patent/US7933094B2/en active Active
-
2008
- 2008-07-17 JP JP2008185705A patent/JP4818325B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090135530A1 (en) | 2009-05-28 |
US7933094B2 (en) | 2011-04-26 |
JP2009129534A (ja) | 2009-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4694213B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 | |
JP4343966B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP5571624B2 (ja) | テーパー主磁極を備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP5571625B2 (ja) | 主磁極の周りに設けられたシールドを有する垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP5571626B2 (ja) | 主磁極の周りに設けられたシールドを有する垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP5615863B2 (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP4999121B2 (ja) | サイドシールド層を有する垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP5707453B2 (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP4233052B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 | |
JP5513540B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 | |
JP4116626B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP4467081B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP4343922B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP4364255B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP5506965B2 (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP5607680B2 (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP2008097797A (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP5756736B2 (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP2008034077A (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2012256403A (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP5460814B2 (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド | |
JP4906268B2 (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 | |
JP5820718B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP2009151913A (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2012155829A (ja) | 主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090709 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110829 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110830 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |