JP4021886B2 - 垂直磁気記録用磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示す垂直磁気記録用磁気ヘッド1における記録ヘッド部10と同様の構成の記録ヘッドを有し、ポール部の露出面が、図3の(a)に示すのと同様の二等辺三角形状であり、トレーリングエッジとしての底辺の長さWTが0.15μm、高さHが0.15μmである磁気ヘッド作製し、作製した磁気ヘッドを用いて以下の条件で垂直磁気記録用磁気媒体に磁気情報を記録した。
・記録媒体:2.5インチ径 垂直磁気記録用磁気記録媒体(Hc=4000Oe)
・記録密度:80GB/メディア
・トラックピッチ:0.19μm
・書き込み電流:35mA
そして、記録された磁気情報を、スピンバルブGMRヘッドを用いて読み出したときの読み取り出力を、読み取り電流を3mAとして測定した。同様にして作製した100個の記録磁気ヘッドについて、このような測定を行った。表1にはその平均の値を示す。
ポール部の露出面を、図3の(c)に示すのと同様の三角形状で、二つの斜辺を連結する曲がり部の曲率半径が0.0025μmである形状とした他は、実施例1と同様にして磁気情報の記録及び読み取り出力の測定を行った。
ポール部の露出面を、図3の(c)に示すのと同様の三角形状で、二つの斜辺を連結する曲がり部の曲率半径が0.0050μmである形状とした他は、実施例1と同様にして磁気情報の記録及び読み取り出力の測定を行った。
ポール部の露出面を、図3の(c)に示すのと同様の三角形状で、二つの斜辺を連結する曲がり部の曲率半径が0.0100μmである形状とした他は、実施例1と同様にして磁気情報の記録及び読み取り出力の測定を行った。なお、露出面の面積の違いによる読み取り出力への影響を考慮して、露出面の高さHを0.19μmとして、実施例1〜3における露出面の面積と同等となるようにした。
ポール部の露出面を、図3の(c)に示すのと同様の三角形状で、二つの斜辺を連結する曲がり部の曲率半径が0.0150μmである形状とした他は、実施例1と同様にして磁気情報の記録及び読み取り出力の測定を行った。なお、露出面の面積の違いによる読み取り出力への影響を考慮して、露出面の高さHを0.19μmとして、実施例1〜3における露出面の面積と同等となるようにした。
ポール部の露出面を、図26に示すのと同様の台形状で、トレーリングエッジとしての長辺の長さWTが0.15μm、リーディングエッジとしての短辺の長さWLが0.10μm、高さHが0.15μmの台形状とした他は、実施例1と同様にして、磁気情報の記録及び読み取り出力の測定を行った。なお、露出面の面積の違いによる読み取り出力への影響を考慮して、露出面の高さHを0.15μmとして、実施例1〜3における露出面の面積と同等となるようにした。
ポール部の露出面を、図26に示すのと同様の台形状で、トレーリングエッジとしての長辺の長さWTが0.15μm、リーディングエッジとしての短辺の長さWLが0.05μm、高さHが0.12μmの台形状とした他は、実施例1と同様にして、磁気情報の記録及び読み取り出力の測定を行った。なお、露出面の面積の違いによる読み取り出力への影響を考慮して、露出面の高さHを0.12μmとして、実施例1〜3における露出面の面積と同等となるようにした。
Claims (2)
- 記録媒体の記録面に対向配置される媒体対向面を有し、基板上に設けられた磁極から磁束を放出して前記記録媒体に磁気情報を記録する垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記磁極は、前記媒体対向面側に露出する露出面を有する棒状のポール部を含んでなり、前記露出面が、前記基板の主面に対して略並行な底辺と、前記底辺に対して前記基板側に位置する二つの斜辺と、からなる三角形状であり、
前記三角形状の露出面における二つの斜辺が、滑らかな曲線からなる曲がり部を介して互いに連結しており、前記曲がり部が、0.001〜0.01μmの曲率半径を有する、垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法であって、
基板の主面に密着する磁性材料層を形成する磁性材料層形成工程と、
前記磁性材料層の一部を除去して、その形状を、前記基板の主面に密着して対向する二つの支持部と、前記支持部に挟まれる位置で前記支持部に支持されて前記基板の表面から離間し、三角形状の断面を有する棒状のポール部と、を有し、且つ、前記三角形状の断面が、前記基板の主面に略並行な底辺と、前記底辺に対して前記基板側に位置する二つの斜辺と、を有する形状とするポール部形成工程と、
前記ポール部が形成された前記磁性材料層を、前記ポール部の三角形状の断面が前記媒体対向面側に露出するように研磨する研磨工程と、を備える垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。 - 前記ポール部の三角形状の断面における二つの底角の大きさが互いに異なるように前記磁性材料層の一部を除去する、請求項1記載の垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
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