JP2005092929A - 垂直磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
ノイズが少なく、またサイドフリンジングや記録信号の消去を防止できる垂直記録磁気ヘッド、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】
主磁極30の上面30cが平坦化面として形成される。また前記主磁極30の上方部から両側方部にかけて一体的なシールド層77が形成される。さらに前記主磁極30の側面30a,30bから前記シールド層77までの膜厚方向と直交方向の間隔が、前記主磁極30の上面30cから前記シールド層77までの膜厚方向の間隔よりも大きく形成される。これにより、再生時にノイズの発生を防止することができ、記録フリンジングや隣接した記録トラックの記録信号を消去してしまうといった問題の防止、かつ前記主磁極から生じた記録磁束が前記シールド層に吸収され過ぎないため記録効率の低下抑制が可能となる。
【選択図】 図2
Description
One Terabit Per Square Inch Perpendicular Recording Conceputual Design(IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS,VOL.38,NO.4,JULY 2002)
前記第1の磁性部と第2の磁性部との前記間隔内に位置し、または前記第1の磁性部を軸として巻き回されるコイル層が設けられ、前記第1の磁性部からの磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
少なくとも主磁極の上方部から両側方部にかけて、非磁性材料層を介してシールド層が一体形成されており、前記主磁極の上面が平坦化されていることを特徴とするものである。
前記第1の磁性部と第2の磁性部との前記間隔内に位置し、または前記第1の磁性部を軸として巻き回されるコイル層が設けられ、前記第1の磁性部からの磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直記録磁気ヘッドの製造方法において、
(a)主磁極を有する磁性材料の第1の磁性部を形成する工程と、
(b)少なくとも前記主磁極の上面を平坦化面に形成する工程と、
(c)少なくとも主磁極の上方部から両側方部にかけて非磁性材料層を設ける工程と、
(d)前記主磁極の上方部から両側方部にかけて前記非磁性材料層を介して、シールド層を一体的に形成する工程と、
を有することを特徴とするものである。
(e)前記主磁極の上方部から両側方部にかけて第1非磁性材料層を形成する工程と、
(f)前記主磁極の上方部に位置する前記第1非磁性材料層を削って前記主磁極の上面を露出させるとともに、前記主磁極の前記上面を平坦化面に形成する工程と、
(g) 前記主磁極の上面から前記主磁極の両側方部に残された第1非磁性材料層上にかけて第2非磁性材料層を形成する工程。
(h)前記第1非磁性材料層の上に、第3非磁性材料層を形成する工程、
を有し、
前記(f)工程で、前記主磁極の上面が露出するまで前記第1非磁性材料層および前記第3非磁性材料層を削るとともに、前記主磁極の上面、第3非磁性材料層の上面を平坦化面にし、
前記(g)工程の前に、
(i)前記第3非磁性材料層を除去する工程、
を有するものとして構成することが好ましい。
このように構成すると、前記主磁極の破損をさらに防止し易くできる。
このように構成すると、前記第3非磁性材料層を除去し易い。
(k)前記第1非磁性材料層上に第4非磁性材料層を形成する工程と、
(l)前記主磁極よりも両側方部に所定距離離れた位置にある前記第4非磁性材料層を除去し、前記第4非磁性材料層上から前記第4非磁性材料層を除去した位置にかけて第5非磁性材料層を形成する工程と、
(m)前記主磁極の上面が露出するまで前記第5非磁性材料層及び第4非磁性材料層を削る工程と、
(n)残された前記第4非磁性材料層を除去するとともに、前記主磁極の両側方部から幅方向に所定距離離れた位置にある前記第5非磁性材料層を残し、この第5非磁性材料層をシールド持上層とする工程。
このように構成すると、前記第4非磁性材料層を除去し易い。
図1(a)ないし図3に示した垂直記録磁気ヘッドH1aは、主磁極30の上面30cが平坦化面として形成されている。
30 主磁極
30a,30b 側面
30c 上面
34 補助磁極
36 コイル層
50 第1非磁性材料層
51 第2非磁性材料層
60 第1の磁性部
61 第2の磁性部
70 第3非磁性材料層
77 シールド層
77a サイドシールド部
77b 上部シールド部
80 シールド持ち上げ層
81 第4非磁性材料層
82 第5非磁性材料層
Claims (13)
- 記録媒体との対向面にトラック幅で形成された主磁極を有する第1の磁性部と、トラック幅よりも広い幅寸法で形成された第2の磁性部とが形成され、前記第1の磁性部と第2の磁性部とが間隔を開けて位置するとともに、記録媒体との対向面よりもハイト側で直接あるいは間接的に接続されており、
前記第1の磁性部と第2の磁性部との前記間隔内に位置し、または前記第1の磁性部を軸として巻き回されるコイル層が設けられ、前記第1の磁性部からの磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
少なくとも主磁極の上方部から両側方部にかけて、非磁性材料層を介してシールド層が一体形成されており、前記主磁極の上面が平坦化されていることを特徴とする垂直記録磁気ヘッド。 - 前記主磁極の側面から前記シールド層までの幅方向の間隔が、前記主磁極の上面から前記シールド層までの膜厚方向の間隔よりも大きい請求項1記載の垂直記録磁気ヘッド。
- 記録媒体との対向面にトラック幅で形成された主磁極を有する第1の磁性部と、トラック幅よりも広い幅寸法で形成された第2の磁性部とが形成され、前記第1の磁性部と第2の磁性部とが間隔を開けて位置するとともに、記録媒体との対向面よりもハイト側で直接あるいは間接的に接続されており、
前記第1の磁性部と第2の磁性部との前記間隔内に位置し、または前記第1の磁性部を軸として巻き回されるコイル層が設けられ、前記第1の磁性部からの磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直記録磁気ヘッドの製造方法において、
(a)主磁極を有する磁性材料の第1の磁性部を形成する工程と、
(b)少なくとも前記主磁極の上面を平坦化面に形成する工程と、
(c)少なくとも主磁極の上方部から両側方部にかけて非磁性材料層を設ける工程と、
(d)前記主磁極の上方部から両側方部にかけて前記非磁性材料層を介して、シールド層を一体的に形成する工程と、
を有することを特徴とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。 - 前記(c)工程において、前記主磁極の上方部に位置する前記非磁性材料層の膜厚に比べて、前記主磁極の両側方部に位置する非磁性材料層の幅方向への厚みを厚く形成する請求項3記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
- 前記(c)工程を以下の工程で行う請求項4記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
(e)前記主磁極の上方部から両側方部にかけて第1非磁性材料層を形成する工程と、
(f)前記主磁極の上方部に位置する前記第1非磁性材料層を削って前記主磁極の上面を露出させるとともに、前記主磁極の前記上面を平坦化面に形成する工程と、
(g) 前記主磁極の上面から前記主磁極の両側方部に残された第1非磁性材料層上にかけて第2非磁性材料層を形成する工程。 - 前記(f)工程の前に、
(h)前記第1非磁性材料層の上に、第3非磁性材料層を形成する工程、
を有し、
前記(f)工程で、前記主磁極の上面が露出するまで前記第1非磁性材料層および前記第3非磁性材料層を削るとともに、前記主磁極の上面、第3非磁性材料層の上面を平坦化面にし、
前記(g)工程の前に、
(i)前記第3非磁性材料層を除去する工程、
を有する請求項5記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。 - 前記(h)工程で、前記第3非磁性材料層を、少なくとも前記主磁極の上面より高い位置まで形成する請求項6記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第3非磁性材料層にリアクティブ・イオン・エッチング可能な材質を使用する請求項6または7に記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1非磁性材料層に、Al2O3、AlSiO、AlSiONのうち1種または2種以上から選択された材料を使用し、前記第3非磁性材料層に、SiO2、Ta2O5、Ti、W、Cr、TaおよびTi、W、Cr、Taの酸化物または窒化物、のうち1種または2種以上から選択された材料で形成する請求項6ないし8のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
- 前記(a)工程より後で、前記(d)工程より前の段階で、前記主磁極の両側方部から幅方向に所定距離離れた位置に、非磁性のシールド持上層を設け、前記(d)工程で、前記シールド層を主磁極の上方部から両側方部、さらには、前記シールド持上層上にかけて形成する請求項3記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
- 前記(b)工程及び(c)工程を以下の工程で行う請求項10記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
(j)前記主磁極の上方部から両側方部にかけて第1非磁性材料層を形成する工程と、
(k)前記第1非磁性材料層上に第4非磁性材料層を形成する工程と、
(l)前記主磁極よりも両側方部に所定距離離れた位置にある前記第4非磁性材料層を除去し、前記第4非磁性材料層上から前記第4非磁性材料層を除去した位置にかけて第5非磁性材料層を形成する工程と、
(m)前記主磁極の上面が露出するまで前記第5非磁性材料層及び第4非磁性材料層を削る工程と、
(n)残された前記第4非磁性材料層を除去するとともに、前記主磁極の両側方部から幅方向に所定距離離れた位置にある前記第5非磁性材料層を残し、この第5非磁性材料層をシールド持上層とする工程。 - 前記第4非磁性材料層にリアクティブ・イオン・エッチング可能な材質を使用する請求項11記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1非磁性材料層及び第5非磁性材料層に、Al2O3、AlSiO、AlSiONのうち1種または2種以上から選択された材料を使用し、前記第4非磁性材料層に、SiO2、Ta2O5、Ti、W、Cr、TaおよびTi、W、Cr、Taの酸化物または窒化物、のうち1種または2種以上から選択された材料で形成する請求項11または12に記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
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