JP2006164464A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上層コイル片23は、コイル絶縁層(第2絶縁層)19上から突出するコイル絶縁下地層(第1絶縁層)22の両側端部22aの延出方向(ハイト方向)に対して直交する方向(トラック幅方向)に形成されている。しかも、下層コイル片18は、前記上層コイル片23と同一方向であるトラック幅方向に延びるストレート領域を有して形成されている。この結果、段差のある第1絶縁層22上から第2絶縁層19上にかけて前記上層コイル片23を所定形状にて精度良く形成できるとともに、ヨーク長を短くできる。
【選択図】 図2
Description
第1の磁性層と、前記第1の磁性層の上方に間隔をおいて対向する第2の磁性層と、前記第1の磁性層あるいは第2の磁性層のどちらか一方を軸として、巻回形成されたトロイダルコイル層と、を有し、
前記トロイダルコイル層は、軸となる磁性層の下側に設けられ記録媒体との対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の下層コイル片と、前記軸となる磁性層の上側に設けられ前記対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の上層コイル片とを有し、前記下層コイル片のトラック幅方向における端部と、前記上層コイル片のトラック幅方向における端部どうしが電気的に接続されており、
前記上層コイル片は、第1絶縁層上からトラック幅方向の両側に下方への段差を介して前記第1絶縁層の両端に広がる第2絶縁層上に延出形成され、少なくとも前記上層コイル片の形成領域では前記第1絶縁層のトラック幅方向の両側端部がハイト方向と平行な方向に延びており、前記下層コイル片は、第3絶縁層上に形成されており、
前記上層コイル片は、前記第1絶縁層の両側端部の延出方向に対して直交する方向に形成され、
前記下層コイル片は、前記第3絶縁層上に前記上層コイル片の延出方向と同一方向に延びるストレート領域と、トラック幅方向の一方の端部側で前記対向面方向あるいはハイト方向へ屈曲する屈曲領域とを有して形成され、
前記ストレート領域の端部と前記上層コイル層の一方の端部とが電気的に接続されるともに、前記屈曲領域の端部と前記上層コイル層の他方の端部とが電気的に接続されることを特徴とするものである。
第1の磁性層と、前記第1の磁性層の上方に間隔をおいて対向する第2の磁性層と、前記第1の磁性層あるいは第2の磁性層のどちらか一方を軸として、巻回形成されたトロイダルコイル層と、を有し、
前記トロイダルコイル層は、軸となる磁性層の下側に設けられ記録媒体との対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の下層コイル片と、前記軸となる磁性層の上側に設けられ前記対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の上層コイル片とを有し、前記下層コイル片のトラック幅方向における端部と、前記上層コイル片のトラック幅方向における端部どうしが電気的に接続されてなる磁気ヘッドの製造方法において、以下の工程を有することを特徴とするものである。
(b) 前記下層コイル片上を第2絶縁層で覆う工程と、
(c) 前記第2絶縁層上に前記軸となる磁性層を形成する工程と、
(d) 前記磁性層上に第1絶縁層を形成し、このとき、前記第1絶縁層の少なくとも上層コイル片の形成領域でのトラック幅方向の両側端部をハイト方向と平行な方向に延出形成する工程と、
(e) 前記第1絶縁層の両側端部との直交方向であるトラック幅方向に、前記上層コイル片を形成し、このとき前記上層コイル片を前記第1絶縁層の両側端部から下方への段差を介して前記第1絶縁層の両端に広がる前記第2絶縁層上にまで形成し、前記ストレート領域の端部と前記上層コイル層の一方の端部とを電気的に接続させるともに、前記屈曲領域の端部と前記上層コイル層の他方の端部とを電気的に接続させる工程。
本発明では、(e)工程時、第1絶縁層上から第2絶縁層上にかけてレジスト層を形成し、前記レジスト層を露光現像して、前記上層コイル片の抜きパターンを前記レジスト層に形成するときに、前記上層コイル片の抜きパターンを前記第1絶縁層のトラック幅方向の両側端部の延出方向に対して直交する方向に形成するから、従来のように乱反射によって抜きパターンの形成精度が悪化するのを抑制でき、高精度に上層コイル片を形成できる。しかも、(a)工程時、前記下層コイル片を、トラック幅方向と平行な方向に延出するストレート領域を有して構成するから、各下層コイル片を前記対向面方向にできるだけ詰めて形成でき、前記下層コイル片の形成領域のハイト方向への長さを短くできる結果、磁性層のヨーク長を短く形成できる。
18 下層コイル片
19、46、74 コイル絶縁層(第2絶縁層)
20、75 主磁極層
22、58、77 コイル絶縁下地層(第1絶縁層)
23 上層コイル片
27、71 リターンパス層
41 下部コア層
62 磁極層
70 レジスト層
Claims (8)
- 第1の磁性層と、前記第1の磁性層の上方に間隔をおいて対向する第2の磁性層と、前記第1の磁性層あるいは第2の磁性層のどちらか一方を軸として、巻回形成されたトロイダルコイル層と、を有し、
前記トロイダルコイル層は、軸となる磁性層の下側に設けられ記録媒体との対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の下層コイル片と、前記軸となる磁性層の上側に設けられ前記対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の上層コイル片とを有し、前記下層コイル片のトラック幅方向における端部と、前記上層コイル片のトラック幅方向における端部どうしが電気的に接続されており、
前記上層コイル片は、第1絶縁層上からトラック幅方向の両側に下方への段差を介して前記第1絶縁層の両端に広がる第2絶縁層上に延出形成され、少なくとも前記上層コイル片の形成領域では前記第1絶縁層のトラック幅方向の両側端部がハイト方向と平行な方向に延びており、前記下層コイル片は、第3絶縁層上に形成されており、
前記上層コイル片は、前記第1絶縁層の両側端部の延出方向に対して直交する方向に形成され、
前記下層コイル片は、前記第3絶縁層上に前記上層コイル片の延出方向と同一方向に延びるストレート領域と、トラック幅方向の一方の端部側で前記対向面方向あるいはハイト方向へ屈曲する屈曲領域とを有して形成され、
前記ストレート領域の端部と前記上層コイル層の一方の端部とが電気的に接続されるともに、前記屈曲領域の端部と前記上層コイル層の他方の端部とが電気的に接続されることを特徴とする磁気ヘッド。 - 前記ストレート領域及び屈曲領域の端部上にはそれぞれ上方に向けて突出する接続層が形成され、前記接続層の上面は前記第2絶縁層の上面と同一面で形成され、前記接続層の上面に前記上層コイル層の端部が電気的に接続される請求項1記載の磁気ヘッド。
- 前記第3絶縁層のコイル形成面上は平坦化面で形成されている請求項1または2に記載の磁気ヘッド。
- 第1の磁性層と、前記第1の磁性層の上方に間隔をおいて対向する第2の磁性層と、前記第1の磁性層あるいは第2の磁性層のどちらか一方を軸として、巻回形成されたトロイダルコイル層と、を有し、
前記トロイダルコイル層は、軸となる磁性層の下側に設けられ記録媒体との対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の下層コイル片と、前記軸となる磁性層の上側に設けられ前記対向面側からハイト方向へ向けて配列された複数本の上層コイル片とを有し、前記下層コイル片のトラック幅方向における端部と、前記上層コイル片のトラック幅方向における端部どうしが電気的に接続されてなる磁気ヘッドの製造方法において、以下の工程を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
(a) 第3絶縁層上に、前記下層コイル片を形成し、このとき、前記下層コイル片を、トラック幅方向と平行な方向に延出するストレート領域と、前記ストレート領域の一方の端部側から前記対向面方向あるいはハイト方向へ屈曲する屈曲領域とで構成する工程と、
(b) 前記下層コイル片上を第2絶縁層で覆う工程と、
(c) 前記第2絶縁層上に前記軸となる磁性層を形成する工程と、
(d) 前記磁性層上に第1絶縁層を形成し、このとき、前記第1絶縁層の少なくとも上層コイル片の形成領域でのトラック幅方向の両側端部をハイト方向と平行な方向に延出形成する工程と、
(e) 前記第1絶縁層の両側端部との直交方向であるトラック幅方向に、前記上層コイル片を形成し、このとき前記上層コイル片を前記第1絶縁層の両側端部から下方への段差を介して前記第1絶縁層の両端に広がる前記第2絶縁層上にまで形成し、前記ストレート領域の端部と前記上層コイル層の一方の端部とを電気的に接続させるともに、前記屈曲領域の端部と前記上層コイル層の他方の端部とを電気的に接続させる工程。 - 前記(a)工程と(b)工程の間に、前記下層コイル層の端部上に突出する接続層を形成し、前記(b)工程時に、前記第2絶縁層の上面から前記接続層の上面を露出させ、前記(e)工程時に、露出した前記接続層の上面に前記上層コイル片の端部を重ねる請求項4記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 前記(b)工程時、前記第2絶縁層の上面を平坦化処理する請求項4または5に記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 前記(e)工程時、第1絶縁層上から第2絶縁層上にかけてレジスト層を形成し、前記レジスト層を露光現像して、前記上層コイル片の抜きパターンを前記レジスト層に形成し、前記抜きパターン内に前記上層コイル片をメッキ形成し、その後、前記レジスト層を除去する請求項4ないし6のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法。
- 前記第1絶縁層を有機絶縁材料で形成する請求項4ないし7のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法。
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