JP5812121B2 - ウエハ処理方法およびウエハ処理装置 - Google Patents
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Claims (11)
- 第1のウエハを第1の保持部材に保持するとともに、第2のウエハを第2の保持部材に保持する保持工程と、
前記第1の保持部材に保持された前記第1のウエハと、前記第1のウエハに対向した位置で前記第2の保持部材に保持された前記第2のウエハとを互いに重ね合せて接合する接合工程と、
前記接合工程において前記第1の保持部材および前記第2の保持部材の組を用いて接合された前記第1のウエハおよび前記第2のウエハの接合後検査結果に基づいて、前記第1の保持部材および前記第2の保持部材の組み合わせの良否を判定する保持部材判定工程と
を備えるウエハ処理方法。 - 前記第1の保持部材を識別する識別情報と、前記第2の保持部材を識別する識別情報と、前記第1のウエハの識別情報および前記第2のウエハの識別情報の少なくとも一方とを関連付けて格納する格納工程を有し、
前記格納工程は、前記接合工程の前に、前記第1の保持部材の前記識別情報と前記第1のウエハの前記識別情報とを関連付け、前記第2の保持部材の前記識別情報と前記第2のウエハの前記識別情報とを関連付けて、格納する工程を含む請求項1に記載のウエハ処理方法。 - 前記第1の保持部材を識別する識別情報と、前記第2の保持部材を識別する識別情報と、前記第1のウエハの識別情報および前記第2のウエハの識別情報の少なくとも一方とを関連付けて格納する格納工程を有し、
前記格納工程は、前記第1の保持部材の前記識別情報および前記第2の保持部材の前記識別情報と、前記接合後検査結果とを関連付けて格納する工程を含む請求項1に記載のウエハ処理方法。 - 前記第1の保持部材を識別する識別情報と、前記第2の保持部材を識別する識別情報と、前記第1のウエハの識別情報および前記第2のウエハの識別情報の少なくとも一方とを関連付けて格納する格納工程を有し、
前記格納工程は、前記第1のウエハの前記識別情報および前記第2のウエハの前記識別情報と、前記接合後検査結果とを関連付けて格納する工程を含む請求項1に記載のウエハ処理方法。 - 前記接合工程の前に、前記第1のウエハの検査および前記第2のウエハの検査を含む接合前検査工程を更に備え、
前記保持部材判定工程は、前記接合前検査工程で得られた接合前検査結果と、前記接合後検査結果とに基づいて前記組み合わせの良否を判定する工程を含む
請求項1から4のいずれか一項に記載のウエハ処理方法。 - 前記第1のウエハおよび前記第2のウエハにより形成された複数のダイのそれぞれについて良否を判定するダイ判定工程を含み、
前記接合後検査結果は、前記第1の保持部材を識別する識別情報と、前記第2の保持部材を識別する識別情報と、前記ダイ判定工程において良と判定されたダイの数とをそれぞれ含む請求項1から5のいずれか一項に記載のウエハ処理方法。 - 前記保持部材判定工程は、前記ダイ判定工程におけるダイの検査数の積算値に対する前記良と判定されたダイの数の割合が予め定めた閾値以下であるか否かに基づいて前記組み合わせの良否を判定する請求項6に記載のウエハ処理方法。
- 前記保持部材判定工程は、前記割合が前記閾値以下である場合に、前記割合に関連付けられた識別情報を有する前記第1の保持部材および前記第2の保持部材を組み合わせて使用することを中止させる信号を出力する出力工程を含む請求項7に記載のウエハ処理方法。
- 第1のウエハを第1の保持部材に保持するとともに、第2のウエハを第2の保持部材に保持する部材保持部と、
前記第1の保持部材に保持された前記第1のウエハと、前記第1のウエハに対向した位置で前記第2の保持部材に保持された前記第2のウエハとを互いに接合する接合部と、
前記接合部において前記第1の保持部材および前記第2の保持部材の組を用いて接合された前記第1のウエハおよび前記第2のウエハの接合後検査結果に基づいて、前記第1の保持部材および前記第2の保持部材の組み合わせの良否を判定する保持部材判定部と
を備えるウエハ処理装置。 - 第1のウエハを第1の保持部材に保持するとともに、第2のウエハを第2の保持部材に保持する保持工程と、
前記第1の保持部材に保持された前記第1のウエハと、前記第1のウエハに対向した位置で前記第2の保持部材に保持された第2のウエハとを互いに重ね合せて接合する接合工程と、
前記接合工程において前記第1の保持部材を用いて接合された前記第1のウエハおよび前記第2のウエハの接合後検査結果に基づいて、前記第1の保持部材の良否を判定する保持部材判定工程と、
を備えるウエハ処理方法。 - 第1のウエハを第1の保持部材に保持するとともに、第2のウエハを第2の保持部材に保持する部材保持部と、
前記第1の保持部材に保持された前記第1のウエハと、前記第1のウエハに対向した位置で前記第2の保持部材に保持された第2のウエハとを互いに重ね合わせて接合する接合部と、
前記接合部において前記第1の保持部材を用いて接合された前記第1のウエハおよび前記第2のウエハの接合後検査結果に基づいて、前記第1の保持部材の良否を判定する保持部材判定部と
を備えるウエハ処理装置。
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