JP5806158B2 - アルミン酸マグネシウム質焼結体 - Google Patents
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Description
O3/MgO(重量比)が65/35〜80/20、ZrO2が2重量%以下含有し、かさ密度が3.40g/cm3以上、平均結晶粒径が3μm以上、であるアルミン酸マグネシウム質焼結体が提案されている。
少ないと結晶粒界にCaAl2O4が存在しにくくなる傾向がある。
倍率で、例えば100μm×100μmの範囲について撮影し、この撮影画像を画像解析装置で解析することにより確認することができる。
酸カルシウム(CaCO3)粉末を秤量して加え、純水,バインダおよびアルミナボールとともにボールミルに入れて、混合および粉砕を1〜50時間行い、平均結晶粒径が2μm以下、好ましくは平均結晶粒径が1.5μm以下となるまで湿式粉砕した後、スプレードラ
イヤーで噴霧造粒して本実施形態のアルミン酸マグネシウム質焼結体の原料粉末を得る。
結体を得ることができる。また、より緻密化を促進させる手段としては熱間静水圧プレス(HIP)成形法を用いることも可能である。
供給ノズル7が設けられている。また、上部容器1の周囲には、誘導コイル8が設けられている。
ように種々変更した試料を作製し、その耐食性を確認する試験を実施した。
O換算で表1に示す量を秤量して加え、アルミナボールを使用したボールミルにより混合し、スプレードライヤーを用いて噴霧造粒することにより原料粉末を得た。
用いて2θ=10°〜90°,CuKα測定の条件で測定し、得られたX線回折チャートの各ピークをJCPDSカードに基づき同定することにより、結晶相の確認を実施した。
的特性がともに高い傾向があることがわかった。
2:下部容器
3:容器
4:支持テーブル
5:静電チャック
6:半導体ウエハ
7:ガス供給ノズル
8:誘導コイル
9:真空ポンプ
10:プラズマエッチング装置
Claims (2)
- アルミン酸マグネシウムを主成分とし、CaをCaO換算で0.6質量%を超えて1.0質量%以下含むことを特徴とするアルミン酸マグネシウム質焼結体。
- 結晶粒界にCaAl2O4を含まないことを特徴とする請求項1に記載のアルミン酸マグネシウム質焼結体。
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