JP5806092B2 - 製箔ローラ検査装置 - Google Patents
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Description
11 筐体
12 銅箔用ローラ
12A 凸部
12B 凹部
12C 軸
13 格納部
14 電解槽
15 陽極
16 銅箔
16A 凹部
16B 凸部
18 電解液
20 検査研磨機構
30 研磨機構(研磨手段)
32 研磨液
34 研磨ローラ
36 液切りブレード
38 研磨液槽
40 洗浄機構(洗浄手段)
42 洗浄水
44 水切りブレード
46 水槽
50 排気ボックス
52 水洗ノズル
54 エアナイフ
60 検査機構(検査手段)
62 CCDカメラ
64 記憶装置
66 制御部
68 照明装置
70 電解槽上下機構
72 移動手段
74 シャッタ
76 巻取機構
Claims (4)
- 研磨剤を含有する研磨液を貯留する研磨液槽と、電解槽に浸漬され表面に銅箔を析出させるための製箔ローラの表面を前記研磨液で研磨する研磨ローラと、前記製箔ローラの表面から前記研磨液をスクイーズする液切りブレードと、を備えた研磨手段と、
前記製箔ローラの表面を洗浄する洗浄手段と、
回転する前記製箔ローラの表面の凹凸を検査する検査手段と、
を備えた検査研磨機構と、
前記検査手段の検査結果に従い前記製箔ローラの表面研磨の要否を判断する制御手段と、
前記検査研磨機構を前記製箔ローラに対して接離方向に移動可能に支持し、前記制御手段の判断に従って前記製箔ローラに接近し表面の凹凸検査および表面の研磨を行う検査補修位置と、前記製箔ローラから離れて製箔工程への干渉を避ける退避位置との間を移動させる移動手段と、
を備え、前記研磨手段は、前記洗浄手段および前記検査手段よりも前記製箔ローラの回転方向上流側に設けられた製箔ローラ検査装置。 - 前記洗浄手段は、前記製箔ローラの表面に洗浄水を噴射する水洗ノズルと、前記製箔ローラ表面より水分を吹き飛ばして除去するエアナイフと、前記製箔ローラの表面から水分をスクイーズする水切りブレードと、前記水洗ノズルおよび前記エアナイフを収納し水洗時および乾燥時に生じるミストの拡散を防止する排気ボックスとを備え、前記研磨手段よりも前記製箔ローラの回転方向下流側、かつ前記検査手段よりも前記製箔ローラの回転方向上流側に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の製箔ローラ検査装置。
- 前記検査手段は、回転する前記製箔ローラの表面を撮影し、撮影画像から凹凸を光学的に検出するCCDカメラと、前記CCDカメラの視野を照明する照明手段と、前記CCDカメラの映像から前記製箔ローラの表面に存在する凹凸の形状、大きさ及び位置を記憶する記憶手段と、を備え、前記研磨手段および前記洗浄手段よりも前記製箔ローラの回転方向下流側に設けられたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の製箔ローラ検査装置。
- 前記製箔ローラ、前記電解槽、前記検査研磨機構、および前記移動手段を保持し外気から遮断する筐体と、筐体内部で前記検査研磨機構を待機位置にて格納する格納部と、前記格納部の開口部分を封止するシャッタと、前記電解槽を上下させ前記製箔ローラを電解液に浸漬させる位置と退避位置とに移動させる電解槽上下手段と、を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の製箔ローラ検査装置。
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