JP5796079B2 - 長期耐久性メモリスタ用のデバイス構造 - Google Patents
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Description
簡略化し例示する目的で、本発明の実施形態の原理を、主にその例を参照することによって説明する。以下の説明では、実施形態が完全に理解されるために多数の特定の詳細を示している。しかしながら、当業者には、実施形態を、これらの特定の詳細に限定されずに実施することができることが明らかとなろう。他の場合では、実施形態の説明を不必要に不明瞭にしないように、既知の方法及び構造を詳細には説明していない。
図7は、電流対印加電圧、例えばIV曲線として提供される、上述した実施形態に従って形成されたメモリスタ100の動作特性のグラフ700を示す。x軸すなわち水平軸は、メモリスタ100、例えば第1の電極102及び/又は第2の電極104に印加された、ボルト単位のデバイス電圧を示す。y軸すなわち垂直軸は、スイッチング層110を通って流れる、アンペア単位の電流を示す。そこに示すように、グラフ700は、メモリスタ100が比較的低い抵抗状態にあるオン状態と、メモリスタ100が比較的高い抵抗状態にあるオフ状態とを示す。グラフ700はまた、コンダクタンスチャネル120のフォーミング操作中の電圧及び電流も示す。そこに示すように、コンダクタンスチャネル120を形成するために必要な電圧は、オン状態及びオフ状態に対する電圧と同等である。したがって、本明細書に開示するメモリスタは、エレクトロフォーミングが不要なメモリスタであるとみなされる。
Claims (12)
- メモリスタ(100)であって、
第1の金属から形成された第1の電極(102)と、
第2の材料から形成された第2の電極(104)であって、該第2の材料は前記第1の金属とは異なる材料を含む、第2の電極(104)と、
前記第1の電極(102)と前記第2の電極(104)との間に配置されたスイッチング層(110)であって、該スイッチング層(110)は、前記第1の金属を含む第1の材料と第2の非金属材料との組成物から形成され、該スイッチング層(110)は前記第1の電極(102)の前記第1の金属と直接接触し、少なくとも1つのコンダクタンスチャネル(120)が、該スイッチング層において前記第1の金属と前記第2の非金属材料との間の相互作用から形成されるように構成されている、スイッチング層(110)と、
前記第1の電極(102)と前記第2の電極(104)との間に配置された少なくとも1つの中間層(420)であって、前記第1の金属から形成される、少なくとも1つの中間層(420)と、
前記少なくとも1つの中間層(420)と前記第2の電極(104)との間に配置された少なくとも1つの第2のスイッチング層(110)と、
を備える、メモリスタ。 - 前記第1の金属はタンタルを含み、前記第2の非金属材料は酸素を含む、請求項1に記載のメモリスタ。
- 前記第1の金属は、タンタル(Ta)、ハフニウム(Hf)、イットリウム(Y)、コバルト(Co)、エルビウム(Er)、スカンジウム(Sc)及びそれらの組合せからなる群から選択された金属を含む、請求項1に記載のメモリスタ。
- 前記第2の非金属材料は、酸素、窒素、炭素、硫黄、燐及び塩素からなる群から選択された材料を含む、請求項1に記載のメモリスタ。
- 前記第1の金属及び前記第2の非金属材料は、
(a)前記少なくとも1つのコンダクタンスチャネル(120)を形成する1つ又は複数の材料が、前記少なくとも1つのコンダクタンスチャネル(120)に対してホストとなるマトリックスを形成する1つ又は複数の材料と熱力学的平衡であることと、
(b)前記第1の電極(102)を形成しかつ酸素とともに前記少なくとも1つのコンダクタンスチャネル(120)を形成する前記第1の金属が、室温で所定量の酸素溶解度を有することと、
を満たす、請求項1に記載のメモリスタ。 - メモリスタ(100)を製造する方法(500)であって、
第1の金属から形成された第1の電極(102)を設けるステップ(502)と、
前記第1の金属を含む第1の材料と第2の非金属材料との組成物から形成されたスイッチング層(110)を、前記第1の電極(102)の上にかつ該第1の電極(102)と直接接触するように設けるステップ(504)と、
前記スイッチング層(110)の上方に第2の材料から形成された第2の電極(104)を設けるステップであって、該第2の材料は前記第1の金属とは異なる材料を含む、ステップ(506)と、
前記第1の金属と前記第2の非金属材料との間の相互作用によって、前記スイッチング層(110)に少なくとも1つのコンダクタンスチャネル(120)を形成するステップ(508)と、
を含み、更に、
前記第1の電極(102)と前記第2の電極(104)との間に配置された少なくとも1つの中間層(420)を設けるステップであって、該少なくとも1つの中間層(420)は、前記第1の金属から形成される、ステップと、
前記少なくとも1つの中間層(420)と前記第2の電極(104)との間に少なくとも1つの第2のスイッチング層(110)を設けるステップと、
を含む、方法。 - (a)前記少なくとも1つのコンダクタンスチャネルを形成する1つ又は複数の材料が、前記少なくとも1つのコンダクタンスチャネルに対してホストとなるマトリックスを形成する1つ又は複数の材料と熱力学的平衡であることと、
(b)前記第1の電極を形成しかつ酸素とともに前記少なくとも1つのコンダクタンスチャネルを形成する前記第1の金属が、室温で所定量の酸素溶解度を有することと、
を満たすことにより、前記第1の金属及び前記第2の非金属材料を選択するステップ、
を更に含む、請求項6に記載の方法。 - 前記第1の金属及び前記第2の非金属材料の組成を選択する際に、異なる組成の前記第1の金属と前記第2の非金属材料との間の相互作用を示す相図を実施するステップ、
を更に含む、請求項7に記載の方法。 - 前記第1の金属はタンタルを含み、前記第2の非金属材料は酸素を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第1の金属は、タンタル(Ta)、ハフニウム(Hf)、イットリウム(Y)、コバルト(Co)、エルビウム(Er)、スカンジウム(Sc)及びそれらの組合せからなる群から選択された金属を含む、請求項6に記載の方法。
- クロスバーアレイ(200)であって、
複数のメモリスタ(100)、
を備え、該メモリスタの各々が、
第1の金属から形成された第1の電極(102)と、
第2の材料から形成された第2の電極(104)であって、該第2の材料は前記第1の金属とは異なる材料を含む、第2の電極(104)と、
前記第1の電極(102)と前記第2の電極(104)との間に配置されたスイッチング層(110)であって、該スイッチング層は、前記第1の金属を含む第1の材料と第2の非金属材料との組成物から形成され、該スイッチング層は前記第1の電極(102)の前記第1の金属と直接接触し、少なくとも1つのコンダクションチャネル(120)が、該スイッチング層(110)において前記第1の金属と前記第2の非金属材料との間の相互作用から形成されるように構成される、スイッチング層(110)と、
前記第1の電極(102)と前記第2の電極(104)との間に配置された少なくとも1つの中間層(420)であって、前記第1の金属から形成される、少なくとも1つの中間層(420)と、
前記少なくとも1つの中間層(420)と前記第2の電極(104)との間に配置された少なくとも1つの第2のスイッチング層(110)と、
を備える、クロスバーアレイ。 - 前記第1の金属はタンタルを含み、前記第2の非金属材料は酸素を含む、請求項11に記載のクロスバーアレイ。
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KR101593509B1 (ko) * | 2011-10-21 | 2016-02-12 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 이종 접합 산화물을 기반으로 하는 멤리스티브 요소 |
WO2013162553A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nonlinear memristors |
US8817522B2 (en) | 2012-08-21 | 2014-08-26 | Micron Technology, Inc. | Unipolar memory devices |
US9224945B2 (en) | 2012-08-30 | 2015-12-29 | Micron Technology, Inc. | Resistive memory devices |
US9450022B1 (en) * | 2012-09-05 | 2016-09-20 | Hrl Laboratories, Llc | Memristor devices and fabrication |
RU2524415C1 (ru) * | 2013-04-18 | 2014-07-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Мемристор на основе смешанного оксида металлов |
US9847482B2 (en) | 2014-04-29 | 2017-12-19 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Resistive memory devices with an oxygen-supplying layer |
WO2016018245A1 (en) * | 2014-07-29 | 2016-02-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead with a memristor |
EP3213348B1 (en) * | 2014-09-30 | 2019-07-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Memristors with oxide switching layers |
WO2016068841A1 (en) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead with a number of high resistance ratio memristors |
WO2016068833A1 (en) * | 2014-10-27 | 2016-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Head with a number of silicon nitride non-volatile memory devices |
US9950520B2 (en) | 2014-10-28 | 2018-04-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead having a number of single-dimensional memristor banks |
WO2016068872A1 (en) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead with memristors having different structures |
WO2016068912A1 (en) * | 2014-10-29 | 2016-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead with a number of memristors and inverters |
WO2016175744A1 (en) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Memristive crossbar array having multi-selector memristor cells |
KR101803740B1 (ko) | 2016-01-11 | 2017-12-01 | 명지대학교 산학협력단 | 아날로그 멤리스터 및 멤캐패시터 특성을 갖는 전자소자와 그 제조방법 |
US20170338282A1 (en) * | 2016-05-20 | 2017-11-23 | Intel Corporation | Memory module with unpatterned storage material |
US11003981B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-05-11 | International Business Machines Corporation | Two-terminal metastable mixed-conductor memristive devices |
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Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6768157B2 (en) * | 2001-08-13 | 2004-07-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Memory device |
TWI233204B (en) * | 2002-07-26 | 2005-05-21 | Infineon Technologies Ag | Nonvolatile memory element and associated production methods and memory element arrangements |
US7009278B2 (en) | 2003-11-24 | 2006-03-07 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | 3d rram |
US7303971B2 (en) | 2005-07-18 | 2007-12-04 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | MSM binary switch memory device |
KR100718155B1 (ko) | 2006-02-27 | 2007-05-14 | 삼성전자주식회사 | 두 개의 산화층을 이용한 비휘발성 메모리 소자 |
US8766224B2 (en) | 2006-10-03 | 2014-07-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Electrically actuated switch |
EP2099071B1 (en) | 2006-12-19 | 2012-08-22 | Fujitsu Limited | Resistance change device and process for producing the same |
US7629198B2 (en) * | 2007-03-05 | 2009-12-08 | Intermolecular, Inc. | Methods for forming nonvolatile memory elements with resistive-switching metal oxides |
JP4967176B2 (ja) * | 2007-05-10 | 2012-07-04 | シャープ株式会社 | 可変抵抗素子とその製造方法及び不揮発性半導体記憶装置 |
US7800094B2 (en) * | 2007-06-11 | 2010-09-21 | Macronix International Co., Ltd. | Resistance memory with tungsten compound and manufacturing |
JP5227544B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2013-07-03 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP5501966B2 (ja) | 2007-07-25 | 2014-05-28 | インターモレキュラー, インコーポレイテッド | 多状態の不揮発性メモリ素子 |
KR20090126530A (ko) * | 2008-06-04 | 2009-12-09 | 삼성전자주식회사 | 저항성 메모리 소자 |
KR100983175B1 (ko) * | 2008-07-03 | 2010-09-20 | 광주과학기술원 | 산화물막과 고체 전해질막을 구비하는 저항 변화 메모리소자, 및 이의 동작방법 |
JP2010015662A (ja) | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Panasonic Corp | 抵抗変化型不揮発性記憶装置 |
JP5343440B2 (ja) | 2008-08-01 | 2013-11-13 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 抵抗変化素子、抵抗変化素子の製造方法および半導体メモリ |
JP4607257B2 (ja) * | 2008-12-04 | 2011-01-05 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶素子及び不揮発性記憶装置 |
US9000411B2 (en) | 2009-01-06 | 2015-04-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Memristor devices configured to control bubble formation |
WO2010082922A1 (en) | 2009-01-13 | 2010-07-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Memristor having a triangular shaped electrode |
WO2010082929A1 (en) | 2009-01-15 | 2010-07-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P | Memristor with nanostructure electrodes |
WO2010085227A1 (en) | 2009-01-26 | 2010-07-29 | Hewlett-Packard Company, L.P. | Semiconductor memristor devices |
WO2010085282A1 (en) | 2009-01-26 | 2010-07-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thermally stable nanoscale switching device |
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