JP5790330B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
(1)熱電素子のもつ冷凍能力に限界があるため、加工中ワ−クを固定している氷が刃物から発生する加工熱によって溶かされやすく、ワーク固定力が不安定となる。
(2)熱電素子は素子の寿命が短く、量産加工の用途で長時間使用すると、部品整備の頻度が高く、メンテナンスコストが高くなる。
(3)熱電素子は機械的強度が低く、チャックとして必要十分な剛性を得ることが困難であり、加工精度の向上が困難となる。
(4)チャック面の材質は冷却効率の点から銅またはアルミニウムが使用されるが、銅やアルミニウムは軟質で粘りがあるため、チャックを加工機械のテーブルに搭載して加工基準面の平坦度を確保すべく加工機械でチャック面をいわゆる「伴ずり」してゼロカットするのが困難となる、等の問題があった。
(1)冷却効率の点からチャック面の材質に、銅またはアルミニウムを使用し、チャックを加工機械のテーブルに搭載して加工基準面の平坦度を確保する場合、加工機械でチャック面をいわゆる「伴ずり」してゼロカットするのは容易でなく、ワークの加工精度の向上を図ることが困難である。
(2)チャック面の下面全体にわたって断熱材が接合されているため、チャック面が冷却されるときにチャック面の構成材料と断熱部の構成材料の線膨張係数の相違によりチャック面の変形ひずみが大きくなり、これにより加工基準としての機能が阻害されるため、ワークの高精度の加工、例えば平坦度出し加工が困難である。
(3)断熱材の下の台座側からチャック面に伝熱しやすく、チャック面の温度が上昇しやすい。このため、ワークの接着固定強度や安定性が損なわれやすく、固定媒体の冷却温度をマイナス側に大きく取らなければならず、冷媒冷却装置として能力の高いものを要し、コスト高となり、また、断熱材の下の台座から加工機械のテーブルの熱が奪われるため機械本体の温度が下がり、熱変位によって加工機械の静的精度が狂いを生じ、結果として加工精度が損なわれる。
(4)チャック面外周と断熱材外周間の距離(張出し長さ)が大きいため、加工基準面出しの機械加工の際にチャック面の外周を仕上げるべくチャック面の外周を刃物が通過するときにチャック外周部分が工具の押圧力で湾曲し戻るためバウンドを起し、仕上げ加工が困難である、等の問題があった。
本発明に係る加工装置の一実施形態を示す概略断面図を図1に示す。加工装置10としては、フライス盤、旋盤、研削盤などが挙げられるが、本実施形態では、フライス盤を例に説明する。
また、加工装置においては、ベッド、ベース、またはワークと、工具との相対的な位置関係を正確に把握することが重要となる。本実施形態では、このための位置取得手段30を備えた加工装置について説明する。
また、加工装置のベッド上に配置されたベースを冷却したとしても、ベッドは熱容量が大きいのでなかなか冷えない。そのため、ベッドとベースとの間で温度差が生じ、熱変形が発生し、ベッドに比べて剛性の低いベースが変形する場合がある(工具との相対距離が変化する)。また、ベース上に固定された樹脂などの柔らかい材料からなるワークの場合、ベースの変形とともにワークも変形する場合があり、加工精度の向上の妨げとなる。
1b 第2ベッド
11,21,31 ベッド
2,12,22,32 ベース
3,13,23,33 ワーク
4 回転部
5,25,35 工具
10 加工装置
14,24,34 断熱材
20 温度制御手段
26 霜
30 位置取得手段
40 ベース加工手段
Claims (6)
- 被加工物としてのワークを凍結固定して加工を行う加工装置において、
所定の方向に移動可能なベッドと、
前記ベッドに固定され、前記ワークを載置するベースと、
前記ベースを冷却する温度制御手段と、
前記ベッドに対する位置を変動可能に制御され、前記ワークを加工する工具と、を備え、
前記温度制御手段は、前記ベースを冷却することにより、前記ワークを該ワークの材質、および/または該ワークの加工条件に応じた所定の温度に制御するものであって、
前記ワークは樹脂材料からなり、
前記温度制御手段は、
前記ワークを液体で凍結固定させる温度が少なくとも該ワークのガラス転移点あるいはガラス転移領域以下であって、凍結後の前記ワークの加工により生ずる前記ワークの温度上昇が、前記ガラス転移点あるいはガラス転移領域を超えない温度となるように、前記ワークの凍結温度を制御することを特徴とする加工装置。 - 前記ベッドと前記ベースとの間に更に断熱材を備えたことを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
- 前記温度制御手段は、不凍冷媒を循環させて前記ベースを冷却させることを特徴とする請求項1または2に記載の加工装置。
- 前記温度制御手段は、ペルチェ素子を用いて前記ベースを冷却させることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
- 前記工具、および、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つが、位置取得手段に接続されており、
前記位置取得手段は、前記工具が、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つに近接して、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つと接触した時の、前記工具と、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つとの間に生じる電流または電圧を検出し、検出電流または検出電圧に基づいて、
前記工具と、前記ベッドと前記ベースと前記ワークのいずれか1つとの相対的な位置情報を取得することを特徴とする請求項1から4までのいずれかに記載の加工装置。 - 前記ベースを前記ワークの除去加工を行う温度、またはその近傍の温度にした状態で、変形が生じた前記ベースの表面を、前記工具により平面度を高める加工を行うベース加工手段を備えたことを特徴とする請求項1から5までのいずれかに記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011188894A JP5790330B2 (ja) | 2011-08-31 | 2011-08-31 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011188894A JP5790330B2 (ja) | 2011-08-31 | 2011-08-31 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013049117A JP2013049117A (ja) | 2013-03-14 |
JP5790330B2 true JP5790330B2 (ja) | 2015-10-07 |
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ID=48011626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011188894A Expired - Fee Related JP5790330B2 (ja) | 2011-08-31 | 2011-08-31 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5790330B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108296938A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-07-20 | 巢湖市聚源机械有限公司 | 一种机器人加工用打磨装置 |
JP2021084982A (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | 日本ゼオン株式会社 | 凍結接着方法 |
KR102408656B1 (ko) * | 2020-09-03 | 2022-06-15 | 주식회사 협성다이나믹스 | 가공 장치 및 소프트 소재 가공 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69621004T2 (de) * | 1995-08-17 | 2002-12-19 | Yoshitaka Tarumizu | Bearbeitungsverfahren mit werkstückhalterung durch einfrieren |
JP4231144B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2009-02-25 | 株式会社松風 | 冷凍チャック |
JP2005088141A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Sayaka:Kk | 温度制御方法および温度制御装置 |
JP4809086B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2011-11-02 | 株式会社ダステック | ワークの冷凍切削加工方法とワークの冷凍切削加工装置 |
JP2010207971A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Masahiko Jin | 接触検知方法、スピンドル装置システム、スピンドル装置および工作機械システム |
-
2011
- 2011-08-31 JP JP2011188894A patent/JP5790330B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013049117A (ja) | 2013-03-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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