JP6145384B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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かる。なお、図5において、縦軸はスピンドルの変位量(μm)、横軸は時間(S)をそれぞれ示し、符号SPはスピンドルの変位曲線を示している。
度曲線を示している。すなわち、図6では、スピンドルSPの温度は、切削水Cが吹き付けられる前までは約24.5℃で、切削水Cが吹き付けられると約21℃まで下がり、約20分経過すると約21.5℃に落ち着くことができる。
に対応する)の時間−変位特性、及び、図6に示した切削水CとスピンドルSPにおける
時間−温度特性等の各種データを記憶する。前記データ入出力部25は外部からのデータを入力すると共に、外部へデータを発信する。前記プログラム生成手段26は、前記スピンドルSPの時間−変位特性と、切削水CとスピンドルSPにおける時間−温度特性の各種データを含む加工プログラムを作成する。前記制御部27は、前記スピンドル制御手段29、X制御手段30、Y制御手段31、Z制御手段32、及びθ制御手段33、温度センサ43a〜43d等を介してダイシング装置11の各部の動作を制御する。
材35と隣接している)側に設けられており、シャフト37の外周面上に該シャフト37
と一体回転可能に取り付けられているロータ36aと、そのロータ36aと対向してハウジング34の内周面に取り付けられているステータ36bとを備える。そして、モータ36は、ステータ36bの電機子コイル(図示せず)に電流が供給されると、その電機子コイルが励磁されてロータ36aをシャフト37と一体に回転させることができるようになっている。
m)よりも高い回転数へずらすことができるので、振動発生が減るという効果が得られる
。
12 スピンドル
13 ワークテーブル
14 加工部
15 コントローラ
16 Xテーブル
17 Yベース
18 Xガイド
19 Yテーブル
20 Zテーブル
21 ブレード
22 回転テーブル
23 CPU
24 記憶手段
25 データ入出力部
26 プログラム生成手段
27 制御部
28 バスライン
29 スピンドル制御手段
30 X制御手段
31 Y制御手段
32 Z制御手段
33 θ制御手段
34 ハウジング
35 軸受部材
36 モータ
36a ロータ
36b ステータ
37 シャフト
37a、37b 端部
38 端蓋
39 流体軸受機構
39a エア噴射ノズル
40 温度センサ部材
40a 筒状部材
41 中心孔
42 隙間
43a〜43d 温度センサ
44 スピンドル移動機構
45 ワークテーブル送り機構
46 ロータリー接点
47 通電ブラシ
W ワーク
SP スピンドル
C 切削水
Claims (4)
- ワークを載置したワークテーブルと、
前記ワークを切断するブレードと、
前記ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、
前記ブレードを回転可能に取り付けたスピンドルと、
該スピンドルを支持するスピンドル移動機構と、
該スピンドル移動機構の送りと前記ワークテーブル送り機構の送りとを制御するコントローラと、
を備えるダイシング装置において、
前記スピンドルのシャフトの温度をモニタリングする温度センサと、
前記コントローラに設けられ、前記温度センサによりモニタリングされた温度に基づいて前記スピンドル移動機構の送りと前記ワークテーブル送り機構の送りとの少なくともいずれか一方の送りに補正をかける制御部と、
を備えることを特徴とするダイシング装置。 - 前記スピンドルは、
筒状に形成されたハウジングと、
ロータ及びステータを有し、前記ロータを前記シャフトの一端側に一体回転可能に取り付け、前記ステータを前記ハウジング側に固定して取り付けてなるモータと、
前記ハウジング内において前記シャフトを非接触で回転可能に保持する流体軸受けを生成する流体軸受機構と、
を備え、前記ハウジングより外部に突出された前記シャフトの他端側に前記ブレードを取り付けてなる、ことを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記スピンドルのシャフトは、中空状に形成され、
前記温度センサは、細長い筒状部材内に複数個収容され、該筒状部材と共に前記シャフトの中空内に配置されている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のダイシング装置。 - 前記温度センサは、前記シャフトの中空内において、少なくとも、前記ブレードが取り付けられた加工位置に近い前記シャフトの他端側の位置と前記スピンドルのロータを取り付けた位置に近い位置とに配置されている、ことを特徴とする請求項3に記載のダイシング装置。
Priority Applications (1)
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JP2013211894A JP6145384B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013211894A JP6145384B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | ダイシング装置 |
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JP2015076516A JP2015076516A (ja) | 2015-04-20 |
JP6145384B2 true JP6145384B2 (ja) | 2017-06-14 |
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Family Applications (1)
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JP2013211894A Active JP6145384B2 (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP5248339B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2013-07-31 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの管理方法 |
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2013
- 2013-10-09 JP JP2013211894A patent/JP6145384B2/ja active Active
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