JP5780910B2 - 円筒型圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Description
円筒型圧電素子の製造方法であって、
圧電材料を円筒型に成型して焼成した円筒型圧電材料を作成し、
前記円筒型圧電材料の内周面に基準電極を設け、
前記円筒型圧電材料の外周面に、周方向に所定の幅を持ち且つ軸方向には一方端から他方端へ亘る複数の駆動用電極を設け、
前記円筒型圧電材料の外周面のうち、前記円筒型圧電材料の軸方向における一方端近傍部位に、前記軸方向について前記複数の駆動用電極に対して直列に且つ電気的に導通する態様で分極用電極を設け、
前記分極用電極と前記基準電極との間に所定の電圧を印加し、当該円筒型圧電材料のうち前記複数の駆動用電極に対応する領域を分極し、
前記円筒型圧電材料のうち前記分極用電極を除去する
ことを特徴とする。
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態に係る円筒型圧電素子の製造方法について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る円筒型圧電素子の製造方法における“成型・焼成ステップ”を示す図である。図2は、同製造方法における“外部電極形成ステップ”を示す図である。図3は、同製造方法における“分極ステップ”を示す図である。図4は、同製造方法における“切断・研磨除去ステップ”を示す図である。図5は、同製造方法により製造された円筒型圧電素子の斜視図を示す図である。
続いて、円筒型圧電材料3の外周面及び内周面に、次のように電極を形成する(外部電極形成ステップ)。すなわち、円筒型圧電材料3の外周面には、周方向に所定の幅を持ち且つ軸方向(円筒型圧電材料3の長さ方向)には一方端から他方端へ亘って、複数の駆動用電極5−1,5−2(図2では不可視の部位のものを含めて、周方向に等間隔に計4個の駆動用電極)を形成する。
他方、円筒型圧電材料3の内周面には、その略全面に基準電極5−21を形成する。
ここで、図2に示す例では、2つの駆動用電極5−1,5−2のみしか図示されていないが、実際には当該図面の視点では不可視の部位に更に2つの駆動用電極が設けられている。詳細には、当該円筒型圧電材料3を周方向に4等分する位置に一つずつ計4個の駆動用電極が設けられている。
上述した円筒型圧電材料3の内周面及び外周面に形成する各電極の材料としては、銀、銀パラジウム、金、またはニッケル等、任意の導電性材料を挙げることができる。また、各電極を形成する方法は任意であり、例えばスクリーン印刷、スパッタ、またはメッキ等を挙げることができる。
上述の外部電極形成ステップを完了した後、分極用電極5−11と、基準電極5−21との間に所定の電圧Vを印加し、当該円筒型圧電材料3に分極処理を施す(分極ステップ)。具体的には、例えば基準電極5−21にマイナスの電位を与え、且つ、分極用電極5−11にプラスの電位を与えることで、分極用電極5−11と基準電極5−21との間に所定の電圧を印加して当該円筒型圧電材料3を分極させればよい。
すなわち、図6に示す例では、本第1実施形態に係る円筒型圧電素子10の一方端側の中空部位(開口部位)に探針部材1001を配設し、且つ、他方端を支持部1000に対して固定している。このように構成することで、探針部材1001を被駆動体とする微小駆動機構(細径SPM(Scanning Probe Microscope)プローブ)が実現する。
図8に示す例では、本第1実施形態に係る円筒型圧電素子10の一方端側の中空部位(開口部位)に探針部材1001を配設し、且つ、他方端側の所定位置を支持部1000に対して固定している。このように構成することで、探針部材1001を被駆動体とする微小駆動機構(細径SPM(Scanning Probe Microscope)プローブ)が実現する。
[第2実施形態]
以下、本発明の第2実施形態に係る円筒型圧電素子の製造方法について説明する。なお、説明の重複を避ける為、第1実施形態に係る円筒型圧電素子の製造方法との相違点を説明する。この相違点の一つは、外部電極形成ステップ及び分極ステップにおける処理である。
そして、棒状電極110と棒状電極120との間に所定の電圧Vを印加することで、全ての円筒型圧電材料3を一括して分極処理することができる。図15に示す態様で分極処理することで、円筒型圧電材料3の内周面の基準電極に電圧を印加する為の治具が不要になり、更に位置決めも容易になる。
以上説明したように、本第2実施形態によれば、第1実施形態に係る円筒型圧電素子の製造方法及び円筒型圧電素子と同様の効果を奏する上に、分極処理の為の電気的接続を円筒型圧電材料の外周面のみで行うことができる為、“分極ステップ”を更に簡略化することができる。
さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示した複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示す全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
Claims (3)
- 円筒型圧電素子の製造方法であって、
圧電材料を円筒型に成型して焼成した円筒型圧電材料を作成し、
前記円筒型圧電材料の内周面に基準電極を設け、
前記円筒型圧電材料の外周面に、周方向に所定の幅を持ち且つ軸方向には一方端から他方端へ亘る複数の駆動用電極を設け、
前記円筒型圧電材料の外周面のうち、前記円筒型圧電材料の軸方向における一方端近傍部位に、前記軸方向について前記複数の駆動用電極に対して直列に且つ電気的に導通する態様で分極用電極を設け、
前記分極用電極と前記基準電極との間に所定の電圧を印加し、当該円筒型圧電材料のうち前記複数の駆動用電極に対応する領域を分極し、
前記円筒型圧電材料のうち前記分極用電極を除去する
ことを特徴とする円筒型圧電素子の製造方法。 - 前記基準電極を前記内周面に設ける際には、さらに前記内周面から前記外周面の前記他方端近傍部位まで連続的に延出させて設ける
ことを特徴とする請求項1に記載の円筒型圧電素子の製造方法。 - 前記分極は、第1の棒状電極と第2の棒状電極とを互いに略平行に配置し、前記第1の棒状電極上に前記分極用電極を設けた前記一方端近傍部位を載置し、前記第2の棒状電極上に前記基準電極が延出された前記外周面の前記他方端近傍部位を載置し、前記第1の棒状電極と前記第2の棒状電極との間に所定の電圧を印加することで行う
ことを特徴とする請求項2に記載の円筒型圧電素子の製造方法。
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