JP2013084780A - 圧電素子及び圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電素子及び圧電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013084780A JP2013084780A JP2011223841A JP2011223841A JP2013084780A JP 2013084780 A JP2013084780 A JP 2013084780A JP 2011223841 A JP2011223841 A JP 2011223841A JP 2011223841 A JP2011223841 A JP 2011223841A JP 2013084780 A JP2013084780 A JP 2013084780A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic body
- rod
- slit
- piezoelectric
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電素子を次のように構成する。貫通孔3Hを有する略円筒形状を呈する棒状弾性体3Eと、棒状弾性体3Eの長軸方向に沿って、棒状弾性体3Eの長軸方向における両端面に達しない範囲で、棒状弾性体3Eの側周面に形成された長孔形状のスリットs1と、側周面のうちスリットs1が形成された部位以外の部位に設けられた圧電部材と、長軸方向についてはスリットs1の両端部位に達しない範囲で、且つ、棒状弾性体3Eの周方向についてはスリットs1を跨いだ態様で、側周面の圧電部材上に設けられた電極部材7-1,7-2と、を圧電素子に具備させる。
【選択図】図1
Description
略円筒形状を呈する棒状弾性体と、
前記棒状弾性体の長軸方向に沿って、前記棒状弾性体の長軸方向における両端面に達しない範囲で、前記棒状弾性体の側周面に形成された長孔形状のスリットと、
前記側周面のうち前記スリットが形成された部位以外の部位に設けられた圧電部材と、
前記長軸方向については前記スリットの両端部位に達しない範囲で、且つ、前記棒状弾性体の周方向については前記スリットを跨いだ態様で、前記側周面の前記圧電部材上に設けられた電極部材と、
を具備することを特徴とする。
略円筒形状を呈する棒状弾性体と、
前記棒状弾性体の長軸方向に沿って、前記棒状弾性体の長軸方向における両端面に達しない範囲で、前記棒状弾性体の側周面に形成された長孔形状のスリットと、
前記側周面のうち前記スリットが形成された部位以外の部位に設けられた圧電部材と、
前記長軸方向については前記スリットの両端部位に達しない範囲で、且つ、前記棒状弾性体の周方向については前記スリットを跨いだ態様で、前記側周面の前記圧電部材上に設けられた電極部材と、
前記電極部材に所定の交番信号を印加する駆動回路と、
を具備し、
前記スリットは、当該棒状弾性体を周方向に4等分する位置に1つずつ形成され、
前記電極部材は、前記スリットによって、互いに独立した4つの電極部材に分割されており、
前記駆動回路は、互いに対向する電極部材間に所定の交番信号を印加する、
ことを特徴とする。
図1乃至図5に示すように、本一実施形態に係る圧電素子1は、略円筒形状の棒状弾性体3と、圧電部材9と、電極部材7−1,7−2,7−3,7−4と、を具備する。ここで、図1に示すように棒状弾性体3の長軸方向にZ軸を設定し、図5に示すように棒状弾性体3の長軸方向に垂直な面内で互いに直交する方向にX軸とY軸とを設定する。
前記電極部材7−1,7−2,7−3,7−4を利用して各圧電部材9−1,9−2,9−3,9−4に所定の電荷を与えることで、圧電部材9を振動させて、圧電素子を上述のX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向に変位させる。
以上説明したように、本一実施形態によれば、良好な加工精度を簡略な加工で得られる構成で小型化を実現した圧電素子及び圧電アクチュエータを提供することができる。
さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
Claims (4)
- 略円筒形状を呈する棒状弾性体と、
前記棒状弾性体の長軸方向に沿って、前記棒状弾性体の長軸方向における両端面に達しない範囲で、前記棒状弾性体の側周面に形成された長孔形状のスリットと、
前記側周面のうち前記スリットが形成された部位以外の部位に設けられた圧電部材と、
前記長軸方向については前記スリットの両端部位に達しない範囲で、且つ、前記棒状弾性体の周方向については前記スリットを跨いだ態様で、前記側周面の前記圧電部材上に設けられた電極部材と、
を具備することを特徴とする圧電素子。 - 前記スリットは、当該棒状弾性体を周方向に4等分する位置に1つずつ形成され、
前記電極部材は、前記スリットによって、互いに独立した4つの電極部材に分割されている
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。 - 略円筒形状を呈する棒状弾性体と、
前記棒状弾性体の長軸方向に沿って、前記棒状弾性体の長軸方向における両端面に達しない範囲で、前記棒状弾性体の側周面に形成された長孔形状のスリットと、
前記側周面のうち前記スリットが形成された部位以外の部位に設けられた圧電部材と、
前記長軸方向については前記スリットの両端部位に達しない範囲で、且つ、前記棒状弾性体の周方向については前記スリットを跨いだ態様で、前記側周面の前記圧電部材上に設けられた電極部材と、
前記電極部材に所定の交番信号を印加する駆動回路と、
を具備し、
前記スリットは、当該棒状弾性体を周方向に4等分する位置に1つずつ形成され、
前記電極部材は、前記スリットによって、互いに独立した4つの電極部材に分割されており、
前記駆動回路は、互いに対向する電極部材間に所定の交番信号を印加する、
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記駆動回路は、隣接する電極部材同士の交番信号の位相差が略90度となるように、互いに対向する電極部材間に所定の交番信号を印加する
ことを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011223841A JP2013084780A (ja) | 2011-10-11 | 2011-10-11 | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
PCT/JP2012/076129 WO2013054789A1 (ja) | 2011-10-11 | 2012-10-09 | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011223841A JP2013084780A (ja) | 2011-10-11 | 2011-10-11 | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013084780A true JP2013084780A (ja) | 2013-05-09 |
Family
ID=48529672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011223841A Pending JP2013084780A (ja) | 2011-10-11 | 2011-10-11 | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013084780A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013179786A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Olympus Corp | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
JP2014124213A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Olympus Corp | レーザ治療装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03112374A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-13 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH07231684A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-08-29 | Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad | 超音波マイクロモータ及びその固定子の製造方法 |
JP2007158167A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Nec Tokin Corp | 超音波モータ素子およびその製造方法 |
JP2008509645A (ja) * | 2004-08-13 | 2008-03-27 | フィジック インストゥルメント(ピーアイ)ゲーエムベーハー アンド ツェーオー.カーゲー | 小型化可能なモーター |
-
2011
- 2011-10-11 JP JP2011223841A patent/JP2013084780A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03112374A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-13 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JPH07231684A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-08-29 | Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad | 超音波マイクロモータ及びその固定子の製造方法 |
JP2008509645A (ja) * | 2004-08-13 | 2008-03-27 | フィジック インストゥルメント(ピーアイ)ゲーエムベーハー アンド ツェーオー.カーゲー | 小型化可能なモーター |
JP2007158167A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Nec Tokin Corp | 超音波モータ素子およびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013179786A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Olympus Corp | 圧電素子及び圧電アクチュエータ |
JP2014124213A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Olympus Corp | レーザ治療装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5914355B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
KR102193843B1 (ko) | 간극 제어 구조를 구비한 음향 변환기 및 음향 변환기를 제조하는 방법 | |
US10263597B2 (en) | Crystal unit | |
JP2010207594A (ja) | 超音波振動子の製造方法 | |
JP6690141B2 (ja) | 圧電素子及び圧電アクチュエータ | |
JP2013084780A (ja) | 圧電素子及び圧電アクチュエータ | |
WO2013054789A1 (ja) | 圧電素子及び圧電アクチュエータ | |
JP5023734B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 | |
US20190214543A1 (en) | Monolithic pzt actuator, stage, and method for making | |
JP2018019529A (ja) | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボットおよび電子部品搬送装置 | |
JP2013179786A (ja) | 圧電素子及び圧電アクチュエータ | |
JP5780910B2 (ja) | 円筒型圧電素子の製造方法 | |
JP2009044838A (ja) | 超音波アクチュエータ、及び圧電変位部の製造方法 | |
JP6525821B2 (ja) | 音叉型水晶素子 | |
JP2017085341A5 (ja) | ||
US11813640B2 (en) | Planar phased ultrasound transducer array | |
JP2012238643A (ja) | 圧電構造体 | |
JP2018056335A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンター、超音波トランスデューサーおよび圧電素子の製造方法 | |
JP2015088623A (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
JP6517507B2 (ja) | センサ素子及び角速度センサ | |
JP2020151796A (ja) | 振動素子基板の製造方法及び振動素子基板 | |
WO2023013317A1 (ja) | 超音波アクチュエータのステータ構造 | |
JP2017112650A (ja) | 振動体、積層振動体、圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよび送液ポンプ | |
JP2007208675A (ja) | 基板 | |
JP2017221042A (ja) | 圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150805 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20151104 |