JP5773815B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
2 第2チャンバー
3 フレームカバー
4 ホットプレート
11 上蓋
12 本体
13 シャッター
14 蝶番部
15 軸
16 フード
17 リンク部材
18 排気部
19 搬入搬出口
21 上蓋
22 本体
23 断熱材
24 蝶番部
25 軸
26 フード
27 チャンバーベース
28 支持部
31 上面部
32 下面部
33 シャッター部
34 側面部
51 支持部
52 排気口
53 排気ファン
54 センサ
100 基板
TI 断熱領域
Claims (6)
- 基板を加熱するためのホットプレートがその内部に配置された熱処理室を形成するチャンバーと、このチャンバーの外側を囲うフレームカバーと、を備えた熱処理装置において、
前記チャンバーと前記フレームカバーとの間に、前記チャンバーを囲う断熱領域を形成するための第2チャンバーを配設し、
前記チャンバーと前記第2チャンバーとは、前記フレームカバーに対してスライドすることにより、前記フレームカバー内の熱処理位置と、前記フレームカバー外のメンテナンス位置との間を一体的に移動可能であり、
前記チャンバーと前記第2チャンバーとは、各々、その上部に蓋部を備え、
前記チャンバーの蓋部の一方端は前記チャンバーの本体に対して蝶動可能であり、前記第2チャンバーの蓋部の一方端は前記第2チャンバーの本体に対して蝶動可能であり、前記チャンバーの蓋部の他方端に連結された軸と前記第2チャンバーの他方端に連結された軸との間にはリンク部材が配設され、
前記チャンバーの蓋部と前記第2チャンバーの蓋部とは、互いに同期して蝶動することにより開閉することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記断熱領域は、外部との空気の流通が制限された空気断熱層から構成される熱処理装置。 - 請求項2に記載の熱処理装置において、
前記第2チャンバーには、断熱材が付設される熱処理装置。 - 請求項3に記載の熱処理装置において、
前記チャンバーは、内部に密閉された空気層が形成された二重構造を有する熱処理装置。 - 請求項4に記載の熱処理装置において、
前記第2チャンバーと前記フレームカバーとの間の空間から排気を行う排気手段を備える熱処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記チャンバーと前記フレームカバーに設けられた搬入搬出口との間に配設された第1フードと、この第1フードに連結された第2フードとをさらに備え、
前記第2フードは、前記第2チャンバーの蓋部の一方端に連結されている熱処理装置。
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JP2011197817A JP5773815B2 (ja) | 2011-09-12 | 2011-09-12 | 熱処理装置 |
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JP2013061081A JP2013061081A (ja) | 2013-04-04 |
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