JP2013061081A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 熱処理装置は、チャンバー1と、第2チャンバー2と、フレームカバー3とを、この順序で順次外側に配置した三重構造を有する。そして、チャンバー1内には、基板100を加熱して処理するためのホットプレート4が配設されている。第2チャンバー2は、いずれも金属板から構成される上蓋21、本体22およびフード26と、これらの上蓋21、本体22およびフード26の内面に配設された断熱材23とを備える。この第2チャンバー2は、チャンバーベース27とともに、チャンバー1を囲う断熱領域TIを形成する。すなわち、チャンバー1と第2チャンバー2との間には、外部との空気の流通が制限された空気断熱層から構成される断熱領域TIが形成されている。
【選択図】 図2
Description
2 第2チャンバー
3 フレームカバー
4 ホットプレート
11 上蓋
12 本体
13 シャッター
14 蝶番部
15 軸
16 フード
17 リンク部材
18 排気部
19 搬入搬出口
21 上蓋
22 本体
23 断熱材
24 蝶番部
25 軸
26 フード
27 チャンバーベース
28 支持部
31 上面部
32 下面部
33 シャッター部
34 側面部
51 支持部
52 排気口
53 排気ファン
54 センサ
100 基板
TI 断熱領域
Claims (7)
- 基板を加熱するためのホットプレートがその内部に配置された熱処理室を形成するチャンバーと、このチャンバーの外側を囲うフレームカバーと、を備えた熱処理装置において、
前記チャンバーと前記フレームカバーとの間に、前記チャンバーを囲う断熱領域を形成するための第2チャンバーを配設したことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記断熱領域は、外部との空気の流通が制限された空気断熱層から構成される熱処理装置。 - 請求項2に記載の熱処理装置において、
前記第2チャンバーには、断熱材が付設される熱処理装置。 - 請求項3に記載の熱処理装置において、
前記チャンバーは、内部に密閉された空気層が形成された二重構造を有する熱処理装置。 - 請求項4に記載の熱処理装置において、
前記第2チャンバーと前記フレームカバーとの間の空間から排気を行う排気手段を備える熱処理装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記チャンバーと前記第2チャンバーとは、前記フレームカバーに対してスライドすることにより、前記フレームカバー内の熱処理位置と、前記フレームカバー外のメンテナンス位置との間を一体的に移動可能である熱処理装置。 - 請求項6に記載の熱処理装置において、
前記チャンバーと前記第2チャンバーとは、各々、その上部に蓋部を備え、
前記チャンバーの蓋部と前記第2チャンバーの蓋部とは、互いに同期して開閉する熱処理装置。
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