JP5771483B2 - 耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具の製造方法 - Google Patents
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そして、硬質皮膜のうちでも、α型酸化アルミニウム層は、熱安定性に優れ、反応性が低く、かつ、高硬度であるという点から、上記周期律表の4a、5a、6a族から選ばれた少なくとも1種以上の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物等からなる硬質皮膜の最表面層として、α型酸化アルミニウム層が被覆形成されることが多い。
酸化アルミニウム層の被覆形成方法としては、通常は、化学蒸着(CVD)法が採用されているが、その他に、物理蒸着(PVD)法、ゾル−ゲル法によって酸化アルミニウム層を形成することも知られている。
例えば、特許文献1に示すように、工具基体、硬質皮膜の特性の劣化・変形を招かないために、低温条件下(1000℃以下)でのα型アルミナ層の形成方法として、工具基体表面に、Alと、4a族、5a族、6a族およびSiよりなる群から選択される少なくとも1種の元素とを必須成分とする窒化物、炭化物、炭窒化物、ほう化物、窒酸化物、炭窒酸化物からなる硬質皮膜を物理蒸着(PVD)法で形成した後、該硬質皮膜を酸化することによって酸化物含有層を形成し、該酸化物含有層上に物理蒸着(PVD)することにより、最表面層としての耐摩耗性および耐熱性に優れたα型結晶構造を主体とするアルミナ層を蒸着形成することが提案されている。
また、特許文献2に示されるように、物理蒸着(PVD)法により硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、第1の層を(Ti、Al)N層で構成し、また、第2の層を酸化アルミニウム層(好ましくは、γ型アルミナ層)で構成することが提案されている。
さらに、特許文献3に示すように、機械特性、耐久性がある酸化アルミニウム被覆構造体の製造方法として、母材上に、結晶構造がアモルファス構造、又はγ型のアルミナ、又はそれらの混合物からなる第1のアルミナ層をゾル−ゲル法で被覆した後、スパッタリングにより、γ型を主体とする第2のアルミナ層を被覆形成することが提案されている。
「(1) 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメット、高速度鋼あるいは立方晶窒化硼素基超高圧焼結体からなる工具基体の最表面に、0.05〜5μmの膜厚を有し、コランダム型の結晶構造を有するαアルミナ構造の酸化アルミニウム層を被覆形成する表面被覆切削工具の製造方法において、
上記酸化アルミニウム層は、アルミニウムのアルコキシドにアルコールを添加し、さらに酸を添加した後、10℃以下の温度範囲にて攪拌してゾルを生成させ、該ゾルに含まれるアルミニウムと水のモル比が1:30〜1:150になるようにゾルに水を添加した後、15〜80℃の温度にて加熱・攪拌する高結晶化処理を施し、該高結晶化処理を施したゾルを、上記工具基体の表面あるいは工具基体表面に形成した硬質皮膜の最表面へ塗布し、それに続き100〜400℃で乾燥する処理を1回以上繰り返し行うことによってアルミナの乾燥ゲルを形成し、次いで、500〜900℃の温度範囲で焼成処理を行うゾル−ゲル法により被覆形成する、
ことを特徴とする耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具の製造方法。
を特徴とするものである。
アルミナゾルの調製:
まず、アルミニウムのアルコキシド(例えば、アルミニウムセカンダリブトキシド、アルミニウムプロポキシド)にアルコール(例えば、エタノール、1−ブタノール。)を添加し、さらに、酸(例えば、塩酸、硝酸)を添加(同時に、平均粒径10〜300nmのαアルミナ粒子を添加してもよい)した後、10℃以下の温度範囲にて攪拌し、かつ、例えば、12時間以上の熟成処理を行うことによってアルミナゾルを形成する。
また、アルコール中のαアルミナ粒子含有量は、アルミニウムのアルコキシドに対して0.5質量%未満であると、結晶核を一定密度以上で膜中に均一分布させるために必要な核生成数を満足できず、膜中の結晶性が場所によって不均一になってしまうため、切削の際に異常摩耗を誘発させやすい。アルミニウムのアルコキシドに対して5質量%を超えるとアルミナゾル中においてαアルミナ粒子の凝集が起きやすく、酸化アルミニウム層形成時に該凝集部が膜中の粗大粒子として形成し、膜中欠陥を誘発するという理由からαアルミナ粒子の添加量はアルミニウムのアルコキシドに対して0.5〜5質量%の範囲とすることが望ましい。
低温熟成処理を行った上記アルミナゾルに含まれるアルミニウムと水のモル比が1:30〜1:150になるようにゾルに水を添加する技術的な理由、及び、15〜80℃の温度にて加熱、攪拌する技術的な理由は、低温熟成処理により密に形成した酸化アルミニウム前駆体を起点として、上記水の添加と加熱により、更なるAl−Oの結合を促すことでαアルミナコランダムに近い八面体AlO6をより強固に多く形成させることができ、添加後の水量の最終的なモル比が30未満では、水に含まれるOの供給が十分でないために、アルミニウムのアルコキシドの加水分解及び重縮合反応が十分進まず、αアルミナコランダムに近い八面体AlO6を多く形成させ、結晶性向上を達成するために必要なAl−Oの結合数を満たさない。一方、150を超えると、アルミナゾルの体積あたりのAl−Oの結合数が少なくなってしまい、コーティングした際にち密な酸化アルミニウム膜とならないことから、アルミニウムと水のモル比を1:30〜1:150と定めた。
また、高結晶化処理の加熱・攪拌温度が15℃未満では、アルミニウムアルコキシドの加水分解及び重縮合反応が十分に促進されないため、αアルミナコランダムに近い八面体AlO6が十分な数をもって形成せず、結晶性の高い酸化アルミニウム層が形成できない。
一方、加熱・攪拌温度が80℃を超えると溶媒の揮発が進み、低温熟成処理にて密に形成された酸化アルミニウム前駆体が破壊されてしまい、結晶性の高い酸化アルミニウム層を成膜できない。
故に、高結晶化処理の加熱・攪拌温度は15〜80℃と定めた。
上記で調製したアルミナゾルを、工具基体の表面へ直接、あるいは、工具基体表面に物理蒸着(PVD)法で形成した硬質皮膜の最表面へ塗布し、それに続き100〜400℃、より好ましくは250〜350℃での乾燥処理を1回以上繰り返し行い、次いで、500〜1000℃、より好ましくは600〜900℃の温度範囲で焼成処理を行って酸化アルミニウム層を被覆形成する。
上記酸化アルミニウム層は、工具基体に直接成膜することでも、その性能を発揮することは可能であるが、特に超硬合金や炭窒化チタン基サーメット、高速度鋼を基体とする場合には、あらかじめ工具基体表面を窒化処理により工具表面付近の金属結合相を窒化することによって表面硬化させ、その表面に酸化アルミニウム層を形成させることにより、酸化アルミニウム層と工具基体との密着強度が向上し、工具寿命を延長することが可能となる。
また、上記超硬基体Bについても、同じくアークイオンプレーティング装置に装入し、膜厚2.0μmのAl0.7Cr0.3N層からなる硬質皮膜を物理蒸着により被覆形成した。
また、上記超硬基体Cについては、プラズマ窒化処理装置内に装入し、基板を600℃に加熱し、アンモニアと水素の気流中(流量比を1:4とする)、200Paの圧力下で、基板に−300Vの直流電圧を印加し、約1時間プラズマ窒化処理を行った。
表1に示す所定量のアルミニウムのアルコキシドであるアルミニウムセカンダリブトキシドに、アルコールとして、同じく表1に示す所定量のエタノールを添加して、恒温槽中0℃で攪拌を行い、さらに、所定量の水を添加した塩酸を滴下により1時間かけて添加した。
なお、上記でアルミナゾルに含まれるアルミニウムに対し、該ゾル中へ添加した水の量の比は1:20〜1:100であった。
切削速度:180m/min、
切込み:1.5mm、
送り:0.3mm/rev、
切削時間:5分
切削加工試験後の、それぞれの工具の摩耗状態について観察を行い、逃げ面摩耗量の測定を行った。
また、上記サーメット基体Fについても、同じくアークイオンプレーティング装置に装入し、膜厚2.0μmのAl0.7Cr0.3N層からなる硬質皮膜を物理蒸着により被覆形成した。
表3に示す所定量のアルミニウムのアルコキシドであるアルミニウムイソプロポキシドに対して、アルコールとして、表3に示す所定の平均粒径のαアルミナ粒子を含有する所定量の1−ブタノールを添加して、恒温槽中0℃で攪拌を行いながら、所定量の水で希釈した硝酸を滴下により1時間かけて添加した。
なお、上記でアルミナゾルに含まれるアルミニウムに対し、該ゾル中へ添加した水の量の比は1:20〜1:100であった。
即ち、上記(b2)の工程で、サーメット基体EにTi0.5Al0.5N層、サーメット基体FにAl0.7Cr0.3N層、cBN焼結体製の工具基体GにTi0.5Al0.5N層、cBN焼結体製の工具基体HにAl0.7Cr0.3N層からなる硬質皮膜をそれぞれ形成し、また、cBN焼結体製の工具基体Iについては無処理のままとし、上記(c2)の工程で、アルミナゾルを調製した。
切削速度:220m/min、
切込み:0.5mm、
送り:2.0mm/rev、
切削時間:5分
切削加工試験後の、それぞれの工具の摩耗状態について観察を行い、逃げ面摩耗量の測定を行った。
被削材:JIS・SCr415の丸棒、
切削速度:180m/min、
切込み:0.5mm、
送り:2.0mm/rev、
切削時間:5分
切削加工試験後の、それぞれの工具の摩耗状態について観察を行い、逃げ面摩耗量の測定を行った。
Claims (4)
- 炭化タングステン基超硬合金、炭窒化チタン基サーメット、高速度鋼あるいは立方晶窒化硼素基超高圧焼結体からなる工具基体の最表面に、0.05〜5μmの膜厚を有し、コランダム型の結晶構造を有するαアルミナ構造の酸化アルミニウム層を被覆形成する表面被覆切削工具の製造方法において、
上記酸化アルミニウム層は、アルミニウムのアルコキシドにアルコールを添加し、さらに酸を添加した後、10℃以下の温度範囲にて攪拌してゾルを生成させ、該ゾル中に含まれるアルミニウムと水のモル比が1:30〜1:150になるようにゾルに水を添加した後、15〜80℃の温度にて加熱・攪拌する高結晶化処理を施し、該高結晶化処理を施したゾルを、上記工具基体の表面あるいは工具基体表面に形成した硬質皮膜の最表面へ塗布し、それに続き100〜400℃で乾燥する処理を1回以上繰り返し行うことによってアルミナの乾燥ゲルを形成し、次いで、500〜900℃の温度範囲で焼成処理を行うゾル−ゲル法により被覆形成する、
ことを特徴とする耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具の製造方法。 - 上記工具基体の表面に、硬質皮膜として、周期律表の4a、5a、6a族、Al、Siから選ばれる少なくとも一種以上の元素を含有する窒化物を物理蒸着法、化学蒸着法もしくはゾル‐ゲル法によって被覆し、該硬質皮膜最表面に上記酸化アルミニウム層を形成することを特徴とする請求項1に記載の耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具の製造方法。
- 上記工具基体の表面に、予め、窒化処理を施すことを特徴とする請求項1に記載の耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具の製造方法。
- 上記のアルミニウムのアルコキシドにアルコールを添加する際に、平均粒径10〜300nmのαアルミナ粒子を含有するアルコールを添加することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具の製造方法。
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