JP5764141B2 - 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ - Google Patents
磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5764141B2 JP5764141B2 JP2012545633A JP2012545633A JP5764141B2 JP 5764141 B2 JP5764141 B2 JP 5764141B2 JP 2012545633 A JP2012545633 A JP 2012545633A JP 2012545633 A JP2012545633 A JP 2012545633A JP 5764141 B2 JP5764141 B2 JP 5764141B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- electromagnet
- rotor shaft
- function
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 39
- 230000006870 function Effects 0.000 description 53
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 46
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229910000576 Laminated steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
- H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/058—Bearings magnetic; electromagnetic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0446—Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/048—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of two degrees of freedom, e.g. radial magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
Description
駆動モータ12は、固定子12Aと回転子12Bとからなる構造であって、ロータ軸5の略中央付近に設けられている。かかる駆動モータ12の固定子12Aはステータコラム4の内側に設置しており、同駆動モータ12の回転子12Bはロータ軸5の外周面側に一体に装着してある。
ロータ軸5上端側の保護ベアリングB1は、例えばラジアル磁気軸受10やアキシャル磁気軸受11によるロータ軸5の浮上位置制御が不能となった時など、ロータ軸5の回転異常時に、ロータ軸5の径方向から該ロータ軸5の回転を受け止めて停止させる手段として機能する。かかる機能を実現するために、同保護ベアリングB1の外輪は、ステータコラム4の内周面側に取り付け固定し、同保護ベアリングB1の内輪は、ロータ軸5上端外周面と所定の隙間を隔てて対向するように設けている。
ラジアル磁気軸受10は、駆動モータ12の上下に1組ずつ合計2組配置され、アキシャル磁気軸受11はロータ軸5の下端部側に1組配置されている。以下の説明では、説明の便宜上、図2のように、ロータ軸5の軸心を原点とし、原点からロータ軸5の径方向にX軸とこれに直角のY軸を備えたXY座標系で説明する。
アキシャル磁気軸受11は、ロータ軸5の下端部外周に取り付けた円盤形状のアーマチュアディスク11Aと、アーマチュアディスク11Aを挟んで上下に対向するアキシャル電磁石11Bと、ロータ軸5の下端面から少し離れた位置に設置したアキシャル方向変位センサ11Cとを備えて構成される。アーマチュアディスク11Aは透磁率の高い材料からなり、上下のアキシャル電磁石11Bはアーマチュアディスク11Aをその上下方向から磁力で吸引するようになっている。アキシャル方向変位センサ11Cはロータ軸5の軸方向変位を検出する。そして、アキシャル方向変位センサ11Cでの検出値(ロータ軸5の軸方向変位)に基づき上下のアキシャル電磁石11Bの励磁電流を制御することによって、ロータ軸5は軸方向所定位置に磁力で浮上支持される。
磁気軸受の制御装置20は、制御対象であるロータ軸5と磁気軸受の+Xセンサ及び−Xセンサによる+X方向と−X方向の2つのギャップ値の差分を演算し、その差分とX方向ギャップ補正値を基準とし+X電磁石と−X電磁石の励磁電流を制御すること、及び、+Yセンサと−Yセンサの検出値とこれらに対応する+Y方向、−Y方向のギャップ値の差分を演算し、その差分とY方向ギャップ補正値を基準とし+Y電磁石と−Y電磁石の励磁電流を制御することにより、ロータ軸5を磁力で浮上支持するように制御している。通常、初期浮上位置は、X方向ギャップ補正値とY方向ギャップ補正値は0として、浮上支持するように電磁石は制御される。
第1の機能は、ロータ軸5のX軸方向可動限界位置を検出する機能である。
第2の機能は、第1の機能で検出したX軸方向可動限界位置を基にX軸上渦電流式ギャップセンサ10CのX軸上可動範囲とその中心(ラジアル磁気軸受のX軸上可動範囲中心)を特定する機能である。
第3の機能は、ロータ軸5のY軸方向可動限界位置を検出する機能である。
第4の機能は、第3の機能で検出したY軸方向可動限界位置を基にY軸上渦電流式ギャップセンサ10CのY軸上可動範囲とその中心(ラジアル磁気軸受のY軸上可動範囲中心)を特定する機能である。
第5の機能は、第1の機能による検出時及び第2の機能による特定時は、Y軸上電磁石10B(+Y電磁石と−Y電磁石)の励磁電流をOFFにし、第3の機能による検出時及び第4の機能による特定時は、X軸上電磁石10B(+X電磁石と−X電磁石)の励磁電流をOFFにする機能である。
図1の排気ポンプPでは、ロータ6の略中間より上流(ロータ6の略中間からロータ6のガス吸気口2側端部までの範囲)が翼排気部Ptとして機能する。以下この翼排気部Ptを詳細に説明する。
以上の構成からなる翼排気部Ptでは、駆動モータ12の起動により、ロータ軸5、ロータ6および複数の回転翼13が一体に高速回転し、最上段の回転翼13がガス吸気口2から入射した気体分子に下向き方向の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有する気体分子が固定翼14によって次段の回転翼13側へ送り込まれる。以上のような気体分子への運動量の付与と送り込み動作とが繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口2側の気体分子はロータ6の下流に向かって順次移行するように排気される。
図1の排気ポンプPでは、ロータ6の略中間より下流(ロータ6の略中間からロータ6のガス排気口3側端部までの範囲)がネジ溝排気部Psとして機能する。以下このネジ溝排気部Psを詳細に説明する。
先に説明した翼排気部Ptの排気動作による移送で最下段の回転翼13若しくは固定翼14に到達した気体分子は、それらに向かって開口しているネジ溝排気通路Sの上流入口から同ネジ溝排気通路Sに移行する。移行した気体分子は、ロータ6の回転によって生じる効果、すなわち、ロータ6の外周面とネジ溝19でのドラッグ効果によって、遷移流から粘性流に圧縮されながらガス排気口3に向って移行し、最終的に図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。
1A ポンプケース
1B ポンプベース
1C フランジ
2 ガス吸気口
3 ガス排気口
4 ステータコラム
5 ロータ軸
6 ロータ
7 ボス孔
9 肩部
10 ラジアル磁気軸受
10A ラジアル電磁石ターゲット
10B X軸上電磁石
10C X軸上渦電流式ギャップセンサ
11 アキシャル磁気軸受
11A アーマチュアディスク
11B アキシャル電磁石
11C アキシャル方向変位センサ
12 駆動モータ
12A 固定子
12B 回転子
13 回転翼
14 固定翼
18 ネジ溝排気部ステータ
19 ネジ溝
20 磁気軸受の制御装置
B1、B2 保護ベアリング
P 排気ポンプ
Pt 翼排気部
Ps ネジ溝排気部
S ネジ溝排気通路
Claims (2)
- XY座標系のX軸上とY軸上に設けた渦電流式ギャップセンサと磁気軸受で浮上させる被制御軸とのギャップを該渦電流式ギャップセンサで検出し、その検出値を基にX軸上電磁石とY軸上電磁石を励磁することにより、これらの電磁石の磁力で前記被制御軸を浮上支持する磁気軸受の制御装置であって、
前記磁気軸受の制御装置は、
前記被制御軸のX軸方向可動限界位置を検出する第1の機能と、
前記第1の機能で検出したX軸方向可動限界位置を基に前記X軸上渦電流式ギャップセンサのX軸上可動範囲の中心を特定する第2の機能と、
前記被制御軸のY軸方向可動限界位置を検出する第3の機能と、
前記第3の機能で検出したY軸方向可動限界位置を基に前記Y軸上渦電流式ギャップセンサのY軸上可動範囲の中心を特定する第4の機能と、
前記第1の機能によるX軸方向可動限界位置の検出時及び第2の機能によるX軸上可動範囲の中心の特定時は、前記X軸上電磁石のうち対向する少なくとも2つの電磁石の励磁電流をONにするとともに、前記Y軸上電磁石の励磁電流をOFFにし、前記第3の機能によるY軸方向可動限界位置の検出時及び第4の機能によるY軸上可動範囲の中心の特定時は、前記Y軸上電磁石のうち対向する少なくとも2つの電磁石の励磁電流をONにするとともに、前記X軸上電磁石の励磁電流をOFFにする第5の機能と、
を備えることを特徴とする磁気軸受の制御装置。 - 前記磁気軸受で支持された前記被制御軸を有する排気ポンプにおいて、請求項1に記載の磁気軸受の制御装置を備えてなることを特徴とする排気ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012545633A JP5764141B2 (ja) | 2010-11-24 | 2011-07-21 | 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010260959 | 2010-11-24 | ||
JP2010260959 | 2010-11-24 | ||
PCT/JP2011/066578 WO2012070278A1 (ja) | 2010-11-24 | 2011-07-21 | 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ |
JP2012545633A JP5764141B2 (ja) | 2010-11-24 | 2011-07-21 | 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012070278A1 JPWO2012070278A1 (ja) | 2014-05-19 |
JP5764141B2 true JP5764141B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=46145640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012545633A Active JP5764141B2 (ja) | 2010-11-24 | 2011-07-21 | 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9077214B2 (ja) |
EP (1) | EP2644917B1 (ja) |
JP (1) | JP5764141B2 (ja) |
KR (1) | KR101823716B1 (ja) |
CN (1) | CN103201529A (ja) |
WO (1) | WO2012070278A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CZ2013208A3 (cs) | 2013-03-22 | 2014-08-27 | Rieter Cz S.R.O. | Způsob korekce odchylek parametrů komponent a/nebo sestavy aktivního magnetického ložiska a aktivní magnetické ložisko pro uložení otáčejícího se pracovního prostředku |
CN104467545B (zh) * | 2013-09-12 | 2018-04-17 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 磁悬浮系统的轴控制方法和装置 |
EP3372854B1 (en) * | 2015-12-10 | 2020-06-24 | Daikin Industries, Ltd. | Magnetic bearing device and compressor |
KR101859834B1 (ko) | 2016-08-24 | 2018-06-28 | 엘지전자 주식회사 | 압축기 및 그 제어방법 |
EP3663599B1 (en) * | 2017-09-29 | 2023-10-11 | Daikin Industries, Ltd. | Method for calibrating gap sensor |
EP3511585B1 (de) * | 2018-01-15 | 2020-07-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur überwachung einer magnetlagervorrichtung |
EP3511584B1 (de) * | 2018-01-15 | 2020-07-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur überwachung einer magnetlagervorrichtung |
CN110762120A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-02-07 | 南京航空航天大学 | 一种基于磁悬浮轴承转子系统的高回转精度控制方法 |
CN110863997A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-03-06 | 北京中科科仪股份有限公司 | 带内加热装置的磁悬浮分子泵 |
CN112610603B (zh) * | 2020-11-30 | 2021-11-23 | 珠海格力电器股份有限公司 | 磁悬浮转子起浮控制方法和控制装置、磁悬浮轴承 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11166532A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-22 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2700904B2 (ja) | 1988-10-18 | 1998-01-21 | セイコー精機株式会社 | 磁気浮上体の制御装置 |
DE4427154A1 (de) | 1994-08-01 | 1996-02-08 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Reibungspumpe mit Magnetlagerung |
JP2000065060A (ja) | 1998-08-18 | 2000-03-03 | Ntn Corp | 磁気軸受装置の初期調整方法 |
JP3786803B2 (ja) | 1999-07-14 | 2006-06-14 | 株式会社ジェイテクト | 制御型磁気軸受装置及び磁気軸受の機種判定方法 |
JP2001074049A (ja) | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
JP2002013532A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受制御装置 |
JP2002349565A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置における回転体の目標浮上位置設定方法 |
JP4241223B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2009-03-18 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受装置 |
JP4324736B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2009-09-02 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受制御装置 |
JP2005344874A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP4353017B2 (ja) * | 2004-07-16 | 2009-10-28 | 株式会社ジェイテクト | 磁気軸受装置 |
JP2006083924A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Boc Edwards Kk | 磁気軸受制御装置 |
US7679248B2 (en) * | 2005-09-28 | 2010-03-16 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing system |
JP5003879B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-08-15 | 株式会社Ihi | 電磁吸引式磁気軸受とその制御方法 |
-
2011
- 2011-07-21 JP JP2012545633A patent/JP5764141B2/ja active Active
- 2011-07-21 CN CN2011800549761A patent/CN103201529A/zh active Pending
- 2011-07-21 KR KR1020137009640A patent/KR101823716B1/ko active IP Right Grant
- 2011-07-21 WO PCT/JP2011/066578 patent/WO2012070278A1/ja active Application Filing
- 2011-07-21 US US13/884,562 patent/US9077214B2/en active Active
- 2011-07-21 EP EP11842837.4A patent/EP2644917B1/en not_active Revoked
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11166532A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-22 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9077214B2 (en) | 2015-07-07 |
KR20130139923A (ko) | 2013-12-23 |
WO2012070278A1 (ja) | 2012-05-31 |
EP2644917B1 (en) | 2016-01-13 |
KR101823716B1 (ko) | 2018-03-14 |
US20130229079A1 (en) | 2013-09-05 |
EP2644917A4 (en) | 2014-12-03 |
CN103201529A (zh) | 2013-07-10 |
EP2644917A1 (en) | 2013-10-02 |
JPWO2012070278A1 (ja) | 2014-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5764141B2 (ja) | 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ | |
JP4749054B2 (ja) | ターボ分子ポンプ、およびターボ分子ポンプの組み立て方法 | |
JP3923696B2 (ja) | 基板回転装置 | |
JP5319069B2 (ja) | 電磁アクチュエータ、及び真空ポンプ | |
JP5763660B2 (ja) | 排気ポンプ | |
JP2002242876A (ja) | 磁気軸受式ポンプ | |
JP5276321B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2018178908A (ja) | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト | |
JP5255752B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP5864111B2 (ja) | 回転体及び該回転体を搭載した真空ポンプ | |
JP2005105846A (ja) | 真空ポンプ | |
WO2019230613A1 (ja) | 真空ポンプ及びセンサターゲット | |
JP7214805B1 (ja) | 磁気軸受装置及び真空ポンプ | |
WO2023032767A1 (ja) | 磁気軸受装置及び真空ポンプ | |
JP2000291586A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2006090231A (ja) | ターボ分子ポンプ固定翼の製造方法および真空ポンプ | |
JP2007138892A (ja) | 磁気軸受型ターボ分子ポンプ | |
JP2006002614A (ja) | 磁気軸受式ターボ分子ポンプ | |
JP2006083924A (ja) | 磁気軸受制御装置 | |
JP2023035884A (ja) | 磁気軸受装置及び真空ポンプ | |
JPH07238897A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2002174198A (ja) | レーザ発振器ブロワ用軸受装置 | |
JP2020197129A (ja) | 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部 | |
JP2004068636A (ja) | 真空ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150528 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5764141 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |