JP2005344874A - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005344874A JP2005344874A JP2004167109A JP2004167109A JP2005344874A JP 2005344874 A JP2005344874 A JP 2005344874A JP 2004167109 A JP2004167109 A JP 2004167109A JP 2004167109 A JP2004167109 A JP 2004167109A JP 2005344874 A JP2005344874 A JP 2005344874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- discrete value
- sine wave
- unit
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
- F16C32/0455—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control including digital signal processing [DSP] and analog/digital conversion [A/D, D/A]
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B21/00—Systems involving sampling of the variable controlled
- G05B21/02—Systems involving sampling of the variable controlled electric
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B5/00—Anti-hunting arrangements
- G05B5/01—Anti-hunting arrangements electric
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
【課題】 回路規模の縮小化および低コスト化を図ることができる磁気軸受装置の提供。
【解決手段】 センサ回路2Bからの差分信号は、A/Dコンバータ301によりデジタル値に変換された後にDSP307に入力される。そのときのサンプリング周波数は、搬送波周波数の4/3倍または4/5倍に設定される。デジタル化された差分信号は2つに分岐され、一方には正弦波離散値演算部320からの正弦波離散値信号が乗算され、他方には余弦波離散値演算部321からの余弦波離散値信号が乗算される。乗算後の各信号は、それぞれローパスフィルタ演算部315でフィルタリングされてから2乗算演算部322で2乗される。そして、各2乗算結果は和算部323で加え合わされ、平方根演算部324で平方根演算された後にゲインオフセット補正が行われる。励磁アンプに対する制御信号は、このゲインオフセット補正された信号に基づいて生成される。
【選択図】 図4
【解決手段】 センサ回路2Bからの差分信号は、A/Dコンバータ301によりデジタル値に変換された後にDSP307に入力される。そのときのサンプリング周波数は、搬送波周波数の4/3倍または4/5倍に設定される。デジタル化された差分信号は2つに分岐され、一方には正弦波離散値演算部320からの正弦波離散値信号が乗算され、他方には余弦波離散値演算部321からの余弦波離散値信号が乗算される。乗算後の各信号は、それぞれローパスフィルタ演算部315でフィルタリングされてから2乗算演算部322で2乗される。そして、各2乗算結果は和算部323で加え合わされ、平方根演算部324で平方根演算された後にゲインオフセット補正が行われる。励磁アンプに対する制御信号は、このゲインオフセット補正された信号に基づいて生成される。
【選択図】 図4
Description
本発明は、ターボ分子ポンプや工作機械などに使用する磁気軸受装置に関する。
低振動で高速回転が要求されるターボ分子ポンプや工作機械などにおいては、軸受けとして磁気軸受が用いられることが多い。回転体の場合には、一般的に5軸制御型の磁気軸受が用いられる。5軸制御型の磁気軸受では、ラジアル方向に4軸制御が行われ、アキシャル方向に1軸制御が行われる。各軸には電磁石と回転体の変位を検出する変位センサがそれぞれ設けられており、変位センサにはインダクタンス式センサが多く用いられる。通常、ラジアル軸には対向型が、アキシャル軸には非対向型のものが使用される。変位センサには搬送波が印加され、回転体とのギャップ変化によるセンサ部のインピーダンス変化により搬送波が振幅変調される。そして、この振幅変調された信号を復調して得られた変位信号を用いて電磁石の励磁電流を制御している(例えば、特許文献1参照)。
アキシャル軸の変位センサの場合には、対向型でないためセンサ部や信号ラインの浮遊容量の変化によってセンサ信号のオフセット値が変化する。特に、磁気軸受装置とコントローラとを接続するケーブルを変更すると、ケーブルの浮遊容量変化によってオフセット値が大きく変化する傾向があるので、交換の度にオフセット調整を行う必要があった。そのため、このようなオフセット調整作業を省略できるように、搬送波の周波数を低く設定する傾向にある。
しかしながら、搬送波の周波数を低く設定した場合、振幅変調波から搬送波の基本波および高調波を除去してセンサ信号をフィルタリングする際に、センサ信号の必要帯域に対して搬送波の周波数が比較的接近した状況となる。そのため、磁気浮上制御性が低下しないように、必要帯域の位相遅れを極力避けるとともに、フィルタリングに関してローパスフィルタに代えてノッチフィルタを多数使用する必要があった。その結果、回路規模の増大を招くという欠点があった。
請求項1の発明による磁気軸受装置は、被支持体を非接触支持する電磁石と、電磁石に励磁電流を供給する励磁アンプと、搬送波を生成する搬送波生成手段と、搬送波を被支持体の浮上位置に応じて変調してセンサ信号として出力するセンサと、センサ信号の周波数帯域が、サンプリング周波数の1/2倍よりも高くかつサンプリング周波数よりも低くなるようなサンプリング周波数、または、サンプリング周波数よりも高くかつサンプリング周波数の3/2倍よりも低くなるようなサンプリング周波数で、センサ信号をデジタル値に変換するA/D変換手段と、搬送波周波数の4/3倍または4/5倍の周波数を有するサンプリング周波数で、センサ信号をデジタル値に変換するA/D変換手段と、デジタル値に変換されたセンサ信号に基づいてデジタル演算処理により復調する復調演算手段と、復調演算手段の演算結果に基づいて励磁アンプを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載の磁気軸受装置において、サンプリング周波数を、搬送波の周波数の4/3倍または4/5倍に設定したものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、復調演算手段は、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、デジタル値に変換されたセンサ信号と正弦波離散値とを乗算する乗算部と、乗算部の乗算結果にローパス演算処理を行うローパス演算部とを備え、搬送波生成手段は、乗算部で乗算される正弦波離散値とデジタル値に変換されたセンサ信号とがほぼ同位相となるように、正弦波離散値をデジタル演算処理により位相シフトする位相シフト演算部と、その位相シフトされた正弦波離散値をD/A変換して搬送波を生成するD/A変換部とを備え、制御手段は、ローパス演算部の演算結果に基づいて励磁アンプを制御することを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、搬送波生成手段は、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、正弦波離散値をD/A変換して搬送波を生成するD/A変換部とを備え、復調演算手段は、正弦波離散値と前記デジタル値に変換されたセンサ信号とがほぼ同位相となるように、正弦波離散値をデジタル演算処理により位相シフトする位相シフト演算部と、位相シフト演算部により位相シフトされた正弦波離散値とデジタル値に変換されたセンサ信号とを乗算する乗算部と、乗算部の乗算結果にローパス演算処理を行うローパス演算部とを備え、制御手段は、ローパス演算部の演算結果に基づいて励磁アンプを制御することを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載の磁気軸受装置において、サンプリング周波数を、搬送波の周波数の4/3倍または4/5倍に設定したものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、復調演算手段は、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、デジタル値に変換されたセンサ信号と正弦波離散値とを乗算する乗算部と、乗算部の乗算結果にローパス演算処理を行うローパス演算部とを備え、搬送波生成手段は、乗算部で乗算される正弦波離散値とデジタル値に変換されたセンサ信号とがほぼ同位相となるように、正弦波離散値をデジタル演算処理により位相シフトする位相シフト演算部と、その位相シフトされた正弦波離散値をD/A変換して搬送波を生成するD/A変換部とを備え、制御手段は、ローパス演算部の演算結果に基づいて励磁アンプを制御することを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、搬送波生成手段は、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、正弦波離散値をD/A変換して搬送波を生成するD/A変換部とを備え、復調演算手段は、正弦波離散値と前記デジタル値に変換されたセンサ信号とがほぼ同位相となるように、正弦波離散値をデジタル演算処理により位相シフトする位相シフト演算部と、位相シフト演算部により位相シフトされた正弦波離散値とデジタル値に変換されたセンサ信号とを乗算する乗算部と、乗算部の乗算結果にローパス演算処理を行うローパス演算部とを備え、制御手段は、ローパス演算部の演算結果に基づいて励磁アンプを制御することを特徴とする。
本発明によれば、センサ信号をデジタル変換するときのサンプリング周波数を搬送波周波数の4/3倍または4/5倍の周波数とすることにより、エリアシングの影響を受けることなくサンプリングすることができ、デジタル演算処理の規模を小さくすることができる。
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
−第1の実施の形態−
図1は本発明による磁気軸受装置の第1の実施の形態を示す図であり、磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。ポンプ本体1に設けられたケーシング20の内部には、複数段のロータ翼21およびネジ溝部22が形成されたロータ4と、ロータ翼21に対して交互に配設されるステータ翼23と、上記ネジ溝部22と対向するように配設される筒状部材24とが設けられている。ロータ4を非接触支持する電磁石5はラジアル磁気軸受を構成する電磁石51,52とアキシャル磁気軸受を構成する電磁石53とを有し、これらは5軸制御型磁気軸受を構成している。
−第1の実施の形態−
図1は本発明による磁気軸受装置の第1の実施の形態を示す図であり、磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。ポンプ本体1に設けられたケーシング20の内部には、複数段のロータ翼21およびネジ溝部22が形成されたロータ4と、ロータ翼21に対して交互に配設されるステータ翼23と、上記ネジ溝部22と対向するように配設される筒状部材24とが設けられている。ロータ4を非接触支持する電磁石5はラジアル磁気軸受を構成する電磁石51,52とアキシャル磁気軸受を構成する電磁石53とを有し、これらは5軸制御型磁気軸受を構成している。
これらのラジアル電磁石51,52とアキシャル電磁石53に対応して、ラジアル変位センサ71,72およびアキシャル変位センサ73が設けられている。レセプタクル25にはポンプ本体1とコントローラ(不図示)とを接続するケーブルが接続され、ポンプ本体1はそのコントローラにより駆動制御される。ロータ4を電磁石51,52,53により非接触支持しつつモータ6により回転駆動すると、吸気口フランジ20側のガスは矢印G1のように背圧側(空間S1)に排気され、背圧側に排気されたガスは排気口フランジ26に接続された補助ポンプによりポンプ外に排出される。
27,28は非常用のメカニカルベアリングであり、ロータ4が磁気浮上していないときには、ロータ4はこれらのベアリング27,28により支持される。ベアリング27はロータ4のラジアル方向の2軸(x軸およびy軸)の運動を非常時に拘束し、ベアリング28はラジアル方向の2軸(x軸およびy軸)とスラスト方向の1軸(z軸)を拘束する。
図2は5軸制御型磁気軸受の概念図であり、ロータ4の回転軸Jがz軸に一致するように示した。図1に示したラジアル電磁石51は、x軸に関する一対の電磁石51xとy軸に関する一対の電磁石51yとを備えている。同様に、ラジアル電磁石52も、x軸に関する一対の電磁石52xとy軸に関する一対の電磁石52yとを備えている。また、アキシャル電磁石53は、ロータ4の下端に設けられたディスク41をz軸に沿って挟むように対向して配設される一対の電磁石53zを備えている。図1の変位センサ71,72に関しても、電磁石51x,51y,52x,52yに対応してそれぞれ一対のラジアル変位センサで構成されている。これら5組の電磁石51x,51y,52x,52y,53および変位センサ71〜73により5軸制御型磁気軸受が構成されている。
図3は磁気軸受装置の磁気浮上制御系の基本構成を示すブロック図であり、磁気軸受部分に関してはラジアル方向の一軸のみを示した。電磁石5としては一対のラジアル電磁石51xを示し、変位センサ7としては電磁石51xに対応したラジアル変位センサ71xを示す。変位センサ7はインダクタンス式のセンサであり、ギャップ変位の変化によるセンサ部インピーダンスの変化を利用して、ギャップ変位を電気信号に変換している。ロータ4のセンサ対向面は強磁性体または導体で構成される。
ポンプ本体1を駆動するコントローラには、センサ回路2、制御回路3、励磁アンプ8が設けられている。制御回路3は、A/Dコンバータ301、D/Aコンバータ302、演算部であるDSP(デジタルシグナルプロセッサ)307、ROM304やRAM305等を有する記憶部306を備えている。変位センサ7にはセンサ回路2により数十kHzの搬送波が印加され、ギャップ変位により生じるセンサ部インピーダンス変化に応じて搬送波を振幅変調する。この振幅被変調波(AM波)は、センサ信号としてセンサ回路2を介して制御回路3に入力される。ラジアル変位センサ71xの場合には、センサ回路2において各変位センサ71xからのセンサ信号の差分が演算され、その差分成分がセンサ信号として制御回路3に入力される。
制御回路3に入力されたアナログセンサ信号は、A/Dコンバータ301によりデジタル値に変換され、DSP307に入力される。記憶部306には予め磁気浮上制御定数がインプットされており、DSP307は変位センサ7の出力と制御定数とに基づいて電磁石5に流すべき励磁電流を算出する。例えば、ロータ4の浮上位置が適正位置よりも左側にずれている場合には、右側の電磁石51xの励磁電流を大きくして適正位置となるように制御する。このときの電流制御量はPID演算により算出される。DSP307からは供給すべき励磁電流に応じた制御信号が出力され、その制御信号はD/Aコンバータ302によりアナログ値に変換された後に励磁アンプ8に入力される。
一般的に、アナログ信号をA/Dコンバータでデジタル信号に変換して演算処理を行う場合には、エリアッシングの発生を防止するために、サンプリング定理に基づきサンプリング周波数をA/Dコンバータに入力される信号の最大周波数の2倍以上に設定される。従来の磁気軸受装置の場合にもこの考え方が適用されており、サンプリング周波数fsはfs>2(fc+fr)のように設定される。ここで、fc+frはA/Dコンバータに入力されるセンサ信号の最大周波数であり、fcは搬送波周波数、frはロータ変位による変調周波数である。
しかしながら、本発明では、サンプリング周波数fsを次式(1),(2)のように設定する。この場合のサンプリング周波数fsは、サンプリング定理により設定した場合よりも低い周波数となる。ターボ分子ポンプの場合、ロータ変位信号の周波数frは比較的帯域が狭い範囲に限定されており、次式(1),(2)の条件を満たすようにサンプリング周波数fsを設定すると、エリアッシング(aliasing)を発生させずに演算処理の軽減化を図ることができる。
(ケース1):(1/2)fs<fc−fr<fc+fr<fs …(1)
(ケース2):fs<fc−fr<fc+fr<(3/2)fs …(2)
(ケース1):(1/2)fs<fc−fr<fc+fr<fs …(1)
(ケース2):fs<fc−fr<fc+fr<(3/2)fs …(2)
制御回路3では、入力されたセンサ信号に対して、上記サンプリング周波数fsで離散化が行われ、その後、復調、平滑の各処理が行われ、デジタル化された信号に基づいて各種演算処理が施される。上記のケース2の範囲は周波数0に関してケース1の範囲と対称になっており、例えば、ケース1を例にこれらの処理の概要を説明すると、以下のようになる。
(離散化処理)
A/Dコンバータ301には周波数fcの搬送波が帯域を有する周波数frで振幅変調された信号が入力されるので、A/Dコンバータ301には(fc−fr)〜(fc+fr)の帯域を有する信号が入力される。この信号をサンプリング周波数fsで離散化すると、離散化された信号の周波数帯域はfs−(fc−fr)〜fs−(fc+fr)となる。これを書き換えると、(fs−fc)−fr〜(fs−fc)+frとなる。そして、ケース1のように設定した場合、帯域の上端は(fs−fc)+fr<(1/2)fsとなり、帯域の下端は0<(fs−fc)−frとなる。よって、折り返しの影響を受けることなく演算処理を行うことができる。
A/Dコンバータ301には周波数fcの搬送波が帯域を有する周波数frで振幅変調された信号が入力されるので、A/Dコンバータ301には(fc−fr)〜(fc+fr)の帯域を有する信号が入力される。この信号をサンプリング周波数fsで離散化すると、離散化された信号の周波数帯域はfs−(fc−fr)〜fs−(fc+fr)となる。これを書き換えると、(fs−fc)−fr〜(fs−fc)+frとなる。そして、ケース1のように設定した場合、帯域の上端は(fs−fc)+fr<(1/2)fsとなり、帯域の下端は0<(fs−fc)−frとなる。よって、折り返しの影響を受けることなく演算処理を行うことができる。
(復調処理)
上記の離散化された周波数帯域(fs−fc)−fr〜(fs−fc)+frの信号に周波数(fs−fc)の正弦波を乗算することにより、復調が行われる。ここで、三角関数の公式から、2つの周波数成分(f1,f2)の乗算は、f1+f2の周波数成分とf1−f2の周波数成分の和に分解することができる。よって、復調処理により周波数帯域(fs−fc)−fr〜(fs−fc)+frは、周波数帯域−fr〜frと周波数帯域2(fs−fc)−fr〜2(fs−fc)+frとに分解される。
上記の離散化された周波数帯域(fs−fc)−fr〜(fs−fc)+frの信号に周波数(fs−fc)の正弦波を乗算することにより、復調が行われる。ここで、三角関数の公式から、2つの周波数成分(f1,f2)の乗算は、f1+f2の周波数成分とf1−f2の周波数成分の和に分解することができる。よって、復調処理により周波数帯域(fs−fc)−fr〜(fs−fc)+frは、周波数帯域−fr〜frと周波数帯域2(fs−fc)−fr〜2(fs−fc)+frとに分解される。
(平滑処理)
上述した2つの周波数帯域の内で最終的に利用されるのは周波数帯域−fr〜frの信号であり、周波数帯域2(fs−fc)−fr〜2(fs−fc)+frは不要な周波数帯域の信号である。この不要周波数帯域の信号はローパスフィルタやバンドパスフィルタにより除去される。除去したい中心周波数は2(fs−fc)であり、直流付近(周波数0付近)を減衰させずに2(fs−fc)付近のみを除去する急峻なフィルタを構成する必要がある。
上述した2つの周波数帯域の内で最終的に利用されるのは周波数帯域−fr〜frの信号であり、周波数帯域2(fs−fc)−fr〜2(fs−fc)+frは不要な周波数帯域の信号である。この不要周波数帯域の信号はローパスフィルタやバンドパスフィルタにより除去される。除去したい中心周波数は2(fs−fc)であり、直流付近(周波数0付近)を減衰させずに2(fs−fc)付近のみを除去する急峻なフィルタを構成する必要がある。
なお、上述した復調処理では、離散化された信号に周波数(fs−fc)の正弦波値をサンプリング周期Tsごとに乗算することになる。そのため、サンプリング周波数fsを次式(3)のように設定すると、ちょうど時間nTs毎に同一の値となるように正弦波離散値信号を生成すれば良く、演算処理をより容易に行うことができる。
|fs−fc|=fs/n …(3)
ただし、nは整数である。
|fs−fc|=fs/n …(3)
ただし、nは整数である。
式(3)を満たすものとしては、ケース1の場合にはfc=(2/3)fs、fc=(3/4)fs、fc=(4/5)fs、fc=(5/6)fs…等があるが、fs/nが周波数範囲0〜(1/2)fsの中間(1/4)fsとなるfc=(3/4)fsのときに、周波数frを最も大きく取ることができる。また、ケース2の場合には、fc=(4/3)fs、fc=(5/4)fs、fc=(6/5)fs、fc=(7/6)fs…等が式(3)を満たしているが、fs/nが周波数範囲0〜(1/2)fsの中間(1/4)fsとなるfc=(5/4)fsのときに、周波数frを最も大きく取ることができる。すなわち、fc=(3/4)fsまたはfc=(5/4)fsのようにサンプリング周波数fsを設定するのが好ましい。
図4は、図3に示したセンサ回路2および制御回路3に設けられたDSP307の構成を示すブロック図であり、アキシャル軸制御系に関するものである。また、図5は図4における信号(a)〜(g)および(l)の一例を示す図である。図4において、センサ回路2には搬送波生成部201が設けられており、生成された搬送波は抵抗Rを通して直列接続された変位センサ7(73)に印加される。
搬送波生成部201から出力される搬送波信号(a)は、図5に示すようにa1sin(2πfct)で表される。図5において横軸は時間およびサンプリングのタイミングnTsを表している。Tsはサンプリング周期であり、サンプリング周波数をfsとするとTs=1/fsである。また、fcおよびTcはそれぞれ搬送波の周波数および周期であって、本実施の形態では、サンプリング周波数fsを上述した好ましい条件fc=3/4fsの場合について説明するが、上述した条件(1),(2)を満たすサンプリング周波数fsの全てに対して同様の議論が成り立つ。
搬送波信号(a)が変位センサ7に印加されるとインピーダンス変化により振幅変調され、信号(b)のように位相ずれφを有するAM波a2sin(2πfct+φ)が変位センサ7から差動アンプ203に出力される。一方、搬送波生成部201で生成された搬送波信号a1sin(2πfct)はゲイン補正部202にも入力され、このゲイン補正部202でゲイン補正されてa3sin(2πfct)となる。その後、位相シフト部204により上記位相ずれφと同じだけ位相シフトされた信号(c)が搬送波基準信号として差動アンプ203に出力される。このとき、搬送波基準信号はa3sin(2πfct+φ)のように表される。ただし、a3<a2またはa3>a2のように設定する。
変位センサ7のインダクタンスが大きい場合、ゲイン補正部202から出力される搬送波基準信号に対するセンサ出力信号(AM波)の位相ずれが大きくなり、そのまま差分を演算すると位相ずれの影響を大きく受ける。そのため、搬送波基準信号を位相シフト部204で位相シフトさせて、センサ信号との位相ずれがほぼゼロとなるようにする。
差動アンプ203では、変位センサ7で振幅変調された信号(b)a2sin(2πfct+φ)と位相シフト部204から入力された搬送波基準信号(c)a3sin(2πfct+φ)との差分信号を取得する。差分信号(d)は、a4sin(2πfct+φ)のように表される。ただし、a4=a2−a3である。
次に、DSP307における復調演算の詳細について説明する。センサ回路2Bから出力された差分信号(d)は、A/Dコンバータ301によりデジタル値に変換される。このときのサンプリング周波数fsは上述したようにfc=(3/4)fsのように設定される。A/Dコンバータ301で離散化された信号の周波数は(fs−fc)となり、離散化された信号は周波数がfs/4へと低周波数化される。
図5の信号(e)は、信号(d)の各時刻nTs(ただし、n=0,1,2,…)における値をサンプリングして得られた離散値信号であり、次式(4)のように表される。
a4sin(2πfc・nTs+φ) …(4)
ここで、fc=(3/4)fsの関係があるので、Ts=3/(4fc)を式(4)に代入すると式(5)のように変形できる。
a4sin(2πfc・nTs+φ)=a4sin(2πfc・3n/(4fc)+φ)
=a4sin(3πn/2+φ)
=a4sin(3πn/2+φ+6π)
=a4sin{(3π/2)・(n+4)+φ} …(5)
a4sin(2πfc・nTs+φ) …(4)
ここで、fc=(3/4)fsの関係があるので、Ts=3/(4fc)を式(4)に代入すると式(5)のように変形できる。
a4sin(2πfc・nTs+φ)=a4sin(2πfc・3n/(4fc)+φ)
=a4sin(3πn/2+φ)
=a4sin(3πn/2+φ+6π)
=a4sin{(3π/2)・(n+4)+φ} …(5)
すなわち、離散値信号(e)は周期4Tsを有していることがわかり、a5sin{2π(fs/4)・nTs+φ’}のように表される。このように、サンプリング周波数fsをfc=(3/4)fsを満たすようにように設定することにより、サンプリング後の離散値信号をfs/4に低周波数化することができる。そのため、DSP307では低周波数化された変調信号を復調処理すれば良いことになる。
その後、A/Dコンバータ301から出力された差分信号は2つに分けられ、分岐された一方の差分信号には正弦波離散値演算部320からの正弦波離散値信号「(f)=sin{2π(fs/4)・nTs}」が乗算される。他方の差分信号には余弦波離散値演算部321からの余弦波離散値信号「(g)=sin{2π(fs/4)・nTs−π/2}=−cos{2π(fs/4)・nTs}」が乗算される。このとき、正弦波離散値信号(f)および余弦波離散値信号(g)と信号(e)とは同期していなくても良い。
分岐された各信号(e)に対する乗算部314の乗算結果(h)および(i)は次式のように表される。
(h) a5sin{(πfs/2)・nTs+φ’}・sin{(πfs/2)・nTs}
={a5cosφ’−a5cos(2π(fs/2)・nTs+φ’)}/2
(i) −a5sin{(πfs/2)・nTs+φ’}・cos{(πfs/2)・nTs}
=−{a5sinφ’+a5sin(2π(fs/2)・nTs+φ’)}/2
(h) a5sin{(πfs/2)・nTs+φ’}・sin{(πfs/2)・nTs}
={a5cosφ’−a5cos(2π(fs/2)・nTs+φ’)}/2
(i) −a5sin{(πfs/2)・nTs+φ’}・cos{(πfs/2)・nTs}
=−{a5sinφ’+a5sin(2π(fs/2)・nTs+φ’)}/2
ローパスフィルタ演算部315は各信号(h),(i)に含まれる高調波成分、すなわち搬送波周波数の1/2周波数の信号を除去するものであり、各信号(h),(i)の低周波成分が信号(j)、信号(k)として抽出される。ここでは、低周波成分として直流成分を考えているので、信号(j)は信号(h)の直流成分(a5cosφ’)/2であり、信号(k)は信号(i)の直流成分(−a5sinφ’)/2である。
その後、信号(j)および(k)を2乗算演算部322でそれぞれ2乗し、各演算結果を和算部323で加え合わせる。さらに、その演算結果を平方根演算部324で処理すると、図5の信号(l)に示すような信号a5/2が得られる。その後、ゲイン・オフセット演算部316においてゲイン補正およびオフセット補正を行う。そして、制御演算部311では、補正後の信号に基づいて電磁石電流制御量の演算が行われる。
−第2の実施の形態−
上述した第1の実施の形態では、整流処理は差分信号と正弦波離散値信号および余弦波離散値信号とが非同期状態で行われたが、第2の実施形態では同期状態で整流処理を行うものについて説明する。図6は、図4と同様にアキシャル軸制御系に関するブロック図を示したものである。第2の実施の形態においても、サンプリング周波数fsは第1の実施の形態と同様に設定される。
上述した第1の実施の形態では、整流処理は差分信号と正弦波離散値信号および余弦波離散値信号とが非同期状態で行われたが、第2の実施形態では同期状態で整流処理を行うものについて説明する。図6は、図4と同様にアキシャル軸制御系に関するブロック図を示したものである。第2の実施の形態においても、サンプリング周波数fsは第1の実施の形態と同様に設定される。
図4に示した制御系では、センサ回路2Bの搬送波生成部201で生成された搬送波を変位センサ7に印加したが、第2の実施の形態ではDSP307の正弦波離散値生成部320で生成された正弦波離散値をD/Aコンバータ313によりアナログ波に変換し、それを搬送波として変位センサ7に印加するようにした。
DSP307の乗算部314では、A/Dコンバータ301からの差分信号に正弦波離散値生成部320で生成した正弦波離散値を乗算することにより同期検波(整流)を行う。センサ出力信号と正弦波離散値生成部320で発生する正弦波との間には位相ずれがあるため、差分信号は正弦波と同相の成分と90度遅れの二成分に分離される。そのため、符号情報を有した信号成分を取り出すためには、乗算時の差分信号の位相が正弦波の位相とほぼ同位相となるようにすれば良い。ここでは、センサ回路2Cに出力される搬送波の位相をDSP307の位相シフト演算部312でシフトさせて、乗算時の差分信号と正弦波離散値とが同位相となるようにする。
図7は、図6の各信号(a)〜(j)の一例を示したものである。なお、以下では、サンプリング周波数fsをfc=(3/4)fsのように設定した場合について説明する。図6の正弦波離散値生成部320からは、乗算部314に信号(a)が出力され、位相シフト演算部312には信号(b)が出力される。
信号(a)は正弦波信号a1sin(2πfc・t+φ)を時間間隔Tsでサンプリングしたものであり、a1sin(2πfc・nTs+φ)と表される。周期Tsに対応するサンプリング周波数fsは、fc=(3/4)・fsを満たすように設定されている。一方、信号(b)は正弦波信号a1sin(2πfc・t+φ)を時間間隔Ts/4でサンプリングしたものであり、a1sin(2πfc・mTs/4+φ)のように表される。いずれの信号(a),(b)も、A/Dコンバータ301のサンプリング周期Tsに対して周期4Tsを有する離散値信号となっている。なお、信号(b)としては、正弦波信号a1sin(2πfc・t+φ)を時間間隔Ts/8などでサンプリングしたものを用いても良い。
信号(b)を位相シフト演算部312で−φだけ位相シフトすると、位相シフト後の離散値信号(b’)はa1sin(2πfc・mTs/4)となる。この離散値信号(b’)がD/Aコンバータ313に入力されると、アナログ信号(c)が出力される。信号(c)の波形には高調波が含まれていて階段状になっている。そこで、この信号(c)をローパスフィルタやバンドパスフィルタ等のフィルタ回路205でフィルタリングすることにより、信号(d)に示すような滑らかな搬送波信号a2sin(2πfct)が得られる。なお、ここではフィルタリングによる位相遅れは便宜上無視している。
搬送波信号「(d)=a2sin(2πfct)」を変位センサ7に印加すると、AM波信号「(e)=a3sin(2πfct+φ)」が得られる。この例では、搬送波信号に対するAM波信号の位相ずれは+φであって、位相シフト演算部312ではこの位相ずれ+φに対応するように−φだけ位相シフトしている。そのため、AM波信号(e)と上述した正弦波離散値信号(a)とは同位相となっている。
差動アンプ203には、搬送波信号(d)をゲイン補正部202および位相シフト部204により処理して得られる搬送波基準信号「(f)=a4sin(2πfct+φ)」と、変位センサ7からのAM波信号(e)とが入力される。差動アンプ203はそれらの差分信号「(g)=a5sin(2πfct+φ)」をA/Dコンバータ301に出力する。A/Dコンバータ301では、この差分信号(g)をサンプリング周波数fs(=(4/3)fc)でサンプリングする。その結果、上述した第1の実施の形態と同様に周期4Ts(周波数fs/4)の離散値信号「(h)=a6sin{2π(fs/4)・nTs+φ’}」が得られる。
乗算部314では、A/Dコンバータ301からの差分信号離散値(h)と正弦波離散値生成部320からの正弦波離散値信号(a)が乗算される。正弦波離散値信号(a)は正弦波信号a1sin(2πfc・t+φ)をnTsのタイミングで、すなわちサンプリング周波数fs(=(4/3)fc)でサンプリングしたものであるから、fs/4に低周波数化されたa7sin{2π(fs/4)・nTs+φ’}で表されることになる。よって乗算結果(i)は次式のように表される。
(i) a6a7sin2{2π(fs/4)・nTs+φ’}
=a6a7{1−cos(2π(fs/2)・nTs+φ’)}/2
(i) a6a7sin2{2π(fs/4)・nTs+φ’}
=a6a7{1−cos(2π(fs/2)・nTs+φ’)}/2
信号(i)をローパスフィルタ315に入力すると、ロータ変位信号を表す直流成分信号(j)=a6a7/2がローパスフィルタ315から出力される。その後、ゲイン・オフセット演算部316においてゲイン補正およびオフセット補正を行い、その補正後の信号に基づいて制御演算を行う。
なお、図6に示すブロック図では、位相シフト演算部312を正弦波離散値生成部320とD/Aコンバータ313との間に設けたが、正弦波離散値生成部320と乗算部314との間に設けても良い。すなわち、正弦波離散値信号(a)を位相シフトすることにより、乗算時における差分信号(h)と正弦波離散値信号(a)との位相を合わせるようにしても良い。
−第3の実施の形態−
図8および図9は第3の実施の形態における制御系のブロック図であり、5軸制御の全てについて示したものである。図8は各変位センサ71x、71y、72x、72y、73とセンサ回路2Dとを示す図であり、図9は制御回路3Dを示したものである。ラジアル変位センサ71x、71y、72x、72yは図2に示した各ラジアル電磁石51x、51y、52x、52yに対応して設けられた変位センサである。
図8および図9は第3の実施の形態における制御系のブロック図であり、5軸制御の全てについて示したものである。図8は各変位センサ71x、71y、72x、72y、73とセンサ回路2Dとを示す図であり、図9は制御回路3Dを示したものである。ラジアル変位センサ71x、71y、72x、72yは図2に示した各ラジアル電磁石51x、51y、52x、52yに対応して設けられた変位センサである。
なお、図6に示したものと同一の部分には同一の符号を付し、ここでは異なる部分を中心に説明する。また、A/Dコンバータ301におけるサンプリング周波数fsは、第1および第2の実施の形態と同様に設定される。以下では、fc=(3/4)fsに設定した場合について説明する。
図10,11は図8,9の各信号(a)〜(j’)の一例を示したものである。上述した第2の実施の形態と同様に、正弦波離散値生成部320からは、搬送波生成に用いられる正弦波離散値信号(a)と復調用に用いられる正弦波離散値信号(a’)とが出力される。信号(a)は正弦波信号a1sin(2πfc・t)を時間間隔Ts/4でサンプリングしたものであり、a1sin(2πfc・mTs/4)と表される。
一方、信号(a’)は正弦波信号a1sin(2πfc・t)を時間間隔Tsでサンプリングしたものであり、a1sin(2πfc・nTs)と表される。ここで、fc=(3/4)・fsに設定されているので、3Tc=4Tsになっており、信号(a’)は次式に示すように変形できる。
(a’) a1sin(2πfc・nTs)=a1sin(2π・nTs/Tc)
=a1sin(3π/2・n)
すなわち、信号(a’)は周期4Tsを有する信号となっており、図10の信号(a’)に示すように「−a1sin(2π(fs/4)・nTs)」のように表される。いずれの信号(a),(a’)も、A/Dコンバータ301のサンプリング周期Tsに対して周期4Tsを有する離散値信号となっている。
(a’) a1sin(2πfc・nTs)=a1sin(2π・nTs/Tc)
=a1sin(3π/2・n)
すなわち、信号(a’)は周期4Tsを有する信号となっており、図10の信号(a’)に示すように「−a1sin(2π(fs/4)・nTs)」のように表される。いずれの信号(a),(a’)も、A/Dコンバータ301のサンプリング周期Tsに対して周期4Tsを有する離散値信号となっている。
正弦波離散値生成部320から搬送波用信号として出力された正弦波離散値信号(a)は、D/Aコンバータ313によりアナログ信号(b)に変換される。アナログ信号(b)はフィルタ回路205によりフィルタ処理され、その結果、高調波が除去された搬送波信号(c)=a2sin(2πfc・t)が生成される。搬送波信号(c)は、ラジアル変位センサ71x,71y,72x,72y,73のそれぞれに入力される。
各ラジアル変位センサ71x,71y,72x,72yはロータ4を挟むように一対ずつ設けられており、各々に搬送波信号(c)が入力される。そして、センサ信号の線形性を改善するために一対の変位センサ、例えば一対の変位センサ71xの各々から出力される信号の差分がセンサ信号として用いられる。一対の変位センサ71xの各々から出力されたAM波信号は差動アンプ203に入力され、そこで差分信号が生成される。また、アキシャル変位センサ73から出力されたAM波信号(d)=a3sin(2πfc・t+φ)については、図6で説明した場合と同様に処理され、差動アンプ203では搬送波基準信号(e)=a4sin(2πfc・t+φ)とAM波信号(d)との差分処理が行われる。
差動アンプ203から出力された各差分信号は、それぞれフィルタ回路400において搬送波周波数を中心周波数とするバンドパス処理が行われる。これにより、後続する検波処理におけるS/N比の向上を図ることができる。各フィルタ回路400から出力された信号は、A/Dコンバータ301(図9参照)によってデジタル値へと変換される。
図8に示すように、差動アンプ203からは、信号(e)と信号(d)との差分信号(f)=a5sin(2πfc・t+φ)が出力される。信号(f)はフィルタ回路400のフィルタ処理を受けて、信号(f’)=a6sin(2πfc・t+φ’)となる。信号(f’)は、A/Dコンバータ301によりサンプリング周波数fsでサンプリングされる。ラジアル変位センサ71x、71y、72x、72yに関する各差分信号についても同様にフィルタ処理され、A/Dコンバータ301によりサンプリング周波数fs(=(4/3)fc)でサンプリングされる。
デジタル変換された各信号は、バンドパス処理やハイパス処理を行うフィルタ演算部341によって差分信号に含まれるオフセット分が除去される。乗算部314にはフィルタ演算部341から出力された信号(g)、(g’)と、位相シフト演算部401からの信号(h),(h’)とが入力され、乗算される。
各乗算部314に入力される差分信号は、正弦波離散値生成部320で生成された正弦波離散値信号に対して位相ずれが生じる。具体的には、(1)D/A変換され、アナログフィルタを通過する過程、(2)各軸の変位センサに印加され、アナログ回路を通過する過程でそれぞれ発生する。さらに、センサ出力差分信号をA/Dコンバータ301でA/D変換するタイミングが各制御軸毎に異なるので、各制御軸間の相対的な位相ずれも生じる。
そのため、各軸に対応して設けられた位相シフト部演算401は、各差分信号の位相ずれに応じて正弦波離散値生成部320からの正弦波離散値をそれぞれ異なるシフト量で位相シフトすることになる。その結果、各軸に関して、差分信号と、それに乗算される正弦波離散値とがほぼ同位相となる。
例えば、A/Dコンバータ301ではサンプリング周波数fs(=(4/3)fc)でサンプリングが行われるため、サンプリングされた離散値信号は周期4Tsを有している。そのため、フィルタ演算部341から出力される信号(g)も同様の周期性を有しており、a7sin{2π(fs/4)・nTs+φ’}のように表される。一方、信号(g’)は、信号(g)と比較した場合、A/Dコンバータ301でA/D変換するタイミングがΔTだけ異なっており、a8sin{2π(fs/4)・(nTs−ΔT)+φ’}のように表される。
このように、信号(g)と信号(g’)とは位相が異なるので、アキシャル変位センサ73に関する位相シフト演算部401からはa9sin{2π(fs/4)・nTs+φ’}のような正弦波離散値信号(h)が出力されて、乗算部314で信号(g)=a7sin{2π(fs/4)・nTs+φ’}と乗算される。一方、ラジアル変位センサ72yに関する位相シフト演算部401からはa10sin{2π(fs/4)・(nTs−ΔT)+φ’}のような正弦波離散値信号(h’)が出力されて、乗算部314で信号(g’)=a8sin{2π(fs/4)・(nTs−ΔT)+φ’}と乗算される。
乗算部314以後の各処理は、図6に示した処理手順と全く同一なので、ここでは説明を省略するが、第2の実施の形態と同様の演算により図11に示すような信号(i),(i’)および信号(h),(h’)が得られる。
上述したように、本発明によれば、従来アナログ的に行ってきた整流処理、フィルタ処理、ゲイン・オフセット補正処理を、デジタル演算処理によりソフト的に行うようにしているため、回路規模の縮小が図れる。また、回路規模を増大することなく、搬送波周波数の低周波化を図ることができる。
さらに、本発明では、サンプリング周波数をfsを上述した次式(1),(2)の条件を満たすように設定したことにより、エリアッシング(aliasing)を発生させずに演算処理の軽減化を図ることができる。すなわち、従来よりもサンプリング周波数fsを低くすることができるためDSP307内での演算処理の小規模に抑えることができ、DSP307として処理能力の比較的低い安価なDSPを用いることができる。
また、上述した第3の実施の形態では、一つのD/Aコンバータ313から出力された搬送波を各軸の変位センサ71x、71y、72x、72y、73に印加し、正弦波離散値を位相シフトして変位センサ出力差分信号に乗算するようにしているので、D/Aコンバータ313の数を削減することができ、回路のコストダウンが図れるとともに、回路規模の縮小も図れる。
なお、上述した実施の形態では、乗算部314で乗算される2つの信号がほぼ同位相となるように位相シフトしたが、同位相ではなくて逆位相(180degの位相ずれ)であっても良い。逆位相の場合、乗算結果に符号変換を施すことにより、同位相の場合と同一符号の値となる。
上述した実施の形態ではターボ分子ポンプの磁気軸受装置を例に説明したが、本発明は、工作機械や真空搬送装置等に用いられる磁気軸受装置にも適用することができる。さらに、5軸制御の磁気軸受装置に限らず、3軸制御などのように制御軸数が異なる場合にも適用することができる。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、ロータ4は被支持体を、DSP307は復調演算手段を、制御演算部311は制御手段をそれぞれ構成する。
1 ポンプ本体
2,2B,2C,2D センサ回路
3,3C,3D 制御回路
4 ロータ
5,51〜53,51x,51y,52x,52y 電磁石
7,71〜73,71x,71y,72x,72y 変位センサ
8 励磁アンプ
201 搬送波生成部
202 ゲイン補正部
203 差動アンプ
204 位相シフト部
205,400 フィルタ回路
301 A/Dコンバータ
302,313 D/Aコンバータ
307 DSP
311 制御演算部
312,401 位相シフト演算部
314 乗算部
315 ローパスフィルタ演算部
320 正弦波離散値演算部
321 余弦波離散値演算部
322 2乗算演算部
323 和算部
324 平方根演算部
331 差分演算部
341 フィルタ演算部
2,2B,2C,2D センサ回路
3,3C,3D 制御回路
4 ロータ
5,51〜53,51x,51y,52x,52y 電磁石
7,71〜73,71x,71y,72x,72y 変位センサ
8 励磁アンプ
201 搬送波生成部
202 ゲイン補正部
203 差動アンプ
204 位相シフト部
205,400 フィルタ回路
301 A/Dコンバータ
302,313 D/Aコンバータ
307 DSP
311 制御演算部
312,401 位相シフト演算部
314 乗算部
315 ローパスフィルタ演算部
320 正弦波離散値演算部
321 余弦波離散値演算部
322 2乗算演算部
323 和算部
324 平方根演算部
331 差分演算部
341 フィルタ演算部
Claims (4)
- 被支持体を非接触支持する電磁石と、
前記電磁石に励磁電流を供給する励磁アンプと、
搬送波を生成する搬送波生成手段と、
前記搬送波を前記被支持体の浮上位置に応じて変調してセンサ信号として出力するセンサと、
前記センサ信号の周波数帯域が、サンプリング周波数の1/2倍よりも高くかつサンプリング周波数よりも低くなるようなサンプリング周波数、または、サンプリング周波数よりも高くかつサンプリング周波数の3/2倍よりも低くなるようなサンプリング周波数で、前記センサ信号をデジタル値に変換するA/D変換手段と、
前記デジタル値に変換されたセンサ信号に基づいてデジタル演算処理により復調する復調演算手段と、
前記復調演算手段の演算結果に基づいて前記励磁アンプを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1に記載の磁気軸受装置において、
前記サンプリング周波数を、前記搬送波の周波数の4/3倍または4/5倍に設定したことを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、
前記復調演算手段は、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、前記デジタル値に変換されたセンサ信号と前記正弦波離散値とを乗算する乗算部と、前記乗算部の乗算結果にローパス演算処理を行うローパス演算部とを備え、
前記搬送波生成手段は、前記乗算部で乗算される前記正弦波離散値と前記デジタル値に変換されたセンサ信号とがほぼ同位相となるように、前記正弦波離散値をデジタル演算処理により位相シフトする位相シフト演算部と、その位相シフトされた正弦波離散値をD/A変換して前記搬送波を生成するD/A変換部とを備え、
前記制御手段は、前記ローパス演算部の演算結果に基づいて前記励磁アンプを制御することを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項1または2に記載の磁気軸受装置において、
前記搬送波生成手段は、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、前記正弦波離散値をD/A変換して前記搬送波を生成するD/A変換部とを備え、
前記復調演算手段は、前記正弦波離散値と前記デジタル値に変換されたセンサ信号とがほぼ同位相となるように、前記正弦波離散値をデジタル演算処理により位相シフトする位相シフト演算部と、前記位相シフト演算部により位相シフトされた正弦波離散値と前記デジタル値に変換されたセンサ信号とを乗算する乗算部と、前記乗算部の乗算結果にローパス演算処理を行うローパス演算部とを備え、
前記制御手段は、前記ローパス演算部の演算結果に基づいて前記励磁アンプを制御することを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004167109A JP2005344874A (ja) | 2004-06-04 | 2004-06-04 | 磁気軸受装置 |
US11/606,016 US7525784B2 (en) | 2004-06-04 | 2006-11-30 | Magnetic bearing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004167109A JP2005344874A (ja) | 2004-06-04 | 2004-06-04 | 磁気軸受装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005344874A true JP2005344874A (ja) | 2005-12-15 |
Family
ID=35497436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004167109A Pending JP2005344874A (ja) | 2004-06-04 | 2004-06-04 | 磁気軸受装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7525784B2 (ja) |
JP (1) | JP2005344874A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007170258A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2007225303A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Jfe Steel Kk | 同期検波方法および装置、磁気計測方法および装置 |
JP2007327639A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-12-20 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP2011028773A (ja) * | 2006-08-01 | 2011-02-10 | Hamilton Sundstrand Corp | 多重化信号調整器 |
JP2013139870A (ja) * | 2011-12-08 | 2013-07-18 | Shimadzu Corp | 磁気浮上式真空ポンプおよび磁気浮上装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7679248B2 (en) * | 2005-09-28 | 2010-03-16 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing system |
US8513826B2 (en) * | 2008-06-26 | 2013-08-20 | Ed Mazur | Wind turbine |
FR2936287B1 (fr) * | 2008-09-22 | 2018-06-22 | Soc De Mecanique Magnetique | Pompe turbomoleculaire a montage souple |
US20100296912A1 (en) * | 2009-05-22 | 2010-11-25 | General Electric Company | Active Rotor Alignment Control System And Method |
US8177483B2 (en) | 2009-05-22 | 2012-05-15 | General Electric Company | Active casing alignment control system and method |
JP5764141B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2015-08-12 | エドワーズ株式会社 | 磁気軸受の制御装置と該装置を備えた排気ポンプ |
JP5673564B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2015-02-18 | 株式会社島津製作所 | センサレス磁気浮上式真空ポンプおよびセンサレス磁気浮上装置 |
JP6244734B2 (ja) | 2013-08-14 | 2017-12-13 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
CN103939485B (zh) * | 2013-10-30 | 2017-02-01 | 南京航空航天大学 | 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器 |
WO2015156810A1 (en) * | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Gas turbine engine with system to adjust clearance between rotating and stationary components |
US10487875B2 (en) * | 2017-08-25 | 2019-11-26 | Shimadzu Corporation | Magnetic bearing device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3916821B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2007-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 磁気浮上制御装置 |
-
2004
- 2004-06-04 JP JP2004167109A patent/JP2005344874A/ja active Pending
-
2006
- 2006-11-30 US US11/606,016 patent/US7525784B2/en active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007170258A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP2007225303A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Jfe Steel Kk | 同期検波方法および装置、磁気計測方法および装置 |
JP2007327639A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-12-20 | Shimadzu Corp | 磁気軸受装置 |
JP2011028773A (ja) * | 2006-08-01 | 2011-02-10 | Hamilton Sundstrand Corp | 多重化信号調整器 |
JP2013139870A (ja) * | 2011-12-08 | 2013-07-18 | Shimadzu Corp | 磁気浮上式真空ポンプおよび磁気浮上装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7525784B2 (en) | 2009-04-28 |
US20070069598A1 (en) | 2007-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7525784B2 (en) | Magnetic bearing device | |
US7355833B2 (en) | Magnetic bearing device | |
JP6244734B2 (ja) | 磁気軸受装置および真空ポンプ | |
JP6171375B2 (ja) | 磁気軸受装置および真空ポンプ | |
JP5389311B2 (ja) | 信号処理装置 | |
CN106594071B (zh) | 磁轴承装置及转子旋转驱动装置 | |
CN109424646B (zh) | 磁轴承控制装置及真空泵 | |
US7679248B2 (en) | Magnetic bearing system | |
JP4466526B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
CN107202016A (zh) | 磁轴承式真空泵 | |
JP4466439B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
CN114729819A (zh) | 旋转机械 | |
JP2010164450A (ja) | レゾルバ・デジタル変換器 | |
JP4232573B2 (ja) | 磁気軸受制御装置および磁気浮上装置 | |
JP2006317419A (ja) | 位置センサ及び該位置センサを搭載した磁気軸受装置 | |
JP2018132167A (ja) | 磁気軸受装置および真空ポンプ | |
JP5499539B2 (ja) | 同期電動機の回転子位相推定装置 | |
JP5662176B2 (ja) | 角度検出装置 | |
JP5181123B2 (ja) | アナログ信号のデジタル変換方法 | |
JP6022817B2 (ja) | バリアブルリラクタンス型レゾルバ及び回転角検出装置 | |
JP2007215255A (ja) | モータ制御装置 | |
JPH0785672B2 (ja) | 三相同期電動機の速度制御装置 | |
JP2012058008A (ja) | アナログ信号のデジタル変換方法 | |
JPH10274238A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPS6371617A (ja) | レゾルバ・デジタル変換器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090512 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091110 |