JP5763603B2 - 光起電装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様は、化合物半導体を含む光電変換層と、光電変換層の表面に積層された半導体層と、該半導体層の、光電変換層とは反対側に配置されたコンタクト層と、コンタクト層の表面に積層された電極と、を備え、半導体層は、Al、In、及び、Pを含む第1結晶を含み、コンタクト層は、Geを主成分とする第2結晶を含む半導体からなる、光起電装置である。
図1に示したように、太陽電池10は、裏面側から順に、Al電極1と、該Al電極1に接続されたp型基板2と、該p型基板2の表面に配置された光電変換層3(発電層3)と、該光電変換層3の表面に配置された半導体層4(以下において、「窓層4」ということがある。)と、該窓層4の表面に配置されたコンタクト層5及び反射防止膜6と、コンタクト層5の表面に配置された電極7と、を備えている。p型基板2はp型のGe基板であり、光電変換層3は、3つの化合物半導体InGaP層(p層3a、p層3b、及び、n層3c)を有している。p層3aはp型基板2及びp層3bと接触しており、p層3bはp層3a及びn層3cと接触しており、n層3cはp層3b及び窓層4と接触している。窓層4は、n型のAlInP結晶層であり、この上面に接触しているコンタクト層5は、n型のGe層である。窓層4の上面には、コンタクト層5が配置されていない箇所に反射防止膜6が配置されており、この反射防止膜6はMgF2/ZnSの2層膜である。コンタクト層5の上面と接触している電極7は二層構造であり、コンタクト層5に接触しているTi層である電極7a、及び、この電極7aに接触しているAu層である電極7bを有している。
(1)GeはB(ホウ素)やAl(アルミニウム)等の周期表13族元素、又は、P(リン)等の15族元素を添加することにより、高いキャリア濃度を実現することができ、これによって、抵抗を低減した半導体層(コンタクト層5)にすることが可能になる。
(2)アルカリ性の溶液を用いることにより、窓層4を溶解させることなく、コンタクト層5のみを溶解させることが可能である。その結果、窓層4の上面にコンタクト層5及び電極7を形成した後、アルカリ溶液を用いて、電極7と窓層4とによって挟まれていないコンタクト層(電極7の周囲に存在しているコンタクト層)を容易に除去することが可能になり、除去されたコンタクト層が存在していた箇所に反射防止膜6を形成することが可能になる。これにより、太陽電池10の効率を向上させやすくなる。
(3)Ge結晶層はAlInPと格子定数がほぼ同じであるほか、化合物半導体を製造する一般的な手法である分子線エピタキシ―法(MBE)や有機金属気相成長法(MOCVD)によって形成することができる。すなわち、光電変換層3、窓層4、及び、コンタクト層5を同じ装置で作製することが可能であるため、効率を向上させることが可能な太陽電池10を製造しやすい。
Al電極1の厚さは、例えば、100nm以上3000nm以下にすることができる。また、p型基板2の厚さは、例えば、100μm以上500μm以下にすることができ、p型基板2のキャリア濃度は、例えば、5×1018cm−3以上1×1020cm−3以下にすることができる。
窓層4の格子定数は、窓層の組成比を変えることによって、変更することが可能である。窓層4の格子定数は、0.541nm以上0.599nm以下であることが好ましく、0.567nm以上0.573nm以下であることが特に好ましい。Geの格子定数との差が小さいからである。
光電変換層3の表面(n層3cの表面)に窓層4を形成する際には、例えば、p型基板2の温度を500℃とし、原料のIn、Al、Pが入った坩堝を加熱し、それぞれの分子線密度を4.0×10−5Pa、1.3×10−5Pa、1.0×10−3Paとしてn層3cに照射することにより、分子線エピタキシ―法で窓層4を形成することができる。この際、n型ドーパントとしてSiを用い、所望のキャリア濃度となるようにSiが入った坩堝の温度を制御(例えば1000℃以上1350℃以下の範囲で制御)する。本発明の製造方法では、例えばこのようにして、光電変換層3の表面(n層3cの表面)に窓層4を形成することができる。
窓層4の表面にコンタクト層5を形成する際には、p型基板2の温度を200℃以上(好ましくは200℃以上400℃以下)とし、原料のGeが入った坩堝を加熱し、分子線密度を7.0×10−6Pa以下、好ましくは、1.0×10−6Pa以上7.0×10−6Pa以下として窓層4に照射することにより、分子線エピタキシ―法でコンタクト層5を形成することができる。この際、n型ドーパントとしてPを用い、所望のキャリア濃度となるようにPが入った坩堝の温度を制御(P源としてGaPを用いる場合には例えば650℃以上900℃以下の範囲で制御)する。本発明の製造方法では、例えばこのようにして、窓層4の表面にコンタクト層5を形成することができる。
コンタクト層5の表面に電極7を形成する際には、まず、p型基板2の表面に光電変換層3、窓層4、及び、コンタクト層5を順に積層した積層体を分子線エピタキシ―装置から取り出す。そして、リソグラフィー工程により、形成されるべき電極7の形状パターンに対応するレジストマスクをコンタクト層5の表面に作製する(レジストマスク形成工程。以下において「S41」ということがある。)。ここで、作製されるレジストマスクは、ポジティブであっても良く、ネガティブであっても良い。
S41でレジストマスクを作製したら、続いて、蒸着装置によってTiを蒸着し、続いてAuを蒸着することにより、コンタクト層5及びレジストマスクの表面に、Ti及びAuを蒸着させる(電極積層工程。以下において「S42」ということがある。)。このようにしてTi及びAuを蒸着させたら、蒸着装置から取り出し、引き続き、有機溶剤(例えばアセトン溶液等)中に浸漬することによってレジストマスクを溶解させる(レジストマスク除去工程。以下において「S43」ということがある。)。S4では、例えば以上のステップを経ることにより、コンタクト層5の表面に、所定の形状(例えば櫛型形状等)の電極7を形成することができる。
2…p型基板(基板)
3…光電変換層
4…窓層(半導体層)
5…コンタクト層
6…反射防止膜
7…電極
10…太陽電池(光起電装置)
Claims (14)
- 化合物半導体を含む光電変換層と、
前記光電変換層の表面に積層された半導体層と、
前記半導体層の、前記光電変換層とは反対側に配置されたコンタクト層と、
前記コンタクト層の表面に積層された電極と、を備え、
前記半導体層は、Al、In、及び、Pを含む第1結晶を含み、
前記コンタクト層は、Geを主成分とする第2結晶を含む半導体からなる、光起電装置。 - 前記半導体層と前記コンタクト層とが接触している、請求項1に記載の光起電装置。
- 前記半導体層の前記第1結晶の格子定数が、0.567nm以上0.573nm以下である、請求項1又は2に記載の光起電装置。
- 前記半導体層の前記第1結晶がAlInPの結晶である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光起電装置。
- 前記化合物半導体がIII−V族化合物半導体である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光起電装置。
- 前記半導体層及び前記コンタクト層がともにn型、又は、ともにp型である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光起電装置。
- 前記コンタクト層が、B、Al又はPを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光起電装置。
- 基板上に、化合物半導体を含む光電変換層を気相成長させる第1気相成長工程と、
形成された前記光電変換層の表面に、Al、In、及び、Pを含む第1結晶を有する半導体層を気相成長させる第2気相成長工程と、
形成された前記半導体層の上面側に、Geを主成分とする第2結晶を含む半導体からなるコンタクト層を気相成長させる第3気相成長工程と、
形成された前記コンタクト層の表面に電極を形成する電極形成工程と、を有する、光起電装置の製造方法。 - 前記第3気相成長工程が、形成された前記半導体層の表面に、Geを主成分とする第2結晶を含む半導体からなるコンタクト層を気相成長させる工程である、請求項8に記載の光起電装置の製造方法。
- 前記第3気相成長工程は、前記基板の温度が200℃以上である状態で、前記コンタクト層を分子線エピタキシ―法で気相成長させる工程である、請求項8又は9に記載の光起電装置の製造方法。
- 前記第3気相成長工程は、前記基板の温度が200℃以上400℃以下である状態で、前記コンタクト層を分子線エピタキシ―法で気相成長させる工程である、請求項8又は9に記載の光起電装置の製造方法。
- 前記第3気相成長工程は、分子線密度が7.0×10−6Pa以下である状態で、前記コンタクト層を分子線エピタキシ―法で気相成長させる工程である、請求項8〜11のいずれか1項に記載の光起電装置の製造方法。
- 前記電極形成工程の後に、
形成された前記電極と前記半導体層との間に存在している前記コンタクト層を残し、且つ、形成された前記電極の周囲に存在している余分な前記コンタクト層を、アルカリ溶液を用いて除去する除去工程を有する、請求項8〜12のいずれか1項に記載の光起電装置の製造方法。 - 前記電極形成工程は、
形成された前記コンタクト層の表面へ、形成されるべき前記電極の形状に対応したレジストマスクを形成するステップと、
少なくとも前記コンタクト層の表面へ、前記電極を積層するステップと、
前記コンタクト層に接触している前記電極の周囲に存在する、前記レジストマスクを除去するステップと、
を有する、請求項8〜13のいずれか1項に記載の光起電装置の製造方法。
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