JP5634955B2 - Iii−v族化合物半導体膜の製造方法および化合物半導体太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
図6に、本発明の化合物半導体太陽電池の一例である実施の形態1のIII−V族化合物半導体太陽電池の模式的な断面図を示す。実施の形態1のIII−V族化合物半導体太陽電池は、支持基板41(たとえば厚さ400μm)上に、金属層42、p型InGaAsからなるコンタクト層43(たとえば厚さ0.4μm)、p型InGaPからなるBSF層44(たとえば厚さ0.1μm)、p型InGaAsからなるベース層45(たとえば厚さ3μm)、n型InGaAsからなるエミッタ層46(たとえば厚さ0.1μm)およびn型InGaPからなる窓層47(たとえば厚さ0.1μm)がこの順序に積層された構成を有している。
図10に、本発明の化合物半導体太陽電池の他の一例である実施の形態2のIII−V族化合物半導体太陽電池の模式的な断面図を示す。実施の形態2のIII−V族化合物半導体太陽電池は、第1の光電変換層としてのトップセルが、p型AlInGaPからなるベース層81と、n型AlInGaPからなるエミッタ層82との接合体から構成されている点に特徴がある。それ以外の構造および製造方法については実施の形態1と同様である。
本発明の化合物半導体太陽電池の他の一例である実施の形態3のIII−V族化合物半導体太陽電池は、実施の形態1のGaAs基板71に代えて、たとえば図11および図12の模式的断面図に示すように、Ge基板91上に化合物半導体層をエピタキシャル成長させ、かつ各化合物半導体層をGeの格子定数に合わせている点に特徴がある。それ以外の構造および製造方法については実施の形態1と同様である。
本発明の化合物半導体太陽電池の他の一例である実施の形態4のIII−V族化合物半導体太陽電池は、実施の形態2のように、第1の光電変換層としてのトップセルが、p型AlInGaPからなるベース層81とn型AlInGaPからなるエミッタ層82との接合体から構成されているが、実施の形態3のように、Ge基板91上に化合物半導体層をエピタキシャル成長させ、かつ各化合物半導体層をGeの格子定数に合わせてIII−V族化合物半導体太陽電池を作製している点に特徴がある。それ以外の構造および製造方法については実施の形態1と同様である。
実施の形態1のIII−V族化合物半導体太陽電池のn++型GaAsからなるコンタクト層67、第1のトンネル接合層のn++型InxGa1-xP(x=0.48)層59および第2のトンネル接合層のn++型GaAs層51をそれぞれ、図1に示すようにMOCVD装置内にIII族元素含有ガスを連続的に供給することによってエピタキシャル成長させたこと以外は実施の形態1と同様にして、比較例6のIII−V族化合物半導体太陽電池を作製した。
Claims (7)
- 原料ガスを供給してIII−V族化合物半導体膜をエピタキシャル成長させる工程を含み、
前記原料ガスは、III族元素含有ガス、V族元素含有ガス、およびTe含有ガスからなる群から選択された少なくとも2種のガスを含み、
前記エピタキシャル成長させる工程は、前記III族元素含有ガス、前記V族元素含有ガス、および前記Te含有ガスを供給する工程と、前記V族元素含有ガスおよび前記Te含有ガスを供給しつつ前記III族元素含有ガスの供給を停止する工程とを含む、III−V族化合物半導体膜の製造方法。 - 成長用基板を準備する工程と、
前記成長用基板上にn型GaAsコンタクト層を形成する工程と、
前記n型GaAsコンタクト層上に光電変換層を形成する工程と、
前記成長用基板を除去する工程と、を含み、
前記n型GaAsコンタクト層を形成する工程は、請求項1に記載のIII−V族化合物半導体膜の製造方法を含み、
前記光電変換層を形成する工程は、前記n型GaAsコンタクト層上にn型化合物半導体エミッタ層を形成する工程と、前記n型化合物半導体エミッタ層上にp型化合物半導体ベース層を形成する工程とを含む、化合物半導体太陽電池の製造方法。 - 成長用基板を準備する工程と、
前記成長用基板上にn型GaAsコンタクト層を形成する工程と、
前記n型GaAsコンタクト層上に第1の光電変換層を形成する工程と、
前記第1の光電変換層上に第1のn型化合物半導体層を含む第1のトンネル接合層を形成する工程と、
前記第1のトンネル接合層上に第2の光電変換層を形成する工程と、
前記成長用基板を除去する工程と、を含み、
前記n型GaAsコンタクト層を形成する工程および前記第1のトンネル接合層を形成する工程の少なくとも一方が、請求項1に記載のIII−V族化合物半導体膜の製造方法を含み、
前記第1の光電変換層を形成する工程は、前記n型GaAsコンタクト層上に第1のn型化合物半導体エミッタ層を形成する工程と、前記第1のn型化合物半導体エミッタ層上に第1のp型化合物半導体ベース層を形成する工程とを含み、
前記第2の光電変換層を形成する工程は、前記第1のトンネル接合層上に第2のn型化合物半導体エミッタ層を形成する工程と、前記第2のn型化合物半導体エミッタ層上に第2のp型化合物半導体ベース層を形成する工程とを含む、化合物半導体太陽電池の製造方法。 - 成長用基板を準備する工程と、
前記成長用基板上にn型GaAsコンタクト層を形成する工程と、
前記n型GaAsコンタクト層上に第1の光電変換層を形成する工程と、
前記第1の光電変換層上に第1のn型化合物半導体層を含む第1のトンネル接合層を形成する工程と、
前記第1のトンネル接合層上に第2の光電変換層を形成する工程と、
前記第2の光電変換層上に第2のn型化合物半導体層を含む第2のトンネル接合層を形成する工程と、
前記第2のトンネル接合層上にバッファ層を形成する工程と、
前記バッファ層上に第3の光電変換層を形成する工程と、
前記成長用基板を除去する工程と、を含み、
前記n型GaAsコンタクト層を形成する工程、前記第1のトンネル接合層を形成する工程および前記第2のトンネル接合層を形成する工程からなる群から選択された少なくとも1つの工程が、請求項1に記載のIII−V族化合物半導体膜の製造方法を含み、
前記第1の光電変換層を形成する工程は、前記n型GaAsコンタクト層上に第1のn型化合物半導体エミッタ層を形成する工程と、前記第1のn型化合物半導体エミッタ層上に第1のp型化合物半導体ベース層を形成する工程とを含み、
前記第2の光電変換層を形成する工程は、前記第1のトンネル接合層上に第2のn型化合物半導体エミッタ層を形成する工程と、前記第2のn型化合物半導体エミッタ層上に第2のp型化合物半導体ベース層を形成する工程とを含み、
前記第3の光電変換層を形成する工程は、前記バッファ層上に第3のn型化合物半導体エミッタ層を形成する工程と、前記第3のn型化合物半導体エミッタ層上に第3のp型化合物半導体ベース層を形成する工程とを含む、化合物半導体太陽電池の製造方法。 - 前記第3の光電変換層がInGaAsを含む、請求項4に記載の化合物半導体太陽電池の製造方法。
- 前記第2のトンネル接合層の前記第2のn型化合物半導体層が、InGaP、AlInGaP、GaAsおよびInGaAsからなる群から選択された少なくとも1種を含む、請求項4または5に記載の化合物半導体太陽電池の製造方法。
- 前記バッファ層が、InGaP、AlInGaP、AlInGaAsおよびInGaAsからなる群から選択された少なくとも1種を含む、請求項4から6のいずれかに記載の化合物半導体太陽電池の製造方法。
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