JP5747480B2 - 複合酸化物被覆金属粉末、その製造方法、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 - Google Patents
複合酸化物被覆金属粉末、その製造方法、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5747480B2 JP5747480B2 JP2010249559A JP2010249559A JP5747480B2 JP 5747480 B2 JP5747480 B2 JP 5747480B2 JP 2010249559 A JP2010249559 A JP 2010249559A JP 2010249559 A JP2010249559 A JP 2010249559A JP 5747480 B2 JP5747480 B2 JP 5747480B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal powder
- composite oxide
- metal
- coated
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Description
しかしながら、この特許文献1の方法の場合、乾燥工程で2種の金属アルコキシドの濃度を上昇させて、急激に反応を進行させるようにしているため、反応初期と反応終期で反応が異なり、系内の均一性の保持が難しいという問題点がある。また、複合酸化物の生成反応が、有機溶媒中とNi粉末表面の両方で起こるため、ニッケル粉末を被覆する複合酸化物層(膜)が不均一になるという問題点がある。
しかしながら、この方法の場合も、複合酸化物になりうる金属塩の水溶液を金属粉末スラリーに添加した後、アルカリを添加して急激に反応させるようにしているため、複合酸化物の生成反応が、水溶液中とNi粉末表面の両方で生起し、ニッケル粉末を被覆する複合酸化物層(膜)が不均一になるという問題点がある。
有機溶媒に金属粉末を分散させたスラリーに、第4族金属元素としてZrおよびTiの少なくとも1種を含む金属アルコキシドを添加し、その後に純水を添加することにより、前記金属粉末の表面の少なくとも一部が第4族金属の酸化物で被覆された被覆金属粉末を得る第1の工程と、
さらに、前記スラリーに、前記被覆金属粉末の被覆層を構成する前記金属酸化物と複合酸化物を形成する第2族金属元素としてMg、Ca、Baからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む化合物を添加し、前記金属粉末の表面を被覆する前記金属酸化物と反応させて複合酸化物を生成させることにより、前記金属粉末の表面が複合酸化物により被覆された複合酸化物被覆金属粉末を得る第2の工程と
を含むことを特徴としている。
有機溶媒に金属粉末を分散させたスラリーに、第2族金属元素を含む金属アルコキシドを添加し、その後に純水を添加することにより、前記金属粉末の表面の少なくとも一部が第2族金属としてMg、Ca、Baからなる群より選ばれる少なくとも1種の酸化物で被覆された被覆金属粉末を得る第1の工程と、
さらに、前記スラリーに、前記被覆金属粉末の被覆層を構成する前記金属酸化物と複合酸化物を形成する第4族金属元素としてZrおよびTiの少なくとも1種を含む化合物を添加し、前記金属粉末の表面を被覆する前記金属酸化物と反応させて複合酸化物を生成させることにより、前記金属粉末の表面が複合酸化物により被覆された複合酸化物被覆金属粉末を得る第2の工程と
を含むことを特徴としている。
また、例えば、積層セラミックコンデンサの誘電体セラミック層には希土類が添加されていることが多く、被覆層である複合酸化物にも希土類を添加しておくことにより、組成ずれを抑制することが可能になる。
なお、複合酸化物の割合が0.01重量%未満になると、本発明の複合酸化物被覆金属粉末を用いた導電性ペーストを塗布して、焼き付ける際の、焼結抑制効果が不十分になり、また、30重量%を超えると、形成される電極中の金属の割合が低下し、カバレッジが低下する。
なお、有機ビヒクルとしては、アクリル系ポリマー、セルロース系樹脂、ブチラール、アルキッド系樹脂を用いることが望ましい。
まず、平均粒子径が0.2μmのニッケル粉末(金属粉末)20gとイソプロピルアルコール500gを混合してスラリー(金属粉末スラリー)を作製した。
なお、この実施例では、純水とIPAの比率を、純水濃度が2〜100wt%の範囲で変化させて条件の異なる種々の被覆金属粉末を作製した。
まず、平均粒子径が0.2μmのニッケル粉末(金属粉末)20gとイソプロピルアルコール500gを混合してスラリー(金属粉末スラリー)を作製した。
平均粒子径が0.2μmのニッケル粉末50gとアセトン50gを混合し、スラリー(金属粉末スラリー)を作製した。
このスラリーに、第4族金属元素であるチタンのプロポキシド(チタンテトライソプロポキシド)6.09gを分散させたアセトン溶液20ml、および、第2族金属元素であるバリウムのプロポキシド(バリウムジイソプロポキシド)5.48gを分散させたアセトン溶液20mlを加え、60℃で、60分間攪拌・混合した。
平均粒径が0.2μmのニッケル粉末100gと純水500mlを混合し、スラリー(金属粉末スラリー)を作製した。
このスラリーを60℃に保持しつつ、第4族金属元素のチタンの化合物である硫酸チタン(Ti:5重量%品)3.9gを一括添加した後、3.8重量%水酸化ナトリウム水溶液を添加してpHを8に調整した。
なお、この実施例1では、上述の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法を「比較例の方法2」(以下の各表ではB−2)という。
50.6重量%のTiCl4水溶液と、51.0重量%BaCl2水溶液をアルコール(ここではブタノール)に添加して2.3重量%TiCl4−2.5重量%BaCl2アルコール溶液54mlを調製した。
また、ジエチルアミンをブタノールに溶解して1.8重量%ジエチルアミンブタノール溶液240mlを調製した。
なお、この実施例1では、この方法を「比較例の方法3」(以下の各表ではB−3)という。
上述の実施例の方法1および2の方法,比較例の方法1および2の方法で得た複合酸化物被覆金属粉末と、樹脂と、分散材と、溶剤とを混合した後、3本ロールミル、サンドミル、ポットミルなどの手段を用いて分散処理を行い、導電性ペーストを作製した。
まず、積層セラミックコンデンサの誘電体層となるセラミックグリーンシートを、以下の手順で作製した。
そして、この内部導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートと、内部導体パターンが形成されていないセラミックグリーンシートを所定の順序で積層し、圧着することにより圧着体を作製した。次に、この圧着体を所定の大きさにカットして得た未焼成のセラミック素子を、脱脂し、1000〜1200℃で焼成することにより焼結体である積層セラミック素子を得た。
なお、この実施例1では、幅0.5mm、長さ1.0mmの寸法の積層セラミックコンデンサを作製した。
積層セラミックコンデンサを、セラミック層11と内部導体12との界面で剥離させ、剥離面の金属部の占める割合を求め、カバレッジ(被覆率(%))とした。
実施例の方法で製造した試料の内部導体のカバレッジの測定結果を、表1Aの実施例1−1〜実施例1−6に示し、比較例の方法で製造した試料についての結果を、表1Bの比較例1−1〜比較例1−3に示す。なお、表1Bの比較例1−0は、金属粉末として、特に被覆されていないニッケル粉末を用いた場合の結果を示している。
そして、得られた複合酸化物被覆金属粉末を用いて上記実施例1の場合と同じ方法で導電性ペーストを作製し、さらにそれを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
なお、反応温度が溶媒の沸点以上になる場合には、オートクレーブ反応機を用いて、加圧下で所定反応温度を維持しつつ反応を行わせた。
なお、表2の実施例2−2は、反応温度を60℃としたものであり、上記実施例1の表1Aの実施例1−1の試料と同じものである。
なお、結晶性の高い複合酸化物を得るためには、高温度で反応させることが望ましい。
作製した複合酸化物被覆金属粉末を用いて上記実施例1の場合と同じ方法で導電性ペーストを作製し、さらにそれを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
そして、得られた積層セラミックコンデンサについて、実施例1の場合と同じ方法でカバレッジを測定した。その結果を表3の実施例3−1〜実施例3−8に示す。
ただし、表3の実施例3−7は、第4族金属のアルコキシド種および第2族金属元素種およびその他の条件が、上記実施例1の表1Aの実施例1−1のものと同じものである。
なお、SrTiO 3 、あるいはSrZrO 3 により被覆された複合酸化物被覆金属粉末を用いて作製した導電性ペーストで内部電極を形成した実施例3−5および実施例3−6の試料(積層セラミックコンデンサ)は、本発明の実施例ではなく、本発明と関連する発明の実施例となる。
そして、得られた複合酸化物被覆金属粉末を用いて上記実施例1の場合と同じ方法で導電性ペーストを作製し、さらにそれを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
次に、この積層セラミックコンデンサについて、実施例1の場合と同じ方法でカバレッジを調べた。その結果を表4A、Bの実施例4−1〜実施例4−17に示す。
すなわち、この実施例4により、複合酸化物に希土類元素を導入した場合にも、金属粉末の表面が均一な複合酸化物により被覆された複合酸化物被覆金属粉末を製造することが可能であること、かかる複合酸化物被覆金属粉末を導電成分として含む導電性ペーストを用いて内部導体を形成することにより、カバレッジの低下を抑制して、特性の良好な積層セラミックコンデンサ下が得られることが確認された。
そして、得られた複合酸化物被覆金属粉末を用いて上記実施例1の場合と同じ方法で導電性ペーストを作製し、さらにそれを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
それから、この積層セラミックコンデンサについて、実施例1の場合と同じ方法でカバレッジを調べた。その結果を表5の実施例5−1〜実施例5−7に示す。
ただし、表5の実施例5−5は、複合酸化物の割合が7重量%で、上記実施例1の表1Aの実施例1−1のものと同じものである。
そして、得られた複合酸化物被覆金属粉末を用いて上記実施例1の場合と同じ方法で導電性ペーストを作製し、さらにそれを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
それから、この積層セラミックコンデンサについて、実施例1の場合と同じ方法でカバレッジを調べた。その結果を表6Aの実施例6−1〜実施例6−5に示す。
そして、得られた複合酸化物被覆金属粉末を用いて上記実施例1の場合と同じ方法で導電性ペーストを作製し、さらにそれを用いて積層セラミックコンデンサを作製した。
それから、この積層セラミックコンデンサについて、実施例1の場合と同じ方法でカバレッジを調べた。その結果を表7Aの実施例7−1〜実施例7−4に示す。
この比較用の積層セラミックコンデンサについても、実施例1の場合と同じ方法でカバレッジを調べた。その結果を表7Bの比較例7−1〜比較例7−4に示す。
表8A、Bの、実施例8−1〜実施例8−10のデータから明らかなように、異なる溶媒を用いた場合にも、焼結が抑制され、高いカバレッジを確保できることが確認された。
金属アルコキシドは、有機溶媒に溶解しやすい。金属アルコキシドから金属酸化物を形成させる反応には水が必要となる。そのため、本発明では反応に必要な水を添加している。しかし、添加された水が反応系内の溶媒に溶解しなければ、金属酸化物の生成反応が起こりにくく、金属粉末の表面に金属酸化物層を生成させることができない。その際に、アルコール系溶媒のように、両親媒性の溶媒であれば、水も金属アルコキシドも溶解するため、金属アルコキシドから金属酸化物を生成させる反応を確実に進行させることができる。
M−(OR)4 + 2H2O ⇔ MO2 + 4ROH ……(1)
(M:金属 R:アルキル基)
2,2a 金属酸化物層
3,3a 被覆金属粉末
4,4a 複合酸化物
5,5a 複合酸化物被覆金属粉末
10 積層セラミック素子
11 セラミック層
12 内部導体層
13a,13b 外部電極
Claims (11)
- 有機溶媒に金属粉末を分散させたスラリーに、第4族金属元素としてZrおよびTiの少なくとも1種を含む金属アルコキシドを添加し、その後に純水を添加することにより、前記金属粉末の表面の少なくとも一部が第4族金属の酸化物で被覆された被覆金属粉末を得る第1の工程と、
さらに、前記スラリーに、前記被覆金属粉末の被覆層を構成する前記金属酸化物と複合酸化物を形成する第2族金属元素としてMg、Ca、Baからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む化合物を添加し、前記金属粉末の表面を被覆する前記金属酸化物と反応させて複合酸化物を生成させることにより、前記金属粉末の表面が複合酸化物により被覆された複合酸化物被覆金属粉末を得る第2の工程と
を含むことを特徴とする複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。 - 有機溶媒に金属粉末を分散させたスラリーに、第2族金属元素としてMg、Ca、Baからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む金属アルコキシドを添加し、その後に純水を添加することにより、前記金属粉末の表面の少なくとも一部が第2族金属の酸化物で被覆された被覆金属粉末を得る第1の工程と、
さらに、前記スラリーに、前記被覆金属粉末の被覆層を構成する前記金属酸化物と複合酸化物を形成する第4族金属元素としてZrおよびTiの少なくとも1種を含む化合物を添加し、前記金属粉末の表面を被覆する前記金属酸化物と反応させて複合酸化物を生成させることにより、前記金属粉末の表面が複合酸化物により被覆された複合酸化物被覆金属粉末を得る第2の工程と
を含むことを特徴とする複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。 - 前記第2の工程において、前記第2族金属元素または前記第4族金属元素を含む化合物を添加した後に、40℃以上に加熱することを特徴とする請求項1または2記載の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。
- 前記第1の工程および/または前記第2の工程を、希土類元素を共存させた状態で実施することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。
- 複合酸化物被覆金属粉末全体に占める前記複合酸化物の割合が0.01〜30重量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。
- 前記金属粉末として平均粒径が0.01〜1.0μmの金属粉末を用いることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。
- 前記金属粉末として、Ni、Ag、Cu、Pdからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む金属粉末を用いることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。
- 前記有機溶媒として20〜100重量%の範囲でアルコール類またはポリオール類を含む有機溶媒を用いることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の複合酸化物被覆金属粉末の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の方法で製造されたものであることを特徴とする複合酸化物被覆金属粉末。
- 請求項9に記載の複合酸化物被覆金属粉末と、有機ビヒクルとを含有することを特徴とする導電性ペースト。
- 互いに積層された複数のセラミックス層と、前記セラミックス層間に設けられた、請求項10記載の導電性ペーストの焼結体からなる内部導体とを備えていることを特徴とする積層セラミック電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010249559A JP5747480B2 (ja) | 2010-11-08 | 2010-11-08 | 複合酸化物被覆金属粉末、その製造方法、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010249559A JP5747480B2 (ja) | 2010-11-08 | 2010-11-08 | 複合酸化物被覆金属粉末、その製造方法、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012102351A JP2012102351A (ja) | 2012-05-31 |
JP5747480B2 true JP5747480B2 (ja) | 2015-07-15 |
Family
ID=46393088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010249559A Active JP5747480B2 (ja) | 2010-11-08 | 2010-11-08 | 複合酸化物被覆金属粉末、その製造方法、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5747480B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013231229A (ja) * | 2012-04-04 | 2013-11-14 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd | 複合ニッケル粒子 |
JP5862835B2 (ja) * | 2013-04-05 | 2016-02-16 | 株式会社村田製作所 | 金属粉末の製造方法、導電性ペーストの製造方法、および積層セラミック電子部品の製造方法 |
CN105121070B (zh) * | 2013-04-17 | 2018-01-02 | 株式会社村田制作所 | 复合氧化物被覆金属粉末、其制造方法、使用复合氧化物被覆金属粉末的导电性糊剂、以及层叠陶瓷电子部件 |
JP6431650B1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-28 | 東邦チタニウム株式会社 | 金属粉末の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4076107B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2008-04-16 | 三井金属鉱業株式会社 | 複合ニッケル微粉末の製造方法 |
WO2007074874A1 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-05 | Showa Denko K. K. | 複合酸化物膜及びその製造方法、複合体及びその製造方法、誘電材料、圧電材料、コンデンサ、圧電素子並びに電子機器 |
-
2010
- 2010-11-08 JP JP2010249559A patent/JP5747480B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012102351A (ja) | 2012-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE60101641T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Oxiden mit Perowskitstruktur | |
JPH05503502A (ja) | 改善されたセラミック誘電体組成物及び誘電性を増強する方法 | |
JP5574154B2 (ja) | ニッケル粉末およびその製造方法 | |
KR101773942B1 (ko) | 복합 산화물 피복 금속 분말, 그 제조 방법, 복합 산화물 피복 금속 분말을 사용한 도전성 페이스트, 및 적층 세라믹 전자 부품 | |
WO2015022968A1 (ja) | 表面処理された金属粉、及びその製造方法 | |
JP5747480B2 (ja) | 複合酸化物被覆金属粉末、その製造方法、導電性ペーストおよび積層セラミック電子部品 | |
JP4924824B2 (ja) | 炭素被覆ニッケル粉末の製造方法 | |
JP2010067418A (ja) | 導体ペーストおよびその製造方法 | |
US10083793B2 (en) | Metal powder, method for producing the same, conductive paste including metal powder, and multilayer ceramic electronic component | |
JP2005154904A (ja) | 炭素含有ニッケル粒子粉末およびその製造方法 | |
JP5046044B2 (ja) | 酸化マグネシウムナノ粒子の製造方法及び酸化マグネシウムナノゾルの製造方法 | |
JP3473548B2 (ja) | 金属粉末の製造方法,金属粉末,これを用いた導電性ペーストならびにこれを用いた積層セラミック電子部品 | |
JP2013082600A (ja) | ペロブスカイト粉末、その製造方法及びそれを利用した積層セラミック電子部品 | |
JP6630208B2 (ja) | 金属粉ペーストの製造方法、金属粉ペーストのスクリーン印刷方法、電極の製造方法、チップ積層セラミックコンデンサーの製造方法および金属粉ペースト | |
JP2005167290A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2015083714A (ja) | 複合粉末の製造方法およびこの製造方法により得られた複合粉末を用いた導電性厚膜ペーストおよび積層セラミック電子部品 | |
JP2007204315A (ja) | セラミック粉末の製造方法、セラミック粉末、および積層セラミック電子部品 | |
JP4643443B2 (ja) | チタン酸バリウム粉末の製造方法 | |
JP2009256190A (ja) | 誘電体材料の製造方法 | |
JP7332980B2 (ja) | チタン酸バリウム粒子を含む非水系分散体及びその製造方法 | |
JP5986046B2 (ja) | 表面処理された金属粉、及びその製造方法 | |
CN110461505B (zh) | 金属粉末的制造方法 | |
JP3772726B2 (ja) | ニッケル粉末の製造方法、ニッケル粉末、ニッケルペースト、積層セラミック電子部品 | |
JP4780272B2 (ja) | 複合導電性粒子粉末、該複合導電性粒子粉末を含む導電性塗料並びに積層セラミックコンデンサ | |
KR100790435B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 내부 전극용 니켈 분말 및 이 니켈분말로 이루어진 적층 세라믹 콘덴서 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140805 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150414 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150427 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5747480 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |