JP5739363B2 - 配線基板 - Google Patents

Description

本発明は、配線基板の構造に関し、特に、複数のビアを有する多層配線基板に適用して有効な技術に関する。

近年、電子機器の高性能化に伴い、電子機器が実装しているＬＳＩ(Large Scale Integration circuit) などの電子部品（電子装置）間の信号伝送速度は、年々（例えば、３年毎に２倍程度の割合で）高速化している。特にサーバ、ルータ等の大容量データ処理装置で用いられるバックプレーン（配線基板）では、２０１３年頃に電気伝送の限界である２５Ｇｂｐｓを超える伝送速度が要求されると予測されている。信号伝送速度が速くなると、ＬＳＩ間の信号伝送経路であるプリント配線基板の配線と基板間を接続するコネクタの伝送損失が増大する。特に、プリント配線基板とＬＳＩパッケージを接続するスルーホール（ビア）では、その不連続な形状により反射波が発生して伝送損失が増大する。この反射波はノイズとなり、伝送可能距離が短くなったり、伝送情報のビット誤り率が上昇したりする要因になる。

そこで、プリント配線基板の配線とＬＳＩパッケージを接続するスルーホールの不連続な形状を修正することで反射波が生じないようにして、ノイズの増加を低減する必要がある。

下記の特許文献１（特表２００８−５１８４８６号公報）には、貫通スルーホールが形成された基板において、スルーホールの信号伝送に寄与しないスタブ部分をドリルにより切削するバックドリル（裏面からのザグリ）を施すことにより、反射波を低減する技術が記載されている。また、下記特許文献２（特開２００９−１５８８１５号公報）には、貼り合せ基板によりスタブ部分の長さを短くする技術が記載されている。

特表２００８−５１８４８６号公報 特開２００９−１５８８１５号公報

上記特許文献１に記載されている技術は、バックドリルでスルーホールを切削してスタブ長を削減するため、プリント配線基板の内層配線を使用する信号の数だけドリルで穴あけを行う必要がある。また、ドリルの位置合わせ精度は０．２ｍｍから０．３ｍｍの精度が要求される。その際、基板の硬さや厚さのばらつきにより、ドリルの深さの加工精度のコントロールは困難な状況となっている。

なお、信号の伝送速度の高速化とともにピン数が増えると、ドリルによる加工数も増えるため、加工コストが上昇する傾向にある。また、穴あけ数が増加すると電源やグランドの配線層に穴あけ加工を施すことになり、基板の電源インピーダンスが増加し、電源ノイズが増加する弊害が生じる。また、ドリルで穴あけ加工を施す近辺には信号配線の配置が出来ず、基板の信号層数を増やす必要があり基板コストが増加する。

上記特許文献２に記載されている技術では、スタブ長を貼り合せ基板の厚さ以下にすることはできないため、ＬＳＩ搭載面付近の信号配線層に接続するスルーホールのスタブ長を削減できない。つまり、ＬＳＩ搭載面付近の信号配線層は高速伝送信号用に使用できないため、基板の信号層数を増やす必要が生じてコスト増となる課題がある。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電子装置（ＬＳＩ）に使用できる信号本数を制限することなく、配線基板の電子装置搭載面付近の信号配線層に接続するスルーホール（ビア）のスタブ長の影響を軽減して、同信号層を高速伝送信号用に使用することができる技術を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、配線基板のコストの増加を防止して、高速伝送ＬＳＩ及び配線基板の低コスト化を図る技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。

本発明に係る配線基板は、電子装置が搭載される表面と、前記表面と反対側の裏面を有し、かつ電気信号を伝送するとともにそれぞれ内部に導体膜が形成された貫通孔を備える複数のビアを有したものであり、前記複数のビアは、信号ビアと、前記信号ビアに隣接して配置されたグランドまたは電源ビアとを含んでいる。また、前記配線基板の内部に、前記グランドまたは電源ビアと電気的に接続するグランドまたは電源パターンを備えた配線層を有し、前記配線層と同一層において前記信号ビアの外周部と、前記信号ビアを囲むように配置された前記グランドまたは電源パターンとは隙間を介して設けられている。さらに、前記隙間は、前記信号ビアと前記グランドまたは電源ビアとの設置ピッチの１／２以上の大きさであり、かつ前記配線層において前記信号ビアの前記外周部と、前記グランドまたは電源ビアの前記配線基板の前記裏面に接合するパッドの端部に対応した位置との距離以下の大きさである。

また、本発明に係る配線基板は、電気信号を伝送し、かつそれぞれ内部に導体膜が形成された貫通孔を備える複数のビアを有したものであり、前記複数のビアは、隣接して配置された２つの差動信号ビアを含み、前記２つの差動信号ビアの間の前記配線基板の絶縁部に空洞部が形成され、平面視で、前記２つの差動信号ビアのそれぞれの中心を結ぶ線は、前記空洞部の一部に配置されるものである。

また、本発明に係る配線基板は、電子装置が搭載される表面と、前記表面と反対側の裏面を有し、かつ電気信号を伝送するとともにそれぞれ内部に導体膜が形成された貫通孔を備える複数のビアを有したものであり、前記複数のビアは信号ビアを含み、前記信号ビアの前記配線基板の前記裏面に接合するパッドの直径は、前記複数のビアの設置ピッチの１／４より小さいものである。

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。

配線基板の表面付近の信号配線層に接続する信号ビアのスタブ長による負荷容量を削減（軽減）することができ、信号ビアの伝送特性を低損失化することができる。これにより、配線基板の表面付近の信号配線層を高速伝送信号用に使用することができる。

また、低コスト化を図った高速伝送基板配線を実現することができる。

本発明の実施の形態の配線基板と電子装置の実装構造の一例を示す部分断面図である。 図１に示す配線基板における信号ビアとグランドまたは電源ビアの構造の一例を示す部分拡大断面図である。 図２に示すＸ矢視の構造の一例を示す断面図である。 図１に示す配線基板におけるグランドまたは電源配線層のパターンの一例を示す部分平面図である。 本発明者が比較検討を行った配線基板と電子装置の実装構造の比較例を示す部分断面図である。 本発明の実施の形態の第１変形例の配線基板と電子装置の実装構造を示す部分断面図である。 図６に示す配線基板の表面における差動信号ビア間の空洞部の構造の一例を示す部分平面図である。 本発明の実施の形態の第２変形例の配線基板と電子装置の実装構造を示す部分断面図である。 本発明の配線基板における各スタブ長に対する伝送周波数と伝送損失の関係を示すデータ図である。 本発明の配線基板における各対策ごとの伝送周波数と伝送損失の関係を示すデータ図である。

以下の実施の形態では特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。

さらに、以下の実施の形態では便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明などの関係にある。

また、以下の実施の形態において、要素の数など（個数、数値、量、範囲などを含む）に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良いものとする。

また、以下の実施の形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。

また、以下の実施の形態において、構成要素等について、「Ａからなる」、「Ａよりなる」、「Ａを有する」、「Ａを含む」と言うときは、特にその要素のみである旨明示した場合等を除き、それ以外の要素を排除するものでないことは言うまでもない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲等についても同様である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、図面をわかりやすくするために平面図であってもハッチングを付す場合がある。

（実施の形態）
図１は本発明の実施の形態の配線基板と電子装置の実装構造の一例を示す部分断面図、図２は図１に示す配線基板における信号ビアとグランドまたは電源ビアの構造の一例を示す部分拡大断面図、図３は図２に示すＸ矢視の構造の一例を示す断面図、図４は図１に示す配線基板におけるグランドまたは電源配線層のパターンの一例を示す部分平面図、図５は本発明者が比較検討を行った配線基板と電子装置の実装構造の比較例を示す部分断面図である。また、図９は本発明の配線基板における各スタブ長に対する伝送周波数と伝送損失の関係を示すデータ図、図１０は本発明の配線基板における各対策ごとの伝送周波数と伝送損失の関係を示すデータ図である。

本実施の形態の配線基板は、複数の配線層を有した多層のプリント基板１であり、表面１ａに電子装置を実装することが可能な基板である。

図１に示すプリント基板（配線基板）１の構造について説明すると、電子装置が搭載される表面１ａと、表面１ａと反対側の裏面１ｂとを有しており、さらにそれぞれ電気信号を伝送するとともに内部に導体膜が形成された貫通孔をそれぞれに備える複数のビアを有している。

なお、本実施の形態では、プリント基板１に搭載される電子装置の一例として、半導体パッケージ（ＬＳＩ）であるＢＧＡ（Ball Grid Array)パッケージ４を取り上げて説明する。

ＢＧＡパッケージ４は、本体の裏面側に複数のボール状の外部端子（ピン）が格子状（グリッド状）に配置された半導体パッケージであり、これらの複数の外部端子は、信号端子５ａ，５ｂや、グランドまたは電源（以降、グランド／電源とも言う）端子６ａ，６ｂを含んでいる。

したがって、プリント基板１の表面１ａには、ＢＧＡパッケージ４の各外部端子（各ピン）の配置に対応した位置に、各外部端子に電気的に接続可能な複数のパッド２ｆ，２ｋ，３ｆが形成されている。ここで、パッド２ｆ，２ｋは、信号用の電極パッドであり、パッド３ｆは、グランド／電源用の電極パッドである。

なお、プリント基板１の裏面１ｂにも表面側の各パッドに対応してそれぞれパッド２ｆ，２ｋ，３ｆが形成されている。さらに、プリント基板１には複数のビアが形成されており、これらの複数のビアは、信号ビア２ｃ，２ｈ及びグランド／電源ビア３ｃを含んでいる。

ここで、図１に示すプリント基板１では、例えば、ＢＧＡパッケージ４の信号端子５ａと電気的に接続するパッド２ｆは、信号ビア２ｃを介して裏面１ｂのパッド２ｆと電気的に接続されている。さらに、信号端子５ｂと電気的に接続するパッド２ｋは、信号ビア２ｈを介して裏面１ｂのパッド２ｋと電気的に接続されている。また、ＢＧＡパッケージ４のグランド／電源端子６ａ，６ｂとそれぞれ電気的に接続するパッド３ｆは、それぞれグランド／電源ビア３ｃを介して裏面１ｂのパッド３ｆと電気的に接続されている。

なお、信号ビア２ｃは、内部に導体膜２ｅが形成された信号スルーホール（貫通孔）２ｄを備えており、同様に、信号ビア２ｈは、内部に導体膜２ｊが形成された信号スルーホール（貫通孔）２ｉを備えている。また、グランド／電源ビア３ｃも、同様に、内部に導体膜３ｅが形成されたグランド／電源スルーホール（貫通孔）３ｄを備えている。

図１〜図３に示すように、信号ビア２ｃは、内部の多層の配線層のうち、信号配線層２ｇに形成された信号配線２ａと電気的に接続されている。同様に、信号ビア２ｈは、内部の多層の配線層のうち、信号配線層２ｍに形成された信号配線２ｂと電気的に接続されている。

また、グランド／電源ビア３ｃは、内部の多層の配線層のうち、複数のグランド／電源配線層３ｂのそれぞれに形成されたグランド／電源配線３ａと電気的に接続されており、プリント基板１の内部の各層のグランド／電源配線３ａは、図３に示すようなプレーン状の広い面積を有するグランド／電源パターン３ｇとなっている。

本実施の形態のプリント基板１では、複数のビアは、信号ビア２ｃと、この信号ビア２ｃに隣接して配置されたグランド／電源ビア３ｃとを含んでいる。

ここで、図３に示すプリント基板１における各層の厚さの一例を説明すると、各配線（配線層）の厚さは、Ａ、Ｃ、Ｅ、Ｇ、Ｉ、Ｋ、Ｍ＝０．０３５ｍｍである。層間の各絶縁層の厚さは、Ｂ、Ｄ、Ｆ、Ｌ＝０．１ｍｍ、Ｊ＝０．２３５ｍｍ、Ｈ＝０．２５ｍｍである。これにより、Ａ〜Ｐの全体の合計厚さは、１．１３ｍｍとなっている。

また、プリント基板１では、図１に示すように、信号ビア２ｃ，２ｈは、プリント基板１の内部において信号の配線（信号配線２ａ，２ｂ）が枝分かれしたスタブ（第１領域）２ｎをそれぞれ有しており、図２に示すように、それぞれにグランド／電源パターン３ｇを備えた複数のグランド／電源配線層３ｂのいずれかは、信号ビア２ｃ，２ｈのスタブ２ｎの領域に配置されている。

ここで、スタブ２ｎを有する配線における電気信号の流れを、信号ビア２ｃの場合を一例として説明すると、図１に示すように、電気信号はＢＧＡパッケージ４のコネクタ用の信号端子５ａから入力し、信号ビア２ｃを介して信号配線２ａに枝分かれして伝播する。その際、信号端子５ａと信号ビア２ｃとスタブ２ｎと信号配線２ａは、その材質、長さなどに応じた伝送損失特性を有している。

ところで、ＢＧＡパッケージ４などのＬＳＩ間の伝送経路は、プリント基板１に２個のＬＳＩを搭載し、その間にＤＣブロックキャパシタを搭載する形態であるので、ＬＳＩとプリント基板１の接続部位が１経路あたり４箇所存在する。伝送経路の伝送損失は高速伝送規格のＩＥＥＥ８０２．３ａｐ（１０Ｇｂｐｓ）によると、中央値で２５ｄＢの伝送損失を想定している。

このうち、プリント基板１の配線やコネクタ本体の伝送損失が約２０ｄＢを占める場合を想定すると、ビア（スルーホール）には約６ｄＢが割り当てられると見込まれる。この場合、ビア（スルーホール）は１個当たり、伝送損失を１．５ｄＢ以下に低減する必要があると考えられる（図９に示す目安値Ｖ参照）。

図９は、ビア（スルーホール）の伝送損失の周波数特性を示す図である。ビア（スルーホール）の伝送損失は周波数が高くなると増大し、またスタブ長が長くなると増大する特徴がある。すなわち、スタブ長が長いほど信号が通りにくくなることが知られている。

そこで、図５は、本発明者が比較検討を行った配線基板と電子装置の実装構造の比較例を示す図であるが、本比較例では、バックドリルで信号ビア２ｃや信号ビア２ｈを切削して穴部１１ａを形成してスタブ長を削減する（短くする）ため、プリント基板１１の内層配線を使用する信号の数だけドリルで穴あけを行う必要がある。

この場合には以下のような課題が生じる。信号の伝送速度の高速化とともにピン数が増えると、ドリルによる加工数も増えるため、加工コストが上昇する傾向にある。さらに、穴あけ数が増加すると電源やグランドの配線層に穴あけ加工を施すことになり、基板の電源インピーダンスが増加し、電源ノイズが増加する弊害が生じる。また、ドリルで穴あけ加工を施す近辺には信号配線の配置が出来ず、基板の信号層数を増やす必要があり基板コストが増加する。

そこで、本実施の形態のプリント基板１では、図１及び図２に示すスタブ２ｎ部分に形成されたグランド／電源配線層３ｂと同一層において、図４に示すように、信号ビア（Ｓ）２ｃ（信号ビア２ｈ）の外周部と、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）を囲むように配置されたグランド／電源パターン３ｇとはクリアランス（隙間）７を介して設けられており、クリアランス７は、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）とグランド／電源ビア（Ｇ）３ｃとの設置ピッチＹの１／２以上の大きさである。さらに、グランド／電源配線層３ｂにおいて信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）の外周部と、グランド／電源ビア３ｃのプリント基板１の裏面１ｂに接合する図２のパッド３ｆの端部（縁部、へり部）に対応した位置との距離以下の大きさである。

すなわち、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）の周囲に隣接して配置されたグランド／電源ビア３ｃに対して、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）の外周部と、グランド／電源パターン３ｇとの間のクリアランス７は、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）とグランド／電源ビア３ｃとの設置ピッチＹの１／２以上の大きさであり、かつグランド／電源配線層３ｂにおいて信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）の外周部と、グランド／電源ビア３ｃのパッド３ｆの端部（縁部、へり部）に対応した位置との距離以下の大きさである。

ここで、本発明者が検討したところ、図２の信号ビア２ｃのスタブ２ｎ以外の領域（通常に信号が流れる領域）におけるクリアランス７ａは、狭くしておく方が良いため、信号ビア２ｃとグランド／電源ビア３ｃとの設置ピッチＹの１／２以下の大きさである。したがって、信号ビア２ｃのスタブ２ｎの領域において、図４に示す信号ビア２ｃの外周部とグランド／電源パターン３ｇとのクリアランス（隙間）７の範囲の下限値を、信号ビア２ｃとグランド／電源ビア３ｃとの設置ピッチＹの１／２以上の大きさとすることが好ましく、これにより、信号ビア２ｃの見かけの容量を低減できるため、信号の伝送損失の低減化を図ることができるものと推察される。

また、クリアランス（隙間）７の範囲の上限値については、ドリルで信号スルーホール２ｄを形成する際の加工精度を考慮してパッド３ｆ部分は残す必要があるため、パッド３ｆの端部（縁部、へり部）に対応した位置まではクリアランス７を形成可能であり、したがって、パッド３ｆの端部に対応した位置とすることが好ましい。

一例として、図４に示す上述の条件を数値で示すと、ＢＧＡパッケージ４のピンピッチが１ｍｍであり、パッド２ｆ（２ｋ，３ｆ）の直径が約０．５ｍｍであるとすると、（１ｍｍの１／２）≦クリアランス７の大きさ≦（１ｍｍ−（０．５ｍｍの１／２））となり、この場合には、０．５ｍｍ≦クリアランス７の大きさ≦０．７５ｍｍとなる。

ここで、図１０は、ビア（スルーホール）の伝送損失のクリアランス依存特性、およびパッド依存性と差動信号間の誘電体削除の効果を示す図である。伝送速度１０Ｇｂｐｓ（Ｇｉｇａ ｂｉｔ ｐｅｒ ｓｅｃｏｎｄ）のデータ基底周波数は５ＧＨｚであり、伝送速度１４Ｇｂｐｓのデータ基底周波数は７ＧＨｚ、また、伝送速度２５Ｇｂｐｓのデータ基底周波数は１２．５ＧＨｚである。データ基底周波数が高くなるにつれて、伝送損失のスタブ長依存性が急激に増加する特徴がある。

図１０の曲線Ｑは、上記クリアランス７を確保した場合の伝送損失特性を示すものであり、伝送速度２５Ｇｂｐｓの高速伝送領域付近においても伝送損失の低減化を図ることができる。

なお、図１及び図２に示すスタブ２ｎ部分に該当する複数のグランド／電源配線層３ｂにおいて、各グランド／電源配線層３ｂのクリアランス７の大きさは、それぞれの層で前述の下限値から上限値の範囲に入っていれば、各グランド／電源配線層３ｂでばらばらの大きさであってもよいことは言うまでもない。

以上のように、本実施の形態のプリント基板１によれば、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）と、グランド／電源配線層３ｂにおけるグランド／電源パターン３ｇとのクリアランス（隙間）７を拡大することにより、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）のスタブ２ｎ部分とグランド／電源配線層３ｂの間に生じる負荷容量を削減することができる。

これにより、ＢＧＡパッケージ（電子装置）４が搭載されるプリント基板１の表面付近の信号配線層２ｇ（信号配線層２ｍ）に接続する信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）のスタブ長による負荷容量を削減（軽減）することができ、信号ビア２ｃ（信号ビア２ｈ）の伝送特性を低損失化することができる。

その結果、プリント基板１の表面付近の信号配線層２ｇ（信号配線層２ｍ）を高速伝送信号用に使用することができる。

また、本実施の形態のプリント基板１（図１〜図４）の構造とすることにより、プリント基板１のコストの増加を防止して低コスト化を図った高速伝送基板配線を実現することができる。

次に、本実施の形態の変形例について説明する。

図６は本発明の実施の形態の第１変形例の配線基板と電子装置の実装構造を示す部分断面図、図７は図６に示す配線基板の表面における差動信号ビア間の空洞部の構造の一例を示す部分平面図である。

図６に示す第１変形例のプリント基板１では、この基板に設けられた複数のビアが、隣接して配置された２つの差動信号ビア２ｐを含んでおり、これら２つの差動信号ビア２ｐの間のプリント基板１の絶縁部１ｃに空洞部が形成されている。つまり、プリント基板１において、隣接して配置された２つの差動信号ビア２ｐの間の領域の絶縁部１ｃに空洞部（空間部）が形成されている。

なお、プリント基板１は、各配線、各ビア及び各パッドは、例えば銅を主成分とする導電材によって形成されており、また、前記導電材を覆う層間絶縁膜等の絶縁部１ｃは、例えばガラスエポキシ樹脂等から成る。したがって、空洞部は絶縁部１ｃのみに形成する。これは、２つの差動信号ビア２ｐ間に空洞部を形成することで、差動信号ビア２ｐ間の誘電率を下げるものである。つまり、差動信号ビア２ｐ間の誘電率を下げることを目的とするものであるため、前記空洞部は、図６に示すようなプリント基板１の表面１ａ及び裏面１ｂに開口する貫通孔１ｄであることが好ましい。

その際、貫通孔１ｄは、図７に示すようにプリント基板１の平面視において、２つの差動信号ビア２ｐのそれぞれの中心を結ぶ線（中心線８）が、貫通孔１ｄの一部に配置される（係る）ような位置に形成されている。

つまり、貫通孔１ｄは、２つの差動信号ビア２ｐの間の領域において、それぞれの差動信号ビア２ｐから遠ざからない位置に形成されるものであり、平面視において、２つの差動信号ビア２ｐのそれぞれの中心を結ぶ中心線８が、少なくとも貫通孔１ｄの一部に係るような位置に配置されるものである。

したがって、図７に示すように、平面視において貫通孔１ｄ（Ｕ）のようにその一部が中心線８に係った位置に形成されている必要があり、貫通孔１ｅ（Ｚ）のように中心線８から外れた位置に形成されたものは適用外である。

なお、前記空洞部は、基板の表裏面に開口した貫通孔１ｄに限定されるものではなく、２つの差動信号ビア２ｐ間の誘電率を下げることが可能な空間を有していれば、表裏面の何れか一方に開口した穴部であってもよいし、表裏面の何れにも開口していない基板内の閉ざされた空洞部であってもよい。

このようにプリント基板１の２つの差動信号ビア２ｐの間の絶縁部１ｃに貫通孔１ｄのような空洞部が形成されていることにより、差動信号ビア２ｐのスタブ２ｎ長による負荷容量を減少（軽減）させることができる。これにより、図１に示すプリント基板１と同様に、差動信号ビア２ｐの伝送特性を低損失化することができ、その結果、プリント基板１の表面付近の信号配線層２ｇ（信号配線層２ｍ）を高速伝送信号用に使用することができる。

ここで、図１０の曲線Ｒは、差動信号ビア２ｐの間の絶縁部１ｃに空洞部を形成した場合の伝送損失特性を示すものであり、伝送速度２５Ｇｂｐｓ（データ基底周波数１２．５ＧＨｚ）の高速伝送領域付近においても伝送損失の低減化を図ることができる。

また、差動信号ビア２ｐの間の絶縁部１ｃに空洞部を形成した基板構造とすることにより、プリント基板１のコストの増加を防止して低コスト化を図った高速伝送基板配線を実現することができる。

また、図５の比較例と比べると、比較例では２つの信号ビア２ｃ，２ｈそれぞれに対してバックドリルを行うことでドリルの使用回数が２回であるのに対して、図６に示すプリント基板１では、差動信号ビア２ｐ間に１つの貫通孔１ｄを形成するため、ドリルの使用回数を１回とすることができ、図５の比較例に比べてドリルによる穴あけ個数を減らすことができる。

つまり、図５の比較例に比べて図６に示すプリント基板１では、信号の伝送損失の抑制化を図ることができる。

また、図６に示すプリント基板１の貫通孔１ｄの形成では、プリント基板１の絶縁部１ｃのみにドリル加工を施すため、各配線（ビアやパッドも含む）にはドリル加工は行わない。したがって、前記各配線に施された防錆処理を損なうことなく、ドリル加工による貫通孔１ｄの形成を行うことができる。

その際、絶縁部１ｃの加工では樹脂のみの加工となるため、高い加工精度が要求されないため、加工を容易に行うことができる。

次に、図８に示す第２変形例について説明する。

図８は本発明の実施の形態の第２変形例の配線基板と電子装置の実装構造を示す部分断面図である。

図８に示す第２変形例のプリント基板１は、複数の信号ビア２ｃ，２ｈのうちの一部もしくは全てにおいて、信号ビア２ｃ，２ｈのプリント基板１の裏面１ｂに接合するパッド２ｆ，２ｋ（図１参照）の直径が、複数のビアの設置ピッチの１／４より小さく形成されているものである。

すなわち、信号ビア２ｃ，２ｈにおける基板の裏面１ｂ側のパッド２ｆ，２ｋの直径が、複数のビアの設置ピッチの１／４より小さくなっており、これにより、信号ビア２ｃ，２ｈのスタブ２ｎ長による負荷容量を減少（軽減）させることができる。

例えば、複数のビアの設置ピッチを１ｍｍとすると、パッド２ｆ，２ｋの直径は、複数のビアの設置ピッチの約１／２であり、したがって、０．５ｍｍである。

そこで、前述の得られる効果（スタブ２ｎ部分での負荷容量の減少）を考慮して、パッド２ｆ，２ｋの大きさ（直径）をさらに１／２より小さくする。つまり、パッド２ｆ，２ｋの直径を複数のビアの設置ピッチの１／４より小さくする。これにより、スタブ２ｎ部分での負荷容量を減少させることができる。

なお、スタブ２ｎ部分での負荷容量を減少させる効果は、基板の裏面１ｂ側のパッド２ｆ，２ｋの大きさ（直径）が小さければ小さいほど大きい。したがって、図８に示すように、信号ビア２ｃ，２ｈは、裏面１ｂ側のパッドを有していないことが最も好ましく、信号ビア２ｃ，２ｈが、裏面１ｂ側のパッドを有していないことにより、スタブ２ｎ長による負荷容量を十分に減少（軽減）させることができる。

つまり、プリント基板１の裏面１ｂ側には、電子装置（ＬＳＩ）等を実装することはないため、配線基板の機能上、裏面１ｂ側のパッドは除去することが可能であり、これにより、図１のプリント基板１と同様に、信号ビア２ｃ，２ｈの伝送特性を低損失化することができる。

その結果、プリント基板１の表面付近の信号配線層２ｇ（信号配線層２ｍ）を高速伝送信号用に使用することができる。

ここで、図１０の伝送損失特性において、曲線Ｑが図４のクリアランス７を拡大する図１の基板構造の場合の伝送損失特性を示しており、また、曲線Ｓが図１のクリアランス拡大と図８の裏面１ｂのパッド除去を組み合わせた場合の伝送損失特性を示している。両者を比較すると、曲線Ｓの条件の方が効果が大きいことが分かる。つまり、図１のクリアランス拡大に図８の裏面１ｂのパッド除去を組み合わせたことで効果が大きくなっているものと考えられるため、図８に示す裏面１ｂのパッド除去単独の基板構造においても伝送損失の低減化の効果を得ることができるものと推察される。

したがって、図８に示すような裏面１ｂのパッド除去を行ったプリント基板１においても、伝送速度２５Ｇｂｐｓ（データ基底周波数１２．５ＧＨｚ）の高速伝送領域付近における伝送損失の低減化を図ることができる。

以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。

例えば、前記実施の形態では、プリント基板１の構造として、図１に示すクリアランス７を拡大する構造、図６に示す差動信号ビア２ｐ間に空洞部を設ける構造（第１変形例）、及び図８に示す裏面１ｂのパッドを除去する（小さくする）構造（第２変形例）の３つの基板構造について説明したが、前記３つの基板構造は、それぞれ単独のものであってもよく、また、前記３つの基板構造のうちの何れか２つを組み合わせたものであってもよく、さらに前記３つの基板構造を全部組み合わせたものであってもよい。

ここで、図１０の曲線Ｓは、図１に示すクリアランス７を拡大する構造と、図８に示す裏面１ｂのパッドを除去する構造（第２変形例）の２つの構造を組み合わせた場合の伝送損失特性を示すものであり、単独構造の曲線Ｑ（クリアランス７を拡大する構造）や曲線Ｒ（差動信号ビア２ｐ間に空洞部を設ける構造）の場合に比べて伝送損失の低減化の効果が大きいことが分かる。

さらに、図１０の曲線Ｔは、前記３つの基板構造を全部組み合わせた場合の伝送損失特性を示すものであり、この場合が最も高い効果が得られることが分かる。前記３つの基板構造を全部組み合わせた場合には、伝送速度２５Ｇｂｐｓを超える高速伝送領域においても伝送損失の低減化を図ることが十分可能である。

また、前記実施の形態では、プリント基板１に実装される電子装置（ＬＳＩ）が、ＢＧＡパッケージ４の場合について説明したが、前記電子装置は、ＢＧＡパッケージ４以外の半導体パッケージ等であってもよく、ＢＧＡパッケージ４に限定されるものではない。例えば、ＬＧＡ（Land Grid Array)パッケージ等であってもよい。

また、前記実施の形態では、配線基板の一例として、電子装置（半導体パッケージ）が実装されるプリント基板１の場合を説明したが、前記配線基板は、例えば、半導体チップが搭載され、かつＢＧＡパッケージ等に組み込まれるパッケージ基板に適用することも可能である。

本発明は、電子装置を搭載して高速信号伝送を行う多層配線基板に幅広く利用することができる。

１…プリント基板（配線基板）、１ａ…表面、１ｂ…裏面、１ｃ…絶縁部、１ｄ…貫通孔（空洞部）、１ｅ…貫通孔、２ａ…信号配線、２ｂ…信号配線、２ｃ…信号ビア、２ｄ…信号スルーホール（貫通孔）、２ｅ…導体膜、２ｆ…パッド、２ｇ…信号配線層、２ｈ…信号ビア、２ｉ…信号スルーホール（貫通孔）、２ｊ…導体膜、２ｋ…パッド、２ｍ…信号配線層、２ｎ…スタブ（第１領域）、２ｐ…差動信号ビア、３ａ…グランド／電源配線、３ｂ…グランド／電源配線層、３ｃ…グランド／電源ビア、３ｄ…グランド／電源スルーホール（貫通孔）、３ｅ…導体膜、３ｆ…パッド、３ｇ…グランド／電源パターン、４…ＢＧＡパッケージ（電子装置）、５ａ…信号端子、５ｂ…信号端子、６ａ…グランド／電源端子、６ｂ…グランド／電源端子、７…クリアランス（隙間）、７ａ…クリアランス、８…中心線、１１…プリント基板、１１ａ…穴部

Claims (5)

1. 電子装置が搭載される表面と、前記表面と反対側の裏面を有し、かつ電気信号を伝送するとともにそれぞれ内部に導体膜が形成された貫通孔を備える複数のビアを有した配線基板であって、
   前記複数のビアは、信号ビアと、前記信号ビアに隣接して配置されたグランドまたは電源ビアとを含み、
   前記配線基板の内部に、前記グランドまたは電源ビアと電気的に接続するグランドまたは電源パターンを備えた配線層を有し、
   前記配線層と同一層において前記信号ビアの外周部と、前記信号ビアを囲むように配置された前記グランドまたは電源パターンとは隙間を介して設けられ、
   前記信号ビアのうち、前記表面と前記配線層の間のスタブ以外の通常に信号が流れる領域では、前記隙間は前記信号ビアと前記グランドまたは電源ビアとの設置ピッチの１／２以下の大きさであり、
   前記配線層と前記裏面の間のスタブの領域では、前記隙間は、前記信号ビアと前記グランドまたは電源ビアとの設置ピッチの１／２以上の大きさで前記スタブ以外の通常に信号が流れる領域の隙間より広く、かつ前記配線層において前記信号ビアの前記外周部と、前記グランドまたは電源ビアの前記配線基板の前記裏面に接合するパッドの端部に対応した位置との距離以下の大きさであることを特徴とする配線基板。
2. 請求項１記載の配線基板において、
   前記複数のビアは、隣接して配置された２つの差動信号ビアを含み、
   前記２つの差動信号ビアの間の前記配線基板の絶縁部に空洞部が形成され、
   平面視で、前記２つの差動信号ビアのそれぞれの中心を結ぶ線は、前記空洞部の一部に配置されることを特徴とする配線基板。
3. 請求項１記載の配線基板において、
   前記信号ビアの前記配線基板の前記裏面に接合するパッドの直径は、前記複数のビアの設置ピッチの１／４より小さいことを特徴とする配線基板。
4. 請求項１記載の配線基板において、
   前記複数のビアは、隣接して配置された２つの差動信号ビアを含み、
   前記２つの差動信号ビアの間の前記配線基板の絶縁部に空洞部が形成され、
   平面視で、前記２つの差動信号ビアのそれぞれの中心を結ぶ線は、前記空洞部の一部に配置され、
   前記信号ビアの前記配線基板の前記裏面に接合するパッドの直径は、前記複数のビアの設置ピッチの１／４より小さいことを特徴とする配線基板。
5. 請求項１記載の配線基板において、
   前記信号ビアは、前記配線基板の内部において信号の配線が枝分かれした第１領域を有しており、前記グランドまたは電源パターンを備えた前記配線層は、前記信号ビアの前記第１領域に配置されていることを特徴とする配線基板。

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