JP5725664B2 - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents

ノズルプレートの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5725664B2
JP5725664B2 JP2012057668A JP2012057668A JP5725664B2 JP 5725664 B2 JP5725664 B2 JP 5725664B2 JP 2012057668 A JP2012057668 A JP 2012057668A JP 2012057668 A JP2012057668 A JP 2012057668A JP 5725664 B2 JP5725664 B2 JP 5725664B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
protective film
silicon substrate
etching
nozzle
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012057668A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013188970A (ja
JP2013188970A5 (enExample
Inventor
秀治 ▲高▼橋
秀治 ▲高▼橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2012057668A priority Critical patent/JP5725664B2/ja
Publication of JP2013188970A publication Critical patent/JP2013188970A/ja
Publication of JP2013188970A5 publication Critical patent/JP2013188970A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5725664B2 publication Critical patent/JP5725664B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
JP2012057668A 2012-03-14 2012-03-14 ノズルプレートの製造方法 Expired - Fee Related JP5725664B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012057668A JP5725664B2 (ja) 2012-03-14 2012-03-14 ノズルプレートの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012057668A JP5725664B2 (ja) 2012-03-14 2012-03-14 ノズルプレートの製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013188970A JP2013188970A (ja) 2013-09-26
JP2013188970A5 JP2013188970A5 (enExample) 2014-08-21
JP5725664B2 true JP5725664B2 (ja) 2015-05-27

Family

ID=49389743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012057668A Expired - Fee Related JP5725664B2 (ja) 2012-03-14 2012-03-14 ノズルプレートの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5725664B2 (enExample)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6388389B2 (ja) * 2014-08-29 2018-09-12 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JPWO2018047576A1 (ja) * 2016-09-12 2019-06-24 コニカミノルタ株式会社 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
JP7028178B2 (ja) * 2016-09-28 2022-03-02 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッドおよびその製造方法と、インクジェットプリンタ
JP7119943B2 (ja) * 2018-11-26 2022-08-17 コニカミノルタ株式会社 ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッドの製造方法
EP4316855A4 (en) * 2021-03-31 2024-05-22 Konica Minolta, Inc. NOZZLE PLATE MANUFACTURING PROCESS, NOZZLE PLATE AND LIQUID EJECTION HEAD

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001260355A (ja) * 2000-03-21 2001-09-25 Nec Corp インクジェットヘッドおよびその製造方法
US7347532B2 (en) * 2004-08-05 2008-03-25 Fujifilm Dimatix, Inc. Print head nozzle formation
JP4660683B2 (ja) * 2005-07-28 2011-03-30 セイコーエプソン株式会社 ノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法
JP2008114462A (ja) * 2006-11-02 2008-05-22 Seiko Epson Corp ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置の製造方法、ノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
US20110020966A1 (en) * 2009-07-23 2011-01-27 Canon Kabushiki Kaisha Method for processing silicon substrate and method for producing substrate for liquid ejecting head
JP2011037053A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Seiko Epson Corp ノズルプレートの製造方法
KR20120002688A (ko) * 2010-07-01 2012-01-09 삼성전기주식회사 노즐 플레이트 및 그 제조 방법, 그리고 상기 노즐 플레이트를 구비하는 잉크젯 프린터 헤드

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013188970A (ja) 2013-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5645863B2 (ja) ノズルプレートの製造方法
US8262199B2 (en) Droplet jetting head, method of manufacturing droplet jetting head, and droplet jetting apparatus equipped with droplet jetting head
JP5382905B2 (ja) 圧電素子の製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP5725664B2 (ja) ノズルプレートの製造方法
US8413328B2 (en) Method of manufacturing flow channel substrate for liquid ejection head
JP2005104038A (ja) 吐出ヘッド及び液吐出装置
JP2004209741A (ja) インクジェット記録ヘッド
US8820889B2 (en) Maintenance method of liquid ejection head and liquid ejection apparatus
JP2009231777A (ja) 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置並びに圧電アクチュエータの駆動方法
JP2008246789A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置、及び圧電素子の製造方法
JP4986216B2 (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置
US7946681B2 (en) Nozzle plate, ink ejection head, and image forming apparatus
CN107073955B (zh) 喷墨打印头
WO2015022822A1 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP4832325B2 (ja) ノズルプレートおよび画像形成装置
JP2009218401A (ja) 圧電アクチュエータの駆動方法及び液体吐出ヘッドの駆動方法
JP7222699B2 (ja) 液体吐出ヘッドとその製造方法
JP4939665B2 (ja) ノズルプレートの製造方法
JP4706913B2 (ja) 吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2006027122A (ja) 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置
JP2006231626A (ja) ノズルプレートの製造方法及び液体吐出ヘッド並びにこれを備えた画像形成装置
JP2008068499A (ja) ノズルプレートの製造方法
JP4164321B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
JP2007283729A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置
JP2015202587A (ja) 液体吐出ヘッドおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140617

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140707

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150326

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150330

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5725664

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees