JP5700912B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態の研磨パッド10は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート2を備えている。発泡シート2は、略平坦な研磨面Pを有している。
研磨パッド10は、図3に示すように、湿式成膜法の各工程を経て作製された発泡シート2をラミネート加工工程で支持体6、両面テープ7と貼り合わせることで製造される。湿式成膜法では、まず準備工程でカーボンブラックが凝集した凝集体5と分散剤のABS樹脂とを混合した凝集体分散液と、ウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のN,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFと略記する。)にウレタン樹脂を溶解させたウレタン樹脂溶液と、をそれぞれ作製する。塗布工程では、凝集体分散液とウレタン樹脂溶液とを混合し、その混合液を成膜基材に塗工する。凝固再生工程では、ウレタン樹脂をシート状に凝固再生させる。洗浄・乾燥工程では、シート状のポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる。これらの工程を経て発泡シート2が作製される。以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の研磨パッド10の作用等について説明する。
実施例1では、ウレタン樹脂としてポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂を30重量%でDMFに溶解させたウレタン樹脂溶液を調製した。また、凝集体5の20重量%とABS樹脂の20重量%とをDMFと混合し凝集体分散液を調製した。得られたウレタン樹脂溶液の100部に対して、凝集体分散液の40部を混合し混合液を得た。この混合液の凝集体5の分散状態を、グラインドゲージ分布図を用いて測定した結果、1.5μm以下(3.0μm以下)であった。得られた混合液から湿式成膜法により発泡シート2を作製し研磨パッド10を製造した。
比較例1では、ABS樹脂等の分散剤を使用することなく、実施例1と同じポリウレタン樹脂とカーボンブラックとDMFとを一緒に混合したウレタン混合液を調製した。このウレタン混合液では、カーボンブラックの凝集体の分散状態を、グラインドゲージ分布図法を用いて測定した結果、25〜40μmであった。このウレタン混合液を用いる以外は実施例1と同様にして比較例1の研磨パッドを製造した。
各実施例および比較例について、湿式成膜後の発泡シートの引張強度、引張伸度を測定した。測定には、引張伸度測定器(株式会社エー・アンド・デイ製、テンシロン万能試験機RTC)を使用した。測定方法は日本工業規格(JIS K6550)に準じた方法で測定した。引張強度、引張伸度の測定結果を下表1に示した。
2 発泡シート
5 凝集体
10 研磨パッド
Claims (5)
- 湿式成膜法により形成されたウレタン樹脂製の発泡シートを備えた研磨パッドにおいて、前記発泡シートには非晶質炭素の粒子の凝集で形成された一次凝集体が凝集して形成された凝集体が含有されており、前記凝集体は、前記発泡シート内で前記凝集体を分散させる分散剤で被覆されて略均一に分散されており、前記発泡シートは、被研磨物を研磨加工するための研磨面側に表面が平坦なスキン層を有するとともに、湿式成膜に用いられる混合液であって前記分散剤で被覆された凝集体およびウレタン樹脂を含む混合液における前記凝集体の大きさが1.5μm以下に制限され形成されたものであり、仕上げ研磨加工に使用されるものであることを特徴とする研磨パッド。
- 前記非晶質炭素はカーボンブラックであることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記カーボンブラックは、少なくともチャンネルブラック、ファーネスブラック及びアセチレンブラックから選択される1種であることを特徴とする請求項2に記載の研磨パッド。
- 前記分散剤は、少なくともアクリロニトリル・スチレン・ブタジエン樹脂、ポリウレタン、スチレン・ブタジエン樹脂、セルロースアセテート及びビニル化合物から選択される1種であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記ビニル化合物は非ハロゲン化合物であることを特徴とする請求項4に記載の研磨パッド。
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