JP5501721B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態の研磨パッド1は、ポリウレタン樹脂で形成された発泡体2を備えている。発泡体2は、略平坦な研磨面Pを有している。
研磨パッド1は、湿式成膜法の各工程を経て製造される。湿式成膜法では、ポリウレタン樹脂を有機溶媒に溶解させ、それに調整剤を混合し、ポリウレタン樹脂溶液を得る準備工程、成膜基材にポリウレタン樹脂溶液を塗布し樹脂をシート状に凝固再生させる凝固再生工程、シート状のポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄乾燥工程を経て発泡体2が作製される。以下、工程順に説明する。
異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、研磨パッド1を完成させる。
(作用)
次に、本実施形態の研磨パッド1の作用等について説明する。
イオン性の相互作用を起こさない組み合わせであれば、アニオン系化合物やカチオン系化合物を使用してもよい。
実施例1では、ポリウレタン樹脂としてポリエステルMDI(ジフェニルメタンジイソシアネート)を用いた。調整剤としては、研磨液との相溶性に優れることの確認された分子量30,000のポリプロピレンオキサイドを用いた。すなわち、ポリウレタン樹脂を30重量%でDMFに溶解させた溶液100部に対して、調整剤を2部、カーボンブラックを30%含むDMF分散液の40部、疎水性活性剤の2部を混合してポリウレタン樹脂溶液を調製した。得られたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に塗布することにより、湿式成膜法により発泡体2を作製し研磨パッド1を製造した。
比較例1では、調整剤のポリプロピレンオキサイドを使用することなく、実施例1と同じポリウレタン樹脂とカーボンブラックとDMFと疎水性活性剤を混合したポリウレタン樹脂溶液を調製した。すなわち、調整剤を使用しないこと以外は実施例1と同様にして比較例1の研磨パッドを製造した。
比較例2では、調整剤のポリプロピレンオキサイド10部を混合し、実施例1と同じポリウレタン樹脂とカーボンブラックとDMFと疎水性活性剤を混合したポリウレタン樹脂溶液を調製した。すなわち、調整剤を10部使用すること以外は実施例1と同様にして比較例2の研磨パッドを製造した。
各実施例及び比較例の各発泡体2について、日本工業規格(JIS K6902)に準じて摩耗減量を測定した。すなわち、粒径が63〜100μmの砥粒を表面に付着させた磨研紙を外周に貼り付けた摩耗輪に研磨面Pを接触させて回転させたときに研磨面Pでの回転数1000回あたりの摩耗減量を測定した。すなわち、摩耗試験機は、試験試料が貼付され、回転駆動可能に軸支された回転盤を有している。回転盤の上方には、一対の円柱状の摩耗輪が端面を対向させて配置されている。摩耗輪の外周面が回転盤に貼付される試験試料と接触可能に配置されている。摩耗輪は、回転盤の回転軸に対して等距離となるように、回転盤の半径方向両側に配置されている。摩耗輪の外周には、粒径63μm〜100μmの酸化アルミニウム製の砥粒を表面に付着させた磨研紙(例えば、JIS R 6252の研磨紙)が貼り付けられている。磨研紙は、単位面積あたりの質量が70〜100g/m2であり、摩耗輪の外周面に隙間が形成されず、互いに重なり合わないように貼り付けられている。摩耗減量の測定時には、回転盤と同形状に裁断された試験試料(研磨パッド)を回転盤に貼付する。磨研紙を貼り付けた摩耗輪を試験試料の上面に接触させ、接触面に及ぼす荷重が5.20±02Nとなるように押圧する。回転盤を回転させることで、外周面を試験試料に接触させた一対の摩耗輪が互いに反対方向に回転する。これにより、試験試料表面が摩耗され、環状の摩耗跡が残される。本例では、回転盤を1000回回転させる前後における試験試料の重量変化を摩耗減量とした。摩耗減量の測定結果を表2に示した。
1 研磨パッド
2 発泡体
Claims (6)
- 湿式成膜法により形成され被研磨物を研磨加工するための研磨面を有する樹脂製発泡体を備えた研磨パッドにおいて、前記発泡体には該発泡体の粘りを調整し摩耗性を適正化する調整剤が略均一に含有されており、前記調整剤は、研磨加工時に供給される研磨液に対して難溶出性であり、前記発泡体を形成する樹脂および研磨加工時に供給される研磨液と相溶性を有することを特徴とする研磨パッド。
- 前記調整剤は、分子量が10,000〜100,000の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記調整剤は、非イオン系化合物であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記調整剤は、少なくともポリオキシアルキレンエステル系、多価アルコール脂肪族エステル系、糖脂肪酸エステル系、アルキルポリグリコシド系のポリアルキレンオキサイド付加物から選択される一種であることを特徴とする請求項3に記載の研磨パッド。
- 前記発泡体は、粒径63μm〜100μmの砥粒を表面に付着させた磨研紙を外周に貼り付けた摩耗輪に前記研磨面を接触させて回転させたときに、該研磨面での回転数1000回あたりの摩耗減量が100〜150mg/1000回の範囲の特性を有することを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記発泡体は、ポリウレタン樹脂製であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
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