JP5695841B2 - Led用リードフレーム - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態に係るLED用リードフレームについて、図1を参照して説明する。第1実施形態およびその変形例に係るLED用リードフレーム10,10Aは、発光装置に組み込んだときに、光源であるLED素子にこのLED素子を発光動作させる電流を供給するための配線であり、かつ、LED素子の発光した光を反射させる反射板である。
基板11は、銅または銅合金からなり、LED用リードフレーム10の形状に成形される。銅合金としては、銅を主成分とし、Ni,Si,Fe,Zn,Sn,Mg,P,Cr,Mn,Zr,Ti,Sb等の元素の1種または2種以上を含有する合金、例えばCu−Fe−P系銅合金を用いることができる。基板11の板厚は特に限定されないが、形状と同様に、発光装置の形状および形態等に応じて決定され、圧延等により、この所要の厚さの素板(圧延板)とし、これをプレス加工やエッチング加工等により所要の形状に成形することによって製造することができる。
本実施形態に係るLED用リードフレーム10において、Niめっき膜12aは基板11の表面に設けられ、熱により基板11からCuが当該Niめっき膜12aを経由してAgめっき膜12b、さらにAg合金膜13に拡散することを抑制して、その表面すなわちLED用リードフレーム10表面にCuが到達、変色することを防止する。後記の通り、Ag合金膜13はスパッタリング法により成膜されるが、スパッタリング法による膜だけで基板11からのCuの熱拡散による表面の変色を防止できる膜厚にすることは、生産性の上で好ましくない。また、厚膜化の容易なめっき膜を設ける場合も、Agからなる膜の場合、Cuの熱拡散による表面の変色を防止するためには、スパッタリング法による膜(Ag合金膜13)と合わせて0.6μm以上の厚さが必要である。これに対して、Niは、Cuの熱による拡散を抑制する効果(耐Cu拡散性)がAgよりも高いので、Agのみで膜を設けるよりも薄い膜厚でCuの熱拡散による表面の変色およびそれに伴う反射率の劣化を防止できる。本発明においては、耐Cu拡散性すなわち耐熱性をいっそう向上させるために、Niめっき膜12aの膜厚は0.4μm以上とし、好ましくは0.8μm以上、より好ましくは1μm以上である。このようなNiめっき膜12aを基板11上に形成することで、原料費の高いAgを含む膜(Agめっき膜12b、Ag合金膜13)を厚膜化する必要がない。
本実施形態に係るLED用リードフレーム10において、Agめっき膜12bは、Niめっき膜12aの表面に設けられて、Ag合金膜13の下地となる。ここで、Agの熱による凝集は結晶粒径にも依存し、結晶粒径が大きいと凝集し難く、具体的には100nm以上が好ましい。そして、Ag合金膜13は、スパッタリング法にて成膜される際に、下地とする金属表面でエピタキシャル成長するため、Ag合金膜13の結晶はこの下地金属の結晶に引きずられる形で成長して、その結晶粒径に近い結晶粒径になる。Ag合金膜13がNiめっき膜12a表面に成膜された場合、その結晶粒径は50nm以下までにしか成長せず、熱によりAgが凝集することを抑制する作用(耐凝集性)が不十分となる。したがって、結晶粒径の比較的大きいAgめっき膜12bを設けて、これを下地としてその上のAg合金膜13の結晶粒径を大きくする。Agめっき膜12bの結晶粒径を100nm以上に大きくするために、Agめっき膜12bの膜厚は0.2μm以上とし、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは1μm以上である。なお、Agめっき膜12bの膜厚の上限は規定しないが、不必要に厚く形成されるとコスト高となり、また後記するように、Niめっき膜12aとの合計の厚さが10μm以下になるようにする。
Ag合金膜13は、Agめっき膜12b上の、LED用リードフレーム10の最表面に設けられ、発光装置としたときに、Agめっき膜12bのAgが大気や封止樹脂に含まれるハロゲンイオンや硫黄と反応して黒褐色化や凝集することを防止するための保護膜としての役割を有する。このAg合金膜13は、Ge:0.06〜0.5at%、およびBi:0.02〜0.2at%を含有し、残部が不可避的不純物およびAgからなるAg合金で構成される。
具体的には、例えば、原子間力顕微鏡を用いて、任意の領域について表面高さ(Zji)を測定して式(1)によってRrmsを算出することができる。好ましくは、複数の領域について測定し、その平均値を適用する。
第1実施形態に係るLED用リードフレーム10は、Ag合金膜13上に、さらにTi,V,Cr,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,Wから選択される1種の金属のまたは2種以上の合金の酸化膜(以下、適宜、金属酸化膜という)を設けてもよい(図示せず)。
第1実施形態のLED用リードフレーム10は、前記の構成を形成できる方法であれば特に制限されず、いずれの方法により製造してもよい。例えば、LED用リードフレーム10は、基板11を作製する基板作製工程S1、基板11表面にNiめっき膜12aを形成するNiめっき工程S2、基板11上のNiめっき膜12a表面にAgめっき膜12bを形成するAgめっき工程S3、そして、このAgめっき膜12b表面にAg合金膜13を形成するAg合金膜スパッタリング工程S6を含む方法によって製造することができる(図示省略)。なお、各工程には、後記の第2実施形態も含めて説明のために、符号を付す。以下に、LED用リードフレームの製造方法の一例を説明する。
以下、第2実施形態に係るLED用リードフレームを構成する要素について、詳細に説明する。
図2(a)に示すように、本実施形態においては、リード部材1a,1bは帯状で、その長手方向に沿って並設され、素子実装部22にて、長手方向中心に対して右寄りの位置で、間隔を空けて対向する。したがって、図2(a)、(b)において左側のインナーリード部15aが、右側のインナーリード部15bより長く、素子実装部22の底面22aの中央まで配置されている。これは、後記するように、LED用リードフレーム10Bが、ワイヤボンディングで実装されるLED素子を搭載する発光装置に組み込まれるためである。詳しくは、インナーリード部15a上の、底面22aの略中央(図2(a)に太破線の枠で示す領域)にLED素子が搭載され、さらにインナーリード部15a,15bのLED素子の両側(図における左右)における領域が、ワイヤボンディングのための領域となる。また、例えばフリップチップ実装のLED素子を搭載する発光装置に組み込まれるLED用リードフレーム(図示せず)の場合は、このLED素子が搭載される底面22aの領域の、当該LED素子の底面に設けられた一対の電極のそれぞれに対向する位置に、インナーリード部15a,15bが配置される。
LED素子実装体2は、図2(a)、(b)に示すように、凹状の素子実装部22が形成されたカップ状の樹脂成形体(基体)21と、素子実装部22の表面に形成されたAg合金膜23とを備える。素子実装部22は上方に広がって開口し、底面22aとこれを囲む4面の側面22b,22c,22b,22cとから構成される平面視で長方形の四角錐台である。素子実装部22の形状はこれに限定されず、例えば平面視で正方形であったり、上方に広がって開口した円錐台でもよい。LED素子実装体2は、LED用リードフレーム10B,10Cを組み込む発光装置の形状および形態、ならびにLED素子の実装形態、製品としてユーザに提供する形態等に応じて所要の形状に成形される。
第2実施形態およびその変形例に係るLED用リードフレーム10B,10Cは、前記の構成を形成できる方法であれば特に制限されず、いずれの方法により製造してもよい。例えば、LED用リードフレーム10B,10Cは、第1実施形態における基板作製工程S1、Niめっき工程S2、Agめっき工程S3、Ag合金膜スパッタリング工程S6に、さらに樹脂成形工程S4およびマスク工程S5を含む方法によって製造することができる(図示省略)。以下に、第2実施形態に係るLED用リードフレームの製造方法の一例を説明する。
次に、本発明の第1、第2実施形態および各変形例にかかるLED用リードフレームを組み込んだ発光装置について説明する。
第2実施形態およびその変形例に係るLED用リードフレーム10B,10C,10Dを組み込んで発光装置に製造する方法の一例は、次の通りである。まず、リード部材1aの素子実装部22の略中央におけるインナーリード部15aの表面(図2(a)に示すLED素子搭載領域)にシリコーンダイボンド材等からなる接着剤を塗布して、その上にLED素子を接着して搭載する。次に、ワイヤボンディングにより、金ワイヤでLED素子の電極をインナーリード部15a,15bに接続する。そして、素子実装部22内にエポキシ樹脂等の封止樹脂を充填することにより封止して、LED素子を光源として搭載した表面実装型の発光装置(図7参照)となる。なお、LED用リードフレーム10Cにおいては、基板11Aで複数個を連結された状態で発光装置に製造されてから図3(b)、(c)に示す太破線で切り離されて使用される。
下記のようにして、図1(b)に示す積層構造の第1実施形態の変形例に係るLED用リードフレーム10Aの試料を、Niめっき膜の膜厚、Agめっき膜の膜厚、ならびにAg合金膜の組成および膜厚を変化させて作製した。
厚さ0.1mmのCu−Fe−P系銅合金板(KLF194H、(株)神戸製鋼所製)を、プレス加工して、図3(a)に示す形状の基板(基板11A)を作製した。なお、この基板11Aのインナーリード部15a,15b(図3(b)参照)間の距離は0.09mmである。この基板の表面の二乗平均粗さRrmsを後記の方法で測定したところ、62nmであった。
前記基板を、めっき前処理として、脱脂液に浸漬して、対極をステンレス304として、基板側がマイナスとなるようにして直流電圧を印加して30秒間電解脱脂を行った後、10%硫酸水溶液に10秒浸漬した。次に、基板の表面(全面)に、下記成分、液温50℃のワット浴で、対極をNi板とし、電流密度:5A/dm2で、光沢Niめっきを施して、表1に示す膜厚のNiめっき膜を有する基板を製造した。
Niめっき浴成分
硫酸Ni:250g/L
塩化Ni: 40g/L
硼酸 : 35g/L
添加剤A: 3ml/L
添加剤B:10ml/L
前記Niめっき膜を形成した基板を、Niめっき浴から引き上げて水洗した後、その表面(Niめっき膜表面)に、下記成分、液温50℃のシアン浴で、対極をAg(純度99.99%)板とし、電流密度:5A/dm2で、光沢Agめっきを施して、表1に示す膜厚のAgめっき膜を有する基板を製造した。なお、Agめっき膜の膜厚は、前記Niめっき膜の膜厚と同様に、ダミー基板へのめっきにより算出したAgのめっき速度に基づいて、めっき時間を調整することで制御した。
Agめっき浴成分
シアン化銀カリウム(I):50g/L
シアン化カリウム :40g/L
炭酸カリウム :35g/L
添加剤C :3ml/L
Agめっきを施した基板に、下記の方法でAg合金膜を形成した。
Niめっき膜およびAgめっき膜を形成した基板を、表1に示す組成のAg合金ターゲット(直径10.16cm(4インチφ)×厚さ5mm)を設けたスパッタリング装置のチャンバー内に配置した。次に、真空ポンプで、チャンバー内圧力が1.3×10-3Pa以下となるように真空排気した。その後、イオンガン(3cm DC Ion Source、イオンテック社製)を通してArガスをチャンバー内に導入してチャンバー内圧力を2×10-2Paに調整し、イオンガンに放電電圧60V、加速電圧500V、ビーム電圧500Vを印加して、Arイオンビームを発生させ、基板のAgめっき膜の表面に300秒間照射した。
また、Ag合金膜の組成を分析するために、ソーダライムガラス基板上に前記と同様にしてAg合金膜を成膜した。このAg合金膜を硝酸で溶解後、溶解した硝酸の液を、ICP(誘導結合プラズマ)発光分光分析装置(ICPS−8000、島津製作所製)を用いて分析することにより、ソーダライムガラス基板に形成したAg合金膜の組成を求めた。得られたAg合金膜の組成を表1に示す。
また、Ag合金膜について、結晶粒径を下記の方法で測定した。得られたLED用リードフレームの試料の表面(Ag合金膜の表面)を、原子間力顕微鏡(AFM)(SPI−4000、セイコー電子工業(SII)社製)にて、またカンチレバーはSN−AF01を用い、下記の条件で表面形状像を測定した。得られた像上に任意の直線を引き、この直線を横切った粒界の数で直線の長さを割ることにより、平均の結晶粒径を求めた。
AFM測定条件
たわみ量 :−1.0
Iゲイン :0.2
Pゲイン :0.1
走査エリア :1μm×1μm
走査周波数 :1Hz
得られたLED用リードフレームの試料について、下記の方法で、表面(Ag合金膜を形成した側の面、以下同じ)の二乗平均粗さRrmsおよび正反射率を測定し、耐熱性、耐硫化性、および耐湿性を評価した。結果を表1に示す。
原子間力顕微鏡(AFM)(SPI−4000、SII社製)を用いて、任意の3箇所の10μm角の領域について表面(Ag合金膜の表面)の二乗平均粗さRrmsを測定し、得られた3つの値の平均を算出した。
自動絶対反射率測定システム(日本分光株式会社製)を用いて、入射角5°、反射角5°の条件で、波長250〜850nmまでの分光反射率を測定することにより、正反射率を求めた。
耐熱試験として、試料を、恒温槽内で150℃で10時間加熱し、引き続き260℃で5分間加熱した。試験後、前記と同様の方法で表面の正反射率を測定し、耐熱試験による正反射率の低下が5ポイント未満のものを合格とした。
硫化アンモニウムを水に溶解して、5wt%の硫化アンモニウム水溶液を調整した。この硫化アンモニウム水溶液の液面から3cmの高さ位置に表面が液面に対向するように試料を水平に載置し、耐硫化試験として、硫化アンモニウム水溶液から蒸発する硫化水素に10分間暴露した。試験後、前記と同様に正反射率を測定し、耐硫化試験による正反射率の低下が20ポイント以下のものを合格とした。
試料から4cm×5cmの試験片(基板面積約18cm2)を切り出し、耐湿試験として、恒温恒湿試験機内で、50℃、95RH%の雰囲気に500時間暴露した。試験後、試験片の表面を目視観察して白点の数を計測した。白点の数が5個以下のものを合格とした。
表1に示すように、試料No.1は、Niめっき膜の膜厚が不足し、さらにAgめっき膜およびAg合金膜の膜厚が本発明の範囲内で下限近傍であるため、耐熱試験により基板のCuが表面に拡散して酸化し、表面が変色して反射率が劣化した。また試料No.1は、Niめっき膜とAgめっき膜の合計の厚さが薄いため、基板表面のRrmsに対して試料表面のRrmsが十分に小さくならなかったことにより、初期の正反射率も高くならなかった。一方、試料No.5は、Niめっき膜およびAg合金膜の膜厚は本発明の範囲を十分に満足するものではあるが、Agめっき膜の膜厚が不足したため、Agめっき膜の結晶粒径が十分に大きくならず、その上のAg合金膜の結晶粒径は約60nmに留まり、耐熱試験によりAgが凝集して反射率が劣化した。これに対して、本発明の範囲の膜厚のNiめっき膜およびAgめっき膜を備えた実施例である試料No.2〜4,7,11〜13は、耐熱性(耐Cu拡散性、耐凝集性)が良好であった。また、これらの試料はいずれも、Ag合金膜の結晶粒径が100nm以上で十分に大きかった。さらに試料No.7,11〜13は、Niめっき膜とAgめっき膜の合計の厚さが十分に厚く好ましい範囲であるため、表面のRrmsが十分に小さく、高い正反射率が得られた。
実施例である試料No.2〜4,7,11〜13は、本発明の範囲のAg合金膜を備えるため、前記の耐熱性に加え、耐硫化性および耐湿性も十分で、良好な耐久性が得られた。これに対して、試料No.9は、Ag合金膜のGeの含有率が不足した(無添加である)ため、耐硫化性が得られず、耐硫化試験で表面が黒褐色に変色して反射率の劣化が大きかった。また、試料No.8はAg合金膜のBiの含有率が不足したため、耐湿性が十分に得られなかった。反対に、試料No.6はAg合金膜のBiの含有率が過剰なため、耐久性は良好であるものの、表面(Ag合金膜)外観が黄色味を帯びて反射率が低下し、二乗平均粗さRrmsが同程度の他の試料と比較して正反射率も低かった。一方、試料No.10は、本発明の範囲の組成のAg合金膜であるが、膜厚が不足したことによりピンホールが多発し、十分な耐久性が得られなかった。
(基板の作製およびAgめっき膜の形成)
実施例1に適用したものと同様の基板(図3(a)参照)を作製し、その表面に、実施例1と同様の方法で膜厚3μmのNiめっき膜および膜厚2μmのAgめっき膜を形成した。
耐熱性ポリアミド樹脂(ジェネスタTA112、クラレ製)を射出成形(インサート成形)して、図5(a)、(b)に示すように、凹状の素子実装部22に切込みを有するLED素子実装体2Aの樹脂成形体21を、Ni/Agめっき膜12を形成された基板11Aの一対のリード部材1a,1bのそれぞれが貫通するように作製した。なお、樹脂成形体21は、素子実装部22の底面22a(平面22e)がインナーリード部15a,15bのAgめっき膜12bの表面とほぼ面一となるように成形して、インナーリード部15a,15b間に、前記樹脂が存在する(充填された)ようにした。
図5(b)に示すように、厚さ0.1mmの銅板からなるマスク34を、樹脂成形体21の素子実装部22の切込みに、下端が平面22e(インナーリード部15a,15b間に充填された樹脂の表面)に接するように嵌装した。また、樹脂成形体21の外側の長辺方向の側面にもマスクを設けた。このマスク34を嵌装した試料をスパッタリング装置のチャンバー内に設置し、表2に示す組成のターゲットを用いて、Ag合金膜またはAg膜を、インナーリード部15a,15bのAgめっき膜12bの上の膜厚が300nmになるように成膜した。これによって、図5(a)、(b)に示す構造(断面は図3(c)に示す構造)を有するLED用リードフレーム10Dの試料(試料No.14,15)を得た。試料No.14のAg合金膜の組成を実施例1と同様に分析して、表2に示す。
(素子実装部の表面のAg合金膜の膜厚と二乗平均粗さの測定)
試料の樹脂部分(LED素子実装体2)を、内側の表面(素子実装部22の側面22b)と直交する面で切断して、切断面をFE−SEM(日立製作所製SU−70)にて加速電圧2kVで5万倍の倍率で観察することにより、素子実装部の表面のAg合金膜(Ag膜)の膜厚を測定した。また、同Ag合金膜(Ag膜)について、実施例1と同様の方法で表面の二乗平均粗さRrmsを測定した。これらの結果を表2に示す。
得られた試料について、実施例1と同様に耐硫化試験を行った。なお、素子実装部22の底面22aおよびインナーリード部15a,15bを硫化アンモニウム水溶液の液面に対向させて載置した。試験後にLED素子実装体の内側(素子実装部22)の表面を目視で観察し、変色の見られないものを耐硫化性が良好であるとして「○」、変色したものを耐硫化性が不良であるとして「×」で評価し、表2に示す。
得られた試料について、実施例1と同様に耐湿試験を行った。試験後にLED素子実装体を切断して、内側(素子実装部22)の表面が外部から観察できるようにし、素子実装部22のAg合金膜(Ag膜)の表面を、光学顕微鏡で50倍に拡大して観察した。白点のないものを耐湿性が良好であるとして「○」、白点が発生したものを耐湿性が不良であるとして「×」で評価し、表2に示す。
実施例1に適用したものと同様の基板(図3(a)参照)を作製し、実施例1と同様に、基板の表面に膜厚2μmのNiめっき膜および膜厚3μmのAgめっき膜を形成した後、スパッタリング装置で、表3に示す組成のAg合金からなるターゲットを用いて、Agめっき膜の上の膜厚が300nmとなるようにAg合金膜を成膜した。次に、表3に示す金属酸化膜用の金属ターゲット(前記Ag合金ターゲットと同形状)をスパッタリング装置の電極に設置し、再び、真空ポンプでチャンバー内圧力が1.3×10-3Pa以下となるように真空排気した後、Arガスをチャンバー内に導入してチャンバー内圧力を0.27Paに調整した。この状態で、前記金属ターゲットに直流電圧(出力100W)を印加してスパッタリングを行い、Ag合金膜の上に膜厚を変化させて金属膜を成膜し、チャンバーから取り出して大気中で金属膜を酸化させて金属酸化膜として、LED用リードフレーム10Aの試料(試料No.16〜21)を作製した。また、Ag合金膜については、それぞれの組成のターゲットを用いてソーダライムガラス基板上に成膜して、実施例1と同様の方法で組成を求めた。得られた組成を表3に示す。
得られたLED用リードフレームの試料について、下記の通り、X線光電子分光分析(XPS)を行って、Ag合金膜上の金属酸化膜の膜厚を測定した。また実施例1と同様に、表面の正反射率を測定し、耐熱性、耐硫化性、および耐湿性を評価した。さらに試料No.16,18,19について、下記の通り、ワイヤボンディング試験を行った。結果を表3に示す(評価を行わなかった試料は、その欄に「−」で示す)。
試料の表面(Ag合金膜および金属酸化膜を形成した側)について、全自動走行型X線光電子分光分析装置(Physical Electronics社製Quantera SXM)を用いて、表3に示す金属酸化膜に含まれる金属元素および酸素元素O、ならびにAgの各濃度を、表面から深さ方向へ測定した。測定条件は、X線源:単色化Al−Kα、X線出力:43.7W、X線ビーム径:200μm、光電子取出し角:45°、Ar+スパッタ速度:SiO2換算で約0.6nm/分とした。金属酸化膜に含まれる金属元素の濃度が、最高濃度の1/2まで減少した深さを金属酸化膜の膜厚とした。
試料の表面(上面)を、インナーリード部15a,15b(図3(b)参照)間にて、金線(線径:φ25μm)でワイヤボンディングした後、光学顕微鏡で観察しながら金線の中央をピンセットで掴んで引っ張ることにより試験を行った。その結果、試料のボンディング箇所に剥離がなく、金線を切ることができた場合をワイヤボンディング性が良好であるとして「○」、少なくとも一方のボンディング箇所(金線とLED用リードフレームとの界面)から金線が剥がれた場合を不良であるとして「×」で評価した。
10B,10C,10D LED用リードフレーム(リフレクタ付きLED用リードフレーム)
1,1A リード部材(リードフレーム)
11,11A 基板
12 Ni/Agめっき膜
12a Niめっき膜
12b Agめっき膜
13 Ag合金膜
1a,1b リード部材(リードフレーム)
15a,15b インナーリード部
16a,16b アウターリード部
2 LED素子実装体
21 樹脂成形体(基体)
22 素子実装部
22a 底面
22b,22c 側面
22e 平面
23 Ag合金膜
28 離間領域
33,34 マスク
Claims (8)
- 銅または銅合金からなる基板と、この基板上の少なくとも片面側に形成された膜厚0.4μm以上のNiめっき膜と、このNiめっき膜上に形成された膜厚0.2μm以上のAgめっき膜と、このAgめっき膜上に形成された膜厚20nm以上500nm以下のAg合金膜と、を備えるLED用リードフレームであって、
前記Niめっき膜と前記Agめっき膜の膜厚の合計は10μm以下であり、
前記Ag合金膜は、スパッタリング法で形成され、Ge:0.06〜0.5at%、およびBi:0.02〜0.2at%を含有することを特徴とするLED用リードフレーム。 - 前記Ag合金膜が、さらにAu:0.5〜5at%を含有することを特徴とする請求項1に記載のLED用リードフレーム。
- 前記Ag合金膜は、その表面の二乗平均粗さが30nm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のLED用リードフレーム。
- 前記Ag合金膜上に、Ti,V,Cr,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,Wから選択される1種の金属の金属酸化膜または2種以上からなる合金の金属酸化膜を膜厚0.1nm以上5nm以下で備えることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のLED用リードフレーム。
- 上方に開口した凹状の素子実装部が形成されたLED素子実装体と、このLED素子実装体に支持された一対のリードフレームと、を備え、前記LED素子実装体をリフレクタとするリフレクタ付きLED用リードフレームであって、
前記一対のリードフレームは、前記素子実装部の底面に互いに離間領域を隔てて配設されて、それぞれが当該素子実装部から前記LED素子実装体の外側に延出し、
前記リードフレームは、銅または銅合金からなる基板と、前記素子実装部の内側において前記基板上に形成された膜厚0.4μm以上のNiめっき膜と、このNiめっき膜上に形成された膜厚0.2μm以上のAgめっき膜と、このAgめっき膜上に形成された膜厚20nm以上500nm以下のAg合金膜と、を備え、前記Niめっき膜と前記Agめっき膜の膜厚の合計は10μm以下であり、
前記LED素子実装体は、絶縁材料からなる基体と、前記離間領域を除く領域において前記素子実装部の表面に形成された膜厚70nm以上500nm以下のAg合金膜と、を備え、
前記リードフレームおよび前記LED素子実装体のそれぞれが備えるAg合金膜は、スパッタリング法で形成され、Ge:0.06〜0.5at%、およびBi:0.02〜0.2at%を含有することを特徴とするリフレクタ付きLED用リードフレーム。 - 前記Ag合金膜が、さらにAu:0.5〜5at%を含有することを特徴とする請求項5に記載のリフレクタ付きLED用リードフレーム。
- 前記Ag合金膜は、その表面の二乗平均粗さが30nm以下であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のリフレクタ付きLED用リードフレーム。
- 前記Ag合金膜上に、Ti,V,Cr,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,Wから選択される1種の金属の金属酸化膜または2種以上からなる合金の金属酸化膜を膜厚0.1nm以上5nm以下で備えることを特徴とする請求項5ないし請求項7のいずれか一項に記載のリフレクタ付きLED用リードフレーム。
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