JP5682222B2 - 酸化セリウム系研磨剤の製造方法 - Google Patents
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Description
メディアン径(D50)が2.48μmであり、酸化セリウムの含有率が96.7質量%であり、酸化ケイ素の含有率が0.01質量%である酸化セリウム系研磨剤を、5質量%で含む酸化セリウム系研磨剤懸濁液3kgを用意した。用いた酸化セリウム系研磨剤のX線回折分析を行ったところ、(111)面に対応するピークの強度は、8450cpsであった。
上記実験例1で作製した再生品1を、空気雰囲気中において、10℃/分の昇温速度で800℃まで加熱し、その温度で維持することにより焼成した。その焼成後の再生品1を用いて、上記ガラス板と同様のガラス板4枚の表面を60分間研磨した。その結果、焼成前の再生品1を用いた場合よりも研磨速度が向上していることを確認した。
Claims (19)
- 非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤から酸化セリウム系研磨剤を製造する方法であって、
前記非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤の懸濁液に、pHが12以下となるような量の第1のアルカリ成分を添加することにより前記酸化セリウム系研磨剤の表面に付着した非晶質体を溶解させる溶解工程と、
前記溶解工程の後に、前記懸濁液のpHが12.1以上となるように第2のアルカリ成分を添加し、前記酸化セリウム系研磨剤を沈殿させる沈殿工程と、
を備える、酸化セリウム系研磨剤の製造方法。 - 前記溶解工程は、前記懸濁液のpHが11より大きくなるように前記第1のアルカリ成分を添加する工程である、請求項1に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記第1及び第2のアルカリ成分のそれぞれとして、アルカリ金属の水酸化物またはアルカリ金属の炭酸塩を用いる、請求項1または2に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記第2のアルカリ成分として、前記第1のアルカリ成分と同種のアルカリ成分を用いる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記沈殿工程において、前記酸化セリウム系研磨剤のメディアン径(D50)が15μm以上となるように、前記第2のアルカリ成分を添加する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤におけるSiの含有量がSiO2換算で0.2質量%以上である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記沈殿工程において沈殿する酸化セリウム系研磨剤におけるSiの含有量がSiO2換算で0.2質量%未満となるように前記第1のアルカリ成分を添加する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記非晶質体は、ガラスである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記非晶質体は、硼珪酸塩系ガラスまたは珪酸塩系ガラスである、請求項8に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記沈殿工程の後に、酸素を含む雰囲気中において前記酸化セリウム系研磨剤を焼成する焼成工程をさらに備える、請求項1〜9のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記焼成工程において、前記酸化セリウム系研磨剤を700℃〜1000℃で焼成する、請求項10に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤から酸化セリウム系研磨剤を製造する方法であって、
前記非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤の懸濁液に、pHが12以下となるような量の第1のアルカリ成分を添加することにより前記酸化セリウム系研磨剤の表面に付着した非晶質体を溶解させた後に、前記懸濁液のpHが12.1以上となるように第2のアルカリ成分を添加することにより前記酸化セリウム系研磨剤を沈殿させる沈殿工程と、
前記沈殿させた酸化セリウム系研磨剤を酸素を含む雰囲気中において焼成する焼成工程
と、
を備える、酸化セリウム系研磨剤の製造方法。 - 前記焼成工程において、前記分離された酸化セリウム系研磨剤を700℃〜1000℃で焼成する、請求項12に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記アルカリ成分として、アルカリ金属の水酸化物またはアルカリ金属の炭酸塩を用いる、請求項12または13に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記分離された酸化セリウム系研磨剤のメディアン径(D50)が2μm〜4μmとなるように、前記アルカリ成分を添加する、請求項12〜14のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤におけるSiの含有量がSiO2換算で0.2質量%以上である、請求項12〜15のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記分離された酸化セリウム系研磨剤におけるSiの含有量がSiO2換算で0.2質量%未満となるように前記アルカリ成分を添加する、請求項12〜16のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記非晶質体は、ガラスである、請求項12〜17のいずれか一項に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
- 前記非晶質体は、硼珪酸塩系ガラスまたは珪酸塩系ガラスである、請求項18に記載の酸化セリウム系研磨剤の製造方法。
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